JP2003156401A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接液ダイアフラムの破損、あるいは、受圧室
への水素ガス透過の受圧部異常の検知機能を有し、安価
な差圧測定装置を提供する。 【解決手段】 封入液を具備する差圧測定装置におい
て、前記差圧測定装置に設けられ前記封入液を加熱ある
いは冷却しこの封入液の内圧を一時的に変化させる加熱
冷却手段と、この加熱冷却手段の動作時に生じる出力変
化のパターンを差圧測定装置の正常時と比較し差圧測定
装置の接液ダイアフラムの破損や異常，水素の透過を検
知する検知手段とを具備したことを特徴とする差圧測定
装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、接液ダイアフラム
の破損、あるいは、受圧室への水素ガス透過の受圧部異
常の検知機能を有し、安価な差圧測定装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来より一般に使用されている
従来例の要部構成説明図で、図１１は図１０の正面図、
図１２は図１１の要部構成説明図である。図において、
ダイアフラムシールユニット３は、差圧測定装置本体１
に導圧管２を介して設けられている。

【０００３】この場合は、導圧管２としてキャピラリー
チューブが使用されている。ダイアフラムシールユニッ
ト３は、受圧ブロック４と、受圧ブロック４の一面に設
けられ受圧室５を構成する接液ダイアフラム６とにより
構成されている。

【０００４】受圧室５は、導圧管２と連通され、受圧部
封入液７が満たされている。取付けフランジ８は、取り
付けねじ９により、受圧ブロック４に固定されている。
ダイアフラムシールユニット３と取付けフランジ８と
は、例えば、プロセスタンクＡに取り付けられている。

【０００５】以上の構成において、接液ダイアフラム６
により受けた圧力は、封入液７で満たされたキャピラリ
チューブ２により差圧測定装置本体１に伝達される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな装置においては、使用される場所は、通常、プロセ
ス流体の温度が高い、プロセス流体が極めて腐食性が強
い、タンクＡなどのプロセス流体に直接接触する等、厳
しい条件で使用されることが多い。

【０００７】このように厳しい環境で使用するため、ダ
イアフラムシール受圧部の接液ダイアフラム６は腐食や
物がぶつかる等機械的な破損等が頻繁に発生する。ま
た、水素ガスが接液ダイアフラム６を透過して出力が異
常になる等、接液ダイアフラム６の異常が多くを占めて
いる。

【０００８】これらの破損は、使用時には検知すること
が難しく、異常な出力や出力ダウンにより受圧部分を取
り外してみて初めて破損に気づくことが多い。破損によ
り、逆に、封入液７がプロセス流体中に混入したり、出
力異常に気づかず運転し、プロセス流体の品質が変化す
る等の問題も生じる。

【０００９】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、接液ダイアフラムの破損、あるいは、受圧室への
水素ガス透過の受圧部異常の検知機能を有し、安価な差
圧測定装置を提供することにある。

【００１０】要するに、本発明の目的は、 （１）どんな差圧測定装置（差圧計，圧力計，ダイアフ
ラムシール付き，レベル計等）にも適用出来、安価な破
損／異常検知機能を有する差圧測定装置を提供すること
にある。

【００１１】（２）定常運転を妨げることなく、有る一
定期間ごとに破損／異常の確認，あるいは、確認必要時
に信号を出し定常運転をしながら破損／異常信号を得る
差圧測定装置を提供することにある。

【００１２】（３）ダイアフラムの腐食あるいは破損ば
かりでなく、金属ダイアフラムを水素ガスが透過し封入
液内に溜まり出力異常となる水素透過現象も発生確認が
可能な差圧測定装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項１記載の差圧測定装置に
おいては、封入液を具備する差圧測定装置において、前
記差圧測定装置に設けられ前記封入液を加熱あるいは冷
却しこの封入液の内圧を一時的に変化させる加熱冷却手
段と、この加熱冷却手段の動作時に生じる出力変化のパ
ターンを差圧測定装置の正常時と比較し差圧測定装置の
接液ダイアフラムの破損や異常，水素の透過を検知する
検知手段とを具備したことを特徴とする。

【００１４】本発明の請求項２においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、導圧管を介して差圧測定装
置本体に接続され受圧ブロックを有するダイアフラムシ
ールユニットと、前記受圧ブロックに設けられた加熱冷
却室と前記受圧ブロックに設けられこの加熱冷却室に熱
媒体を導入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段と
を具備した事を特徴とする。

