KR20020033492A - 감열식 유량센서 - Google Patents
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Abstract
생산성이 높고 유량계측 정밀도 및 감도가 좋은 감열식 유량센서를 얻는다.
지지체(16)의 수납부(18) 저면에, 유량검출소자(14)를 접착제(15)에 의해 고정하기 위한 접착면(24)과, 유량검출소자(14)를 보존하기 위한 설치면(25a) 및 (25b), 유량검출소자(14) 이면의 캐비티(13) 전역을 막도록 융기한 돌출면(26)을 설치한다. 이로써, 흡입유체가 증가하고 대유량이 되었을 때라도 캐비티(13) 주변은 돌출면(26)에 의해 막혀있고, 피계측유체가 유량검출소자(14) 이면과 지지체 (16)의 사이에 흘러들지 않으므로 유량계 정밀도가 향상된다. 또, 돌출면(26)을 유량검출소자(14)의 캐비티(13)의 면적보다도 크게 함으로써, 저류방지의 효과가 얻어지므로 유량검출소자(14)의 조립성이 향상되고, 대량생산에도 적합하다.
Description
본 발명은 예를 들면 내연기관의 흡입공기량을 계측하는 경우에 사용되는 감열식 유량센서에 관해, 상세하게는 발열체 또는 발열체에 의해 가열된 부분으로부터의 열전달현상에 따라 피계측유체의 유속 또는 유량을 계측하는 것이다.
도 16은, 종래의 감열식 유량센서에 사용되는 다이어프램구조를 갖는 유량검출소자를 표시하는 평면도, 도 17은 도 16중 A-A로 표시되는 부분의 단면도이다.
도면에서, 14는 유량검출소자로 두께 약 0.4mm의 실리콘으로 된 평판상기재 (1)의 표면에 두께 1㎛의 질화실리콘으로된 절연성의 지지막(2)이 스패터 또는 CVD방법으로 성막되고, 그 위에 두께 0.2㎛의 백금의 감열저항막으로된 발열체(3)가 중착이나 스패터의 방법으로 착막되어 있다. 발열체(3)에는 사진재판, 웨트 또는 드라이에칭의 방법을 사용해서 전류로인 패턴이 형성되어 있다.
또, 두께 0.2㎛의 백금의 감열저항막으로된 유체온도검출체(4)도 같은 방법으로 형성되어 있다. 또, 발열체(3) 및 유체온도검출체(4)의 위에는 두께 1㎛의 질화실리콘으로된 절연성의 보호막(5)이 스패터 또는 CVD방법으로 성막되어 있다. 발열체(3)는 접속부(9a),(9b), 리드부(7a),(7b)를 거쳐서 외부와의 전기적 접속을 하기 위한 전극(8a),(8b)와 연결되어 있다. 또, 액체온도검출체(4)는 리드부 (7b),(7c)를 거쳐서 전극(8b),(8c)로 연결되어 있다. 전극(8a ~ 8d)의 부분은 와이어본딩의 방법으로 외부와의 전기적 접속을 도모하기 위해 보호막(5)이 제거되어있다. 또, 평판상기재(1)의 지지막(2)이 형성되어 있는 면과는 반대로 형성된 이면보호막(10)에 에칭홀(11)을 형성후, 예를 들면 알카리에칭을 실시하고, 공도부인 캐비티(13)를 형성해서 유량검출용 다이어프램(12)이 구성되어 있다. 또 화살표 (6)는 피계측유체의 흐름방향을 표시하고 있다.
또, 예를 들면 일본국 특개평 10-142020호 공보에 기재된 바와 같이, 평판상의 유량검출소자(14)를 피계측유체중에 대략 평행 또는 소정의 각도로 설치하는 경우에는 캐비티(13)근방에 발생하는 유체의 흐름이나 유량검출소자(14)의 전연부에 생기는 박리 등을 억제함으로, 유량검출소자(14)는 지지체의 수납부에 설치된다. 도 18은 표시한 바와 지지체(16)는 유량검출소자(14)를 수납하는 凹상의 수납부 (18)를 가지고, 베이스부재(20)상에 배치된 터미널(17)을 통해서 검출회로기판과 전기적인 접속이 된다. 또, 도면중 19는 와이어, 21은 커버이다. 이같은 다이어프램구조를 갖는 유량검출소자에 대해서는, 예를 들면 일본국 특개평 4-2967호 공보에도 제시되어 있는 공지이다.
