JP2007212197A - センサの取付構造及びフローセンサの取付構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板8に検出部10が形成されたセンサチップ5に検出部を収容すると共に検出部への流体の導通路12が形成された導通路付チップ6が接合されて形成されたセンサ2と、導通路12に連通する導通路19a,19bが形成され導通路付チップに接合された押付部材19と、センサを搭載しかつ押付部材の導通路に接続される導通路15a,15bが形成され押付部材が取り付けられる導通路ボディ15と、導通路ボディ15と押付部材19との間にかつ導通路の接続部に介在され押付部材により押し付けられて接続部をシールするメタルシール18とを備えた構成としている。
【選択図】図1
Description
2 フローセンサ
5 センサチップ
6 ガラスチップ(流路付チップ、導通路付チップ)
8 シリコン基板(基板)
8a 凹部
9 絶縁膜
10 流量検出部
12 流路(導通路)
12a 流体導入口
12b 流体導出口
13 低融点ガラス
15 流路ボディ(導通路ボディ、本体)
15a,15b 流路
15c,15d 環状溝
15e ねじ穴
16 枠体
16a 収容部
16b 凹部
16c ボルト挿通孔
16d ねじ穴
17 蓋体
17a ボルト挿通孔
18 メタルOリング(メタルシール)
19 押付板(押付部材、中間部材)
19a,19b 流路
19c ボルト挿通孔
21,22 ボルト
Claims (6)
- 基板上に検出部が形成されたセンサチップに前記検出部を収容すると共に前記検出部への流体の導通路が形成された導通路付チップが接合されて形成されたセンサと、
前記導通路付チップの導通路に連通する導通路が形成され前記導通路付チップに接合された押付部材と、
前記センサを搭載しかつ前記押付部材の導通路に接続される導通路が形成され前記押付部材が取り付けられる導通路ボディと、
前記導通路ボディと押付部材との間にかつ前記導通路の接続部に介在され前記押付部材により押し付けられて前記接続部をシールするメタルシールとを備えたことを特徴とするセンサの取付構造。 - 基板上に検出部と該検出部への流体の導通路が形成されたセンサチップに前記検出部を収容する導通路付チップが接合されて形成されたセンサと、
前記センサチップの導通路に連通する導通路が形成され前記センサチップに接合された押付部材と、
前記センサを搭載しかつ前記押付部材の導通路に接続される導通路が形成され前記押付部材が取り付けられる導通路ボディと、
前記導通路ボディと押付部材との間にかつ前記導通路の接続部に介在され前記押付部材により押し付けられて前記接続部をシールするメタルシールとを備えたことを特徴とするセンサの取付構造。 - 基板上に流量検出部が形成されたセンサチップに前記流量検出部を収容すると共に前記流量検出部を流れる流体の流路が形成された流路付チップが接合されて形成されたフローセンサと、
前記流路付チップの流路に連通する流路が形成され前記流路付チップに接合された押付部材と、
前記フローセンサを搭載しかつ前記押付部材の流路に接続される流路が形成され前記押付部材が取り付けられる流路ボディと、
前記流路ボディと押付部材との間にかつ前記流路の接続部に介在され前記押付板により押し付けられて前記接続部をシールするメタルシールとを備えたことを特徴とするフローセンサの取付構造。 - 基板上に流量検出部と該流量検出部への流体の流路が形成されたセンサチップに前記流量検出部を収容する流路付チップが接合されて形成されたフローセンサと、
前記センサチップの流路に連通する流路が形成され前記センサチップに接合された押付部材と、
前記フローセンサを搭載しかつ前記押付部材の流路に接続される流路が形成され前記押付部材が取り付けられる流路ボディと、
前記流路ボディと押付部材との間にかつ前記流路の接続部に介在され前記押付板により押し付けられて前記接続部をシールするメタルシールとを備えたことを特徴とするフローセンサの取付構造。 - 前記押付部材は熱膨張係数が前記導通路付チップの熱膨張係数に近い部材で形成されていることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のセンサの取付構造。
- 前記押付部材は熱膨張係数が前記流路付チップの熱膨張係数に近い部材で形成されていることを特徴とする、請求項3又は請求項4に記載のフローセンサの取付構造。
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