JP2009074944A - フローセンサの取付構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部27が形成されたセンサチップ22と、センサチップ上に設けられ流量検出部を流れる流体の流路が24形成された流路形成部材23からなるフローセンサ12と、フローセンサを収容し内周面とフローセンサの外周部とを離間した状態で収容する収容部14cが形成された金属製の流路ボディ14と、フローセンサを固定保持した状態で当該フローセンサを流路ボディの収容部に収容させるように流路ボディに固定される金属製の取付板13と、フローセンサのセンサチップと取付板との間に介挿されセンサチップに接合されると共に取付板に接合される絶縁部材29を備えた構成としている。
【選択図】図5
Description
基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部が形成されたセンサチップと、前記センサチップ上に設けられ前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路形成部材からなるフローセンサと、
前記フローセンサを収容しかつ内周面と前記フローセンサの外周部とを離間した状態で収容する収容部が形成された金属製の流路ボディと、
前記フローセンサを固定保持した状態で当該フローセンサを前記流路ボディの収容部に収容させるように前記流路ボディに固定される金属製のセンサチップ取付板と、
前記フローセンサのセンサチップと前記取付板との間に介挿され、前記センサチップに接合されると共に前記取付板に接合される絶縁部材とを備えたことを特徴としている。
前記センサチップはシリコン部材で形成され、前記ボディ及び取付板はステンレス部材で形成され、前記絶縁部材は硼珪酸ガラスで形成されていることを特徴としている。
2 シリコン基板
3 流量検出部(センサ部)
4 センサチップ
5 流路形成部材
5a 流路(溝)
6 取付板
7 流路ボディ
7a 収容部
7b 流体導入路
7c 流体導出路
7d 座ぐり
8 Oリング
9 ボルト
10 フローセンサユニット
11 フローセンサユニット
12 フローセンサ
13 取付板
13a 上面
13b 下面
13c 孔
13d ボルト孔
14,14’ 流路ボディ
14a 上面
14b 下面
14c 穴(フローセンサ収容部)
14d 底面
14e 流体導入路
14f 流体導出路
14g 穴
14h ねじ穴
14i ボルト孔
15 上部流路ボディ
15a 上面
15b 下面
15c 孔(フローセンサ収容部)
15h ねじ穴
15i ボルト孔
15j ボルト孔
16 下部流路ボディ
16a 上面
16b 下面
16e 流体導入路
16f 流体導出路
16g 穴
16h ねじ穴
16i ボルト孔
16j ねじ穴
17 Oリング
18,19 ボルト
22 フローセンサチップ
22a 上面
22b 下面
22c 凹部
23 ガラスチップ(流路形成部材)
23a 下面
23b 上面
23c 切欠部
24 流路
24a 流体導入路
24b 流体導出路
25 シリコン基板
26 絶縁膜
27 流量検出部(センサ部)
27a,27b,27c リードパターン
28 絶縁膜
29 絶縁部材
29a 上面
29b 下面
30 絶縁部材
31 接続端子
32 リード線
Claims (2)
- 基板の上面に形成された凹部の少なくとも一部を覆うように被覆された絶縁膜に流量検出部が形成されたセンサチップと、前記センサチップ上に設けられ前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路形成部材からなるフローセンサと、
前記フローセンサを収容しかつ内周面と前記フローセンサの外周部とを離間した状態で収容する収容部が形成された金属製の流路ボディと、
前記フローセンサを固定保持した状態で当該フローセンサを前記流路ボディの収容部に収容させるように前記流路ボディに固定される金属製の取付板と、
前記フローセンサのセンサチップと前記取付板との間に介挿され、前記センサチップに接合されると共に前記取付板に接合される絶縁部材とを備えたことを特徴とするフローセンサの取付構造。 - 前記センサチップはシリコン部材で形成され、前記流路ボディ及び取付板はステンレス部材で形成され、前記絶縁部材は硼珪酸ガラスで形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のフローセンサの取付構造。
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