도 19는 상기와 같은 종래의 감열식 유량센서의 구조를 표시하는 정면도, 도 20은 도 19중 B-B로 표시하는 부분의 횡단면도이다. 피계측유체의 주통로(101)내에 검출관로(100)가 설치되고, 이 검출관로(100)내에 지지체(16)에 장착된 유량검출소자(14)가 배치된다. 또, 도면중 102는 검출회로기판(104)을 수납하는 케이스, 103은 커넥터, 105는 실드부재이다.
다음, 종래의 감열식 유량센서의 검출회로를 도 21에 표시한다.
검출회로기판(104)은 일반적인 정온도차제어의 구성이 되어있고, 검출회로는발열체(3)와 유체온도검출체(4)를 포함하는 브리지회로로 되어 있다. 도면 중, R1 ~ R5는 고정저항, OP1, OP2는 연산증폭기, TR1, TR2는 트랜지스터, BATT는 전원이다. 발열체(3)와 유체온도검출체(4)를 제외한 검출회로는 검출회로기판(104) 상에 구성되어 있다. 검출회로는 도면중의 a점과 b점의 전위를 대략 같게 하도록 구동하고, 발열체(3)의 가열전류 IH를 제어한다.
피계측유체의 유속이 빨라지면 발열체(3)에서 피계측유체에의 열전달량이 증가하므로 발열체(3)의 가열전류 IH는 증가한다.
이 가열전류 IH를 저항 R3의 양단에서 전압 Vout로서 검출함으로써, 유속 또는 유량정보가 얻어지고, 도 19에 표시하는 커넥터(103)를 통해서 ECU(electronic control unit)에 전달 할 수가 있다.
상기와 같은 종래의 감열식 유량센서의 구조에서는 유량검출소자(14)를 지지체(16)의 수납부(18)에 장착할 때, 소유량역에서는 피계측유체는 유량검출소자(14)의 표면만을 유통하나, 대유량역에서는 유량검출소자(14)와 지지체(16)의 수납부 (18)의 극간에 피계측유체가 흘러들어(이하, 이를 저류라 한다), 유량검출정밀도의 저하를 초래한다는 문제가 있었다. 도 22 및 도 23은 전류를 설명하는 도면이다. 도면에서 22는 피계측유체의 흐름, 23은 저류의 흐름을 표시하고 있다. 이같은 문제를 해결하기 위해 예를 들어 일본국 특개평 9-26343호 공보에서는 지지체의 수납부내에 유량검출소자의 주연을 따라 홈상의 스로트를 설치해 대유량역에서 생기는저류가 유량검출소자에 직접 닿지 않는 구조로 되어 있다. 그러나 스로트에 유도된 저류가 캐비티와의 극간에 들어가는 경우가 있으므로, 저류를 충분히 방지 할 수가 없었다. 또, 일본국 특개 2000-2573호 공보에서는 지지체의 수납부 측면에 유량검출소자의 상류측 또는 하류측의 측면을 당접시켜서, 저류방지를 도모하는 것이 제시되어 있으나, 유량검출소자를 접착제로 수납부 저면에 고정할때, 접착제의 경화시에 약간이나 유량검출소자가 움직이므로 수납부 측면에 완전히 당접시키기는 어렵고, 또 수납부 측면과 유량검출소자측면의 치수정밀도 및 면조잡도 등을 대단히 엄격하게 관리할 필요가 있고 생산성이 낮다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 된 것으로, 생산성이 높고 유량계측 정밀도 및 감도가 좋은 감열식 유량센서를 얻는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 감열식 유량센서는 평판상기재의 표면에 감열저항막으로된 발열체가 형성되고, 이 발열체의 하부에 평판상기재를 부분적으로 제거해서 공동부가 형성된 다이어프램을 갖는 유량검출소자와, 이 유량검출소자를 장착하는 凹상의 수납부를 가지고, 피계측유체가 유통하는 관로에 설치되는 지지체를 구비한 감열식 유량센서로 지지체의 수납부 저면에 유량검출소자 이면의 공동부를 막도록 융기한 돌출면을 설치한 것이다.
또, 돌출면은 공동부 전역을 막고 있는 것이다.
