JP3127431B2 - リモートシール型差圧・圧力発信器の校正方法 - Google Patents
リモートシール型差圧・圧力発信器の校正方法Info
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- JP3127431B2 JP3127431B2 JP08138247A JP13824796A JP3127431B2 JP 3127431 B2 JP3127431 B2 JP 3127431B2 JP 08138247 A JP08138247 A JP 08138247A JP 13824796 A JP13824796 A JP 13824796A JP 3127431 B2 JP3127431 B2 JP 3127431B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、温度によって変化
する出力を補正し、性能を向上させるようにしたリモー
トシール型差圧・圧力発信器の校正方法に関する。
する出力を補正し、性能を向上させるようにしたリモー
トシール型差圧・圧力発信器の校正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プロセス計測において、圧力や液面高さ
を計測する場合、タンク等のフランジに直接接続される
差圧・圧力発信器を用いている。このような差圧・圧力
発信器は、受圧器と発信器本体を封入液が封入されたキ
ャピラリチューブによって接続し、プロセス流体圧を受
圧器の接液ダイアフラムで受け、この接液ダイアフラム
の変位を封入液を介して発信器本体に導くようにしてい
ることから、通常リモートシール型差圧・圧力発信器
（例：実開昭５５−１０８９４７号公報、実開昭６２−
８８９３１号公報、実開昭６３−３３４３７号公報等）
と呼んでいる。
を計測する場合、タンク等のフランジに直接接続される
差圧・圧力発信器を用いている。このような差圧・圧力
発信器は、受圧器と発信器本体を封入液が封入されたキ
ャピラリチューブによって接続し、プロセス流体圧を受
圧器の接液ダイアフラムで受け、この接液ダイアフラム
の変位を封入液を介して発信器本体に導くようにしてい
ることから、通常リモートシール型差圧・圧力発信器
（例：実開昭５５−１０８９４７号公報、実開昭６２−
８８９３１号公報、実開昭６３−３３４３７号公報等）
と呼んでいる。
【０００３】図３はリモートシール型差圧発信器の従来
例を示す断面図である。同図において、リモートシール
型差圧発信器１は、発信器本体２と、同一構造からなる
２つの受圧器３，３と、発信器本体２と各受圧器３，３
をそれぞれ接続する２本のキャピラリチューブ５，５と
を備えている。発信器本体２は、封入液１３が封入され
た発信器ボディ９と、センターダイアフラム６およびシ
ールダイアフラム８，８と、半導体圧力センサ１１を内
蔵するヘッド部１２を備えている。中央に位置するセン
ターダイアフラム６は、発信器ボディ９の内室７を２つ
の室７ａ，７ｂに仕切っている。シールダイアフラム
８，８は、発信器ボディ９の各側面をそれぞれ覆い、さ
らにその外側をカバー１０，１０によって覆っている。
各シールダイアフラム８，８と室７ａ，７ｂは、通路
ａ，ａによってそれぞれ連通し、また前記半導体圧力セ
ンサ１１の上側と下側の室に連通している。シールダイ
アフラム８は、計測圧以上の過大な差圧が加わったと
き、発信器ボディ９の側面に着底することにより、半導
体圧力センサ１１の破壊を防ぐ過大圧保護機構を構成し
ている。
例を示す断面図である。同図において、リモートシール
型差圧発信器１は、発信器本体２と、同一構造からなる
２つの受圧器３，３と、発信器本体２と各受圧器３，３
をそれぞれ接続する２本のキャピラリチューブ５，５と
を備えている。発信器本体２は、封入液１３が封入され
た発信器ボディ９と、センターダイアフラム６およびシ
ールダイアフラム８，８と、半導体圧力センサ１１を内
蔵するヘッド部１２を備えている。中央に位置するセン
ターダイアフラム６は、発信器ボディ９の内室７を２つ
の室７ａ，７ｂに仕切っている。シールダイアフラム
８，８は、発信器ボディ９の各側面をそれぞれ覆い、さ
