JPH10281836A - 発熱抵抗式空気流量測定装置 - Google Patents

発熱抵抗式空気流量測定装置

Info

Publication number
JPH10281836A
JPH10281836A JP9093413A JP9341397A JPH10281836A JP H10281836 A JPH10281836 A JP H10281836A JP 9093413 A JP9093413 A JP 9093413A JP 9341397 A JP9341397 A JP 9341397A JP H10281836 A JPH10281836 A JP H10281836A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
passage
flow
sub
heating resistor
flow path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9093413A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinya Igarashi
信弥 五十嵐
Masayuki Ozawa
正之 小澤
Chihiro Kobayashi
千尋 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Automotive Systems Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Car Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Car Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP9093413A priority Critical patent/JPH10281836A/ja
Publication of JPH10281836A publication Critical patent/JPH10281836A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】定常流から脈動流、さらに逆流を伴う脈動流と
なる吸入空気の流量を、常に高精度に計測可能とし、耐
汚損性を向上した発熱抵抗式空気流量測定装置を提供す
る。 【解決手段】曲がり部を有する幅空気通路に逆流を導入
する流路を設け、順流時には曲がり副通路として機能
し、逆流時には逆流を計測して演算回路により補正計算
し、常に高精度な空気流量の計測を可能とした。さら
に、発熱抵抗体への逆流の流れ方向と順流の流れ方向が
交差するように逆流導入流路を設け、順流時に発熱抵抗
体の上流側に堆積したダスト等を、逆流により除去し
て、耐汚損性を向上可能とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は発熱抵抗式空気流量
測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】本発明と同様の通路構造を有する従来技
術として、特開平8−114475 号公報に記載の発熱抵抗式
流量測定装置がある。この従来技術は、二つの発熱抵抗
体の放熱量の差から順流か逆流かを判別し、順流流量及
び逆流流量に応じた信号を出力するものであった。本発
明は、発熱抵抗式空気流量測定装置に演算機能を持た
せ、逆流発生時の誤差を補正して出力するものである。
【0003】また、演算による逆流誤差低減を図った従
来技術としては、例えば特開昭61−213728号等種々の公
知例がある。本発明は、それらの演算を用いて逆流誤差
の低減をするのに適した発熱抵抗式空気流量測定装置の
通路構造に関するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
通路構造に関する従来技術である特開平8−114475 号公
報に記載の発熱抵抗式空気流量測定装置と同様に、定常
流から脈動流、さらに逆流を伴う脈動流のように順方向
と逆方向の流れが混在する場合まで常に空気の流量を適
正に検出することができる発熱抵抗式空気流量測定装置
を提供することにある。
【0005】さらに、ダストやオイル等の検出素子への
付着量を抑え、汚損による検出誤差を低減した信頼性の
高い発熱抵抗式空気流量測定装置を提供する。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、発熱抵抗体の流量検出信号を基に、逆流を伴う脈動