또, 돌출면은 공동부의 일부를 막고 기타의 부분을 개방하고 있는 것이다.
또, 돌출면은 공동부의 일부인 발열체의 패턴 하부에 상당하는 부분을 막고 있는 것이다.
또, 평판상기재의 표면에 감열저항막으로된 발열체가 형성되고, 이 발열체의 하부에 평판상기재를 부분적으로 제거해서 공동부가 형성된 다이어프램을 갖는 유량검출소자와, 이 유량검출소자를 장착하는 凹상의 수납부를 가지고 피계측유체가 유통하는 관로에 설치되는 지지체를 구비한 감열식 유량센서로 지지체의 수납부 저면에 유량검출소자 이면의 공동부 주연을 덮도록 융기한 돌출면을 두고, 이 돌출면은 공동부의 외주보다도 외측에서 경사면을 갖는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태 1인 감열식 유량센서를 표시하는 요부사시도.
도 2는 본 발명의 실시의 형태 1인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 3은 본 발명의 실시의 형태 1인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시의 형태 1인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 5는 본 발명의 본 발명의 실시의 형태 2인 감열식 유량센서를 표시하는 요부사시도.
도 6은 본 발명의 본 발명의 실시의 형태 2인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 7은 본 발명의 본 발명의 실시의 형태 2인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 8은 본 발명의 본 발명의 실시의 형태 2인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 9는 본 발명의 본 발명의 실시의 형태 2인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 10은 본 발명의 본 발명의 실시의 형태 2인 감열식 유량센서를 표시하는요부평면도.
도 11은 본 발명의 실시의 형태 3인 감열식 유량센서를 표시하는 요부사시도.
도 12는 본 발명의 실시의 형태 3인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 13은 본 발명의 실시의 형태 3인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 14는 본 발명의 실시의 형태 3인 감열식 유량센서를 표시하는 단면도.
도 15는 본 발명의 실시의 형태 3인 감열식 유량센서를 표시하는 요부확대 단면도.
도 16은 종래의 감열식 유량센서의 유량검출소자를 표시하는 평면도.
도 17은 종래의 감열식 유량센서의 유량검출소자를 표시하는 단면도.
도 18은 종래의 감열식 유량센서를 표시하는 요부사시도.
도 19는 종래의 감열식 유량센서를 표시하는 정면도.
도 20은 종래의 감열식 유량센서를 표시하는 횡단면도.
도 21은 종래의 감열식 유량센서의 검출회로도.
도 22는 종래의 감열식 유량센서의 저류를 설명하는 요부사시도.
도 23은 종래의 감열식 유량센서의 저류를 설명하는 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 평판상기재,2 : 지지막,
3 : 발열체,4 : 유체온도검출체,
5 : 보호막,6 : 피계측유체의 흐름,
7 : 7a,7b,7c,7d : 리드부,8 : 8a,8b,8c,8d : 전극,
9 : 9a,9b : 접속부,10 : 이면보호막,
11 : 에칭홀,12 : 유량검출용 다이어프램,
13 : 캐비티(CAVITY)(공동부),14 : 유량검출소자,
15 : 접착제,16 : 지지체,
17 : 터미널,18 : 수납부,
19 : 와이어,20 : 베이스부재,
21 : 커버,22 : 피계측유체의 흐름,
23 : 저류의 흐름,24 : 접착면,
25 : 25a,25b 설치면,26 : 26a,26b : 돌출면,
27 : 저면,28 : 경사면,
100 : 검출관로,101 : 주통로,
102 : 케이스,103 : 커넥터,
104 : 검출회로기판,105 : 실드부재.
실시의 형태 1.
아래에 본 발명의 시시의 형태를 도면을 따라 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 감열식 유량센서의 지지체를 표시하는 요부사시도이다. 또, 도 2는 도 1중 A-A로 표시하는 부분의 단면도, 도 3은 도 1중 B-B로 표시하는 부분의 단면도, 도 4는 도 1중 C-C로 표시하는 부분의 단면도이고, 각각 (a)는 지지체 뿐이고, (b)는 유량검출소자를 장착한 상태를 표시하고 있다.