らにその外側をカバー１０，１０によって覆っている。
各シールダイアフラム８，８と室７ａ，７ｂは、通路
ａ，ａによってそれぞれ連通し、また前記半導体圧力セ
ンサ１１の上側と下側の室に連通している。シールダイ
アフラム８は、計測圧以上の過大な差圧が加わったと
き、発信器ボディ９の側面に着底することにより、半導
体圧力センサ１１の破壊を防ぐ過大圧保護機構を構成し
ている。
【０００４】受圧器３は、タンク等のフランジに接続さ
れる検出器ボディ１７を備えている。検出器ボディ１７
には、一側面に接液ダイアフラム１５が設けられ、内部
に封入液通路１８が形成されている。封入液通路１８
は、一端が前記接液ダイアフラム１５の裏側に設けたダ
イアフラム室１６に連通し、他端が前記キャピラリチュ
ーブ５の一端に接続されている。そして、キャピラリチ
ューブ５、ダイアフラム室１６および封入液通路１８の
内部には、封入液２０が封入されている。キャピラリチ
ューブ５の受圧器３側とは反対側端部は、前記検出器本
体２のシールダイアフラム８とカバー１０との間に形成
された室２１に連通している。また、このカバー１０の
内部にも僅かではあるが封入液２０が封入されている。
なお、以上の説明は、差圧発信器について述べたが、圧
力発信器においても全く同じことがいえる。したがっ
て、以下、両発信器を総称して差圧・圧力発信器とい
う。
れる検出器ボディ１７を備えている。検出器ボディ１７
には、一側面に接液ダイアフラム１５が設けられ、内部
に封入液通路１８が形成されている。封入液通路１８
は、一端が前記接液ダイアフラム１５の裏側に設けたダ
イアフラム室１６に連通し、他端が前記キャピラリチュ
ーブ５の一端に接続されている。そして、キャピラリチ
ューブ５、ダイアフラム室１６および封入液通路１８の
内部には、封入液２０が封入されている。キャピラリチ
ューブ５の受圧器３側とは反対側端部は、前記検出器本
体２のシールダイアフラム８とカバー１０との間に形成
された室２１に連通している。また、このカバー１０の
内部にも僅かではあるが封入液２０が封入されている。
なお、以上の説明は、差圧発信器について述べたが、圧
力発信器においても全く同じことがいえる。したがっ
て、以下、両発信器を総称して差圧・圧力発信器とい
う。
【０００５】このような構造からなるリモートシール型
差圧発信器１において、各受圧器３の接液ダイアフラム
１５に低圧側と高圧側の被測定圧力ＰL ，ＰH をそれぞ
れ加えると、接液ダイアフラム１５が変位し、この変位
を封入液２０を介して各シールダイアフラム８に伝達
し、室７ａ，７ｂ内の封入液１３を移動させる。そのた
め、センターダイアフラム６がこの時の差圧（ＰH −Ｐ
L ）に応じて変位し、この変位とバランスがとれた圧力
が封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に加えられ
る。したがって、半導体圧力センサ１１はその差圧に応
じて歪み、その歪量が電気信号に変換されて取り出され
ることで差圧が測定される。
差圧発信器１において、各受圧器３の接液ダイアフラム
１５に低圧側と高圧側の被測定圧力ＰL ，ＰH をそれぞ
れ加えると、接液ダイアフラム１５が変位し、この変位
を封入液２０を介して各シールダイアフラム８に伝達
し、室７ａ，７ｂ内の封入液１３を移動させる。そのた
め、センターダイアフラム６がこの時の差圧（ＰH −Ｐ
L ）に応じて変位し、この変位とバランスがとれた圧力
が封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に加えられ
る。したがって、半導体圧力センサ１１はその差圧に応
じて歪み、その歪量が電気信号に変換されて取り出され
ることで差圧が測定される。
【０００６】このようなリモートシール型差圧発信器１
において、封入液２０は、その殆どがキャピラリチュー
ブ５内に封入されている。この封入液２０は、温度変化
により膨張、収縮し、接液ダイアフラム１５はこれによ
り変化する。発信器が正常に動作し続けるためには、接
液ダイアフラム１５がばね性を有することが必要であ
る。ばね性の指標とする応力は、次式で表される。 σmax ≧σ＝ｋ1 ｔΔＶ／Ｄ4 ・・・・（１） ただし、σmax は許容応力（ばね性を有する限界）、σ