流においても適正な流量信号が得られるように演算回路
により逆流による誤差の補正を行うものであり、下記の
通路構造を形成した。
【0007】(1)内燃機関の吸気通路を構成する主通
路を流れる空気の一部が流出する副通路を、内部に発熱
抵抗体を設けた第一の流路と、第一の流路に流入した順
方向の流れの大部分が流れる第二の流路と、発熱抵抗体
部分に逆方向の流れを導く第三の流路により形成し、順
方向の流れを計測するのに適した流路形状を第一の流路
と第二の流量で形成し、第三の流路は逆流を導入するの
に適した形状とする。
【0008】(2)内部に発熱抵抗体を配した副通路に
曲がり部を設け、順流に対する副通路の入口を主通路の
中心軸に対して垂直な面に開口し、順流に対する副通路
の出口を主通路の中心軸に対して平行な面に開口するよ
うに前記第一の流路と第二の流路を形成する。しかし、
主通路に逆流が生じた場合、前記第一の流路と第二の流
路では発熱抵抗体部分に逆流が生じ難いため、逆流を導
入するための第三の流路を設ける。このとき、順流の流
量計測には第一の流路と第二の流路を最適な形状とし、
第三の流路は順流ができるだけ流れないように第1及び
第二の流路と比べ断面積を小さくする、ノズル状とす
る、あるいは順流の動圧を受けない形状とする。
【0009】(3)上記通路構造において、第三の流路
の断面積を小さくする、流路長を長くとる、ノズル状と
する、あるいは曲がり通路とすることにより、逆流に含
まれるオイルや排気ガス,未燃ガス等が発熱抵抗体部に
流れる量を低減し、発熱抵抗体の汚損を低減する。
【0010】(4)上記通路構造において、第一の流路
を流れる順流の流れ方向と第三の流路から流出する逆流
の流れ方向が発熱抵抗体部で交差するようにして、発熱
抵抗体に堆積したダスト等の堆積物が互いの流れによっ
て脱落するように第三の流路を形成する。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図1ない
し図10により説明する。
【0012】まず、第一の実施例の横断面図を図1に、
その上流側(左側)から見た斜視図を図2に、さらに、
図2のA−A断面図を図3に示す。
【0013】ターミナル13がホルダ19の内部を貫通
するようにターミナル13をホルダ19と一体化し、ベ
ース部材7の穴部を通してベース部材7とホルダ19が
固定される。電子回路8は、発熱抵抗体を加熱制御する
制御回路や各種の補正を行う演算回路等から成り、ベー
ス部材7あるいはホルダ19の上面に固定され、ターミ
ナル13とワイヤ等の導電性部材22を介して電気的に
接続される。また、回路ハウジング9もベース部材7の
上面に固定され、回路ハウジング9の上面はカバー10
を固定することによって覆われる。
【0014】一方、ターミナル13の電子回路8の反対
端部には、発熱抵抗体1及び感温抵抗体2が配置され電
気的に接続固定される。
【0015】副通路構成部材4には、入口開口面30
1,流路302,直角曲がり303,流路304,出口
開口面305から構成されるL字形の流路に加えて、順
方向の流れに対して広がり管路となるノズル状の流路3
09が発熱抵抗体方向に突出して設けられており、その
最小内径を発熱抵抗体1の受感部の長さとほぼ同じとし
ている。さらに、副通路3内に取り込む空気を広範囲、
特に主通路5の中心付近から導くことを目的とした周囲
に壁を残して堀り込んだ受皿状入口306,出口部の流
れを安定化するため両側に壁のある傾斜面307とその
傾斜面の先端を出口開口面305より下方に出張らせた
出口庇308、及びホルダ19を挿入する穴401とホ
ルダ19との接合面402が副通路構成部材4に形成さ
れている。また、副通路3の流路302は、発熱抵抗体
1の固定位置を流路302の中心よりもベース部材7に
近付く方向として、流路309も発熱抵抗体1の設置位
置と同軸状にして直角曲がり部303の外側コーナ方向
へずらして順方向の流れが流路309を流入し難くして
いる。そのため、流路302の流れと垂直な断面中で流
速が比較的速く流れの安定した範囲を発熱抵抗体1の固
定部に持ってくるために、半円形と長方形を合わせた断
面形状とし、受皿状入口306の底面と流路302の作
るコーナと直角曲がり部303の内側コーナの間隔に対
して両コーナをつなぐ流路302の内壁と発熱抵抗体1
の間隔が1/2から1(同間隔)となるようにしてい
る。さらに、流路304と平行な肉盗み穴403を設
け、副通路構成部材4を均肉化しプラスチック成形のひ
