JP5477446B2 - 空気流量測定装置 - Google Patents
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Description
センサチップは、例えば、図10(a)、(b)に示す様に、センサ基板100の一部にダイヤフラム(薄膜部)110を形成し、そのダイヤフラム110の表面上に薄膜抵抗体120を配置して構成され、樹脂ケース130の表面に形成された凹部140に収納されて、接着剤150により固定されている。
しかし、樹脂ケース130の凹部140とセンサ基板100との間に生じる隙間は、全体に均一ではなく、センサ基板100にダイヤフラム110が設けられる部分だけ隙間が大きくなっている。つまり、ダイヤフラム110は、エッチング等によりセンサ基板100の裏側に空洞部111を設けることで形成されるため、その空洞部111の影響によってセンサ基板100の裏側を通る空気の流れに乱れが生じる。
上記の結果、ダイヤフラム110の表面上に配置される薄膜抵抗体120(図10参照)への伝熱が不安定となり、図12に示す様に、流量が多くなるに連れて特性が変曲するため、エアフロメータの出力が安定せず(出力の時間変動が大きくなる)、また流量と電圧が一義的に決まらないという問題が生じる。
本発明は、上記事情に基づいて成されたもので、その目的は、センサチップの裏側を流れる空気の乱れを抑制することにより、センサ出力を安定化できる空気流量測定装置を提供することにある。
本発明は、センサ基板の長手方向の一端側に、裏面から表側へ向かってテーパ状に空洞部を形成することにより、この空洞部に対応するセンサ基板の表面にダイヤフラムが設けられ、且つ、このダイヤフラムの表面上に発熱抵抗体を配置したセンサチップと、このセンサチップを保持するために形成された凹部を有し、この凹部に配置されるセンサチップの他端側を接着剤により固定して、センサチップの一端側の裏面および両側面と凹部の底面および両側面との間にそれぞれ隙間を有する状態でセンサチップを片持ち支持するケースとを備え、このケースを空気通路に配置して、発熱抵抗体の熱交換を基に空気流量を測定する空気流量測定装置において、ケースは、センサ基板に形成された空洞部に対し、凹部の底面から突起して空洞部に入り込む凸状部が設けられていることを特徴とする。
この凸状部は、センサ基板に設けられる空洞部に対し、ケースに形成される凹部の底面から突起して空洞部に入り込んでいるので、空洞部の容積が減少して空気の乱れが抑制される。また、空洞部と凸状部との間の隙間を小さくすることで、センサチップの裏側に空気が流れ込みにくくなり、センサチップの裏側を流れる空気の流速を低下させて、流量を少なく出来る。その結果、センサチップの表側を流れる空気に対し、センサチップの裏側を流れる空気の影響度を相対的に小さくできるので、センサ出力を安定させることが出来る。
この実施例1では、例えば、自動車のエンジンに吸入される空気量を測定するエアフロメータ1に本発明の空気流量測定装置を適用した一例を説明する。
エアフロメータ1は、図2に示す様に、吸気ダクト2に取り付けられるセンサハウジング3と、このセンサハウジング3の内部に組み込まれるセンサ部4とを有する。
吸気ダクト2は、エンジンの吸気ポート(図示せず)に接続される吸気通路の一部を形成するもので、例えば、吸気通路の最上流に配置されるエアクリーナの出口パイプ、あるいは、この出口パイプの下流側に接続される吸気管等である。
センサハウジング3は、図3に示す様に、吸気ダクト2に固定されるフランジ部3aと、エンジンの運転状態を制御するECU(図示せず)との電気的接続を行うコネクタ部3bと、吸気ダクト2の内部に挿入される流路形成ボディ3c等が形成されている。
バイパス流路5は、空気を取り込む入口5aから空気を排出する出口5bまで略直線的に、且つ、吸気ダクト2を流れる空気の流れ方向と略平行に形成されている。このバイパス流路5は、空気流路の断面形状が円形であり、且つ、バイパス流路5の出口側は、流路断面積が出口5bに向かって次第に減少するテーパ状に形成されている。
また、サブバイパス流路6の入口6aは、バイパス流路5に対する上流側の入口端部をA点、下流側の入口端部をB点と呼ぶ時に、バイパス流路5の中心軸からA点までの距離より、B点までの距離の方が大きくなる様に形成されている(図2参照)。つまり、サブバイパス流路6の入口6aは、上記A点とB点とを含む開口面が、バイパス流路5の出口側に傾いて形成されている。
発熱抵抗体9は、サブバイパス流路6を流れる空気の温度よりも一定温度高い基準温度に通電制御される。側温抵抗体10、11は、発熱抵抗体9の上流側に近接して配置される一方の側温抵抗体(以下、上流側温抵抗体10と呼ぶ)と、発熱抵抗体9の下流側に近接して配置される他方の側温抵抗体(以下、下流側温抵抗体11と呼ぶ)である。