は発生応力、ｋ1 は定数（ダイアフラムの形状によって
変わる）、ｔは接液ダイアフラムの板厚、ΔＶは接液ダ
イアフラムの変位体積、Ｄは接液ダイアフラムの直径で
ある。ここで、σはσmax を超えてはならない。
において、封入液２０は、その殆どがキャピラリチュー
ブ５内に封入されている。この封入液２０は、温度変化
により膨張、収縮し、接液ダイアフラム１５はこれによ
り変化する。発信器が正常に動作し続けるためには、接
液ダイアフラム１５がばね性を有することが必要であ
る。ばね性の指標とする応力は、次式で表される。 σmax ≧σ＝ｋ1 ｔΔＶ／Ｄ4 ・・・・（１） ただし、σmax は許容応力（ばね性を有する限界）、σ
は発生応力、ｋ1 は定数（ダイアフラムの形状によって
変わる）、ｔは接液ダイアフラムの板厚、ΔＶは接液ダ
イアフラムの変位体積、Ｄは接液ダイアフラムの直径で
ある。ここで、σはσmax を超えてはならない。
【０００７】接液ダイアフラムの変位体積ΔＶは、次式
で表される。 ΔＶ＝α（ＴS −ＴF ）Ｖ ・・・・（２） ただし、αは封入液の熱膨張係数、ＴS は発信器の周囲
温度、ＴF は封入液を封入したときの温度、Ｖは全封入
液量である。
で表される。 ΔＶ＝α（ＴS −ＴF ）Ｖ ・・・・（２） ただし、αは封入液の熱膨張係数、ＴS は発信器の周囲
温度、ＴF は封入液を封入したときの温度、Ｖは全封入
液量である。
【０００８】上記した通りリモートシール型差圧発信器
１は、３種類からなる合計５枚のダイアフラムを備えて
いる。発信器に導かれる圧力は、これらのダイアフラム
を介して封入液に伝達され、最終的に半導体圧力センサ
１１に伝えられるが、そのとき接液ダイアフラムが変位
すると、その内部に発生する応力σによって圧力の損失
が生じる。この圧力の損失のためにセンサ１１が受ける
差圧は、測定対象の実際の差圧より小さくなる。センサ
１１が受ける差圧と実差圧の比を以下伝達効率と呼ぶ。
応力σが大きくなると伝達効率ηが小さくなり、発信器
出力にスパンシフトを発生させる。図４に発生応力σと
伝達効率ηの関係を示す。伝達効率ηは、次式によって
表される。 η＝Ｃ-1／（２ＣB-1 ＋２ＣS-1 ＋Ｃ-1） ・・・・（３） ただし、ηは伝達効率、Ｃはセンターダイアフラムのコ
ンプライアンス、ＣBはシールダイアフラムのコンプラ
イアンス、ＣS は接液ダイアフラムのコンプライアンス
である。ＣS は図４に示すようにダイアフラムの径が小
さくなるとダイアフラムの変位によって発生する応力σ
が大きくなるため、伝達効率ηは小さくなる。なお、セ
ンターダイアフラムのコンプライアンスＣとシールダイ
アフラムのコンプライアンスＣB は、設計上略一定とみ
なすことができる。
１は、３種類からなる合計５枚のダイアフラムを備えて
いる。発信器に導かれる圧力は、これらのダイアフラム
を介して封入液に伝達され、最終的に半導体圧力センサ
１１に伝えられるが、そのとき接液ダイアフラムが変位
すると、その内部に発生する応力σによって圧力の損失
が生じる。この圧力の損失のためにセンサ１１が受ける
差圧は、測定対象の実際の差圧より小さくなる。センサ
１１が受ける差圧と実差圧の比を以下伝達効率と呼ぶ。
応力σが大きくなると伝達効率ηが小さくなり、発信器
出力にスパンシフトを発生させる。図４に発生応力σと
伝達効率ηの関係を示す。伝達効率ηは、次式によって
表される。 η＝Ｃ-1／（２ＣB-1 ＋２ＣS-1 ＋Ｃ-1） ・・・・（３） ただし、ηは伝達効率、Ｃはセンターダイアフラムのコ
ンプライアンス、ＣBはシールダイアフラムのコンプラ
イアンス、ＣS は接液ダイアフラムのコンプライアンス
である。ＣS は図４に示すようにダイアフラムの径が小
さくなるとダイアフラムの変位によって発生する応力σ
が大きくなるため、伝達効率ηは小さくなる。なお、セ
ンターダイアフラムのコンプライアンスＣとシールダイ
アフラムのコンプライアンスＣB は、設計上略一定とみ
なすことができる。
【０００９】伝達効率ηに影響を与える応力σは、上記
（１）、（２）式が示すように温度によって変動するた
め、発信器は温度変化によってもスパンシフトが生じ
る。温度特性は、プロセス計測を安定した状態で行なう
