JPH06337231A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定ラインから差圧測定装置を取外す事無
く、封入液の漏洩を迅速簡易に自己診断出来る差圧測定
装置を提供する。 【構成】 少なくとも１個の封入液室を有する差圧測定
装置において、周囲温度変化或いは圧力変化とゼロ点と
の関係の初期温度特性曲線あるいは初期圧力特性曲線を
メモリーするメモリー手段と、自己診断時のゼロ点と校
正時のゼロ点とを結んで構成される直線の診断時傾斜角
度と該メモリー手段にメモリーされた前記初期特性曲線
の傾斜角度とを比較して前記診断時傾斜角度が初期特性
曲線の傾斜角度より所定角度大或いは小になった場合に
前記封入液室の封入液が漏洩していると判断するＣＰＵ
とを具備したことを特徴とする差圧測定装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定ラインから差圧測
定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断出来る
差圧測定装置に関するものである。更に詳述すれば、受
圧部の片側のシールダイアフラム部の封入液漏れによっ
て、特性曲線が製作時より変わることを利用して、受圧
部の封入液漏れを検出する差圧測定装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】図８は従来より一般に使用されている従
来例の構成説明図で、例えば、特開昭５９―５６１３７
号の第１図に示されている。図において、ハウジング１
の両側にフランジ２、フランジ３が嵌合い組み立てられ
溶接等によって固定されており、両フランジ２，３には
測定せんとする圧力Ｐ_Hの高圧流体の導入口５、圧力Ｐ_L
の低圧流体の導入口４が設けられている。ハウジング１
内に圧力測定室６が形成されており、この圧力測定室６
内にセンタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８が
設けられている。シリコンダイアフラム８は、単結晶の
シリコン基板８１に凹部８２を形成して形成される。

【０００３】センタダイアフラム７とシリコンダイアフ
ラム８はそれぞれ別個に圧力測定室６の壁に固定されて
おり、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８
の両者でもって圧力測定室６を２分している。センタダ
イアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バック
プレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。センタダイアフ
ラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。

【０００４】シリコン基板８１の一方の面にボロン等の
不純物を選択拡散して４っのストレンゲ―ジ９１を形成
する。４っのストレインゲ―ジ９１は、シリコンダイア
フラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、
２つが圧縮を受けるようになっており、これらがホイ―
トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧Δ
Ｐの変化として検出される。

【０００５】９２は、ストレインゲ―ジ９１に一端が取
付けられたリ―ドである。９３は、リ―ド９２の他端が
接続されたハ―メチック端子である。支持体９は、ハ―
メチック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側
端面に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラ
ム８が接着固定されている。

【０００６】ハウジング１とフランジ２、およびフラン
ジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形成されてい
る。この圧力導入室１０，１１内にシールダイアフラム
１２，１３を設け、このシールダイアフラム１２，１３
と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａにシールダ
イアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―トが
形成されている。

【０００７】シールダイアフラム１２，１３とバックプ
レ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力測定
室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そし
て、シールダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル
等の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液が連
通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下
面にまで至っている、封入液１０１，１０２はセンタダ
イアフラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分
されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮さ
れている。

【０００８】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、シールダイアフラム１３に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。一方、低圧側から圧力が作用した場合、シールダ
イアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。

【０００９】この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応
じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がスト
レインゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測
定が行なわれる。

【００１０】しかしながら、この様な装置においては、
何らかの原因で、封入液１０１，１０２が漏洩しだした
場合、漏れは、僅かづつ、しかも徐々に漏れるので、出
力がはっきりと異常になり、故障となるまで発見できな
かった。

【００１１】例えば、シールダイアフラム１２，１３が
ハウジング１にくっついて、入力が加わっても、出力が
変わらなくなるとか、あるいは、封入液１０１，１０２
がハウジング１内へ入り込み、絶縁劣化とか、断線とか
で、ストレインゲージ９１が異常となり、出力が異常に
なるとかで、初めて発見される。