도면에서 14는 종래와 같은 유량검출소자(도 16참조)이고, 평판상기재(1)의 표면에 감열저항막으로된 발열체(3)가 형성되고, 이 발열체(3)의 하부에 평판상기재(1)를 부분적으로 제거해서 공동부인 캐비티(13)가 형성된 유량검출용 다이어프램(12)을 갖고 있는 것이다. 또, 16은 본 실시의 형태에서의 지지체로 종래의 지지체와 같이 터미널이나 유량검출소자(14)를 장착하는 凹상의 수납부(18)를 소유하고, 베이스부재(20)에 부착되고, 피계측유체가 유통하는 관로에 설치된다. 또, 유량검출소자(14)는 접착제(15)에 의해 지지체(16)에 고정되어 있다.
본 실시의 형태에서는 지지체(16)의 수납부(18) 저면에 유량검출소자(14) 이면의 캐비티(13) 전역을 막도록 융기한 돌출면(26)을 설치한 것이다.
본 실시의 형태에서의 지지체(16)의 수납부(18)의 구조에 대해 도 1 및 도 2를 사용해서 설명한다. 凹상의 수납부(18)의 저면에는 유량검출소자(14)를 접착제 (15)에 의해 고정하기 위한 접착면(24)과, 유량검출소자(14)를 보존하기 위한 설치면(25a) 및 (25b), 또 유량검출소자(14) 이면의 캐비티(13) 전역을 막도록 융기한 돌출면(26)이 설치되어 있다. 접착면(24)상에는 접착제(15)를 도포한 후, 유량검출소자(14)를 장착하기 위해 접착면(24)은 설치면(25a),(25b)보다도 접착제(15)의 두께만큼 낮게 형성되어 있다. 이로써, 유량검출소자(14)는 지지체(16)의 표면과 대략 동면에 설치된다. 또, 돌출면(26)은 유량검출소자(14)의 캐비티(13)의 면적보다도 약간 크게 형성되어 있고, 캐비티(13) 전역을 막고 있다. 접착면(24), 설치면(25a),(25b) 및 돌출면(26)과 접하는 부분이외는 유량검출소자(14) 이면과 저면(27) 사이에는 공간이 설치되어 있고, 유량검출소자(14)가 지지체(16)에 접촉하지 않도록 구성되어 있다.
이상과 같이 구성된 감열식 유량센서에서의 피계측유체의 흐름에 대해 도 3 및 도 4를 사용해서 설명한다. 또, 도면중 22는 피계측유체의 흐름, 23은 유량검출소자(14) 이면과 지지체(16)의 수납부(18)의 극간에 피계측유체가 흘러들어온 저류의 흐름을 표시하고 있다. 본 실시의 형태에서의 감열식 유량센서에서는 흡입유체가 증가해 대유량이 된 경우, 지지체(16)의 저면(27)과 유량검출소자(14) 이면의 공간에서는 저류가 발생하나(도 3(b)), 캐비티(13)주변은 돌출면(26)에 의해 막혀있고, 저류는 발생하지 않는다(도 4(b)). 이로 인해, 유량계측 정밀도를 향상 할 수가 있다. 또, 본 실시의 형태에 의하면, 종래 예(일본국 특개 2000-2593호 공보)와 같이, 수납부(18)의 측면과 유량검출소자(14)의 측면의 위치관계를 엄밀하게 관리하지 않고, 돌출면(26)을 유량검출소자(14)의 캐비티(13)의 면적보다도 크게 형성함으로써, 저류방지의 효과가 얻어지므로 유량검출소자(14)의 부착성이 향상되고 대량생산에도 적합하다.
실시의 형태 2.
도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에서의 감열식 유량센서의 지지체를 표시하는 요부사시도이다. 또, 도 6은 도 5중 D-D로 표시하는 부분의 단면도, 도 7은 도 5중 E-E로 표시하는 부분의 단면도, 도 8은 도 5중 F-F로 표시하는 부분의 단면도, 도 9는 도 5중 G-G로 표시하는 부분의 단면도이고, 각각 (a)는 지지체 뿐, (b)는 유량검출소자를 장착한 상태를 표시하고 있다. 도면에서 (26a)는 지지체(16)의 수납부(18) 저면에 설치된 돌출면이고, 유량검출소자(14) 이면의 캐비티(13)의 일부를 막고 기타의 부분을 개방하고 있다. 또, 3은 감열저항막으로 된 발열체, 12는 유량검출용 다이어프램을 표시하고 있다. 또, 도면중 동일 상당부분에는 동일 부호를 부쳐 설명을 생략한다.
