JP2013170979A - 差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法 - Google Patents
差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】流量制御バルブを全閉とし、さらに2次側を大気開放する。これにより、差圧/圧力複合センサ4の差圧センサチップ43に加えられる測定圧P2が大気圧とされる。このとき、差圧センサチップ43と圧力センサチップ46には、流量制御バルブの1次側の流体圧力が測定圧P1として加わっている。差圧センサチップ43からの差圧信号ΔPと圧力センサチップ46からの静圧信号PGを取得し、これら信号から得られる差圧ΔPと静圧PGとの差を評価指標ΔPGとして求める。この評価指標ΔPGのトレンドから差圧/圧力複合センサ4の交換時期を決定する。
【選択図】 図5
Description
また、そのようなトラブルが発生することを避けるため、早めの周期で差圧/圧力複合センサを交換すると、本来使用可能であるにも拘わらず交換されてしまうことになり、コスト増となってしまう。
例えば、差圧センサ、圧力センサの各出力を確認するには、(1)両側を大気開放してゼロ点を確認、(2)検査圧力を配管にかけ出力を確認(別の基準圧力センサが必要)、(3)取り外して検査する、というような作業が必要となる。
図1は本発明の実施に用いる流量計測機能付きバルブ100の要部の構成を示す図である。図1において、1は流体が流れる流路L1中に設けられたバルブ(流量制御バルブ)、2はバルブ1を駆動するアクチュエータ、3はアクチュエータ2の駆動を制御するコントローラ、4はバルブ1の上流側(1次側)と下流側(2次側)とをバイパスする管路L2中に設けられた差圧/圧力複合センサ、5はバルブ1の2次側を大気開放するためのバルブ(大気開放バルブ)である。なお、コントローラ3は実際にはアクチュエータ2に内蔵されているが、この例では分かり易いようにアクチュエータ2の外部に示している。また、コントローラ3はバルブ5の開閉も制御し、通常はバルブ5を全閉としている。
先ず、コントローラ3が有する流量制御機能について説明する。コントローラ3は、差圧/圧力複合センサ4からの差圧信号ΔPを入力とし、この入力された差圧信号ΔPに基づいて、バルブ1を流れている現在の流体の流量Qpvを計測する。そして、この計測した流量Qpvと上位から与えられる設定流量Qspとを比較し、Qpv=Qspとなるようにアクチュエータ2へ駆動指令を送り、バルブ1の開度を制御する。
次に、コントローラ3が有する異常診断機能の第1例について説明する。この異常診断機能の第1例では、一定期間が経過する毎に異常診断として、差圧/圧力複合センサ4の定期検査を実行するものとする。また、定期検査の周期(点検周期)は差圧/圧力複合センサ4の交換対応時間より短いものとし、この例では、点検周期を1週間、差圧/圧力複合センサ4の交換対応時間を3週間とする。図3にコントローラ3が実行する異常診断のフローチャートを示す。
次に、コントローラ3が有する異常診断機能の第2例について説明する。この異常診断機能の第2例では、異常診断として差圧/圧力複合センサ4の検査を実行するものとし、その検査の周期(点検周期)は不定期であるものとする。また、差圧/圧力複合センサ4の交換対応時間を3週間とする。図8にコントローラ3が実行する異常診断のフローチャートを示す。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (6)
- 第1の測定圧と第2の測定圧との差を検出する差圧センサと、前記第1の測定圧と基準圧との差を検出する圧力センサとを備えた差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法であって、
前記第2の測定圧を所定の圧力とする第1ステップと、
前記第2の測定圧が所定の圧力とされる毎に、前記差圧センサによって検出される前記第1の測定圧と第2の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差との比較結果を記憶し、その記憶された比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの交換時期を決定する第2ステップと
を備えることを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。 - 請求項1に記載された差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法において、
前記基準圧は大気圧であり、
前記第1ステップは、
前記第2の測定圧を大気圧とし、
前記第2ステップは、
前記第2の測定圧が大気圧とされる毎に、前記差圧センサによって検出される前記第1の測定圧と第2の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差との比較結果を記憶し、その記憶された比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの交換時期を決定する
ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。 - 請求項1に記載された差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法において、
前記基準圧は真空圧であり、
前記第1ステップは、
前記第2の測定圧を大気圧とし、
前記第2ステップは、
前記第2の測定圧が大気圧とされる毎に、前記差圧センサによって検出される前記第1の測定圧と第2の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第1の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第1の測定圧と第2の測定圧との差と第1の測定圧と基準圧との差との比較結果を記憶し、その記憶された比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの交換時期を決定する
ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載された差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法において、
前記第1の測定圧は、流量制御バルブの1次側の流体圧力であり、
前記第2の測定圧は、前記流量制御バルブの2次側の流体圧力であり、
前記第1ステップは、前記流量制御バルブの開度を全閉とし、さらに2次側を大気開放することによって、前記第2の測定圧を大気圧とする
ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載された差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法において、
前記第2ステップは、前記記憶された比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの使用限界までの時間を算出し、その算出された時間が予め定められた時間を下回っていた場合、その時を前記差圧/圧力複合センサの交換時期と判断する
ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載された差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法において、
前記第2ステップは、前記記憶された比較結果に基づいて前記差圧/圧力複合センサの使用限界に達する所定期間前までの日付を求め、次の比較結果が得られる前にその求められた日付に達した場合、その日を前記差圧/圧力複合センサの交換時期と判断する
ことを特徴とする差圧/圧力複合センサの交換時期決定方法。
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JP (1) | JP5829944B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104215392A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-17 | 天津博益气动股份有限公司 | 一种差压传感器的传感系数检测装置及检测方法 |
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CN114323435A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-04-12 | 潍柴动力股份有限公司 | 压差传感器可信性检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114323435B (zh) * | 2021-12-13 | 2023-10-20 | 潍柴动力股份有限公司 | 压差传感器可信性检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
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