【００１２】あるいは、入力テストをして、入力異常か
ら、故障個所を調べて初めて発見される。更に、シール
ダイアフラム１２，１３に、封入液１０１，１０２の漏
れが生じた場合には、差圧測定装置そのものの特性に直
接影響があり、プロセスの自動制御に支障をきたすこと
になる。

【００１３】図９は、この問題点を解決するための本願
出願人による、平成５年３月２３日出願の先願に係わる
発明の名称「差圧測定装置」、出願番号特願平５−０６
３９３０号の要部構成説明図である。図において、図８
と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、図８と相
違部分のみ説明する。

【００１４】２１は、測定値の誤差と周囲温度変化或い
は圧力変化との関係の初期温度特性曲線あるいは初期圧
力特性曲線をメモリーするメモリー手段である。２２
は、自己診断時の特性値曲線の傾斜角度と、メモリー手
段２１にメモリーされた、初期特性曲線の傾斜角度とを
比較して、初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大或い
は小になった場合に、封入液室の封入液が漏洩している
と判断するＣＰＵである。

【００１５】なお、メモリー手段２１とＣＰＵ２２は、
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）

【００１６】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、シールダイアフラム１３に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。一方、低圧側から圧力が作用した場合、シールダ
イアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。

【００１７】従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じ
てシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がストレ
インゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測定
が行なわれる。

【００１８】次に、自己診断時においては、ＣＰＵ２２
により、自己診断時の特性値曲線の傾斜角度と、メモリ
ー手段２１にメモリーされた初期特性曲線の傾斜角度と
を比較して、初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大或
いは小になった場合に、封入液室の封入液１０１，１０
２が漏洩していると判断する。

【００１９】従って、測定ラインから差圧測定装置を取
外す事無く、封入液１０１，１０２の漏洩を自己診断出
来る差圧測定装置が得られる。

【００２０】次に、具体的な自己診断動作に就いて以下
説明する。自己診断には、温度特性曲線或いは圧力特性
曲線を利用する場合がある。

【００２１】１）温度特性曲線を利用する場合。 図１０はゼロ点誤差の温度特性図、図１１は温度特性曲
線を利用する場合の動作説明図を示す。図１０におい
て、Ａは初期温度特性曲線、Ｎは液漏れ状態の温度特性
曲線を示す。 （１）図１０、図１１のフロー１に示す如く、現在使用
している温度ｔ₁で、均圧弁を開き大気圧ｐ₀とする。温
度ｔ₁でのゼロ点ε₁を測定する。

【００２２】（２）図１１のフロー２に示す如く、校正
温度ｔ₀，大気圧ｐ₀におけるゼロ点ε ₀を測定する。 （３）図１１のフロー３に示す如く、（ε₁−ε₀）／
（ｔ₁−ｔ₀）を計算する。 （４）図１１のフロー４に示す如く、メモリー手段２１
にメモリーした初期温度特性曲線から、温度ｔ₁，大気
圧ｐ₀におけるゼロ点ε₁₀を計算し求める。

【００２３】（５）図１１のフロー５に示す如く、メモ
リー手段２１にメモリーした初期温度特性曲線から、校
正温度ｔ₀，大気圧ｐ₀におけるゼロ点ε₀₀を計算し求め
る。 （６）図１１のフロー６に示す如く、（ε₁₀−ε₀₀）／
（ｔ₁−ｔ₀）を計算する。 （７）図１１のフロー７に示す如く、Ｚ＝｛（ε₁−
ε₀）／（ｔ₁−ｔ₀）｝−｛（ε₁₀−ε₀₀）／（ｔ₁−ｔ
₀）｝を計算する。

【００２４】（８）図１１のフロー８に示す如く、｜Ｚ
｜≧Ｚ₀（Ｚ₀は一定のマージンを考慮に入れた誤差）で
あれば、高圧側又は低圧側のどちらかのシールダイアフ
ラム１３，１２部分より、封入液１０２，１０１が漏れ
ていると判定する。