ために重要な要素であるため、その性能改善は発信器と
して必要不可欠である。
（１）、（２）式が示すように温度によって変動するた
め、発信器は温度変化によってもスパンシフトが生じ
る。温度特性は、プロセス計測を安定した状態で行なう
ために重要な要素であるため、その性能改善は発信器と
して必要不可欠である。
【００１０】そこで、従来はシールダイアフラムの伝達
効率は一定とみなし、発信器本体２のみにキャラクタリ
ゼーションによる補正を行なっていた。キャラクタリゼ
ーションとは、各々の発信器に対しての出力特性をデー
タとして取込み、その１台１台に対して最も適した補正
を行う方法である。
効率は一定とみなし、発信器本体２のみにキャラクタリ
ゼーションによる補正を行なっていた。キャラクタリゼ
ーションとは、各々の発信器に対しての出力特性をデー
タとして取込み、その１台１台に対して最も適した補正
を行う方法である。
【００１１】このように、従来は発信器本体２だけで校
正を行なっているが、それは下記の理由による。キャピ
ラリチューブ５や受圧部３を付加したとき、校正した値
からの誤差は、接液ダイアフラム１５の柔らかさの程度
で発生する伝達効率ηの変化が大半を占める。よって、
（１）式に示すように接液ダイアフラム１５の直径が大
きければ応力σの変化が小さく、伝達効率ηの変化が小
さいため発信器出力への影響が少なく、発信器本体２の
校正だけで十分である。
正を行なっているが、それは下記の理由による。キャピ
ラリチューブ５や受圧部３を付加したとき、校正した値
からの誤差は、接液ダイアフラム１５の柔らかさの程度
で発生する伝達効率ηの変化が大半を占める。よって、
（１）式に示すように接液ダイアフラム１５の直径が大
きければ応力σの変化が小さく、伝達効率ηの変化が小
さいため発信器出力への影響が少なく、発信器本体２の
校正だけで十分である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最近で
はより小口径のフランジが用いられるようになってきた
ことから発信器の小型化が要望されている。そのため、
接液ダイアフラム１５を小さくすると、図４から明らか
なように伝達効率の変化が大きくなり、発信器出力がス
パンシフトし精度の高い測定ができなくなるという問題
があった。例えば、１・１／２Ｂフランジのリモートシ
ール型発信器の場合、３Ｂフランジのリモートシール型
発信器に比べて接液ダイアフラムの直径Ｄを１／２にし
なければならないが、Ｄだけを１／２にしたのでは、発
生応力σは３Ｂのリモートシール型発信器の１６倍にも
なってしまい、伝達効率の変化が大きくなり、安定した
測定が行えなくなる。
はより小口径のフランジが用いられるようになってきた
ことから発信器の小型化が要望されている。そのため、
接液ダイアフラム１５を小さくすると、図４から明らか
なように伝達効率の変化が大きくなり、発信器出力がス
パンシフトし精度の高い測定ができなくなるという問題
があった。例えば、１・１／２Ｂフランジのリモートシ
ール型発信器の場合、３Ｂフランジのリモートシール型
発信器に比べて接液ダイアフラムの直径Ｄを１／２にし
なければならないが、Ｄだけを１／２にしたのでは、発
生応力σは３Ｂのリモートシール型発信器の１６倍にも
なってしまい、伝達効率の変化が大きくなり、安定した
測定が行えなくなる。
【００１３】図５は小口径の発信器における温度特性を
示す図である。この図から明らかなように従来の小口径
発信器は、伝達効率が大きく変動するため、シフト（誤
差）が大きい。
示す図である。この図から明らかなように従来の小口径
発信器は、伝達効率が大きく変動するため、シフト（誤
差）が大きい。
【００１４】そこで、小型の発信器の場合は、発信器を
組み上げた状態で校正を行なう必要があるが、発信器全
体を恒温槽内に入れて行なう必要があるため、大型の恒
温槽が必要となる。また、恒温槽が大きいと校正を行な
うために温度を変化させても安定した環境になるまでに
時間がかかり、校正に長時間を要する。
組み上げた状態で校正を行なう必要があるが、発信器全
体を恒温槽内に入れて行なう必要があるため、大型の恒
温槽が必要となる。また、恒温槽が大きいと校正を行な