【００１５】本発明の請求項３においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、導圧管を介して差圧測定装
置本体に接続されるダイアフラムシールユニットと、こ
のダイアフラムシールユニットを測定対象物に取付ける
取付けフランジと、この取付けフランジと前記ダイアフ
ラムシールユニットとの間に挟持された加熱冷却ブロッ
クと、この加熱冷却ブロックに設けられた加熱冷却室と
前記加熱冷却ブロックに設けられこの加熱冷却室に熱媒
体を導入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段とを
具備した事を特徴とする。

【００１６】本発明の請求項４においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、導圧管を介して差圧測定装
置本体に接続されるダイアフラムシールユニットと、こ
のダイアフラムシールユニットに一面が接して設けられ
たアダプタブロックと、このアダプタブロックの前記ダ
イアフラムシールユニットに接する面に設けられた凹部
と、この凹部の底面に設けられ前記アダプタブロックと
アダプタ室を構成するアダプタダイアフラムと、前記ダ
イアフラムシールユニットに設けられ前記凹部に挿入さ
れる凸部と、この凸部の頂面に設けられ前記アダプタダ
イアフラムと板面状の接続封入液室を構成する接液ダイ
アフラムと、前記接続封入液室に満たされた接続部封入
液と、前記アダプタブロックの前記ダイアフラムシール
ユニットに接する面に対向する面に設けられこの対向す
る面とアダプタ接液室を構成するアダプタ接液ダイアフ
ラムと、前記アダプタブロックに設けられ前記アダプタ
室と前記アダプタ接液室とを連通するアダプタ連通孔
と、前記アダプタ室と前記アダプタ接液室と前記アダプ
タ連通孔とに満たされたアダプタ封入液と、前記ダイア
フラムシールユニットに設けられた加熱冷却室と前記ダ
イアフラムシールユニットに設けられこの加熱冷却室に
熱媒体を導入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段
とを具備した事を特徴とする。

【００１７】本発明の請求項５においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、一方端側が差圧測定装置本
体の一方の本体ダイアフラムを覆い一方の本体ダイアフ
ラムと受圧室を構成するカバーブロックと、このカバー
ブロックの他方端側に設けられた取付けフランジと、こ
の取付けフランジに設けられこの取付けフランジと接液
室を構成する接液ダイアフラムと、前記カバーブロック
と前記取付けフランジとに設けられ前記受圧室と前記接
液室とを導通する導通孔と、この導通孔と前記受圧室と
前記接液室とに満たされた導通孔封入液と、前記取付け
フランジに設けられた加熱冷却室と取付けフランジに設
けられこの加熱冷却室に熱媒体を導入する熱媒体導入管
とを有する加熱冷却手段とを具備した事を特徴とする。

【００１８】本発明の請求項６においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、差圧測定装置本体に設けら
れた加熱冷却室と前記差圧測定装置本体に設けられこの
加熱冷却室に熱媒体を導入する熱媒体導入管とを有する
加熱冷却手段とを具備した事を特徴とする。

【００１９】本発明の請求項７においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、導圧管を介して差圧測定装
置本体に接続されるダイアフラムシールユニットと、前
記差圧測定装置本体に設けられた加熱冷却室と前記差圧
測定装置本体に設けられこの加熱冷却室に熱媒体を導入
する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段とを具備した
ことを特徴とする。

【００２０】本発明の請求項８においては、請求項1記
載の差圧測定装置において、前記熱媒体として、電気ヒ
ータが使用されたことを特徴とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図２は図１の要部詳細説明図、図３は図２の側面図であ
る。図において、図１０と同一記号の構成は同一機能を
表す。以下、図１０と相違部分のみ説明する。

【００２２】２１は、差圧測定装置に設けられ、封入液
７を加熱あるいは冷却しこの封入液７の内圧を一時的に
変化させる加熱冷却手段である。この場合は、加熱冷却
手段２１は、ダイアフラムシールユニット３の受圧ブロ
ック４に設けられた加熱冷却室２２と、受圧ブロック４
に設けられこの加熱冷却室２２に熱媒体を導入する熱媒
体導入管２３とを有する

【００２３】２４は、加熱冷却手段２１の動作時に生じ
る出力変化のパターンを差圧測定装置の正常時と比較
し、差圧測定装置の接液ダイアフラムの破損や異常，水
素の透過を検知する検知手段である。この場合は、差圧
測定装置本体のアンプ部１ａに内蔵されている。