【００２５】（７）図１１のフロー９に示す如く、Ｚの
符号により、Ｚ＜０であれば、高圧側のシールダイアフ
ラム１３部分より、封入液１０２が漏れている。Ｚ＞０
であれば、低圧側のシールダイアフラム１２部分より、
封入液１０１が漏れていると判定する。

【００２６】２）静圧特性曲線を利用する場合。 図１２にゼロ点誤差の静圧特性図、図１３に静圧特性曲
線を利用する場合の動作説明図を示す。図１２におい
て、Ｂは初期温度特性曲線、Ｏは液漏れ状態の温度特性
曲線を示す。 （１）図１２、図１３のフロー１に示す如く、現在使用
している温度ｔ₁，圧力ｐ₁で、均圧弁を開き圧力ｐ₁と
する。温度ｔ₁でのゼロ点ε₁を測定する。

【００２７】（２）図１３のフロー２に示す如く、均圧
弁を開き大気圧ｐ₀とし、温度ｔ₁，大気圧ｐ₀における
ゼロ点ε₀を測定する。 （３）図１３のフロー３に示す如く、（ε₁−ε₀）／
（ｐ₁−ｐ₀）を計算する。 （４）図１３のフロー４に示す如く、メモリー手段２１
にメモリーした初期温度特性曲線から、温度ｔ₁，圧力
ｐ₁におけるゼロ点ε₁₀を計算し求める。

【００２８】（５）図１３のフロー５に示す如く、メモ
リー手段２１にメモリーした初期温度特性曲線から、温
度ｔ₁，大気圧ｐ₀におけるゼロ点ε₀₀を計算し求める。 （６）図１３のフロー６に示す如く、（ε₁₀−ε₀₀）／
（ｐ₁−ｐ₀）を計算する。 （７）図１３のフロー７に示す如く、Ｚ＝｛（ε₁−
ε₀）／（ｐ₁−ｐ₀）｝−｛（ε₁₀−ε₀₀）／（ｐ₁−ｐ
₀）｝を計算する。

【００２９】（８）図１３のフロー８に示す如く、｜Ｚ
｜≧Ｚ₀（Ｚ₀は一定のマージンを考慮に入れた誤差）で
あれば、高圧側又は低圧側のどちらかのシールダイアフ
ラム１３，１２部分より、封入液１０２，１０１が漏れ
ていると判定する。

【００３０】（９）図１３のフロー９に示す如く、Ｚの
符号により、Ｚ＜０であれば、低圧側のシールダイアフ
ラム１２部分より、封入液１０１が漏れている。Ｚ＞０
であれば、高圧側のシールダイアフラム１３部分より、
封入液１０２が漏れていると判定する。

【００３１】次に、封入液１０１，１０２が漏れた場合
の差圧測定装置の具体的動作について説明する。今、低
圧側の封入液１０２がΔＶｃｃ漏れたとすると、シール
ダイアフラム１２の容積変化定数Ｖｃｃ／ｋｇｆ／ｃｍ
²とすると、低圧室側のシリコンオイル内圧はΔＰ変化
する。

【００３２】ΔＰ＝ΔＶ／Ｖｋｇｆ／ｃｍ² 低圧側と高圧側とを均圧にすると、ΔＰ分、零点がシフ
トしているのが検出される。 零点誤差Ｅ₁＝（ΔＰ／Ｐ）・１００％

【００３３】この結果、封入液１０１，１０２の漏洩が
僅かあっても、この差圧測定装置は動作するため、装置
が完全にダウンして初めて、封入液１０１，１０２の漏
洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０１，１０２の漏
洩を容易に早期に検知することができる。また、装置の
ダウンする前にダウンの予知診断ができる。

【００３４】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。

【００３５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、自己診断時において、自己診断時の
特性値曲線の傾斜角度を求めるために少なくとも２個の
測定値を測定しなければならない欠点を有する。

