JP3785052B2 - フローセンサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の流量または流速を計測する熱式のフローセンサに関し、特に流量検出素子の取付構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
流体の流量や流速を計測する熱式のフローセンサとしては、従来から種々提案されている(例:特開平4−295724号公報、特公平6−25684号公報、特開平8−146026号公報等)。
【0003】
この種のフローセンサは、抵抗体等の温度検出手段を備えたチップ状の流量検出素子を台座の固着面である上面に固着することによりセンサを構成したものが一般的であり、計測する流体の流れに対して水平になるように設置して使用される。水平な状態に設置して使用するのは、流量検出素子の近傍に渦が発生するのを防止するためである(渦が発生すると測定精度が低下する)。
【0004】
台座の材料としては、熱膨張係数が小さい材料、例えばガラス、セラミックス等が用いられる。また、台座を金属製のケース内に封着用ガラスによって封止するタイプのセンサにおいては、封着用ガラスより融点の高い材料であることが要求されることから、通常金属製の台座が用いられる。また、これによって流量検出素子の水平な状態での設置が確保される。金属製台座の材料としては、熱膨張係数がガラス、セラミックスに近いコバール(Fe54%、Ni29%、Co17%の合金)が通常用いられる。
【0005】
台座の固着面に対する流量検出素子の取付け方としては、通常素子を固着面に接着剤によって固着している。このとき、接着剤が流量検出素子の表面に付着すると素子の不良となる。また、接着の良否とは関係なく外部環境の温度が変化すると、台座と流量検出素子の熱膨張係数の相違により流量検出素子のコーナー部に応力が生じるため、素子自体が破損したり温度検出手段の電気的特性が劣化する。
【0006】
そこで、このような問題を解決するための方法の一つとして、接着剤の付着防止については例えば実開平5−18029号公報に記載された取付構造が、また応力集中の防止については例えば実開平5−18030号公報に記載された取付構造が知られている。すなわち、実開平5−18029号公報に記載された取付構造は、半導体ベアーチップ等の部品の固着エリアに突部を設け、この突部の上面を前記部品の固着面とするとともに、突部の上面の形状を前記部品の固着面と略同一にし、この突部の上面に部品を接着剤によって固着するようしたものである。このような取付構造によれば、突部と部品との間から流れ出た接着剤が突部の側面に沿って流下するため、部品の表面への付着を防止することができる利点がある。
【0007】
一方、前記実開平5−18030号公報に記載された取付構造は、半導体ベアーチップ等の部品との固着面を前記部品のコーナー部を避けた形状にし、部品を固着面に固着するようにしたものである。つまり、固着面を部品より小さく形成して部品のコーナー部を固着面に固着しないようにしたものである。このような取付構造によれば、外部環境の温度が変化したとき熱膨張係数の相違により部品に生じる応力が分散され、コーナー部への応力集中を防止することができる利点がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように従来は、台座の固着面を部品と略同じかこれより若干小さい平坦面に形成し、この固着面に部品を接着剤により密接させて固着していた。しかし、このような取付構造では、固着面と部品との接合面積が大きいため、台座からの熱的影響を受け易く、高精度な測定ができないという問題があった。すなわち、外部環境の温度変化に伴って台座の温度が変化すると、熱伝導により流量検出素子の温度も変化して流体の実際の温度と異なり、その結果として、温度検出手段の抵抗値が流量検出素子自体の温度変化に伴って変化してしまい、流量計測値に誤差が生じるからである。特に、コバールからなる金属製の台座を用い、封着用ガラスで封着したフローセンサの場合は、台座の熱容量、熱伝導率がガラス、セラミックス等に比べて大きいため、流量検出素子が外部環境の温度変化を受け易く、また流体の温度が変化したときに流量検出素子と台座の温度が流体の温度と等しくなるのに時間がかかる。
【0009】
また、流体が台座に当たると流体の流れに乱れが生じて渦が発生するため、測定精度を低下させるという問題もあった。
【0010】
本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、比較的簡単な構造で台座からの熱的影響を緩和または遮断するとともに渦の発生を防止することができ、精度の高い測定を可能にしたフローセンサを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、温度検出手段を有する流量検出素子と、この流量検出素子が設置される台座と、この台座をケース内に封着する封着用ガラスとを備え、前記台座を複数本のピンで構成し、これらのピンを同一高さになるように配置して素子側端部を前記封着用ガラスの上方に突出させ、その上に前記流量検出素子を設置することにより前記封着用ガラスと流量検出素子との間に流体が流れる流路を形成したものである。