【００２４】新しく設けられた熱媒体導入管２３には、
プロセスの温度に合わせ、例えば、プロセスの温度が低
い場合には、受圧ブロック４を加熱できるスチームなど
の熱媒体を流せる様に配管接続する。逆に、スチーム並
に高温のプロセスには、水などの低温の熱媒体を流せる
様に配管接続をする。

【００２５】以上の様に構成された差圧測定装置を用い
て運転を行う。運転は、通常運転の場合は従来例と同様
な運転となる。破損／異常検知操作においては、高低圧
側の受圧ブロック４の加熱冷却室２２に同時に熱媒体を
流すことにより行う。

【００２６】例えば、常温のプロセスには、スチームな
どの熱媒体を高低圧側同時に流すと、受圧ブロック４は
温度が変化し、この熱が封入液７に伝わり封入液７は膨
張する。この封入液７の膨張は、接液ダイアフラム６が
膨らむことにより吸収されるが、接液ダイアフラム６の
バネ強さにより内圧が発生する。

【００２７】接液ダイアフラム６が正常であれば、高低
圧側に発生した内圧は等しくなり、キャンセルされ、差
圧測定装置の出力は変化しない。仮に、腐食などにより
高圧側の接液ダイアフラム６が破損し穴が開いてしまっ
た場合、同時に流された熱媒体の温度により、封入液７
が膨張するが、高圧側は穴が開いているため内圧は変化
せず、低圧側だけが内圧変化し、出力は大きくマイナス
に変化する。

【００２８】低圧側の接液ダイアフラム６が破損した場
合は、高圧側の内圧のみが上昇するため、出力はプラス
に変化する。熱媒体を流した時のみに起こる信号変化を
破損信号として得るもので、熱媒体を流している間も破
損していなければ通常通り運転が可能である。

【００２９】破損信号は、フランジサイズ５０Ａ〜１０
０Ａに用いられる接液ダイアフラム６のバネ強さと、熱
媒体に暖められる封入液７の量に、温度差が１００℃程
度の熱媒体を流したとすると、接液ダイアフラム６のバ
ネ強さにより異なるが破損信号は定常運転から±１０〜
１０００ｍｍＨ_２Ｏ程度の破損信号が得られる。

【００３０】なお、近似構造にプロセスの硬化を防ぐた
めのスチームトレース構造があるが、常時熱媒体を流す
方法では破損信号なのか、プロセス入力による出力変化
なのか判断できず、破損検知は出来ない。

【００３１】高低圧側の接液ダイアフラム６のバネ定数
が、まったく一致していなくとも、正常時に熱媒体を流
した時の誤差値を認識しておけば、同様の信号が得られ
る。このような信号が得られる破損検知機構で、そのプ
ロセスによる破損発生の危険度等により、一定期間ごと
に自動的に破損検知用熱媒体を流せば、自動運転中に絶
えず異常検知が行えることになる。

【００３２】自動的に熱媒体を流すのではなく、必要に
応じてその動作を行っても同じ効果が得られる。接液ダ
イアフラム６の破損やバネ定数が変化する異常ばかりで
なく、水素ガス透過の場合にも、熱媒体を流すことによ
り、ガスが溜まった方の内圧は、ガスの膨張が起こるた
め、大きな出力変化を発生し、水素ガス透過の検知が可
能である。

【００３３】この結果、 （1）差圧測定装置（差圧計，圧力計，ダイアフラムシ
ール付き差圧計，レベル計等に使用されている。）であ
れば、本発明は適用でき、安価な破損／異常検知機能を
有する差圧測定装置が得られる。

【００３４】（２）定常運転を妨げることなく、有る一
定期間ごとに破損／異常の確認，あるいは、確認必要時
に、定常運転をしながら破損／異常信号を得ることが出
来る差圧測定装置が得られる。

【００３５】（３）接液ダイアフラムの腐食あるいは破
損ばかりでなく、金属ダイアフラムを水素ガスが透過
し、封入液７内に溜まり、出力異常となる水素透過現象
も、発生確認が出来る差圧測定装置が得られる。

【００３６】（４）ダイアフラムシールユニット３を有
する、いわゆるダイアフラムシール型の差圧測定装置に
も好適な差圧測定装置が得られる。

【００３７】図４は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図５は図４の側面図である。本実施例においては、
３１は、取付けフランジ８とダイアフラムシールユニッ
ト３との間に挟持された加熱冷却ブロックである。

