JP2009085973A - センサ及びフローセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板4に検出部10が形成されたセンサチップ2と、検出部に流体を流す流路11と検出部の信号取り出し配線用の溝3dが形成されたガラスからなるカバー部材3とを備え、カバー部材の溝から信号取り出し配線10aを延出させた状態でカバー部材がセンサチップに重ねて陽極接合され、カバー部材の溝と検出部の信号取り出し配線との隙間が低融点ガラス12により気密に封止されている。
【選択図】図8
Description
上述した課題を解決するために、本発明に係るセンサは、次の構成を有する。
(1)センサの外観は、直方体形状をなす。
(2)センサは、センサチップと、このセンサチップに接着剤を介して接合されたカバー部材とを有する。
(3)センサチップは、検出部と、この検出部から両側へ延びる信号取り出し配線部とを有する。
(4)カバー部材は、その両側壁にそれぞれ設けられた切欠部と、検出部に流体を流すための流路とを有する。
(5)信号取り出し配線部の先端は、それぞれの切欠部に位置している。
1の内壁面が平滑な面とされていることで、ガラスチップ3の外側から流量検出部10の観察が容易となり、例えば100μm程度の微小な塵埃等がガスに混じって流路11内に浸入して流量検出部10に付着した場合でも外部から直接観察することが可能となる。これにより、フローセンサ1の異常を迅速に検知することが可能となる。
Claims (3)
- 次の(1)〜(5)の構成を有するセンサ。
(1)センサの外観は直方体形状をなす。
(2)センサは、センサチップと、このセンサチップに接着剤を介して接合されたカバー部材とを有する。
(3)センサチップは、検出部と、この検出部から両側へ延びる信号取り出し配線部とを有する。
(4)カバー部材は、その両側壁にそれぞれ設けられた切欠部と、検出部に流体を流すための流路とを有する。
(5)信号取り出し配線部の先端は、それぞれの切欠部に位置している。 - 請求項1において、シリコン製のセンサチップと、ガラス製のカバー部材と、低融点ガラス製の接着剤を有するセンサ。
- 請求項1または2において、検出部が発熱素子を有する流量検出部であるフローセンサ。
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