うために温度を変化させても安定した環境になるまでに
時間がかかり、校正に長時間を要する。
【００１５】本発明は上記した従来の問題点を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、小口
径のダイアフラムであっても高精度な測定を可能にした
差圧・圧力発信器の校正方法を提供することにある。
ためになされたもので、その目的とするところは、小口
径のダイアフラムであっても高精度な測定を可能にした
差圧・圧力発信器の校正方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、それぞれ単体からなる接液ダイアフラム、
センターダイアフラムおよびシールダイアフラムのコン
プライアンスを求め、前記接液ダイアフラム、センター
ダイアフラムおよびシールダイアフラムのコンプライア
ンスから伝達効率を求めて補正回路内のメモリに記憶
し、検出器本体を恒温槽内に装着して基準静圧、基準差
圧および基準温度をシールダイアフラムに数点づつ印加
し、この時のセンサ出力と静圧値、差圧値、温度が一致
するように補正し、その出力特性をデータとして書込専
用メモリに記憶し、前記検出器本体を恒温槽から取り出
して検出器本体と受圧器をキャピラリチューブによって
接続し、前記キャピラリチューブ内の封入液の全体積、
封入液の熱膨張係数および封入液の圧縮係数とから封入
液の膨張量を求め、測定時に実差圧に応じた前記書込専
用メモリからの出力に前記伝達効率の逆数を掛けて出力
補正を行うことを特徴とする。
に本発明は、それぞれ単体からなる接液ダイアフラム、
センターダイアフラムおよびシールダイアフラムのコン
プライアンスを求め、前記接液ダイアフラム、センター
ダイアフラムおよびシールダイアフラムのコンプライア
ンスから伝達効率を求めて補正回路内のメモリに記憶
し、検出器本体を恒温槽内に装着して基準静圧、基準差
圧および基準温度をシールダイアフラムに数点づつ印加
し、この時のセンサ出力と静圧値、差圧値、温度が一致
するように補正し、その出力特性をデータとして書込専
用メモリに記憶し、前記検出器本体を恒温槽から取り出
して検出器本体と受圧器をキャピラリチューブによって
接続し、前記キャピラリチューブ内の封入液の全体積、
封入液の熱膨張係数および封入液の圧縮係数とから封入
液の膨張量を求め、測定時に実差圧に応じた前記書込専
用メモリからの出力に前記伝達効率の逆数を掛けて出力
補正を行うことを特徴とする。
【００１７】本発明においては、検出器本体のみのキャ
ラクタリーゼーションを行ない、このときの出力を補正
してメモリに記憶する。また、予め求めた単体からなる
接液ダイアフラム、センターダイアフラムおよびシール
ダイアフラムのコンプライアンスから伝達効率を求め、
この伝達効率の逆数を実差圧に掛けて出力補正を行うよ
うにしているので、小口径の発信器であってもシフト
（誤差）が小さい。また発信器本体のみを恒温槽に入れ
てキャラクタリーゼーションを行えばよいので、恒温槽
は小さくてすむ。
ラクタリーゼーションを行ない、このときの出力を補正
してメモリに記憶する。また、予め求めた単体からなる
接液ダイアフラム、センターダイアフラムおよびシール
ダイアフラムのコンプライアンスから伝達効率を求め、
この伝達効率の逆数を実差圧に掛けて出力補正を行うよ
うにしているので、小口径の発信器であってもシフト
（誤差）が小さい。また発信器本体のみを恒温槽に入れ
てキャラクタリーゼーションを行えばよいので、恒温槽
は小さくてすむ。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。本発明によるリモートシール型差圧・圧力
発信器の校正方法は、以下の手順からなる。
に説明する。本発明によるリモートシール型差圧・圧力
発信器の校正方法は、以下の手順からなる。
【００１９】ステップ１ 検出器本体のキャラクタリゼ
ーション 検出器本体を恒温槽内に入れ、この検出器本体に基準静
圧、基準差圧および基準温度を数点づつ印加し、この時
のセンサ出力と静圧値、差圧値、温度が一致するように
補正し、その出力特性をデータとして書込専用メモリに
記憶する。
ーション 検出器本体を恒温槽内に入れ、この検出器本体に基準静