【００３６】本発明は、この問題点を、解決するもので
ある。本発明の目的は、測定ラインから差圧測定装置を
取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断出来る。加える
に、差圧測定装置としての機能は全く影響を受けない、
極めて安全性、信頼性が高い差圧測定装置を提供するに
ある。

【００３７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）少なくとも１個の封入液室を有する差圧測定装置
において、周囲温度変化或いは圧力変化とゼロ点との関
係の初期温度特性曲線あるいは初期圧力特性曲線をメモ
リーするメモリー手段と、自己診断時のゼロ点と校正時
のゼロ点とを結んで構成される直線の診断時傾斜角度と
該メモリー手段にメモリーされた前記初期特性曲線の傾
斜角度とを比較して前記診断時傾斜角度が初期特性曲線
の傾斜角度より所定角度大或いは小になった場合に前記
封入液室の封入液が漏洩していると判断するＣＰＵとを
具備したことを特徴とする差圧測定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムと、ゼロ点と周囲
温度変化或いは圧力変化との関係の初期温度特性曲線あ
るいは初期圧力特性曲線をメモリーするメモリー手段
と、自己診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結んで構
成される直線の診断時傾斜角度と該メモリー手段にメモ
リーされた前記初期特性曲線の傾斜角度とを比較して前
記診断時傾斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所定角
度大或いは小になった場合に前記封入液室の封入液が漏
洩していると判断するＣＰＵとを具備したことを特徴と
する差圧測定装置を構成したものである。

【００３８】

【作用】以上の構成において、通常の測定時において
は、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイアフラ
ムに作用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラ
ムに伝達される。

【００３９】一方、低圧側から圧力が作用した場合、シ
ールダイアフラムに作用する圧力が封入液によってシリ
コンダイアフラムに伝達される。従って、高圧側と低圧
側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪み、こ
の歪み量がストレインゲ―ジに因って電気的に取出さ
れ、差圧の測定が行なわれる。

【００４０】そして、自己診断時においては、ＣＰＵに
より、自己診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結んで
構成される直線の診断時傾斜角度と、メモリー手段にメ
モリーされた初期特性曲線の傾斜角度とを比較して、診
断時傾斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大
或いは小になった場合に、シールダイアフラムより封入
液室の封入液が漏洩していると判断する。以下、実施例
に基づき詳細に説明する。

【００４１】

【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図８と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図８と相違部分のみ説明する。

【００４２】３１は、周囲温度変化或いは圧力変化とゼ
ロ点との関係の初期温度特性曲線あるいは初期圧力特性
曲線をメモリーするメモリー手段である。３２は、自己
診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結んで構成される
直線の診断時傾斜角度と、メモリー手段３１にメモリー
された初期特性曲線の傾斜角度とを比較して、診断時傾
斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大或いは
小になった場合に、封入液室の封入液１０１，１０２が
漏洩していると判断するＣＰＵである。

【００４３】なお、メモリー手段３１とＣＰＵ３２は、
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）

【００４４】

【作用】以上の構成において、通常の測定時において
は、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイアフラ
ム１３に作用する圧力が封入液１０２によってシリコン
ダイアフラム８に伝達される。

【００４５】一方、低圧側から圧力が作用した場合、シ
ールダイアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１に
よってシリコンダイアフラム８に伝達される。従って、
高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラ
ム８が歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ９１に因っ
て電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。

【００４６】次に、自己診断時においては、ＣＰＵ３２
により、自己診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結ん
で構成される直線の診断時傾斜角度と、メモリー手段３
１にメモリーされた初期特性曲線の対応する傾斜角度と
を比較して、診断時傾斜角度が初期特性曲線の傾斜角度
より所定角度大或いは小になった場合に、シールダイア
フラムより封入液室の封入液１０１，１０２が漏洩して
いると判断する。