【００３８】３２は、加熱冷却ブロック３１に設けられ
た加熱冷却室３３と、加熱冷却ブロック３１に設けられ
加熱冷却室３３に熱媒体を導入する熱媒体導入管３４と
を有する加熱冷却手段である。

【００３９】この結果、既にプロセスで運転されている
差圧測定装置にも追加取付が可能な差圧測定装置が得ら
れる。

【００４０】図６は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、３は、導圧管２を介し
て差圧測定装置本体１に接続されるダイアフラムシール
ユニットである。

【００４１】４１は、ダイアフラムシールユニット３に
一面が接して設けられたアダプタブロックである。４２
は、アダプタブロック４１のダイアフラムシールユニッ
ト３に接する面に設けられた凹部である。

【００４２】４３は、凹部４２の底面に設けられ、アダ
プタブロック４１とアダプタ室４４を構成するアダプタ
ダイアフラムである。４５は、ダイアフラムシールユニ
ット３に設けられ、凹部４２に挿入される凸部である。

【００４３】４６は、凸部４５の頂面に設けられ、アダ
プタダイアフラム４３と板面状の接続封入液室４７を構
成する接液ダイアフラムである。４８は、接続封入液室
４７に満たされた接続部封入液である。

【００４４】４９は、アダプタブロック４１のダイアフ
ラムシールユニット３に接する面に対向する面に設けら
れ、この対向する面とアダプタ接液室５１を構成するア
ダプタ接液ダイアフラムである。

【００４５】５２は、アダプタブロック４１に設けら
れ、アダプタ室４４とアダプタ接液室５１とを連通する
アダプタ連通孔である。５３は、アダプタ室４４とアダ
プタ接液室５１とアダプタ連通孔５２とに満たされたア
ダプタ封入液である。

【００４６】５４は、ダイアフラムシールユニット３に
設けられた加熱冷却室５５と、ダイアフラムシールユニ
ット３に設けられこの加熱冷却室５５に熱媒体を導入す
る熱媒体導入管５６とを有する加熱冷却手段である。５
７は、凸部４５の角部にリング状に設けられ、凸部４５
と凹部５２とをシールするパッキングである。

【００４７】この結果、破損／異常の信号を受けて、受
圧部分のみ交換が出来る差圧測定装置が得られる。な
お、ダイアフラムシールユニットに加熱冷却手段５４が
設けられることなく、加熱冷却手段３２が設けられた加
熱冷却ブロック３１が、ダイアフラムシールユニット３
と取付けフランジ８との間に挟持されるように構成され
ても良いことは勿論である。

【００４８】図７は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例において、６１は、一方端側が差圧
測定装置本体１の一方の本体ダイアフラム６２を覆い、
一方の本体ダイアフラム６２と受圧室６３を構成するカ
バーブロックである。

【００４９】６４は、このカバーブロック６１の他方端
側に設けられた取付けフランジである。６５は、この取
付けフランジ６４に設けられ、この取付けフランジ６４
と接液室６６を構成する接液ダイアフラムである。

【００５０】６７は、カバーブロック６１と取付けフラ
ンジ６４とに設けられ、受圧室６３と接液室６６とを導
通する導通孔である。６８は、導通孔６７と受圧室６３
と接液室６６とに満たされた導通孔封入液である。７１
は、取付けフランジ６４に設けられた加熱冷却室７２
と、取付けフランジ６４に設けられ加熱冷却室７２に熱
媒体を導入する熱媒体導入管７３とを有する加熱冷却手
段である。

【００５１】この結果、高圧側のみ接液ダイアフラム６
５のついたレベル計の場合も同様に、取付けフランジ６
４に加熱冷却室７２を設け、熱媒体を流しても同じよう
な効果が得られる。

【００５２】レベル計の場合は、正常な運転時に熱媒体
を流し、出力変化をあらかじめ得ておき、これを正常運
転として、異なるパターンの出力が現れた時、異常と判
断すれば良い。

【００５３】図８は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例において、８１は、差圧測定装置本
体１に設けられた加熱冷却室８２と、差圧測定装置本体
１に設けられ加熱冷却室８２に熱媒体を導入する熱媒体
導入管８３とを有する加熱冷却手段である。