本発明においては、複数本の細いピンで流量検出素子が設置される台座を構成しているので、流量検出素子とピンとの接触面積が少なく、外部環境の温度変化によるピンからの流量検出素子への熱的影響を少なくする。また、ピンは流量検出素子を水平に支持する。流体は流路を通り流量検出素子の裏面に接触する。したがって、流量検出素子と流体との接触面積が増大し、流体の温度が変化したとき、流量検出素子の温度を速やかに流体の温度と等しくする。また、流体の乱れが少なく、渦の発生を防止する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明に係るフローセンサの一実施の形態を示す外観斜視図、図2は同フローセンサの断面図、図3は流量検出素子の斜視図、図4は流量検出素子の電気回路図である。
【0014】
図1および図2において、全体を符号1で示すフローセンサは、ケース2内に封着用ガラス3によって封着された複数本のリードピン4およびピン5と、ピン5の上面5aに設置され、接着剤によって固着された流量検出素子6等で構成されている。
【0015】
前記ケース2は、熱膨張係数が小さい金属、例えばコバール等によって両端が開放する筒体に形成され、基端部の外周面に突起9付きのフランジ10が一体に設けられ、このフランジ10が流体11を流す配管12の内壁にシール部材13を介して密接され、かつねじ、接着剤、溶接等によって固定されている。
【0016】
前記封着用ガラス3は、前記ケース2の内部全体にわたって封着され、ケース2の上側開口部を覆っている。
【0017】
前記リードピン4は、ケース2と同様にコバール等の金属によって形成され、前記封着用ガラス3を貫通し、上端が前記流量検出素子6にボンディングワイヤ25によって電気的に接続され、下端部が前記配管12の貫通孔16から外部に突出している。
【0018】
前記ピン5は、前記流量検出素子6が設置される台座として用いられるもので、熱膨張係数がガラス、セラミックスに近いコバール等によって形成され、前記封着用ガラス3を貫通している。また、ピン5は全て同一高さになるように配設されることにより、全てのピン5の上面5aが水平な同一平面を形成し前記流量検出素子6が設置されている。ピン5の数は、流量検出素子6を安定に支持するに十分な本数であれば特に限定されるものではない。本実施の形態においては、4本用いて流量検出素子6の下面の各角部を支持した例を示しているが、例えば5本用いて流量検出素子6の下面の各角部と中央を支持するようにしてもよい。
【0019】
また、ピン5は上端部が封着用ガラス3の上方に所定寸法突出して封着されることから、ピン5の上に流量検出素子6を設置して固定すると、封着用ガラス3の上面と流量検出素子6の裏面との間に隙間が生じ、この隙間が流体11の流路17を形成している。なお、ピン5の外径は0.3mm程度、封着用ガラス3から上方に突出する上端部の突出寸法は約0.5mm程度である。
【0020】
図3において、
前記流量検出素子6は、前記ピン5の上面5aに載置され接着剤によって固着されるシリコン基板26を有している。シリコン基板26は、1辺の長さが1.7mm程度、厚さが0.5mm程度の正方形のチップ状に形成され、中央部分を下面中央部のエッチングによって薄肉化することによりダイアフラム27を形成し、またこのダイアフラム27の上面には傍熱型の温度検出手段30を構成する1つの発熱体(抵抗ヒータ)31と、2つの温度センサ32A,32Bが周知の薄膜成形技術によって形成されている。さらに、シリコン基板26の上面外周部には、複数の電極パッド33と配線用金属薄膜34が薄膜成形技術により前記発熱体31、温度センサ32A,32Bの形成と同時に形成されている。例えば、白金等の材料をシリコン基板26の表面に形成した電気絶縁膜の表面に蒸着し、所定のパターンにエッチングすることにより形成され、発熱体31と温度センサ32A,32Bが電極パッド33に配線用金属薄膜34を介してそれぞれ電気的に接続されている。また、各電極パッド33は、前記リードピン4にボンディングワイヤ25(図1)を介して電気的に接続されている。
【0021】
前記2つの温度センサ32A,32Bは、発熱体31を挟んで流体11の上流側と下流側にそれぞれ配列されている。発熱体31のパターン幅は10〜15μm、温度センサ32A,32Bのパターン幅は5〜10μmである。
【0022】
このような流量検出素子6を備えたフローセンサ1は、配管12内に流量検出素子6の上面が流体11の流れ方向(矢印方向)と平行になるように、かつ上流側温度センサ32Aが下流側温度センサ32Bより上流側となるように取付けられる。測定に際しては、通電によって発熱体31を周囲温度よりもある一定の高い温度に加熱した状態で流体11を図3の矢印方向に流すと、発熱体31の上流側温度センサ32Aと下流側温度センサ32Bの間に温度差が生じるので、図4に示すようなブリッジ回路によってその電圧差または抵抗値差を検出することにより、流体11の流速または流量を計測する。
【0023】
ここで、図4に示す回路は2つの温度センサ32A,32Bを含むブリッジ回路を用いて電圧出力を供給するものである。この場合、2つの温度センサ32A,32Bを用いているので、流体11の流れの方向を検出することができる利点がある。なお、R1 ,R2 は抵抗、OPはオペアンプである。
【0024】
図5に上記構造からなるフローセンサ1の製作手順を示す。