けによる形状変化を防止するとともに、材料費及び重量
を低減している。
【0016】副通路構成部材4は、ホルダ挿入穴401
にホルダ19を差し込み、接合面402でホルダ19と
接着固定される。ここで、ホルダ19に設けた段差と副
通路構成部材の接合面402により溝部404が形成さ
れる。この溝部404はOリング20の装着溝であり、
Oリング20により主通路壁面の挿入穴14がシールさ
れる。このようにして回路部と副通路及び挿入穴シール
用のOリングが一体化したモジュールが構成される。
【0017】これを流量計ボディ6に固定することによ
り、発熱抵抗式空気流量測定装置が完成される。
【0018】本実施例によれば、内燃機関の吸気通路の
一部となる流量計ボディ6の内部を主通路5として、そ
の主通路5を流れる空気が順流のときには、副通路3の
流路302を流れ、発熱抵抗体1の配置部を流れた空気
の大部分が流路304を流れて出口開口面305から主
通路5の流れと合流する。ここで、流路309は順流に
対して広がり管路となるノズル状の流路としており、そ
のノズルの先端は副通路3の曲がり部303の内側付近
に開口しているため(順流は曲がり部303の外側を主
に流れる)、流路309を流れる順流は非常に微量とな
る。従って、順流時には、副通路3は流路302と流路
304からなる曲がり流路と等価であり、曲がり副通路
の有する脈動流における計測誤差低減,出力ノイズの低
減,耐汚損性向上等の効果を有する。一方、主通路5に
逆流が生じたときには、流路309から逆流が発熱抵抗体
1を配した流路302に導入される。従って、発熱抵抗
体1により逆流に応じた信号が得られるため、これを演
算回路により補正計算することが可能となる。さらに、
図4及び図5に示すように、逆流の発熱抵抗体1への流
れ方向172は、順流の流れ方向171に対して交差す
るように流路309が形成されている。このため、順流
により発熱抵抗体1の上流に堆積したダスト等の汚損物
50は、逆流時に逆流により除去されるため、汚損によ
る計測誤差の低減が図れ、耐汚損性の向上が可能とな
る。
【0019】次に、本発明の実施例の横断面図を図6
に、そのB−B断面図を図7に、図7のC−C断面拡大
図を図8に示す。
【0020】発熱抵抗体1の加熱制御を行う制御回路
や、各種の補正等を行う演算回路等に有する電子回路8
は、回路ハウジング9の底面に固定される。回路ハウジ
ング9は、発熱抵抗体1及び感温抵抗体2を接続固定す
るターミナル13と、外部機器と電気的に接続するため
のコネクタ11を有し、ターミナル13とコネクタター
ミナル12はワイヤ等の導電性部材22により電子回路
8と電気的に接続され、カバー10を回路ハウジング9
に接続することにより、電子回路8は覆い隠される。
【0021】一方、ターミナル13の電子回路の反対側
端部には発熱抵抗体1及び感温抵抗体2が接続固定さ
れ、副通路構成部材4を発熱抵抗体1及び感温抵抗体2
が流路302内に位置するように副通路構成部材4を回
路ハウジング9と一体固定する。
【0022】副通路構成部材4には、副通路3の入口開
口面301,内部に発熱抵抗体1及び感温抵抗体2を配
した流路302,発熱抵抗体1の下流のU字状に曲がる
曲がり部303から再び上流側に戻る形状とした流路3
04,流路304の端部で下側に開口した出口開口面3
05からなるU字形の流路に加えて、流路302の発熱
抵抗体1の側面付近で副通路の内部と外部を導通して発
熱抵抗体1に逆流を導く流路309が形成されている。
【0023】流路309は、流路302の内壁面では発
熱抵抗体1の発熱部断面とほぼ等しい形状の略長方形の
穴状であり、外壁面は下流方向のみテーパ310を形成
して、略直角三角形状の断面を持つ流路としている。従
って、流路309は、順流時には副通路3の流れ方向と
平行な内壁面に設けられ、流れ方向が短辺となる小さな
長方形開口面から広がり管路となるため、流路309を
介して副通路の内部から外部へ流出する空気は微量であ
り、副通路3は流路309が無いのとほぼ等価な曲がり
副通路の機能を有する。一方、逆流時には、主通路5の
逆流がテーパ310に沿って垂直面311より発熱抵抗
体1に向けて副通路内に導入される。このため、発熱抵
抗体1により逆流に応じた信号が得られるため、これを
演算回路により補正計算することが可能である。さら
に、この逆流の発熱抵抗体1に対する流れ方向は順流時
とほぼ垂直に交わるため、順流により発熱抵抗体1の上
流に堆積したダスト等の汚損物50は、逆流時に除去さ
れ、耐汚損性の向上が可能となる。
【0024】図9はエンジンルーム内に配置されるエア