본 실시의 형태에서는 특히, 캐비티(13)의 일부인 발열체(3)의 패턴 하부에상당하는 부분을 막도록 지지체(16)의 수납부(18) 저면에 돌출면(26a)을 둔 것이다. 이로써, 상기 실시의 형태 1보다도 유량검출소자(14)와 지지체(16)의 접촉부가 적은 구조로 되어 있다.
유량센서의 감도는 발열체 3에서 생기는 전체줄 열 중에서, 피계측유체에 의해 빼앗기는 열랴이 많을 수록 좋아진다. 다시 말하면, 유량검출소자(14)로부터 지지체(16)에 전도하는 열량이 적을수록 감도가 좋아진다. 상기 실시의 형태 1에서는 유량검출소자(14)의 캐비티(13) 전역을 막도록 돌출면(26)을 형성함으로써, 저류를 확실하게 방지 할 수 있으나, 그 반면, 유량검출소자(14)로부터 지지체(16)에의 열전도에 의한 열손실분이 크므로, 유량센서로서의 감도가 저하하는 경향이다. 이때문에 본 실시의 형태에서는 유량검출소자(14)의 발열체(3) 하부에 상당하는 캐비티(13)의 일부를 막도록 돌출면(26a)을 형성함으로써, 유량검출소자(14)에서 지지체(16)에의 열전도량을 억제하고, 유량센서로서의 감도저하를 억제하였다.
또, 도 7 ~ 도 9에 표시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 지지체(16)의 구조에 의하면 유량검출소자(14) 이면의 통로에 통기저항차가 생긴다. 유체는 통기저항이 작은 부분에 의해 많이 흐르므로 캐비티(13)의 특히 발열체(3) 하부에 상당하는 부분이외의 통로에 유체가 흘러든다. 즉, 흡입유체의 증가와 함께 저류가 발생한 경우(도 7(b)), 캐비티(13)부분은 저류의 입구통로가 좁으므로 저류(23)의 침입을 억제 할 수 있고(도 8(b)), 또 캐비티(13)의 발열체(3) 하부에 상당하는 부분에는 저류통로가 없으므로 저류의 침입은 거의 없다(도 9(b)). 그래서, 유량검출소자(14)의 발열체(3) 근방에서는 저류의 영향을 받기 힘들고, 유량계측 정밀도가 저하하는 일은 없다.
또, 상기 실시의 형태 1에서는 돌출면(26)에 의해 캐비티(13) 전역을 막는 구조때문에, 분위기온도의 극도의 고저에 의해 캐비티(13)내에 밀폐된 유체가 팽창, 수축하고 유량검출소자용 다이어프램(12)을 변형시키는 것이 걱정되나, 본 실시의 형태에서는 도 10에 표시하는 바와 같이, 돌출면(26a)이 캐비티(13)를 부분적으로 개방한 구조로 되어 있으므로 유량검출용 다이어프램(12)을 변형시키는 일이 없고, 안정해서 유량검출이 실시된다.
실시의 형태 3.
도 11은 본 발명의 실시의 형태 3에서의 감열식 유량센서의 지지체를 표시하는 요부사시도이다. 또, 도 12는 도 11중 H-H로 표시된 부분의 단면도, 도 13은 도 11중 J-J로 표시된 부분의 단면도, 도 14는 도 11중 K-K로 표시하는 부분의 단면도이고, 각각 (a)는 지지체 뿐, (b)는 유량검출소자를 장착한 상태를 표시하고 있다. 또, 도 15는 유량검출소자(14)의 캐비티(13) 주변을 표시하는 요부확대 단면도이다. 도면에서 (26b)는 지지체(16)의 수납부(18) 저면에 설치된 돌출면이고, 유량검출소자(14) 이면의 캐비티(13) 주연을 덮도록 융기해 있고, 캐비티(13)의 외주보다도 외측에서 경사면(28)을 갖는 것이다.
또, 도면중 동일 상당부분에는 동일 부호를 부치고, 설명은 생략한다.