【００５４】加熱冷却手段８１は、この場合は、差圧測
定装置本体１の本体カプセル８４に設けられている。こ
の結果、加熱冷却手段８１は差圧測定装置本体１の一個
所に設けられれば良いので、安価簡潔な差圧測定装置が
得られる。

【００５５】図９は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例において、３は、導圧管２を介して
差圧測定装置本体１に接続されるダイアフラムシールユ
ニットである。

【００５６】９１は、差圧測定装置本体１に設けられた
加熱冷却室９２と、差圧測定装置本体１に設けられ、加
熱冷却室９２に熱媒体を導入する熱媒体導入管９３とを
有する加熱冷却手段である。加熱冷却手段９１は、この
場合は、差圧測定装置本体１の本体カバーフランジ９４
に設けられている。

【００５７】この結果、ダイアフラムシールユニット３
が使用された場合に、加熱冷却手段は、高低圧離れた所
に設けなくてはならず、工事上の問題や高低圧の熱媒体
の温度が一定になりずらい等の問題が生じる場合があ
る。本実施例では一箇所に熱媒を持ってくれば良いと言
う利点を有する差圧測定装置が得られる。

【００５８】なお、熱媒体として、電気ヒータが使用さ
れれば、電気ヒータは安価簡易に構成出来るので、安価
簡易で、小型化が図れる差圧測定装置が得られる。

【００５９】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。 （1）差圧測定装置（差圧計，圧力計，ダイアフラムシ
ール付き差圧計，レベル計等に使用されている。）であ
れば、本発明は適用でき、安価な破損／異常検知機能を
有する差圧測定装置が得られる。

【００６１】（２）定常運転を妨げることなく、有る一
定期間ごとに破損／異常の確認，あるいは、確認必要時
に、定常運転をしながら破損／異常信号を得ることが出
来る差圧測定装置が得られる。

【００６２】（３）接液ダイアフラムの腐食あるいは破
損ばかりでなく、金属ダイアフラムを水素ガスが透過し
封入液内に溜まり出力異常となる水素透過現象も発生確
認が出来る差圧測定装置が得られる。

【００６３】本発明の請求項２によれば、次のような効
果がある。ダイアフラムシールユニットを有する、いわ
ゆるダイアフラムシール型の差圧測定装置にも好適な差
圧測定装置が得られる。

【００６４】本発明の請求項３によれば、次のような効
果がある。取付けフランジとダイアフラムシールユニッ
トとの間に挟持された加熱冷却ブロックと、加熱冷却ブ
ロックに設けられた加熱冷却室と加熱冷却ブロックに設
けられ加熱冷却室に熱媒体を導入する熱媒体導入管とを
有する加熱冷却手段とが設けられた。この結果、既にプ
ロセスで運転されている差圧測定装置にも追加取付が可
能な差圧測定装置が得られる。

【００６５】本発明の請求項４によれば、次のような効
果がある。差圧測定装置本体に導圧管を介して設けられ
たダイアフラムシールユニットと、このダイアフラムシ
ールユニットに一面が接して設けられた受圧ブロック
と、この受圧ブロックの前記ダイアフラムシールユニッ
トに接する面に設けられた凹部と、この凹部の底面に設
けられたアダプタダイアフラムと、前記ダイアフラムシ
ールユニットに設けられ前記凹部に挿入される凸部と、
この凸部の頂面に設けられ前記アダプタダイアフラムと
板面状の接続封入液室を構成する受圧ダイアフラムと、
前記ダイアフラムシールユニットに設けられた加熱冷却
室と前記ダイアフラムシールユニットに設けられこの加
熱冷却室に熱媒体を導入する熱媒体導入管とを有する加
熱冷却手段とが設けられた。

【００６６】この結果、破損／異常の信号を受けて、受
圧部分のみ交換が出来る差圧測定装置が得られる。な
お、ダイアフラムシールユニットに加熱冷却手段が設け
られることなく、加熱冷却手段が設けられた加熱冷却ブ
ロックが、ダイアフラムシールユニットと取付けフラン
ジとの間に挟持されるように構成されても良いことは勿
論である。