クリーナの一部を流量計ボディの替わりとして図1の実
施例に示した空気流量測定装置を装着した状態を示した
ものである。エアクリーナは新規空気を取込むための導
入ダクト25を有する上流側ケース部材26と吸気ダク
ト30とエアクリーナを接続するためのダクト28を有
する下流側ケース部材27で空気中のダストを除去する
ためのフィルタ部材29をはさみ込んで固定する構造で
ある。当然ではあるが空気の順方向の流れは図示矢印の
様に流れ、ダクト28にはフィルタ29によりダストが
除去されたクリーンな空気が流れる。ここで、ダクト2
8の一部に発熱抵抗式空気流量測定装置の副空気通路部
を挿入するための挿入穴14があいており、これをねじ
等を使ってダクト28とモジュールとを機械的に固定す
る。これにより、主空気通路を構成するボディの代りに
ダクト28の様なエアクリーナの一部分を使って主空気
通路を構成することが可能となりボディを必要としない
モジュール単体での安価な発熱抵抗式空気流量測定装置
を提供することが可能となる。
【0025】最後に、図10を使い電子燃料噴射方式の
内燃機関に本発明を適用した一実施例を示す。
【0026】エアクリーナ100から吸入された吸入空
気101は、発熱抵抗式空気流量測定装置のボディ10
2,吸気ダクト103,スロットルボディ104及び燃
料が供給されるインジェクタ105を備えたマニホール
ド106を経て、エンジンシリンダ107に吸入され
る。一方エンジンシリンダで発生したガス108は排気
マニホールド109を経て排出される。
【0027】発熱抵抗式空気流量計の回路モジュール1
10から出力される空気流量信号,スロットル角度セン
サ111から出力されるスロットルバルブ開度信号,排
気マニホールド109に設けられた酸素濃度計112か
ら出力される酸素濃度信号及びエンジン回転速度計11
3から出力される回転速度信号を入力するコントロール
ユニット114はこれらの信号を演算して最適な燃料噴
射量とアイドルエアコントロールバルブ開度を求め、そ
の値を基にインジェクタ105及びアイドルエアコント
ロールバルブ115を制御する。
【0028】ここで、前述のように吸入空気がエアクリ
ーナ100からエンジンシリンダ107に向けて流れて
いれば、本発明のような逆方向の流れを検出する機能を
有する発熱抵抗式空気流量測定装置は不要であるが、ス
ロットルバルブ116の開度が大きくなるとエンジンシ
リンダ107に吸入される空気が時間的に一定ではなく
断続的であるため吸入空気は脈動流となり、特にその吸
気の脈動周期、すなわちエンジン回転数と吸気系の有す
る固有振動数の共振により脈動流の振幅は非常に大きく
なり逆方向の流れを伴うほどになる。つまり、特定のエ
ンジン回転数でのみ逆流を生じる流れが発生するため、
あらゆるエンジン運転条件でエンジンシリンダ107に
吸入される空気流量を正確に測定するためには、本発明
のように順方向と逆方向の流量を検出し、定常流から逆
流を伴う脈動流まで正確に測定可能な発熱抵抗式空気流
量測定装置が必要となる。
【0029】図11は、従来の逆方向の流量検出をして
いない発熱抵抗式空気流量測定装置により測定された空
気流量を縦軸にスロットルバルブ下流の圧力を横軸にし
てエンジン回転数をパラメータとして測定した結果を示
したものであり、図12は本発明の図1〜図3に示した
実施例により同じ測定をした結果を示したものである。
【0030】
【発明の効果】エンジンシリンダに吸入される空気流量
は点線のようにほぼ直線となるはずだが、従来品では、
脈動流によるマイナス誤差や逆方向流れによる大きなプ
ラス誤差を生じてしまう。一方、開発品では、マイナス
誤差はほとんど無く、プラス誤差も従来の1/10程度
とすることが可能となる。
【0031】さらに、内燃機関の運転状態が吸気系に逆
流を伴う脈動流を生じるようになった時に、逆流により
発熱抵抗体に堆積していたダスト等が除去されるため、
ダスト等が多く堆積することが無くなり、汚損による計
測誤差が低減でき、耐汚損性の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す発熱抵抗式空気流量測
定装置の横断面図。
【図2】図1を上流側から見た斜視図。
【図3】図2のA−A断面図。
【図4】図1の発熱抵抗体部の説明図。
【図5】図1の発熱抵抗体部の説明図。
【図6】本発明の他の実施例を示す発熱抵抗式空気流量
測定装置の横断面図。
【図7】図6のB−B断面図。
【図8】図7のC−C断面図。
【図9】本発明の一実施例を示す発熱抵抗式空気流量測
