JPS6194906U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6194906U JPS6194906U JP18003284U JP18003284U JPS6194906U JP S6194906 U JPS6194906 U JP S6194906U JP 18003284 U JP18003284 U JP 18003284U JP 18003284 U JP18003284 U JP 18003284U JP S6194906 U JPS6194906 U JP S6194906U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- flow controller
- groove
- valve
- metal seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例の縦断面図、第2図は
その上面図、第3図はその左側面図、第4図はサ
ーマルバルブの高側半分を断面で示した正面図、
第5図は締付け前のメタルシールの断面図、第6
図は締付け後のメタルシールの断面図である。 10…ベース、20…インレツトフイツテイン
グ、31…センサー管、50…バルブ、11,1
2,13,14…環状溝、22,32,33,5
1…メタルシール。
その上面図、第3図はその左側面図、第4図はサ
ーマルバルブの高側半分を断面で示した正面図、
第5図は締付け前のメタルシールの断面図、第6
図は締付け後のメタルシールの断面図である。 10…ベース、20…インレツトフイツテイン
グ、31…センサー管、50…バルブ、11,1
2,13,14…環状溝、22,32,33,5
1…メタルシール。
Claims (1)
- ベースに対するインレツトフイツテイング、セ
ンサー管及びバルブの各取付け部に環状溝を設け
、該溝の中に弾性コイルスプリングとこれを覆う
一層又は二層の金属被覆からなるOリング状のメ
タルシールを圧縮介在せしめたことを特徴とする
マスフローコントローラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18003284U JPS6194906U (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18003284U JPS6194906U (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6194906U true JPS6194906U (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=30737591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18003284U Pending JPS6194906U (ja) | 1984-11-29 | 1984-11-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6194906U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01318924A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Tadahiro Omi | マスフローコントローラ |
JPH01318925A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Tadahiro Omi | マスフローコントローラ |
JP2007212197A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Yamatake Corp | センサの取付構造及びフローセンサの取付構造 |
-
1984
- 1984-11-29 JP JP18003284U patent/JPS6194906U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01318924A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Tadahiro Omi | マスフローコントローラ |
JPH01318925A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Tadahiro Omi | マスフローコントローラ |
JP2007212197A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Yamatake Corp | センサの取付構造及びフローセンサの取付構造 |