상기 실시의 형태 2에서 설명한대로, 유량센서로서의 감도를 향상시키기 위해서는 유량검출소자(14)에서 지지체(16)에의 열전도량을 억제할 필요가 있고, 유량검출소자(14)와 지지체(16)는 접촉부가 적은 것이 바람직하다. 그러나, 종래의 유량센서에서는 캐비티(13) 주변의 저류의 흐름은 유량검출용 다이어프램(12)측으로 흘러들어(도 2참조), 때로는 캐비티(13)내에서 선회와(渦)가 생겨, 이 결과 유량계측 정밀도의 저하를 초래하였었다. 본 실시의 형태에서는 캐비티(13) 주연을 덮는 돌출면(26b)을 설치면(25a),(25b)보다 약간 낮게 형성하고, 또 캐비티(13)의 외주보다도 외측에서 경사면(28)을 갖는 구조로 하고 있다. 이러한 구조에서는 저면(27) 또는 돌출면(26b)과 유량검출소자(14)의 이면에 극간이 있으므로 저류가 발생하나(도 13(b)), 돌출면(26b)에 경사면(28)을 설치한 것으로 인해, 저류의 벡터가 수납부(18)의 저면(27)측으로 향한다(도 15(b), 도 15). 이때문에, 유검출용 다이어프램(12)의 주위에서는 저류의 영향을 현저하게 억제 할 수가 있고, 유량센서로서의 감도가 향상되는 동시에 유량계측 정밀도도 확보할 수가 있다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면 지지체의 수납부 저면에 유량검출소자 이면의 공동부를 막도록 융기한 돌출면을 설치하였으므로 피계측유체가 공동부내에 유입하는 것을 방지 할 수가 있고, 유량계측 정밀도가 향상된다.
또, 돌출면을 공동부의 일부를 막고 기타부분을 개방하도록 설치함으로써, 피계측유체가 공동부내에 유입하는 것을 억제하는 동시에 공동부내에 밀폐된 피계측유체가 팽창ㆍ수축하고, 다이어프램을 변형시키는 것을 방지 할 수가 있으므로 유량계측 정밀도가 향상된다.
또, 돌출면을 공동부의 일부인 발열체의 패턴 하부에 상당하는 부분을 막도록 설치함으로써, 유량검출소자로부터 지지체에의 열전도량을 억제하고, 또 피계측유체가 공동부내로 유입하는 것을 억제할 수 있으므로 유량센서로서의 감도향상과 유량계측 정밀도의 향상이 도모된다.
또, 지지체의 수납부 저면에 유량검출소자 이면의 공동부 주연을 덮도록 융기한 돌출면을 설치하고, 이 돌출면은 공동부의 외주보다도 외측에서 경사면을 갖도록 하였으므로 유량검출소자로부터 지지체의 열전도량을 억제하고, 또 피계측유체가 공동부내에 유입하는 것을 억제할 수 있으므로, 유량센서로서의 감도향상과 유량계측 정밀도의 향상이 도모된다.
Claims (3)
- 평판상기재의 표면에 감열저항막으로된 발열체가 형성되고, 이 발열체의 하부에 상기 평판상기재를 부분적으로 제거해서 공동부가 형성된 다이어프램을 갖는 유량검출소자와, 이 유량검출소자를 장착하는 凹상의 수납부를 가지고, 피계측유체가 유통하는 관로에 설치되는 지지체를 구비한 감열식 유량센서로, 상기 지지체의 상기 수납부 저면에 상기 유량검출소자 이면의 상기 공동부를 막도록 융기한 돌출면을 설치한 것을 특징으로 하는 감열식 유량센서.
- 제 1항에 있어서, 돌출면은 공동부 전역을 막고 있는 것을 특징으로 하는 감열식 유량센서.
- 평판상기재의 표면에 감열저항막으로된 발열체가 형성되고, 이 발열체 하부에 상기 평판상기재를 부분적으로 제거해서 공동부가 형성된 다이어프램을 갖는 유량검출소자와, 이 유량검출소자를 장착하는 凹상의 수납부를 가지고 피계측유체가 유통하는 관로에 설치되는 지지체를 구비한 감열식 유량센서로서, 상기 지지체의 상기 수납부 저면에 상기 유량검출소자 이면의 상기 공동부 주연을 덮도록 융기한 돌출면을 설치하고, 이 돌출면은 상기 공동부의 외주보다도 외측에서 경사면을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 감열식 유량센서.
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