定装置一体エアクリーナの横断面図。
【図10】本発明を用いた内燃機関の制御系統図。
【図11】従来の内燃機関の吸入空気流量測定結果の特
性図。
【図12】本発明の内燃機関の吸入空気流量測定結果の
特性図。
【符号の説明】
1…発熱抵抗体、2…感温抵抗体、3…幅通路、4…幅
通路構成部材、5…主通路、6…流量計ボディ、7…ベ
ース部材、8…電子回路、9…回路ハウジング、10…
カバー、11…コネクタ、13…ターミナル、14…挿
入穴、15…取付固定面、17…順方向流れ方向、19
…ホルダ、20…Oリング、21…整流格子、22…導
電性部材、301…入口開口面、302,304,30
9…流路、303…直角曲がり部、305…出口開口
面、306…受皿状入口、307…傾斜面、308…出
口庇、401…ホルダ挿入穴、402…接合面、403
…肉盗み穴、404溝部。
フロントページの続き (72)発明者 小林 千尋 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内燃機関の吸気通路を構成する主通路と、
    内部に発熱抵抗体を配し前記主通路を流れる空気の一部
    が流入する副通路と、前記発熱抵抗体と電気的に接続さ
    れ前記発熱抵抗体の放熱量を基に空気流量に対応した電
    気信号を得る電子回路と、前記電気信号を演算処理して
    補正等を行う演算回路とを有する発熱抵抗式空気流量測
    定装置において、前記副通路は前記発熱抵抗体が内部に
    設けられた第一の流路と、順方向から前記第一の流路に
    流入した空気の大部分が流通する第二の流路と、前記発
    熱抵抗体に逆方向からの空気を導く第三の流路とを有
    し、前記吸気通路に逆流が生じた時の計測誤差を前記演
    算回路で補正することを特徴とする発熱抵抗式空気流量
    測定装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記副通路の前記第一
    の流路は前記主通路の主流方向に対してほぼ平行であ
    り、前記発熱抵抗体の下流での曲がり部から主流方向に
    対してほぼ平行な面に開口した順流出口につながる前記
    第二の流路とによりL字形あるいはU字形のような曲が
    りのある通路を形成し、前記発熱抵抗体付近の前記副通
    路の内側と前記副通路の外側に連通し、前記主通路に逆
    流が生じた時に前記発熱抵抗体配置部に逆流を導く前記
    第二の流路より断面積の小さな前記第三の流路とからな
    る副通路を形成している発熱抵抗式空気流量測定装置。
  3. 【請求項3】請求項2において、前記主通路に逆流が生
    じた時に前記副通路の前記第三の流路を通って前記副通
    路内の前記発熱抵抗体に向けて流出する逆流の流れ方向
    と、前記主通路に順流が流れているときの前記副通路の
    前記第一の流路内の前記発熱抵抗体に向って流れる順流
    の流れ方向が交差するように前記第三の流路を形成した
    発熱抵抗式空気流量測定装置。
  4. 【請求項4】請求項3において、前記副通路の第一の流
    路を流れる順流の流れ方向と、前記第三の流路から前記
    発熱抵抗体に向けて流出する逆流の流れ方向が、ほぼ直
    角に交差するように前記第三の流路を形成した発熱抵抗
    式空気流量測定装置。
  5. 【請求項5】請求項1,2,3または請求項4におい
    て、前記副通路を構成する部材は、前記電子回路及び前
    記演算回路を内装している回路モジュールと一体化され
    ている発熱抵抗式空気流量測定装置。
  6. 【請求項6】請求項5において、前記吸気通路の一部の
    外壁に前記副通路を流体通路内に挿入するための穴を設
    け、前記回路モジュールを固定して使用する発熱抵抗式
    空気流量測定装置。
  7. 【請求項7】請求項1,2,3,4,5または6に記載
    の発熱抵抗式空気流量測定装置を用いて内燃機関の制御
    を行う内燃機関の制御システム。
JP9093413A 1997-04-11 1997-04-11 発熱抵抗式空気流量測定装置 Pending JPH10281836A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9093413A JPH10281836A (ja) 1997-04-11 1997-04-11 発熱抵抗式空気流量測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9093413A JPH10281836A (ja) 1997-04-11 1997-04-11 発熱抵抗式空気流量測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10281836A true JPH10281836A (ja) 1998-10-23