【００４７】従って、測定ラインから差圧測定装置を取
外す事無く、封入液１０１，１０２の漏洩を自己診断出
来る差圧測定装置が得られる。

【００４８】次に、具体的な自己診断動作に就いて以下
説明する。自己診断には、温度特性曲線或いは圧力特性
曲線を利用する場合がある。

【００４９】１）温度特性曲線を利用する場合。 図２にゼロ点誤差の温度特性図、図３に温度特性曲線を
利用する場合の動作説明図を示す。図３において、Ｃは
初期温度特性曲線、Ｐは液漏れ状態の温度特性曲線を示
す。 （１）図２、図３のフロー１に示す如く、現在使用して
いる温度ｔ₁で、均圧弁を開き大気圧ｐ₀とする。温度ｔ
₁でのゼロ点ε₁を測定する。

【００５０】（２）図３のフロー２に示す如く、メモリ
ー手段２１にメモリーした初期温度特性曲線から、校正
温度ｔ₀，大気圧ｐ₀におけるゼロ点ε₀₀を計算し求め
る。 （３）図３のフロー３に示す如く、（ε₁−ε₀₀）／
（ｔ₁−ｔ₀）を計算する。 （４）図３のフロー４に示す如く、メモリー手段２１に
メモリーした初期温度特性曲線から、温度ｔ₁，大気圧
ｐ₀におけるゼロ点ε₁₀を計算し求める。

【００５１】（５）図３のフロー５に示す如く、メモリ
ー手段２１にメモリーした初期温度特性曲線から、校正
温度ｔ₀，大気圧ｐ₀におけるゼロ点ε₀₀を計算し求め
る。 （６）図３のフロー６に示す如く、（ε₁₀−ε₀₀）／
（ｔ₁−ｔ₀）を計算する。 （７）図３のフロー７に示す如く、Ｚ＝｛（ε₁−
ε₀₀）／（ｔ₁−ｔ₀）｝−｛（ε₁₀−ε₀₀）／（ｔ₁−
ｔ₀）｝を計算する。

【００５２】（８）図３のフロー８に示す如く、｜Ｚ｜
≧Ｚ₀（Ｚ₀は一定のマージンを考慮に入れた誤差）であ
れば、高圧側又は低圧側のどちらかのシールダイアフラ
ム１３，１２部分より、封入液１０２，１０１が漏れて
いると判定する。

【００５３】（９）図３のフロー９に示す如く、Ｚの符
号により、Ｚ＜０であれば、高圧側のシールダイアフラ
ム１３部分より、封入液１０２が漏れている。Ｚ＞０で
あれば、低圧側のシールダイアフラム１２部分より、封
入液１０１が漏れていると判定する。

【００５４】２）静圧特性曲線を利用する場合。 図４にゼロ点誤差の静圧特性図、図５に静圧特性曲線を
利用する場合の動作説明図を示す。図５において、Ｄは
初期温度特性曲線、Ｑは液漏れ状態の温度特性曲線を示
す。 （１）図４、図５のフロー１に示す如く、現在使用して
いる温度ｔ₁，圧力ｐ₁で、均圧弁を開き圧力ｐ₁とす
る。温度ｔ₁でのゼロ点ε₁を測定する。

【００５５】（２）図５のフロー２に示す如く、メモリ
ー手段２１にメモリーした初期温度特性曲線から、温度
ｔ₁，圧力ｐ₀におけるゼロ点ε₀₀を計算し求める。 （３）図５のフロー３に示す如く、（ε₁−ε₀₀）／
（ｐ₁−ｐ₀）を計算する。 （４）図５のフロー４に示す如く、メモリー手段２１に
メモリーした初期温度特性曲線から、温度ｔ₁，圧力ｐ₁
におけるゼロ点ε₁₀を計算し求める。

【００５６】（５）図５のフロー５に示す如く、メモリ
ー手段２１にメモリーした初期温度特性曲線から、温度
ｔ₁，大気圧ｐ₀におけるゼロ点ε₀₀を計算し求める。 （６）図５のフロー６に示す如く、（ε₁₀−ε₀₀）／
（ｐ₁−ｐ₀）を計算する。 （７）図５のフロー７に示す如く、Ｚ＝｛（ε₁−
ε₀₀）／（ｐ₁−ｐ₀）｝−｛（ε₁₀−ε₀₀）／（ｐ₁−
ｐ₀）｝を計算する。