【００６７】本発明の請求項５によれば、次のような効
果がある。一方端側が差圧測定装置本体の一方の本体ダ
イアフラムを覆い一方の本体ダイアフラムと受圧室を構
成するカバーブロックと、このカバーブロックの他方端
側に設けられた取付けフランジと、この取付けフランジ
に設けられこの取付けフランジと接液室を構成する接液
ダイアフラムと、前記カバーブロックと前記取付けフラ
ンジとに設けられ前記受圧室と前記接液室とを導通する
導通孔と、前記取付けフランジに設けられた加熱冷却室
と取付けフランジに設けられこの加熱冷却室に熱媒体を
導入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段とが設け
られた。

【００６８】この結果、高圧側のみ接液ダイアフラムの
ついたレベル計の場合も同様に、取付けフランジに加熱
冷却室を設け、熱媒体を流しても同じような効果が得ら
れる。レベル計の場合は、正常な運転時に熱媒体を流
し、出力変化をあらかじめ得ておき、これを正常運転と
して、異なるパターンの出力が現れた時、異常と判断す
れば良い。

【００６９】本発明の請求項６によれば、次のような効
果がある。差圧測定装置本体に設けられた加熱冷却室と
前記差圧測定装置本体に設けられこの加熱冷却室に熱媒
体を導入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段が設
けられた。

【００７０】この結果、加熱冷却手段は差圧測定装置本
体の一個所に設けられれば良いので、安価簡潔な差圧測
定装置が得られる。

【００７１】本発明の請求項７によれば、次のような効
果がある。導圧管を介して差圧測定装置本体に接続され
るダイアフラムシールユニットと、前記差圧測定装置本
体に設けられた加熱冷却室と前記差圧測定装置本体に設
けられこの加熱冷却室に熱媒体を導入する熱媒体導入管
とを有する加熱冷却手段とが設けられた。

【００７２】この結果、ダイアフラムシールユニットが
使用された場合に、加熱冷却手段は高低圧離れた所に設
けなくてはならず、工事上の問題や高低圧の熱媒体の温
度が一定になりずらい等の問題が生じる場合があるが、
本発明では一箇所に熱媒を持ってくれば良いと言う利点
を有する差圧測定装置が得られる。

【００７３】本発明の請求項８によれば、次のような効
果がある。熱媒体として、電気ヒータが使用されたの
で、電気ヒータは安価簡易に構成出来るので、安価簡易
で、小型化が図れる差圧測定装置が得られる。

【００７４】従って、本発明によれば、接液ダイアフラ
ムの破損、あるいは、受圧室への水素ガス透過の受圧部
異常の検知機能を有し、安価な差圧測定装置を実現する
ことが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１の要部詳細説明図である。

【図３】図２の側面図である。

【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図５】図４の側面図である。

【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図８】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図９】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図１０】従来より一般に使用されている従来例の要部
構成説明図である。

【図１１】図１０の正面図である。

【図１２】図１１の要部構成説明図である。

【符号の説明】

１ 差圧測定装置本体 １ａ アンプ部 ２ 導圧管 ３ ダイアフラムシールユニット ４ 受圧ブロック ５ 受圧室 ６ 接液ダイアフラム ７ 受圧部封入液 ８ 取付けフランジ ９ 取り付けねじ ２１ 加熱冷却手段 ２２ 加熱冷却室 ２３ 熱媒体導入管 ２４ 検知手段 ３１ 加熱冷却ブロック ３２ 加熱冷却手段 ３３ 加熱冷却室 ３４ 熱媒体導入管 ４１ アダプタブロック ４２ 凹部 ４３ アダプタダイアフラム ４４ アダプタ室 ４５ 凸部 ４６ 接液ダイアフラム ４７ 接続封入液室 ４８ 接続部封入液 ４９ アダプタ接液ダイアフラム ５１ アダプタ接液室 ５２ アダプタ連通孔 ５３ アダプタ封入液 ５４ 加熱冷却手段 ５５ 加熱冷却室 ５６ 熱媒体導入管 ５７ パッキング ６１ カバーブロック ６２ 本体ダイアフラム ６３ 受圧室 ６４ 取付けフランジ ６５ 接液ダイアフラム ６６ 接液室 ６７ 導通孔 ６８ 導通孔封入液 ７１ 加熱冷却手段 ７２ 加熱冷却室 ７３ 熱媒体導入管 ８１ 加熱冷却手段 ８２ 加熱冷却室 ８３ 熱媒体導入管 ８４ 本体カプセル ９１ 加熱冷却手段 ９２ 加熱冷却室 ９３ 熱媒体導入管 ９４ 本体カバーフランジ Ａ プロセスタンク