圧、基準差圧および基準温度を数点づつ印加し、この時
のセンサ出力と静圧値、差圧値、温度が一致するように
補正し、その出力特性をデータとして書込専用メモリに
記憶する。
【００２０】ステップ２ 受圧器の接液ダイアフラムに圧力をΔＰづつ変化させた
時に移動する体積ΔＶc を測定し、これから接液ダイア
フラムのコンプライアンスＣｓを求める。 Ｃｓ＝ΔＶc ／ΔＰ ・・・・（４） Ｃｓは総移動量Ｖc を横軸にとると、図１のようにな
る。
時に移動する体積ΔＶc を測定し、これから接液ダイア
フラムのコンプライアンスＣｓを求める。 Ｃｓ＝ΔＶc ／ΔＰ ・・・・（４） Ｃｓは総移動量Ｖc を横軸にとると、図１のようにな
る。
【００２１】ステップ３ 検出器本体を恒温槽から取り出して検出器本体と受圧器
をキャピラリチューブによって接続し、封入液を封入す
る。
をキャピラリチューブによって接続し、封入液を封入す
る。
【００２２】ステップ４ 前記封入液の全体積、封入液の熱膨張係数および封入液
の圧縮係数とから封入液の膨張量を求める。接液ダイア
フラムが変位した体積ΔＶは、封入液の膨張に比例す
る。すなわち、 ΔＶ＝（１＋αΔＴ＋βΔＰ）×Ｖ ・・・・（５） ただし：Ｖはキャピラリチューブに封入されている封入
液の全体積で、Ｖ≒ｋｌ（ｋ；定数、ｌ；キャピラリチ
ューブの長さ）、αは封入液の熱膨張係数、βは圧縮係
数、ΔＴは温度変化量、ΔＰは静圧変化量である。
の圧縮係数とから封入液の膨張量を求める。接液ダイア
フラムが変位した体積ΔＶは、封入液の膨張に比例す
る。すなわち、 ΔＶ＝（１＋αΔＴ＋βΔＰ）×Ｖ ・・・・（５） ただし：Ｖはキャピラリチューブに封入されている封入
液の全体積で、Ｖ≒ｋｌ（ｋ；定数、ｌ；キャピラリチ
ューブの長さ）、αは封入液の熱膨張係数、βは圧縮係
数、ΔＴは温度変化量、ΔＰは静圧変化量である。
【００２３】ステップ５ 接液ダイアフラムのコンプライアンスＣｓを、ステップ
２のＶc をステップ３のΔＶに置き換えることにより求
める。また、予めセンターダイアフラムとシールダイア
フラムのコンプライアンスも求めておく。次に、接液ダ
イアフラム、センターダイアフラムおよびシールダイア
フラムのコンプライアンスとから伝達効率ηを求める。
伝達効率ηは、測定時の温度と静圧が判れば求めること
ができる。温度と静圧は検出器本体の校正に用いられる
計算で常に分かるので、ηは既知となる。なお、ステッ
プ２およびステップ５は、上記したステップ１に先駆け
て行うことができる。
２のＶc をステップ３のΔＶに置き換えることにより求
める。また、予めセンターダイアフラムとシールダイア
フラムのコンプライアンスも求めておく。次に、接液ダ
イアフラム、センターダイアフラムおよびシールダイア
フラムのコンプライアンスとから伝達効率ηを求める。
伝達効率ηは、測定時の温度と静圧が判れば求めること
ができる。温度と静圧は検出器本体の校正に用いられる
計算で常に分かるので、ηは既知となる。なお、ステッ
プ２およびステップ５は、上記したステップ１に先駆け
て行うことができる。
【００２４】ステップ６ 測定時の実差圧に応じた書込専用メモリからの出力に伝
達効率の逆数を掛けて補正し、その値を発信器の出力と
する。
達効率の逆数を掛けて補正し、その値を発信器の出力と
する。
【００２５】このようにすると、伝達効率の変化が大き
い小径の接液ダイアフラムであっても精度の高い測定が
行なえる。
い小径の接液ダイアフラムであっても精度の高い測定が
行なえる。
【００２６】図２は小口径の発信器の温度特性を示す。
この図から明かなように、図５に示した従来の小口径の
発信器に比べて接液ダイアフラムの特性によるばらつき
によって発生するシフト（誤差）を抑えることができ
る。
この図から明かなように、図５に示した従来の小口径の
発信器に比べて接液ダイアフラムの特性によるばらつき
によって発生するシフト（誤差）を抑えることができ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る差圧・
圧力発信器の校正方法は、それぞれ単体からなる接液ダ
イアフラム、センターダイアフラムおよびシールダイア
フラムのコンプライアンスを求め、前記接液ダイアフラ