【００５７】（８）図５のフロー８に示す如く、｜Ｚ｜
≧Ｚ₀（Ｚ₀は一定のマージンを考慮に入れた誤差）であ
れば、高圧側又は低圧側のどちらかのシールダイアフラ
ム１３，１２部分より、封入液１０２，１０１が漏れて
いると判定する。

【００５８】（９）図５のフロー９に示す如く、Ｚの符
号により、Ｚ＜０であれば、低圧側のシールダイアフラ
ム１２部分より、封入液１０１が漏れている。Ｚ＞０で
あれば、高圧側のシールダイアフラム１３部分より、封
入液１０２が漏れていると判定する。

【００５９】この結果、封入液１０１，１０２の漏洩が
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作するため、
装置が完全にダウンして初めて、封入液１０１，１０２
の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０１，１０２
の漏洩を容易に早期に検知することができる。また、装
置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。

【００６０】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。

【００６１】更にまた、自己診断時の測定は、２個所で
なく、１個所のみでよいので、一点のみチェックしてい
れば良く、自己診断を極めて迅速簡易に行う事ができ
る。即ち、液漏れ状態の温度特性曲線Ｐ或いは圧力特性
曲線Ｑにおける校正温度ｔ₀或いは校正圧力Ｐ₀でのゼロ
点ε₀は実際は極めて小さいためにこれを無視して迅速
簡易性を採用したものである。

【００６２】

【実施例】図６は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図７は図６の要部構成説明図である。図において、
図８と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、図８
と相違部分のみ説明する。

【００６３】４１は、周囲温度変化或いは圧力変化とゼ
ロ点との関係の初期温度特性曲線あるいは初期圧力特性
曲線をメモリーするメモリー手段である。４２は、自己
診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結んで構成される
直線の診断時傾斜角度と、メモリー手段３１にメモリー
された初期特性曲線の傾斜角度とを比較して、診断時傾
斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大或いは
小になった場合に、封入液室の封入液１０１，１０２が
漏洩していると判断するＣＰＵである。

【００６４】なお、メモリー手段４１とＣＰＵ４２は、
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）

【００６５】５１は、第１シールダイアフラム１３を覆
って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シー
ルダイアフラム室５２を構成する第３シールダイアフラ
ムである。５３は、第２シールダイアフラム１２を覆っ
て設けられ、第２シールダイアフラム１２と第４シール
ダイアフラム室５４を構成する第４シールダイアフラム
である。

【００６６】５５は、第１シールダイアフラム１３と第
３シールダイアフラム５１との間に設けられたボディで
ある。５６は、第２シールダイアフラム１２と第４シー
ルダイアフラム５３との間に設けられたボディである。
１０３は、第３シールダイアフラム室５２に満たされた
封入液である。１０４は、第４シールダイアフラム室４
４に満たされた封入液である。

【００６７】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、シールダイアフラム４１に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。一方、低圧側から圧力が作用した場合、シールダ
イアフラム４３に作用する圧力が封入液１０１によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。

【００６８】従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じ
てシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がストレ
インゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測定
が行なわれる。

【００６９】次に、自己診断時においては、ＣＰＵ４２
により、自己診断時の特性値曲線の傾斜角度と、メモリ
ー手段４１にメモリーされた初期特性曲線の傾斜角度と
を比較して、初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大或
いは小になった場合に、封入液室の封入液１０３，１０
４が漏洩していると判断する。

【００７０】従って、測定ラインから差圧測定装置を取
外す事無く、封入液１０３，１０４の漏洩を自己診断出
来る差圧測定装置が得られる。

【００７１】この結果、封入液１０３，１０４の漏洩が
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作するため、
装置が完全にダウンして初めて、封入液１０３，１０４
の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０３，１０４
の漏洩を容易に早期に検知することができる。また、装
置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。

【００７２】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。

【００７３】加えるに、第１シールダイアフラム１３を
覆って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シ
ールダイアフラム室５２を構成する第３シールダイアフ
ラム５１と、第２ールダイアフラム１２を覆って設けら
れ、第２シールダイアフラム１２と第４シールダイアフ
ラム室５４を構成する第４シールダイアフラム５３とが
設けられ、第３シールダイアフラム室５２と第４シール
ダイアフラム室５４とに、封入液１０３，１０４が満た
されている。

【００７４】従って、腐食性の測定液等により封入液１
０３，１０４が漏れたとしても、封入液１０１，１０２
は漏れることが無いので、差圧測定装置としての機能が
全く損ぜられることがなく、極めて安全性の高い装置が
得られる。

【００７５】なお、均圧状態は、測定流体の流れる配管
から、差圧測定装置の高圧側と低圧側へそれぞれ連通す
る導管の連通を止め、差圧測定装置の高圧側と低圧側を
大気圧Ｐ₀解放にする。

【００７６】あるいは、３岐弁を使用して、差圧測定装
置の高圧側と低圧側の測定流体の配管への連通を止め、
かつ、高圧側と低圧側とを連通するように操作して、高
圧側と低圧側とを測定圧Ｐ₁に均圧にする等、種々の方
法が採用可能であり、測定流体の流れる配管に於ける流
れを止めることなく、差圧測定装置の高圧側と低圧側と
を均圧にする事は容易である。

【００７７】なお、前述の実施例においては、差圧測定
装置に就いて説明したが、これに限ることはなく、圧力
測定装置でも良い。圧力測定装置は差圧測定装置の一方
の圧力を大気圧或いは真空にしたものであり、実質的に
差圧測定装置であるからである。尚この場合は、測定圧
側を大気圧或いは真空にして零点をチェックすることに
なる。

【００７８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、 （１）少なくとも１個の封入液室を有する差圧測定装置
において、周囲温度変化或いは圧力変化とゼロ点との関
係の初期温度特性曲線あるいは初期圧力特性曲線をメモ
リーするメモリー手段と、自己診断時のゼロ点と校正時
のゼロ点とを結んで構成される直線の診断時傾斜角度と
該メモリー手段にメモリーされた前記初期特性曲線の傾
斜角度とを比較して前記診断時傾斜角度が初期特性曲線
の傾斜角度より所定角度大或いは小になった場合に前記
封入液室の封入液が漏洩していると判断するＣＰＵとを
具備したことを特徴とする差圧測定装置。 （２）（２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた
第１，第２シールダイアフラムと、該第１，第２シール
ダイアフラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検
出素子とを具備する差圧測定装置において、前記第１シ
ールダイアフラムを覆って設けられ該第１シールダイア
フラムと第３シールダイアフラム室を構成する第３シー
ルダイアフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って
設けられ該第２シールダイアフラムと第４シールダイア
フラム室を構成する第４シールダイアフラムと、ゼロ点
と周囲温度変化或いは圧力変化との関係の初期温度特性
曲線あるいは初期圧力特性曲線をメモリーするメモリー
手段と、自己診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結ん
で構成される直線の診断時傾斜角度と該メモリー手段に
メモリーされた前記初期特性曲線の傾斜角度とを比較し
て前記診断時傾斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所
定角度大或いは小になった場合に前記封入液室の封入液
が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備したことを特
徴とする差圧測定装置を構成した。

【００７９】この結果、第１請求項の構成によれば、封
入液の漏洩が僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動
作するので、装置が完全にダウンして初めて封入液の漏
洩に気付く様な恐れがなく、封入液の漏洩を容易に早期
に検知することができる。また、装置のダウンする前に
ダウンの予知診断ができる。

【００８０】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は容易
であり、プロセスの流れを乱すことがない差圧測定装置
が得られる。

【００８１】更にまた、自己診断時の測定は、２個所で
なく、１個所のみでよいので、一点のみチェックしてい
れば良く、自己診断を極めて迅速簡易に行う事ができ
る。即ち、液漏れ状態の温度特性曲線Ｐ或いは圧力特性
曲線Ｑにおける校正温度ｔ₀或いは校正圧力Ｐ₀でのゼロ
点ε₀は実際は極めて小さいためにこれを無視して迅速
簡易性を採用したものである。

【００８２】加えるに、第２請求項の構成によれば、腐
食性の測定液等により封入液１０３，１０４が漏れたと
しても、封入液１０１，１０２は漏れることが無いの
で、差圧測定装置としての機能が全く損ぜられることが
なく、極めて安全性、信頼性が高い装置が得られる。

【００８３】従って、本発明によれば、測定ラインから
差圧測定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断
出来る。加えるに、差圧測定装置としての機能は全く影
響を受けない、極めて安全性、信頼性が高い差圧測定装
置を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１のゼロ点誤差の温度特性図である。

【図３】図１の温度特性曲線を利用する場合の動作説明
図である。

【図４】図１のゼロ点誤差の静圧特性図である。

【図５】図１の静圧特性曲線を利用する場合の動作説明
図である。

【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図７】図６の要部構成説明図である。

【図８】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【図９】本願出願人の先願に係わる発明の要部構成説明
図である。

【図１０】図７のゼロ点誤差の温度特性図である。

【図１１】図７の温度特性曲線を利用する場合の動作説
明図である。

【図１２】図７のゼロ点誤差の静圧特性図である。

【図１３】図７の静圧特性曲線を利用する場合の動作説
明図である。

【符号の説明】

１…ハウジング ２…フランジ ３…フランジ ４…導入口 ５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センターダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１…圧力導入室 １１Ａ…バックプレ―ト １２…シールダイアフラム １３…シールダイアフラム １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 １７…連通孔 ３１…メモリー手段 ３２…ＣＰＵ ４１…メモリー手段 ４２…ＣＰＵ ５１…第３シールダイアフラム ５２…第３シールダイアフラム室 ５３…第４シールダイアフラム ５４…第４シールダイアフラム室 ５５…ボディ ５６…ボディ ８１…シリコン基板 ８２…凹部 ９１…ストレインゲ―ジ ９２…リード ９３…ハーメチック端子 １０１…封入液 １０２…封入液 １０３…封入液 １０４…封入液

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも１個の封入液室を有する差圧測
   定装置において、 周囲温度変化或いは圧力変化とゼロ点との関係の初期温
   度特性曲線あるいは初期圧力特性曲線をメモリーするメ
   モリー手段と、 自己診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結んで構成さ
   れる直線の診断時傾斜角度と該メモリー手段にメモリー
   された前記初期特性曲線の傾斜角度とを比較して前記診
   断時傾斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大
   或いは小になった場合に前記封入液室の封入液が漏洩し
   ていると判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする
   差圧測定装置。
2. 【請求項２】ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた
   第１，第２シールダイアフラムと、該第１，第２シール
   ダイアフラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検
   出素子とを具備する差圧測定装置において、 前記第１シールダイアフラムを覆って設けられ該第１シ
   ールダイアフラムと第３シールダイアフラム室を構成す
   る第３シールダイアフラムと、 前記第２ールダイアフラムを覆って設けられ該第２シー
   ルダイアフラムと第４シールダイアフラム室を構成する
   第４シールダイアフラムと、 ゼロ点と周囲温度変化或いは圧力変化との関係の初期温
   度特性曲線あるいは初期圧力特性曲線をメモリーするメ
   モリー手段と、 自己診断時のゼロ点と校正時のゼロ点とを結んで構成さ
   れる直線の診断時傾斜角度と該メモリー手段にメモリー
   された前記初期特性曲線の傾斜角度とを比較して前記診
   断時傾斜角度が初期特性曲線の傾斜角度より所定角度大
   或いは小になった場合に前記封入液室の封入液が漏洩し
   ていると判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする
   差圧測定装置。