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Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】封入液を具備する差圧測定装置において、 前記差圧測定装置に設けられ前記封入液を加熱あるいは
   冷却しこの封入液の内圧を一時的に変化させる加熱冷却
   手段と、 この加熱冷却手段の動作時に生じる出力変化のパターン
   を差圧測定装置の正常時と比較し差圧測定装置の接液ダ
   イアフラムの破損や異常，水素の透過を検知する検知手
   段とを具備したことを特徴とする差圧測定装置。
2. 【請求項２】導圧管を介して差圧測定装置本体に接続さ
   れ受圧ブロックを有するダイアフラムシールユニット
   と、 前記受圧ブロックに設けられた加熱冷却室と前記受圧ブ
   ロックに設けられこの加熱冷却室に熱媒体を導入する熱
   媒体導入管とを有する加熱冷却手段とを具備した事を特
   徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
3. 【請求項３】導圧管を介して差圧測定装置本体に接続さ
   れるダイアフラムシールユニットと、 このダイアフラムシールユニットを測定対象物に取付け
   る取付けフランジと、この取付けフランジと前記ダイア
   フラムシールユニットとの間に挟持された加熱冷却ブロ
   ックと、 この加熱冷却ブロックに設けられた加熱冷却室と前記加
   熱冷却ブロックに設けられこの加熱冷却室に熱媒体を導
   入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段とを具備し
   た事を特徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
4. 【請求項４】導圧管を介して差圧測定装置本体に接続さ
   れるダイアフラムシールユニットと、 このダイアフラムシールユニットに一面が接して設けら
   れたアダプタブロックと、 このアダプタブロックの前記ダイアフラムシールユニッ
   トに接する面に設けられた凹部と、 この凹部の底面に設けられ前記アダプタブロックとアダ
   プタ室を構成するアダプタダイアフラムと、 前記ダイアフラムシールユニットに設けられ前記凹部に
   挿入される凸部と、 この凸部の頂面に設けられ前記アダプタダイアフラムと
   板面状の接続封入液室を構成する接液ダイアフラムと、 前記接続封入液室に満たされた接続部封入液と、 前記アダプタブロックの前記ダイアフラムシールユニッ
   トに接する面に対向する面に設けられこの対向する面と
   アダプタ接液室を構成するアダプタ接液ダイアフラム
   と、 前記アダプタブロックに設けられ前記アダプタ室と前記
   アダプタ接液室とを連通するアダプタ連通孔と、 前記アダプタ室と前記アダプタ接液室と前記アダプタ連
   通孔とに満たされたアダプタ封入液と、 前記ダイアフラムシールユニットに設けられた加熱冷却
   室と前記ダイアフラムシールユニットに設けられこの加
   熱冷却室に熱媒体を導入する熱媒体導入管とを有する加
   熱冷却手段とを具備した事を特徴とする請求項１記載の
   差圧測定装置。
5. 【請求項５】一方端側が差圧測定装置本体の一方の本体
   ダイアフラムを覆い一方の本体ダイアフラムと受圧室を
   構成するカバーブロックと、 このカバーブロックの他方端側に設けられた取付けフラ
   ンジと、 この取付けフランジに設けられこの取付けフランジと接
   液室を構成する接液ダイアフラムと、 前記カバーブロックと前記取付けフランジとに設けられ
   前記受圧室と前記接液室とを導通する導通孔と、 この導通孔と前記受圧室と前記接液室とに満たされた導
   通孔封入液と、 前記取付けフランジに設けられた加熱冷却室と取付けフ
   ランジに設けられこの加熱冷却室に熱媒体を導入する熱
   媒体導入管とを有する加熱冷却手段とを具備した事を特
   徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
6. 【請求項６】差圧測定装置本体に設けられた加熱冷却室
   と前記差圧測定装置本体に設けられこの加熱冷却室に熱
   媒体を導入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段と
   を具備した事を特徴とする請求項１記載の差圧測定装
   置。
7. 【請求項７】導圧管を介して差圧測定装置本体に接続さ
   れるダイアフラムシールユニットと、 前記差圧測定装置本体に設けられた加熱冷却室と前記差
   圧測定装置本体に設けられこの加熱冷却室に熱媒体を導
   入する熱媒体導入管とを有する加熱冷却手段とを具備し
   たことを特徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
8. 【請求項８】前記熱媒体として、電気ヒータが使用され
   たことを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記
   載の差圧測定装置。