JP4705766B2 - 流量センサ - Google Patents
流量センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4705766B2 JP4705766B2 JP2004222829A JP2004222829A JP4705766B2 JP 4705766 B2 JP4705766 B2 JP 4705766B2 JP 2004222829 A JP2004222829 A JP 2004222829A JP 2004222829 A JP2004222829 A JP 2004222829A JP 4705766 B2 JP4705766 B2 JP 4705766B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- temperature sensor
- sensor chip
- flow path
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
ベースと、前記ベース上に被着され一面に凹み部を有したセンサチップであって、前記センサチップの凹み部によって当該センサチップに薄肉部が形成され、前記センサチップの前記凹み部と反対側面にヒータを備えるとともに上流側温度センサと下流側温度センサを備えたセンサチップとを有し、前記センサチップの凹み部と協働して被測定流体の上流側流路をなす第1流路と下流側流路をなす第2流路が前記ベースに形成された流量センサにおいて、前記第2流路のセンサチップ側開口部の上流側端面が前記下流側温度センサの形成領域よりも上流側となるように前記ベースに形成され、
前記ヒータの発熱による熱が熱伝導によって前記センサチップの薄肉部を介して前記各温度センサに伝わり、前記被測定流体の流れに伴う熱伝達による各温度センサにおける熱バランスが崩れに基づいて前記被測定流体の流量を検出するようになったことを特徴としている。
9 流量センサ
10 ベース
11 第1流路
11a センサチップ側開口部
12 第2流路
12a センサチップ側開口部
12b 上流側端面
12c 下流側端面
20 ベース
21 第1流路
21a センサチップ側開口部
25 細長円筒体
25a 突き出し部
31 第1流路
31a 開口部
40 ベース
41 第1流路
41a センサチップ側開口部
42 第2流路
42s 段部
51 第1流路
51a センサチップ側開口部
52 第2流路
52a センサチップ側開口部
90 ベース
91 第1流路
91a センサチップ側開口部
92 第2流路
92a センサチップ側開口部
100 センサチップ
100a (センサチップ)凹み部
100b (センサチップ)凹み部底面
101b 上流側温度センサ裏側部分
102b 下流側温度センサ裏側部分
103b ヒータ裏側部分
110 センサデバイス
111 上流側温度センサ
112 下流側温度センサ
113 ヒータ
Claims (1)
- ベースと、
前記ベース上に被着され一面に凹み部を有したセンサチップであって、前記センサチップの凹み部によって当該センサチップに薄肉部が形成され、前記センサチップの前記凹み部と反対側面にヒータを備えるとともに上流側温度センサと下流側温度センサを備えたセンサチップとを有し、
前記センサチップの凹み部と協働して被測定流体の上流側流路をなす第1流路と下流側流路をなす第2流路が前記ベースに形成された流量センサにおいて、
前記第2流路のセンサチップ側開口部の上流側端面が前記下流側温度センサの形成領域よりも上流側となるように前記ベースに形成され、
前記ヒータの発熱による熱が熱伝導によって前記センサチップの薄肉部を介して前記各温度センサに伝わり、前記被測定流体の流れに伴う熱伝達による各温度センサにおける熱バランスが崩れに基づいて前記被測定流体の流量を検出するようになったことを特徴とする流量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004222829A JP4705766B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004222829A JP4705766B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006038787A JP2006038787A (ja) | 2006-02-09 |
JP4705766B2 true JP4705766B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=35903926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004222829A Expired - Fee Related JP4705766B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 流量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4705766B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5182314B2 (ja) * | 2009-05-01 | 2013-04-17 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP5477446B2 (ja) * | 2009-05-01 | 2014-04-23 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP5638344B2 (ja) * | 2010-10-26 | 2014-12-10 | アズビル株式会社 | フローセンサ |
JP5643693B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2014-12-17 | アズビル株式会社 | フローセンサ |
US11402253B2 (en) * | 2018-06-26 | 2022-08-02 | Minebea Mitsumi Inc. | Fluid sensing apparatus and method for detecting failure of fluid sensor |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001255188A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 流量及び流速測定装置 |
JP2003240618A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Yamatake Corp | フローセンサ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60171420A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱形流量検出器 |
JP3490788B2 (ja) * | 1994-11-26 | 2004-01-26 | 株式会社エステック | 質量流量計 |
JPH0989621A (ja) * | 1995-09-21 | 1997-04-04 | Tokyo Gas Co Ltd | フロー検知器 |
JP3346705B2 (ja) * | 1996-06-12 | 2002-11-18 | 株式会社ユニシアジェックス | 気体流量計測装置 |
-
2004
- 2004-07-30 JP JP2004222829A patent/JP4705766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001255188A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 流量及び流速測定装置 |
JP2003240618A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Yamatake Corp | フローセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006038787A (ja) | 2006-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3333712B2 (ja) | 流量検出素子およびそれを用いた流量センサ | |
KR960015067B1 (ko) | 실리콘 베이스 질량 기류 센서 및 그 조립방법 | |
JPH1123338A (ja) | 感熱式流量検出素子およびそれを用いた流量センサ | |
JP2008020193A (ja) | 熱式流量センサ | |
TW200401881A (en) | Flow sensor | |
JP4705766B2 (ja) | 流量センサ | |
KR100544772B1 (ko) | 감열식 유량 검출 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2010286393A (ja) | 流量検出装置 | |
JP2003329697A (ja) | フローセンサ | |
JP4404297B2 (ja) | フローセンサ | |
JP3193872B2 (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP2002340646A (ja) | マスフローコントローラ用フローセンサおよびフローセンサの製造方法 | |
JP3655593B2 (ja) | フローセンサ | |
JPH102773A (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP3716892B2 (ja) | 流量検出装置 | |
US6250150B1 (en) | Sensor employing heating element with low density at the center and high density at the end thereof | |
JPH08145751A (ja) | 質量流量計 | |
JP2005114494A (ja) | フローセンサの製造方法 | |
JP3969564B2 (ja) | フローセンサ | |
JP3766290B2 (ja) | フローセンサ | |
JP2005274515A (ja) | センサ及びその測定方法 | |
JP3740027B2 (ja) | フローセンサ | |
JP3740026B2 (ja) | フローセンサ | |
JP2002214014A (ja) | 流量測定装置 | |
JPH06273208A (ja) | 流量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100303 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110314 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |