JPH06331476A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPH06331476A JPH06331476A JP5152059A JP15205993A JPH06331476A JP H06331476 A JPH06331476 A JP H06331476A JP 5152059 A JP5152059 A JP 5152059A JP 15205993 A JP15205993 A JP 15205993A JP H06331476 A JPH06331476 A JP H06331476A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プロセスの流れを止めることなく、封入液の
漏洩を自己診断出来る差圧測定装置を提供する。 【構成】 高圧側と低圧側の２個の封入液室を有する差
圧測定装置において、周囲温度を一定に保ち差圧測定装
置の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態になるようにしな
がら所定の校正圧力から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ
点の特性をメモリーするメモリー手段と、自己診断時に
差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に均圧に
して得られたゼロ点と差圧測定装置の高圧側と低圧側の
圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点とメモリー手
段の初期ゼロ点の特性値とを比較してその差が所定値を
越えた場合に封入液が漏洩していると判断するＣＰＵと
を具備したことを特徴とする差圧測定装置である。
漏洩を自己診断出来る差圧測定装置を提供する。 【構成】 高圧側と低圧側の２個の封入液室を有する差
圧測定装置において、周囲温度を一定に保ち差圧測定装
置の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態になるようにしな
がら所定の校正圧力から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ
点の特性をメモリーするメモリー手段と、自己診断時に
差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に均圧に
して得られたゼロ点と差圧測定装置の高圧側と低圧側の
圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点とメモリー手
段の初期ゼロ点の特性値とを比較してその差が所定値を
越えた場合に封入液が漏洩していると判断するＣＰＵと
を具備したことを特徴とする差圧測定装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定ラインから差圧測
定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断出来る
差圧測定装置に関するものである。更に詳述すれば、受
圧部の片側のシールダイアフラム部の封入液漏れによっ
て、均圧時の零点出力が製作時より変わることを利用し
て、受圧部の封入液漏れを検出する差圧測定装置に関す
るものである。
定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断出来る
差圧測定装置に関するものである。更に詳述すれば、受
圧部の片側のシールダイアフラム部の封入液漏れによっ
て、均圧時の零点出力が製作時より変わることを利用し
て、受圧部の封入液漏れを検出する差圧測定装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来より一般に使用されている従
来例の構成説明図で、例えば、特開昭５９―５６１３７
号の第１図に示されている。図において、ハウジング１
の両側にフランジ２、フランジ３が嵌合い組み立てられ
溶接等によって固定されており、両フランジ２，３には
測定せんとする圧力ＰHの高圧流体の導入口５、圧力ＰL
の低圧流体の導入口４が設けられている。
来例の構成説明図で、例えば、特開昭５９―５６１３７
号の第１図に示されている。図において、ハウジング１
の両側にフランジ２、フランジ３が嵌合い組み立てられ
溶接等によって固定されており、両フランジ２，３には
測定せんとする圧力ＰHの高圧流体の導入口５、圧力ＰL
の低圧流体の導入口４が設けられている。
【０００３】ハウジング１内に圧力測定室６が形成され
ており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８が設けられている。シリコンダ
イアフラム８は、単結晶のシリコン基板８１に凹部８２
を形成して形成される。
ており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８が設けられている。シリコンダ
イアフラム８は、単結晶のシリコン基板８１に凹部８２
を形成して形成される。
【０００４】センタダイアフラム７とシリコンダイアフ
ラム８はそれぞれ別個に圧力測定室６の壁に固定されて
おり、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８
の両者でもって圧力測定室６を２分している。センタダ
イアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バック
プレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。センタダイアフ
ラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。
ラム８はそれぞれ別個に圧力測定室６の壁に固定されて
おり、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８
の両者でもって圧力測定室６を２分している。センタダ
イアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バック
プレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。センタダイアフ
ラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。
【０００５】シリコン基板８１の一方の面にボロン等の
不純物を選択拡散して４っのストレンゲ―ジ９１を形成
する。４っのストレインゲ―ジ９１は、シリコンダイア
フラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、
２つが圧縮を受けるようになっており、これらがホイ―
トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧Δ
Ｐの変化として検出される。
不純物を選択拡散して４っのストレンゲ―ジ９１を形成
する。４っのストレインゲ―ジ９１は、シリコンダイア
フラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、
２つが圧縮を受けるようになっており、これらがホイ―
トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧Δ
Ｐの変化として検出される。
【０００６】９２は、ストレインゲ―ジ９１に一端が取
付けられたリ―ドである。９３は、リ―ド９２の他端が
接続されたハ―メチック端子である。支持体９は、ハ―
メチック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側
端面に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラ
ム８が接着固定されている。
付けられたリ―ドである。９３は、リ―ド９２の他端が
接続されたハ―メチック端子である。支持体９は、ハ―
メチック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側
端面に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラ
ム８が接着固定されている。
【０００７】ハウジング１とフランジ２、およびフラン
ジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形成されてい
る。この圧力導入室１０，１１内にシールダイアフラム
１２，１３を設け、このシールダイアフラム１２，１３
と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａにシールダ
イアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―トが
形成されている。
ジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形成されてい
る。この圧力導入室１０，１１内にシールダイアフラム
１２，１３を設け、このシールダイアフラム１２，１３
と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａにシールダ
イアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―トが
形成されている。
【０００８】シールダイアフラム１２，１３とバックプ
レ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力測定
室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そし
て、シールダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル
等の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液が連
通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下
面にまで至っている、封入液１０１，１０２はセンタダ
イアフラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分
されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮さ
れている。
レ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力測定
室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そし
て、シールダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル
等の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液が連
通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下
面にまで至っている、封入液１０１，１０２はセンタダ
イアフラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分
されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮さ
れている。
【０００９】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、シールダイアフラム１３に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。一方、低圧側から圧力が作用した場合、シールダ
イアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。
用した場合、シールダイアフラム１３に作用する圧力が
封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達さ
れる。一方、低圧側から圧力が作用した場合、シールダ
イアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。
【００１０】この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応
じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がスト
レインゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測
定が行なわれる。
じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がスト
レインゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測
定が行なわれる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、何らかの原因で、封入液１０１，１
０２が漏洩しだした場合、漏れは、僅かづつ、しかも徐
々に漏れるので、出力がはっきりと異常になり、故障と
なるまで発見できなかった。
な装置においては、何らかの原因で、封入液１０１，１
０２が漏洩しだした場合、漏れは、僅かづつ、しかも徐
々に漏れるので、出力がはっきりと異常になり、故障と
なるまで発見できなかった。
【００１２】例えば、シールダイアフラム１２，１３が
ハウジング１にくっついて、入力が加わっても、出力が
変わらなくなるとか、あるいは、封入液１０１，１０２
がハウジング１内へ入り込み、絶縁劣化とか、断線とか
で、ストレインゲージ９１が異常となり、出力が異常に
なるとかで、初めて発見される。あるいは、入力テスト
をして、入力異常から、故障個所を調べて初めて発見さ
れる。
ハウジング１にくっついて、入力が加わっても、出力が
変わらなくなるとか、あるいは、封入液１０１，１０２
がハウジング１内へ入り込み、絶縁劣化とか、断線とか
で、ストレインゲージ９１が異常となり、出力が異常に
なるとかで、初めて発見される。あるいは、入力テスト
をして、入力異常から、故障個所を調べて初めて発見さ
れる。
【００１３】加えるに、シールダイアフラム１２，１３
に、封入液１０１，１０２の漏れが生じた場合には、差
圧測定装置そのものの特性に直接影響があり、プロセス
の自動制御に支障をきたすことになる。
に、封入液１０１，１０２の漏れが生じた場合には、差
圧測定装置そのものの特性に直接影響があり、プロセス
の自動制御に支障をきたすことになる。
【００１４】本発明は、この問題点を、解決するもので
ある。本発明の目的は、プロセスの流れを止めることな
く、封入液の漏洩を自己診断出来る差圧測定装置を提供
するにある。
ある。本発明の目的は、プロセスの流れを止めることな
く、封入液の漏洩を自己診断出来る差圧測定装置を提供
するにある。
【００１５】本発明は、この問題点を、解決するもので
ある。本発明の目的は、測定ラインから差圧測定装置を
取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断出来る。加える
に、差圧測定装置としての機能は全く影響を受けない差
圧測定装置を提供するにある。
ある。本発明の目的は、測定ラインから差圧測定装置を
取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断出来る。加える
に、差圧測定装置としての機能は全く影響を受けない差
圧測定装置を提供するにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）高圧側と低圧側の２個の封入液室を有する差圧測
定装置において、周囲温度を一定に保ち該差圧測定装置
の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態になるようにしなが
ら所定の校正圧力から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ点
の特性をメモリーするメモリー手段と、自己診断時に前
記差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に均圧
にして得られたゼロ点と前記差圧測定装置の高圧側と低
圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点と前記
メモリー手段の前記初期ゼロ点の特性値とを比較してそ
の差が所定値を越えた場合に前記封入液が漏洩している
と判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする差圧測
定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムと、周囲温度を一
定に保ち該差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧
状態になるようにしながら所定の校正圧力から上限測定
可能圧力迄の初期ゼロ点の特性をメモリーするメモリー
手段と、自己診断時に前記差圧測定装置の高圧側と低圧
側の圧力を測定圧に均圧にして得られたゼロ点と前記差
圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧に均圧にし
て得られたゼロ点と前記メモリー手段の前記初期ゼロ点
の特性値とを比較してその差が所定値を越えた場合に前
記封入液が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備した
ことを特徴とする差圧測定装置を構成したものである。
に、本発明は、 （１）高圧側と低圧側の２個の封入液室を有する差圧測
定装置において、周囲温度を一定に保ち該差圧測定装置
の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態になるようにしなが
ら所定の校正圧力から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ点
の特性をメモリーするメモリー手段と、自己診断時に前
記差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に均圧
にして得られたゼロ点と前記差圧測定装置の高圧側と低
圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点と前記
メモリー手段の前記初期ゼロ点の特性値とを比較してそ
の差が所定値を越えた場合に前記封入液が漏洩している
と判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする差圧測
定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムと、周囲温度を一
定に保ち該差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧
状態になるようにしながら所定の校正圧力から上限測定
可能圧力迄の初期ゼロ点の特性をメモリーするメモリー
手段と、自己診断時に前記差圧測定装置の高圧側と低圧
側の圧力を測定圧に均圧にして得られたゼロ点と前記差
圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧に均圧にし
て得られたゼロ点と前記メモリー手段の前記初期ゼロ点
の特性値とを比較してその差が所定値を越えた場合に前
記封入液が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備した
ことを特徴とする差圧測定装置を構成したものである。
【００１７】
【作用】以上の構成において、通常の測定状態において
は、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイアフラ
ムに作用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラ
ムに伝達される。一方、低圧側から圧力が作用した場
合、シールダイアフラムに作用する圧力が封入液によっ
てシリコンダイアフラムに伝達される。従って、高圧側
と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪
み、この歪み量がストレインゲ―ジに因って電気的に取
出され、差圧の測定が行なわれる。
は、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイアフラ
ムに作用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラ
ムに伝達される。一方、低圧側から圧力が作用した場
合、シールダイアフラムに作用する圧力が封入液によっ
てシリコンダイアフラムに伝達される。従って、高圧側
と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪
み、この歪み量がストレインゲ―ジに因って電気的に取
出され、差圧の測定が行なわれる。
【００１８】次に、自己診断時においては、ＣＰＵにお
いて、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に
均圧にして得られたゼロ点と、差圧測定装置の高圧側と
低圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点と、
メモリー手段の初期ゼロ点の特性値とを比較して、その
差が所定値を越えた場合には、封入液が漏洩していると
判断する。以下、実施例に基づき詳細に説明する。
いて、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に
均圧にして得られたゼロ点と、差圧測定装置の高圧側と
低圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点と、
メモリー手段の初期ゼロ点の特性値とを比較して、その
差が所定値を越えた場合には、封入液が漏洩していると
判断する。以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【００１９】
【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図６と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図６と相違部分のみ説明する。
ある。図において、図６と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図６と相違部分のみ説明する。
【００２０】２１は、校正時の温度Ｔ0に一定に保っ
て、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態に
しながら、所定の校正圧力Ｐ0、この場合は大気圧、か
ら上下限測定可能圧力−Ｐn〜Ｐn迄の、初期ゼロ点の特
性をメモリーするメモリー手段である。
て、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態に
しながら、所定の校正圧力Ｐ0、この場合は大気圧、か
ら上下限測定可能圧力−Ｐn〜Ｐn迄の、初期ゼロ点の特
性をメモリーするメモリー手段である。
【００２１】２２は、自己診断時に、差圧測定装置の高
圧側と低圧側の圧力を、測定圧Ｐmに均圧状態にして得
られたゼロ点εmと、差圧測定装置の高圧側と低圧側の
圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態にして得られたゼロ点ε0と
、メモリー手段２１の初期ゼロ点の特性値とを比較し
て、その差Ｚが所定値Ｚ0を越えた場合に、封入液１０
１又は１０２が漏洩していると判断するＣＰＵである。
圧側と低圧側の圧力を、測定圧Ｐmに均圧状態にして得
られたゼロ点εmと、差圧測定装置の高圧側と低圧側の
圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態にして得られたゼロ点ε0と
、メモリー手段２１の初期ゼロ点の特性値とを比較し
て、その差Ｚが所定値Ｚ0を越えた場合に、封入液１０
１又は１０２が漏洩していると判断するＣＰＵである。
【００２２】なお、メモリー手段２１とＣＰＵ２２は、
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）
【００２３】以上の構成において、通常の測定状態にお
いては、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイア
フラム１３に作用する圧力が封入液１０２によってシリ
コンダイアフラム８に伝達される。
いては、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイア
フラム１３に作用する圧力が封入液１０２によってシリ
コンダイアフラム８に伝達される。
【００２４】一方、低圧側から圧力が作用した場合、シ
ールダイアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１に
よってシリコンダイアフラム８に伝達される。従って、
高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラ
ム８が歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ９１に因っ
て電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
ールダイアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１に
よってシリコンダイアフラム８に伝達される。従って、
高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラ
ム８が歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ９１に因っ
て電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
【００２５】次に、自己診断時においては、ＣＰＵ２２
において、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定
圧Ｐmに均圧状態にして得られたゼロ点εmと、差圧測定
装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態に
して得られたゼロ点ε0と、メモリー手段２１の初期ゼロ
点の特性値とを比較して、その差Ｚが所定値Ｚ0を越え
た場合には、封入液１０１又は１０２が漏洩していると
判断する。
において、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定
圧Ｐmに均圧状態にして得られたゼロ点εmと、差圧測定
装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態に
して得られたゼロ点ε0と、メモリー手段２１の初期ゼロ
点の特性値とを比較して、その差Ｚが所定値Ｚ0を越え
た場合には、封入液１０１又は１０２が漏洩していると
判断する。
【００２６】従って、プロセスの流れを止めることな
く、封入液の漏洩を自己診断出来る差圧測定装置が得ら
れる。
く、封入液の漏洩を自己診断出来る差圧測定装置が得ら
れる。
【００２７】なお、均圧状態は、測定流体の流れる配管
から、差圧測定装置の高圧側と低圧側へそれぞれ連通す
る導管の連通を止め、差圧測定装置の高圧側と低圧側を
大気Ｐ0解放にする。
から、差圧測定装置の高圧側と低圧側へそれぞれ連通す
る導管の連通を止め、差圧測定装置の高圧側と低圧側を
大気Ｐ0解放にする。
【００２８】あるいは、３岐弁を使用して、差圧測定装
置の高圧側と低圧側の測定流体の配管への連通を止め、
かつ、高圧側と低圧側とを連通するように操作して、高
圧側と低圧側とを測定圧Ｐmに均圧にする等、種々の方
法が採用可能であり、測定流体の流れる配管に於ける流
れを止めることなく、差圧測定装置の高圧側と低圧側と
を均圧にする事は容易である。
置の高圧側と低圧側の測定流体の配管への連通を止め、
かつ、高圧側と低圧側とを連通するように操作して、高
圧側と低圧側とを測定圧Ｐmに均圧にする等、種々の方
法が採用可能であり、測定流体の流れる配管に於ける流
れを止めることなく、差圧測定装置の高圧側と低圧側と
を均圧にする事は容易である。
【００２９】即ち、具体的な自己診断動作に就いて以下
説明する。図２にゼロ点の圧力特性図、図３に動作説明
図を示す。図２において、Ａは初期圧力特性曲線、Ｘは
液漏れ状態の圧力特性曲線である。
説明する。図２にゼロ点の圧力特性図、図３に動作説明
図を示す。図２において、Ａは初期圧力特性曲線、Ｘは
液漏れ状態の圧力特性曲線である。
【００３０】（１）図２、図３のフロー１に示す如く、
前もって、差圧測定装置の製作時に、校正温度Ｔ0で温
度を一定に保ち、高圧側と低圧側とを均圧状態になるよ
うにしながら、大気圧Ｐ0から必要な圧力Ｐnまで、均圧
圧力を変化させて、この時のゼロ点の初期圧力特性をメ
モリー手段２１にインプットする。
前もって、差圧測定装置の製作時に、校正温度Ｔ0で温
度を一定に保ち、高圧側と低圧側とを均圧状態になるよ
うにしながら、大気圧Ｐ0から必要な圧力Ｐnまで、均圧
圧力を変化させて、この時のゼロ点の初期圧力特性をメ
モリー手段２１にインプットする。
【００３１】（２）図２、図３のフロー２に示す如く、
差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧Ｐ0に均
圧状態にして得られたゼロ点ε0を求める。 （３）図３のフロー３に示す如く、ゼロ点ε0を校正温
度Ｔ0状態に換算してゼロ点ε0´を計算により求める。
差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧Ｐ0に均
圧状態にして得られたゼロ点ε0を求める。 （３）図３のフロー３に示す如く、ゼロ点ε0を校正温
度Ｔ0状態に換算してゼロ点ε0´を計算により求める。
【００３２】（４）図２、図３のフロー４に示す如く、
差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧Ｐ1に均
圧状態にして得られたゼロ点ε1を求める。 （５）図３のフロー５に示す如く、ゼロ点ε1を校正温
度Ｔ0状態に換算してゼロ点ε1´を計算により求める。 （６）図３のフロー６に示す如く、ε＝ε1´−ε0´を
求める。
差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧Ｐ1に均
圧状態にして得られたゼロ点ε1を求める。 （５）図３のフロー５に示す如く、ゼロ点ε1を校正温
度Ｔ0状態に換算してゼロ点ε1´を計算により求める。 （６）図３のフロー６に示す如く、ε＝ε1´−ε0´を
求める。
【００３３】（７）図２、図３のフロー７に示す如く、
メモリー手段２１にメモリーされたゼロ点特性より、大
気圧Ｐ0から測定圧Ｐ1のゼロ点εs＝ε11−ε01を求め
る。
メモリー手段２１にメモリーされたゼロ点特性より、大
気圧Ｐ0から測定圧Ｐ1のゼロ点εs＝ε11−ε01を求め
る。
【００３４】（８）図３のフロー８に示す如く、Ｚ＝ε
s−εを求める。 （９）図３のフロー９に示す如く、｜Ｚ｜≧Ｚ0（Ｚ0は
一定のマージンを考慮に入れた誤差）であれば、高圧側
又は低圧側のどちらかのシールダイアフラム１３，１２
部分より、封入液１０２，１０１が漏れていると判定す
る。
s−εを求める。 （９）図３のフロー９に示す如く、｜Ｚ｜≧Ｚ0（Ｚ0は
一定のマージンを考慮に入れた誤差）であれば、高圧側
又は低圧側のどちらかのシールダイアフラム１３，１２
部分より、封入液１０２，１０１が漏れていると判定す
る。
【００３５】（１０）図３のフロー１０に示す如く、Ｚ
の符号により、Ｚ＜０であれば、低圧側のシールダイア
フラム１２部分より、封入液１０１が漏れている。Ｚ＞
０であれば、高圧側のシールダイアフラム１３部分よ
り、封入液１０２が漏れていると判定する。
の符号により、Ｚ＜０であれば、低圧側のシールダイア
フラム１２部分より、封入液１０１が漏れている。Ｚ＞
０であれば、高圧側のシールダイアフラム１３部分よ
り、封入液１０２が漏れていると判定する。
【００３６】次に、封入液１０１，１０２が漏れた場合
の差圧測定装置の具体的動作について説明する。今、低
圧側の封入液１０２がΔＶｃｃ漏れたとすると、シール
ダイアフラム１２の容積変化定数Ｖｃｃ／ｋｇｆ／ｃｍ
2とすると、低圧室側のシリコンオイル内圧はΔＰ変化
する。
の差圧測定装置の具体的動作について説明する。今、低
圧側の封入液１０２がΔＶｃｃ漏れたとすると、シール
ダイアフラム１２の容積変化定数Ｖｃｃ／ｋｇｆ／ｃｍ
2とすると、低圧室側のシリコンオイル内圧はΔＰ変化
する。
【００３７】ΔＰ＝ΔＶ／Ｖｋｇｆ／ｃｍ2 低圧側と高圧側とを均圧にすると、ΔＰ分、零点がシフ
トしているのが検出される。 零点誤差Ｅ1＝（ΔＰ／Ｐ）・１００％
トしているのが検出される。 零点誤差Ｅ1＝（ΔＰ／Ｐ）・１００％
【００３８】この結果、封入液１０１，１０２の漏洩が
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作するため、
装置が完全にダウンして初めて、封入液１０１，１０２
の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０１，１０２
の漏洩を容易に早期に検知することができる。また、装
置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作するため、
装置が完全にダウンして初めて、封入液１０１，１０２
の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０１，１０２
の漏洩を容易に早期に検知することができる。また、装
置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。
【００３９】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。
【００４０】図４は本発明の一実施例の要部構成説明
図、図５は図４の要部構成説明図である。図において、
図６と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、図６
と相違部分のみ説明する。
図、図５は図４の要部構成説明図である。図において、
図６と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、図６
と相違部分のみ説明する。
【００４１】３１は、校正時の温度Ｔ0に一定に保っ
て、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態に
しながら、所定の校正圧力Ｐ0、この場合は大気圧、か
ら上下限測定可能圧力−Ｐn〜Ｐn迄の、初期ゼロ点の圧
力特性をメモリーするメモリー手段である。
て、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態に
しながら、所定の校正圧力Ｐ0、この場合は大気圧、か
ら上下限測定可能圧力−Ｐn〜Ｐn迄の、初期ゼロ点の圧
力特性をメモリーするメモリー手段である。
【００４２】３２は、自己診断時に、差圧測定装置の高
圧側と低圧側の圧力を、測定圧Ｐmに均圧状態にして得
られたゼロ点εmと、差圧測定装置の高圧側と低圧側の
圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態にして得られたゼロ点ε0と
、メモリー手段３１の初期ゼロ点の特性値とを比較し
て、その差Ｚが所定値Ｚ0を越えた場合に、封入液１０
３又は１０４が漏洩していると判断するＣＰＵである。
圧側と低圧側の圧力を、測定圧Ｐmに均圧状態にして得
られたゼロ点εmと、差圧測定装置の高圧側と低圧側の
圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態にして得られたゼロ点ε0と
、メモリー手段３１の初期ゼロ点の特性値とを比較し
て、その差Ｚが所定値Ｚ0を越えた場合に、封入液１０
３又は１０４が漏洩していると判断するＣＰＵである。
【００４３】なお、メモリー手段３１とＣＰＵ３２は、
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）
この場合は、変換部ケース内のアンプに収納されてい
る。（図示せず）
【００４４】４１は、第１シールダイアフラム１３を覆
って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シー
ルダイアフラム室４２を構成する第３シールダイアフラ
ムである。４３は、第２シールダイアフラム１２を覆っ
て設けられ、第２シールダイアフラム１２と第４シール
ダイアフラム室４４を構成する第４シールダイアフラム
である。
って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シー
ルダイアフラム室４２を構成する第３シールダイアフラ
ムである。４３は、第２シールダイアフラム１２を覆っ
て設けられ、第２シールダイアフラム１２と第４シール
ダイアフラム室４４を構成する第４シールダイアフラム
である。
【００４５】４５は、第１シールダイアフラム１３と第
３シールダイアフラム４１との間に設けられたボディで
ある。４６は、第２シールダイアフラム１２と第４シー
ルダイアフラム４３との間に設けられたボディである。
１０３は、第３シールダイアフラム室４２に満たされた
封入液である。１０４は、第４シールダイアフラム室４
４に満たされた封入液である。
３シールダイアフラム４１との間に設けられたボディで
ある。４６は、第２シールダイアフラム１２と第４シー
ルダイアフラム４３との間に設けられたボディである。
１０３は、第３シールダイアフラム室４２に満たされた
封入液である。１０４は、第４シールダイアフラム室４
４に満たされた封入液である。
【００４６】以上の構成において、通常の測定状態にお
いては、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイア
フラム４１に作用する圧力が封入液１０２によってシリ
コンダイアフラム８に伝達される。
いては、高圧側から圧力が作用した場合、シールダイア
フラム４１に作用する圧力が封入液１０２によってシリ
コンダイアフラム８に伝達される。
【００４７】一方、低圧側から圧力が作用した場合、シ
ールダイアフラム４３に作用する圧力が封入液１０１に
よってシリコンダイアフラム８に伝達される。
ールダイアフラム４３に作用する圧力が封入液１０１に
よってシリコンダイアフラム８に伝達される。
【００４８】従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じ
てシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がストレ
インゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測定
が行なわれる。
てシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がストレ
インゲ―ジ９１に因って電気的に取出され、差圧の測定
が行なわれる。
【００４９】次に、自己診断時においては、ＣＰＵ２２
において、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定
圧Ｐmに均圧状態にして得られたゼロ点εmと、差圧測定
装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態に
して得られたゼロ点ε0と、メモリー手段３１の初期ゼロ
点の特性値とを比較して、その差Ｚが所定値Ｚ0を越え
た場合には、封入液１０３又は１０４が漏洩していると
判断する。
において、差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定
圧Ｐmに均圧状態にして得られたゼロ点εmと、差圧測定
装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧Ｐ0に均圧状態に
して得られたゼロ点ε0と、メモリー手段３１の初期ゼロ
点の特性値とを比較して、その差Ｚが所定値Ｚ0を越え
た場合には、封入液１０３又は１０４が漏洩していると
判断する。
【００５０】従って、プロセスの流れを止めることな
く、封入液の漏洩を自己診断出来る差圧測定装置が得ら
れる。
く、封入液の漏洩を自己診断出来る差圧測定装置が得ら
れる。
【００５１】なお、均圧状態は、測定流体の流れる配管
から、差圧測定装置の高圧側と低圧側へそれぞれ連通す
る導管の連通を止め、差圧測定装置の高圧側と低圧側を
大気圧Ｐ0解放にする。
から、差圧測定装置の高圧側と低圧側へそれぞれ連通す
る導管の連通を止め、差圧測定装置の高圧側と低圧側を
大気圧Ｐ0解放にする。
【００５２】あるいは、３岐弁を使用して、差圧測定装
置の高圧側と低圧側の測定流体の配管への連通を止め、
かつ、高圧側と低圧側とを連通するように操作して、高
圧側と低圧側とを測定圧Ｐ1に均圧にする等、種々の方
法が採用可能であり、測定流体の流れる配管に於ける流
れを止めることなく、差圧測定装置の高圧側と低圧側と
を均圧にする事は容易である。
置の高圧側と低圧側の測定流体の配管への連通を止め、
かつ、高圧側と低圧側とを連通するように操作して、高
圧側と低圧側とを測定圧Ｐ1に均圧にする等、種々の方
法が採用可能であり、測定流体の流れる配管に於ける流
れを止めることなく、差圧測定装置の高圧側と低圧側と
を均圧にする事は容易である。
【００５３】この結果、封入液１０３，１０４の漏洩が
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作するため、
装置が完全にダウンして初めて、封入液１０３，１０４
の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０３，１０４
の漏洩を容易に早期に検知することができる。また、装
置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。
僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動作するため、
装置が完全にダウンして初めて、封入液１０３，１０４
の漏洩に気付く様な恐れがなく、封入液１０３，１０４
の漏洩を容易に早期に検知することができる。また、装
置のダウンする前にダウンの予知診断ができる。
【００５４】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は、前
述した如く容易であるので、プロセスの流れを乱すこと
がない差圧測定装置が得られる。
【００５５】加えるに、第１シールダイアフラム１３を
覆って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シ
ールダイアフラム室４３２を構成する第３シールダイア
フラム４１と、第２ールダイアフラム１２を覆って設け
られ、第２シールダイアフラム１２と第４シールダイア
フラム室４４を構成する第４シールダイアフラム４３と
が設けられ、第３シールダイアフラム室４２と第４シー
ルダイアフラム室４４とに、封入液１０３，１０４が満
たされている。
覆って設けられ、第１シールダイアフラム１３と第３シ
ールダイアフラム室４３２を構成する第３シールダイア
フラム４１と、第２ールダイアフラム１２を覆って設け
られ、第２シールダイアフラム１２と第４シールダイア
フラム室４４を構成する第４シールダイアフラム４３と
が設けられ、第３シールダイアフラム室４２と第４シー
ルダイアフラム室４４とに、封入液１０３，１０４が満
たされている。
【００５６】従って、腐食性の測定液等により封入液１
０３，１０４が漏れたとしても、封入液１０１，１０２
は漏れることが無いので、差圧測定装置としての機能が
全く損ぜられることがない装置が得られる。
０３，１０４が漏れたとしても、封入液１０１，１０２
は漏れることが無いので、差圧測定装置としての機能が
全く損ぜられることがない装置が得られる。
【００５７】なお、前述の実施例においては、ゼロ点ε
0，ε1は標準状態の温度即ち校正温度Ｔ0に換算すると
説明したが、これに限ることはなく、大気圧Ｐ0から測
定圧Ｐ 1のゼロ点εsを自己診断時の温度状態に換算し
て、比較しても良いことは勿論である。
0，ε1は標準状態の温度即ち校正温度Ｔ0に換算すると
説明したが、これに限ることはなく、大気圧Ｐ0から測
定圧Ｐ 1のゼロ点εsを自己診断時の温度状態に換算し
て、比較しても良いことは勿論である。
【００５８】また、前述の実施例においては、差圧測定
装置に就いて説明したが、これに限ることはなく、圧力
測定装置でも良い。圧力測定装置は差圧測定装置の一方
の圧力を大気圧或いは真空にしたものであり、実質的に
差圧測定装置であるからである。尚この場合は、測定圧
側を大気圧或いは真空にして零点をチェックすることに
なる。
装置に就いて説明したが、これに限ることはなく、圧力
測定装置でも良い。圧力測定装置は差圧測定装置の一方
の圧力を大気圧或いは真空にしたものであり、実質的に
差圧測定装置であるからである。尚この場合は、測定圧
側を大気圧或いは真空にして零点をチェックすることに
なる。
【００５９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、 （１）高圧側と低圧側の２個の封入液室を有する差圧測
定装置において、周囲温度を一定に保ち該差圧測定装置
の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態になるようにしなが
ら所定の校正圧力から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ点
の特性をメモリーするメモリー手段と、自己診断時に前
記差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に均圧
にして得られたゼロ点と前記差圧測定装置の高圧側と低
圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点と前記
メモリー手段の前記初期ゼロ点の特性値とを比較してそ
の差が所定値を越えた場合に前記封入液が漏洩している
と判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする差圧測
定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムと、周囲温度を一
定に保ち該差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧
状態になるようにしながら所定の校正圧力から上限測定
可能圧力迄の初期ゼロ点の特性をメモリーするメモリー
手段と、自己診断時に前記差圧測定装置の高圧側と低圧
側の圧力を測定圧に均圧にして得られたゼロ点と前記差
圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧に均圧にし
て得られたゼロ点と前記メモリー手段の前記初期ゼロ点
の特性値とを比較してその差が所定値を越えた場合に前
記封入液が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備した
ことを特徴とする差圧測定装置を構成した。
定装置において、周囲温度を一定に保ち該差圧測定装置
の高圧側と低圧側の圧力を均圧状態になるようにしなが
ら所定の校正圧力から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ点
の特性をメモリーするメモリー手段と、自己診断時に前
記差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を測定圧に均圧
にして得られたゼロ点と前記差圧測定装置の高圧側と低
圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られたゼロ点と前記
メモリー手段の前記初期ゼロ点の特性値とを比較してそ
の差が所定値を越えた場合に前記封入液が漏洩している
と判断するＣＰＵとを具備したことを特徴とする差圧測
定装置。 （２）ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた第１，
第２シールダイアフラムと、該第１，第２シールダイア
フラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検出素子
とを具備する差圧測定装置において、前記第１シールダ
イアフラムを覆って設けられ該第１シールダイアフラム
と第３シールダイアフラム室を構成する第３シールダイ
アフラムと、前記第２ールダイアフラムを覆って設けら
れ該第２シールダイアフラムと第４シールダイアフラム
室を構成する第４シールダイアフラムと、周囲温度を一
定に保ち該差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を均圧
状態になるようにしながら所定の校正圧力から上限測定
可能圧力迄の初期ゼロ点の特性をメモリーするメモリー
手段と、自己診断時に前記差圧測定装置の高圧側と低圧
側の圧力を測定圧に均圧にして得られたゼロ点と前記差
圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧に均圧にし
て得られたゼロ点と前記メモリー手段の前記初期ゼロ点
の特性値とを比較してその差が所定値を越えた場合に前
記封入液が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備した
ことを特徴とする差圧測定装置を構成した。
【００６０】この結果、第１請求項の構成によれば、封
入液の漏洩が僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動