発熱抵抗体9が基準温度に通電制御されると、発熱抵抗体9の発熱による温度分布が生じる。ここで、サブバイパス流路6に空気の流れが発生していない時は、図4(a)に破線グラフで示す様に、発熱抵抗体9の位置を中心として上流側と下流側とで温度分布が左右対称となるため、上流側温抵抗体10で検出される温度と、下流側温抵抗体11で検出される温度とが等しくなる。
これに対し、例えば、サブバイパス流路6に順流方向の空気流が生じると、図4(a)に実線グラフで示す様に、発熱抵抗体9の下流側(図示右側)へ片寄った温度分布が生じることで、上流側温抵抗体10の検出温度より下流側温抵抗体11の検出温度の方が高くなる。
上記の様に、上流側温抵抗体10の検出温度と下流側温抵抗体11の検出温度との間に温度差DThが生じると、この温度差DThに応じて、上流側温抵抗体10と下流側温抵抗体11の抵抗値がそれぞれ変化するため、この抵抗値の変化により生じる電位差が増幅されて、センサ信号(例えばアナログ電圧)としてECUへ出力される。なお、センサ信号は、アナログ電圧を周波数値に変換して出力することも出来る。図5は、上流側温抵抗体10の検出温度と下流側温抵抗体11の検出温度との温度差DThと、空気の流量および流れ方向との相関を示すグラフである。
センサチップ12は、図1(a)に示す様に、センサ基板7の長手方向(図示左右方向)の一端側(図示右側)にダイヤフラム8が形成されている。
このダイヤフラム8は、図4(b)に示す様に、センサ基板7の表面にスパッタ法あるいはCVD法等により形成される絶縁膜であり、例えば、異方性エッチングにより、センサ基板7の裏面から絶縁膜との境界面までセンサ基板7の一部を除去して、センサ基板7に空洞部7aを形成することにより設けられる。
なお、空洞部7aは、図1(a)に示すセンサ基板7の長手方向、および、図1(b)に示す幅方向ともに、センサ基板7の裏面から表側へ向かって、空洞部7aの開口幅が次第に小さくなるテーパ状に形成されている。
このケース13には、図1(a)、(b)に示す様に、ダイヤフラム8を設けるために除去された空洞部7aに対し、凹部13aの底面から突起して空洞部7aに入り込む凸状部13bが設けられている。この凸状部13bは、例えば、空洞部7aと略同形状のテーパ状に設けられ、空洞部7aとの間に略均一な隙間を形成している。なお、ケース13は、樹脂製に限定されるものではないが、本実施例では、樹脂製であることが望ましい。
本実施例のエアフロメータ1は、センサチップ12がケース13に片持ち支持されている。この構造では、ケース13に形成された凹部13aの底面に接着されていないセンサ基板7の一端側では、ケース13の凹部13aとセンサ基板7との間に隙間が生じるため、薄膜抵抗体(発熱抵抗体9、上流側温抵抗体10、下流側温抵抗体11)を配置したセンサチップ12の表側だけでなく、センサチップ12の裏側(ケース13の凹部13aとセンサ基板7との間に生じる隙間)にも空気が流れる。これに対し、実施例1に記載したケース13には、センサチップ12の裏側を流れる空気の通り道に抵抗となる凸状部13bを設けている。
例えば、図6〜図9に示す形状が考えられる。
図6に示す凸状部13bは、センサチップ12の裏側を流れる空気の流れ方向に対し、空洞部7aの上流側(図示左側)に偏った位置に設けた一例である。
図8に示す凸状部13bは、空洞部7aの内部に入り込む先端部の形状が、所定の曲率を有する凸曲面(図8では半球形状)で構成される一例である。
図9に示す凸状部13bは、空洞部7aの内部に入り込む先端部に平坦面を有しており、且つ、平坦面の周縁部にRを設けた一例である。
2 吸気ダクト(空気通路) 7 センサ基板
7a センサ基板の空洞部
8 ダイヤフラム
9 発熱抵抗体
12 センサチップ
13 ケース
13a ケースに形成された凹部
13b ケースに設けられた凸状部
14 接着剤
Claims (1)
- センサ基板(7)の長手方向の一端側に、裏面から表側へ向かってテーパ状に空洞部(7a)を形成することにより、この空洞部(7a)に対応する前記センサ基板(7)の表面にダイヤフラム(8)が設けられ、且つ、このダイヤフラム(8)の表面上に発熱抵抗体(9)を配置したセンサチップ(12)と、
このセンサチップ(12)を保持するために形成された凹部(13a)を有し、この凹部(13a)に配置される前記センサチップ(12)の他端側を接着剤(14)により固定して、前記センサチップ(12)の一端側の裏面および両側面と前記凹部(13a)の底面および両側面との間にそれぞれ隙間を有する状態で前記センサチップ(12)を片持ち支持するケース(13)とを備え、
このケース(13)を空気通路(2)に配置して、前記発熱抵抗体(9)の熱交換を基に空気流量を測定する空気流量測定装置(1)において、
前記ケース(13)は、前記センサ基板(7)に形成された前記空洞部(7a)に対し、前記凹部(13a)の底面から突起して前記空洞部(7a)に入り込む凸状部(13b)が設けられていることを特徴とする空気流量測定装置。
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