JP2012122747A - 赤外線センサパッケージおよび該赤外線センサパッケージを搭載した電子機器 - Google Patents
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Abstract
本発明は、赤外線検出部を安定的に一定温度に維持することができる省力型の赤外線センサパッケージおよび該赤外線センサパッケージを備えた電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る赤外線センサパッケージ10は、赤外線を透過させる透過部材53が配置された上面部52および平面状の下面部51を備えると共に内部空間が真空封止されたハウジング部材50と、ハウジング部材50の内部空間内に配置されると共に熱を発生する板状のヒーター部材30と、ヒーター部材30の上に固定されると共に透過部材53を透過した赤外線を検出する赤外線検出素子20と、小さな熱伝導率およびヒーター部材30の断面積よりも小さな断面積を有し、下面部51の上に固定された状態でヒーター部材30を支持する熱絶縁部材40と、を備える。
【選択図】 図1
Description
第1の実施形態について説明する。本実施形態に係る赤外線センサパッケージの断面図の一例を図1に示す。図1において、赤外線センサパッケージ10は、赤外線検出素子20、ヒーター部材30、熱絶縁部材40およびハウジング部材50を備える。
第2の実施形態について説明する。本実施形態に係る赤外線センサパッケージの断面図の一例を図2に示す。図2において、赤外線センサパッケージ100は、赤外線検出素子110と、加熱ヒーター120と、熱絶縁部材130と、赤外線検出素子110を協働して囲うベース140およびハウジング150と、ワイヤー線160とを備える。図2に示すように、赤外線検出素子110と加熱ヒーター120とは接着剤181で、加熱ヒーター120と熱絶縁部材130とは接着剤182で、熱絶縁部材130とベース140は接着剤183で、互いに接着固定されている。
第3の実施形態に係る赤外線センサパッケージについて説明する。本実施形態に係る赤外線センサパッケージの断面図の一例を図5に示す。図5に示した本実施形態に係る赤外線センサパッケージ100Bは、図2に示した第2の実施形態の赤外線センサパッケージ100の熱絶縁部材130の代わりに、4つの熱絶縁部材130Bを加熱ヒーター120の四隅に配置する。なお、本実施形態でも、4つの熱絶縁部材130Bとして柱状のガラス部材を適用する。本実施形態に係る熱絶縁部材130Bと赤外線検出素子110と加熱ヒーター120との配置関係の一例を図6に示す。
第3の実施形態の変形例について説明する。本実施形態に係る赤外線センサパッケージ100Dの断面図の一例を図9に、熱絶縁部材130Dと赤外線検出素子110と加熱ヒーター120との配置関係の一例を図10に示す。図9および図10から分かるように、本実施形態に係る赤外線センサパッケージ100Dが、図5および図6に示した第3の実施形態に係る赤外線センサパッケージ100Bと異なる点は、4つの熱絶縁部材130Dを、赤外線検出素子110の配置領域外の加熱ヒーター120の四隅近傍(四隅よりも加熱ヒーター120の内側)に配置したことである。この場合、熱絶縁部材130Dと加熱ヒーター120との接触面積を、熱絶縁部材130の実装精度と関係なく常に一定に保つことができ、製造ばらつきを小さくすることができる。例えば、熱絶縁部材130Dを加熱ヒーター120の外側にはみ出して固定した場合、接触面積が設計値よりも小さくなり、加熱ヒーター120とベース140との間の熱コンダクタンスが変化し、完成した赤外線センサパッケージ100Dの消費電力がばらつく。
第4の実施形態について説明する。本実施形態に係る赤外線センサパッケージ100Eの断面図の一例を図11に示す。図11に示すように、本実施形態ではハウジング150Eの内部に赤外線検出素子110等を配置し、上方の開口部に赤外線透過フィルタ151Eが配置されている。
20 赤外線検出素子
30 ヒーター部材
40 熱絶縁部材
50 ハウジング部材
100、100B、100C、100D、100E 赤外線センサパッケージ
110 赤外線検出素子
111 センサ部
120 加熱ヒーター
130、130B、130C、130D 熱絶縁部材
140 ベース
150、150E ハウジング
151、151E 赤外線透過フィルタ
152E 段部
160、160E ワイヤー線
Claims (10)
- 赤外線を透過させる透過部材が配置された上面部および平面状の下面部を備え、内部空間が真空封止されたハウジング部材と、
前記ハウジング部材の内部空間内に配置され、熱を発生する板状のヒーター部材と、
前記ヒーター部材の上に固定され、前記透過部材を透過した赤外線を検出する赤外線検出素子と、
小さな熱伝導率および前記ヒーター部材の断面積よりも小さな断面積を有し、前記下面部の上に固定された状態で前記ヒーター部材を支持する熱絶縁部材と、
を備える、赤外線センサパッケージ。 - 前記下面部は前記ハウジング部材とは別体に形成される、請求項1記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記赤外線検出素子は導電性接着剤によって前記ヒーター部材の上に接着固定され、前記熱絶縁部材は絶縁性接着剤によって前記下面部および前記ヒーター部材と接着固定される、請求項1または2記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記赤外線検出素子と前記ハウジング部材とを電気的に接続するワイヤー線を更に備え、
前記ハウジング部材の下面部には前記ワイヤー線を接続するための段部が形成されている、請求項1乃至3のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージ。 - 前記ヒーター部材の前記赤外線検出素子が固定される面には薄膜導体が形成されている、請求項1乃至4のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記熱絶縁部材の中心と、前記赤外線検出素子の中心と、前記ヒーター部材の中心とは一致する、請求項1乃至5のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記熱絶縁部材は、前記下面部上の前記赤外線検出素子の配置領域外に固定されると共に、前記ヒーター部材を安定的に支持する、請求項1乃至5のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記熱絶縁部材は、前記下面部上の前記赤外線検出素子の配置領域内に固定された第1の熱絶縁部材と、前記下面部上の前記赤外線検出素子の配置領域外に固定された第2の熱絶縁部材と、を含む、請求項1乃至5のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージ。
- 前記熱絶縁部材はガラス部材である、請求項1乃至8のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージ。
- 請求項1乃至9のいずれか1項記載の赤外線センサパッケージを搭載した電子機器。
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