ム、センターダイアフラムおよびシールダイアフラムの
コンプライアンスから伝達効率を求めて補正回路内のメ
モリに記憶し、検出器本体を恒温槽内に装着して基準静
圧、基準差圧および基準温度をシールダイアフラムに数
点づつ印加し、この時のセンサ出力と静圧値、差圧値、
温度が一致するように補正し、その出力特性をデータと
して書込専用メモリに記憶し、前記検出器本体を恒温槽
から取り出して検出器本体と受圧器をキャピラリチュー
ブによって接続し、前記キャピラリチューブ内の封入液
の全体積、封入液の熱膨張係数および封入液の圧縮係数
とから封入液の膨張量を求め、測定時に実差圧に応じた
前記書込専用メモリからの出力に前記伝達効率の逆数を
掛けて出力補正を行うようにしたので、小径の接液ダイ
アフラムであっても精度の高い測定が行なえ、性能を向
上させることができる。また、検出器本体のみを恒温槽
内に入れてキャラクタリゼーションを行なえばよいの
で、恒温槽も小さくてすみ、短時間で安定した温度に保
持することができる。
圧力発信器の校正方法は、それぞれ単体からなる接液ダ
イアフラム、センターダイアフラムおよびシールダイア
フラムのコンプライアンスを求め、前記接液ダイアフラ
ム、センターダイアフラムおよびシールダイアフラムの
コンプライアンスから伝達効率を求めて補正回路内のメ
モリに記憶し、検出器本体を恒温槽内に装着して基準静
圧、基準差圧および基準温度をシールダイアフラムに数
点づつ印加し、この時のセンサ出力と静圧値、差圧値、
温度が一致するように補正し、その出力特性をデータと
して書込専用メモリに記憶し、前記検出器本体を恒温槽
から取り出して検出器本体と受圧器をキャピラリチュー
ブによって接続し、前記キャピラリチューブ内の封入液
の全体積、封入液の熱膨張係数および封入液の圧縮係数
とから封入液の膨張量を求め、測定時に実差圧に応じた
前記書込専用メモリからの出力に前記伝達効率の逆数を
掛けて出力補正を行うようにしたので、小径の接液ダイ
アフラムであっても精度の高い測定が行なえ、性能を向
上させることができる。また、検出器本体のみを恒温槽
内に入れてキャラクタリゼーションを行なえばよいの
で、恒温槽も小さくてすみ、短時間で安定した温度に保
持することができる。
【図１】 接液ダイアフラムのコンプライアンスＣｓと
封入液の総移動量の関係を示す図である。
封入液の総移動量の関係を示す図である。
【図２】 本発明によって補正を行うようにした小口径
の発信器の温度特性を示す図である。
の発信器の温度特性を示す図である。
【図３】 従来のリモートシール型差圧発信器の断面図
である。
である。
【図４】 応力と伝達効率の関係を示す図である。
【図５】 従来の小口径の発信器の温度特性を示す図で
ある。
ある。
１…差圧発信器、２…発信器本体、３…受圧器、５…キ
ャピラリチューブ、６…センターダイアフラム、８…シ
ールダイアフラム、１３…封入液、１５…接液ダイアフ
ラム、１６…ダイアフラム室、１８…封入液通路、２０
…封入液。
ャピラリチューブ、６…センターダイアフラム、８…シ
ールダイアフラム、１３…封入液、１５…接液ダイアフ
ラム、１６…ダイアフラム室、１８…封入液通路、２０
…封入液。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−112938（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−33437（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−88931（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−108947（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 27/00 G01L 13/00 - 13/06
Claims (1)
- 【請求項１】 それぞれ単体からなる接液ダイアフラ
ム、センターダイアフラムおよびシールダイアフラムの
コンプライアンスを求め、 前記接液ダイアフラム、センターダイアフラムおよびシ
ールダイアフラムのコンプライアンスから伝達効率を求