Family

ID=14081622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9093413A Pending JPH10281836A (ja) 1997-04-11 1997-04-11 発熱抵抗式空気流量測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10281836A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004063676A1 (en) * 2003-01-16 2004-07-29 Sang-Taek Oh Portable airflow meter
JP2014001928A (ja) * 2012-06-15 2014-01-09 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量計
CN108139253A (zh) * 2015-10-23 2018-06-08 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 热式流量计及其制造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004063676A1 (en) * 2003-01-16 2004-07-29 Sang-Taek Oh Portable airflow meter
JP2014001928A (ja) * 2012-06-15 2014-01-09 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量計
CN108139253A (zh) * 2015-10-23 2018-06-08 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 热式流量计及其制造方法
US11015964B2 (en) 2015-10-23 2021-05-25 Endress+Hauser Flowtec Ag Thermal flow measuring device and method for its manufacture

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3193837B2 (ja) 発熱抵抗式流量測定装置
KR100495362B1 (ko) 발열저항체식공기유량측정장치및이를이용하는내연기관의연료제어시스템
JP4416012B2 (ja) 吸入空気流量測定装置
JP7122462B2 (ja) 物理量検出装置
JP3260552B2 (ja) 発熱抵抗式空気流量測定装置
JPH10281836A (ja) 発熱抵抗式空気流量測定装置
JP4755712B2 (ja) 質量流量センサ装置
JP3561219B2 (ja) 発熱抵抗式流量測定装置
WO2002103301A1 (fr) Instrument de mesure de debit d'une resistance thermique
JP3593011B2 (ja) 発熱抵抗式流量測定装置
JP3782650B2 (ja) 空気流量測定装置
JP3593042B2 (ja) 発熱抵抗式流量測定装置
JP3189636B2 (ja) 発熱抵抗式流量測定装置
JP3716193B2 (ja) 発熱抵抗式空気流量測定装置
JP2000310552A (ja) 空気流量計
JP4512616B2 (ja) 空気流量測定モジュール
JP3106449B2 (ja) 流量計
JP4006463B2 (ja) 流量測定モジュール及び内燃機関の制御方法
JP3793765B2 (ja) 発熱抵抗式空気流量測定モジュール
JP2001033288A (ja) 空気流量測定装置
JP2003161652A (ja) 流量測定装置
JP2000314646A (ja) 発熱抵抗式流量測定装置
JP2006119157A (ja) 空気流量測定モジュール
JPH1114420A (ja) 発熱抵抗体式空気流量測定装置