作するので、装置が完全にダウンして初めて封入液の漏
洩に気付く様な恐れがなく、封入液の漏洩を容易に早期
に検知することができる。また、装置のダウンする前に
ダウンの予知診断ができる。
入液の漏洩が僅かあっても、本発明の差圧測定装置は動
作するので、装置が完全にダウンして初めて封入液の漏
洩に気付く様な恐れがなく、封入液の漏洩を容易に早期
に検知することができる。また、装置のダウンする前に
ダウンの予知診断ができる。
【００６１】更に、測定流体の流れを止めることなく、
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は容易
であり、プロセスの流れを乱すことがない差圧測定装置
が得られる。
差圧測定装置の高圧側と低圧側とを均圧にする事は容易
であり、プロセスの流れを乱すことがない差圧測定装置
が得られる。
【００６２】加えるに、第２請求項の構成によれば、腐
食性の測定液等により封入液が漏れたとしても、本体の
封入液は漏れることが無いので、差圧測定装置としての
機能が全く損ぜられることがない装置が得られる。
食性の測定液等により封入液が漏れたとしても、本体の
封入液は漏れることが無いので、差圧測定装置としての
機能が全く損ぜられることがない装置が得られる。
【００６３】従って、本発明によれば、測定ラインから
差圧測定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断
出来る。加えるに、差圧測定装置としての機能は全く影
響を受けない差圧測定装置を実現することが出来る。
差圧測定装置を取外す事無く、封入液の漏洩を自己診断
出来る。加えるに、差圧測定装置としての機能は全く影
響を受けない差圧測定装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１のゼロ点の圧力特性図である。
【図３】図１の動作説明図図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】図４の要部構成説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
１…ハウジング ２…フランジ ３…フランジ ４…導入口 ５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センターダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１…圧力導入室 １１Ａ…バックプレ―ト １２…シールダイアフラム １３…シールダイアフラム １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 １７…連通孔 ２１…メモリー手段 ２２…ＣＰＵ ３１…メモリー手段 ３２…ＣＰＵ ４１…第３シールダイアフラム ４２…第３シールダイアフラム室 ４３…第４シールダイアフラム ４４…第４シールダイアフラム室 ４５…ボディ ４６…ボディ ８１…シリコン基板 ８２…凹部 ９１…ストレインゲ―ジ ９２…リード ９３…ハーメチック端子 １０１…封入液 １０２…封入液 １０３…封入液 １０４…封入液
Claims (2)
- 【請求項１】高圧側と低圧側の２個の封入液室を有する
差圧測定装置において、 周囲温度を一定に保ち該差圧測定装置の高圧側と低圧側
の圧力を均圧状態になるようにしながら所定の校正圧力
から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ点の特性をメモリー
するメモリー手段と、 自己診断時に前記差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力
を測定圧に均圧にして得られたゼロ点と前記差圧測定装
置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られ
たゼロ点と前記メモリー手段の前記初期ゼロ点の特性値
とを比較してその差が所定値を越えた場合に前記封入液
が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備したことを特
徴とする差圧測定装置。 - 【請求項２】ハウジングの両側面にそれぞれ設けられた
第１，第２シールダイアフラムと、該第１，第２シール
ダイアフラムに加わる差圧を封入液を介して検出する検
出素子とを具備する差圧測定装置において、 前記第１シールダイアフラムを覆って設けられ該第１シ
ールダイアフラムと第３シールダイアフラム室を構成す
る第３シールダイアフラムと、 前記第２ールダイアフラムを覆って設けられ該第２シー
ルダイアフラムと第４シールダイアフラム室を構成する
第４シールダイアフラムと、 周囲温度を一定に保ち該差圧測定装置の高圧側と低圧側
の圧力を均圧状態になるようにしながら所定の校正圧力
から上限測定可能圧力迄の初期ゼロ点の特性をメモリー
するメモリー手段と、 自己診断時に前記差圧測定装置の高圧側と低圧側の圧力
を測定圧に均圧にして得られたゼロ点と前記差圧測定装
置の高圧側と低圧側の圧力を大気圧に均圧にして得られ
たゼロ点と前記メモリー手段の前記初期ゼロ点の特性値
とを比較してその差が所定値を越えた場合に前記封入液
が漏洩していると判断するＣＰＵとを具備したことを特
徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15205993A JP3180512B2 (ja) | 1993-03-26 | 1993-06-23 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-68460 | 1993-03-26 | ||
| JP6846093 | 1993-03-26 | ||
| JP15205993A JP3180512B2 (ja) | 1993-03-26 | 1993-06-23 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331476A true JPH06331476A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3180512B2 JP3180512B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=26409685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15205993A Expired - Fee Related JP3180512B2 (ja) | 1993-03-26 | 1993-06-23 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180512B2 (ja) |
-
1993
- 1993-06-23 JP JP15205993A patent/JP3180512B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3180512B2 (ja) | 2001-06-25 |
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