フローセンサ1の製作は、図5(a)に示す焼成用治具60を用いて行なう。焼成用治具60は、ケース2が嵌合し得る多数の穴62を有する第1の治具61と、リードピン4とピン5が貫通する多数のピン用穴64を有する第2の治具63と、同じくリードピン4とピン5が貫通する多数のピン用穴66を有する第3の治具65とで構成されている。
【0025】
先ず、リードピン4とピン5を第2の治具のピン用穴64に挿通する。ピン用孔64のうちリードピン4が挿入される穴とピン5が挿入され穴の深さは、等しく設定されているが、必ずしも等しくなくてもよい。次に、第1の治具61を第2の治具63の上に位置決めして載置し、リードピン4とピン5の上端部を第1の治具61の穴62内に位置させる(図5(b))。
【0026】
次に、封着用ガラス体67の穴に前記リードピン4とピン5の上端部を挿通し、封着用ガラス体67を第1の治具61の穴62にはめ込む(図5(c))。封着用ガラス体67は、粉末のガラスをプレスで成形して仮焼成することにより、所要の大きさの円板状に形成されたものである。
【0027】
次に、第1の治具の穴62にケース2を嵌挿し、封着用ガラス体67に嵌合する(図5(d))。
【0028】
次に、第3の治具65の穴66にリードピン4およびピン5を挿入して第3の治具65を第1の治具61の上に設置する(図5(e))。
【0029】
次いで、重ね合わされた第1、第2、第3の治具61,63,65を焼成炉に入れて封着用ガラス体67を所定の温度(例:約1000°C)で一定時間加熱溶融して固化させることにより、図2に示した封着用ガラス3とし、リードピン4とピン5をケース2内に封着する。しかる後、焼成用治具60を焼成炉から取り出して第1、第2、第3の治具61,63,65を分離すると、リードピン4とピン5が封着用ガラス3によってケース2内に封着された半製品が得られる。
【0030】
次に、ピン5の上面5aに流量検出素子6を載置してボンディング剤により固着する。さらに、リードピン4と流量検出素子6の電極パッド33をボンディングワイヤ25によって電気的に接続し、もってフローセンサ1の製作を終了する。
【0031】
上記した構造からなるフローセンサ1は、細い複数本のピン5によって流量検出素子6が設置される台座を構成したので、熱容量が小さく、また流量検出素子6との接触面積を著しく小さくすることができる。したがって、外部環境の温度が変化してもピン5の温度変化が少なく、流量検出素子6に対する熱的影響を少なくすることができる。また、ピン5は上端部がケース2の上方に突出して流体11中に位置し、流量検出素子6と封着用ガラス3との間に流路17を形成しているので、流体11を流量検出素子6の表面のみならず裏面にも接触させることができ、流体11の温度が変化したとき流量検出素子6の温度を速やかに流体11の温度と等しくすることができる。さらに、流量検出素子6の下方に流路17を設けているので、流体11が層流に近い状態で流れて乱れが少なく、渦の発生を少なくすることができる。その結果として、精度の高い測定を行うことができ、フローセンサ1の測定精度を向上させることができる。
【0032】
なお、上記した実施の形態においては、発熱体31から出た熱による流体11の空間的温度分布に流れによって偏りを生じさせ、これを温度センサ32A,32Bで検出する傍熱型のセンサを示したが、これに限らず流体11により発熱体31の熱が奪われることによる電力の変化や抵抗の変化を検出し、流量または流速を検出する自己発熱型のセンサを用いてもよい。また、温度センサは2つに限らず、1つであってもよい。要するに、流量検出素子6としては、流量または流速を計測し得るものであれば何でもよい。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るフローセンサは、外部の温度変化による流量検出素子に対する熱的影響を軽減することができ、測定精度を向上させることができる。また、流体と流量検出素子との接触面積が増大することから、流体の温度が急激に変化したときでも流量検出素子の温度が流体の温度に追従して変化し、速やかに流体の温度と等しくすることができる。さらに、流体の流れに乱れが生じず、渦の発生を防止することができ、より一層測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るフローセンサの一実施の形態を示す外観斜視図である。
【図2】 同フローセンサの断面図である。
【図3】 流量検出素子の斜視図である。
【図4】 流量検出素子の電気回路図である。
【図5】 (a)〜(e)はフローセンサの製作手順を説明するための図である。
【符号の説明】
1…フローセンサ、2…ケース、3…封着用ガラス、4…リードピン、5…ピン、6…流量検出素子、11…流体、17…流路。
Claims (1)
- 温度検出手段を有する流量検出素子と、この流量検出素子が設置される台座と、この台座をケース内に封着する封着用ガラスとを備え、前記台座を複数本のピンで構成し、これらのピンを同一高さになるように配置して素子側端部を前記封着用ガラスの上方に突出させ、その上に前記流量検出素子を設置することにより前記封着用ガラスと流量検出素子との間に流体が流れる流路を形成したことを特徴とするフローセンサ。
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