めて補正回路内のメモリに記憶し、 検出器本体を恒温槽内に装着して基準静圧、基準差圧お
よび基準温度をシールダイアフラムに数点づつ印加し、
この時のセンサ出力と静圧値、差圧値、温度が一致する
ように補正し、その出力特性をデータとして書込専用メ
モリに記憶し、 前記検出器本体を恒温槽から取り出して検出器本体と受
圧器をキャピラリチューブによって接続し、 前記キャピラリチューブ内の封入液の全体積、封入液の
熱膨張係数および封入液の圧縮係数とから封入液の膨張
量を求め、 測定時に実差圧に応じた前記書込専用メモリからの出力
に前記伝達効率の逆数を掛けて出力補正を行うことを特
徴とするリモートシール型差圧・圧力発信器の校正方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08138247A JP3127431B2 (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | リモートシール型差圧・圧力発信器の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08138247A JP3127431B2 (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | リモートシール型差圧・圧力発信器の校正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318481A JPH09318481A (ja) | 1997-12-12 |
| JP3127431B2 true JP3127431B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=15217514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08138247A Expired - Lifetime JP3127431B2 (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | リモートシール型差圧・圧力発信器の校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3127431B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6629869B1 (en) | 1992-03-16 | 2003-10-07 | Si Diamond Technology, Inc. | Method of making flat panel displays having diamond thin film cathode |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11009897B2 (en) * | 2018-12-28 | 2021-05-18 | Rosemount Inc. | Remote seal system with improved temperature compensation |
-
1996
- 1996-05-31 JP JP08138247A patent/JP3127431B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6629869B1 (en) | 1992-03-16 | 2003-10-07 | Si Diamond Technology, Inc. | Method of making flat panel displays having diamond thin film cathode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09318481A (ja) | 1997-12-12 |
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| JPS6126918Y2 (ja) |
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