JPH09145518A - 差圧・圧力発信器 - Google Patents
差圧・圧力発信器Info
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- JPH09145518A JPH09145518A JP30017995A JP30017995A JPH09145518A JP H09145518 A JPH09145518 A JP H09145518A JP 30017995 A JP30017995 A JP 30017995A JP 30017995 A JP30017995 A JP 30017995A JP H09145518 A JPH09145518 A JP H09145518A
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- diaphragm
- pressure
- transmitter
- liquid
- capillary tube
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 応答性と温度特性を向上させる。
【解決手段】 受圧器３の検出器ボディ１７の両側面に
接液ダイヤフラム１５と過負荷保護用ダイヤフラム３５
を対称的に設ける。これら両ダイヤフラム１５，３５に
よって形成されるダイヤフラム室１６と３７を連通路３
８によって互いに連通させる。また、連通路３８を封入
液通路１８を介してキャピラリチューブ５に接続する。
過負荷保護用ダイヤフラム３５のコンプライアンスを接
液ダイヤフラム１５のコンプライアンスより小さく設定
する。接液ダイヤフラム１５が変位すると、ダイヤフラ
ム室１６内の封入液２０は連通路３８を通ってダイヤフ
ラム室３７に移動し、過負荷保護用ダイヤフラム３５を
変位させる。この時の圧力のみがキャピラリチューブ５
を介して発振器本体２に伝わる。
接液ダイヤフラム１５と過負荷保護用ダイヤフラム３５
を対称的に設ける。これら両ダイヤフラム１５，３５に
よって形成されるダイヤフラム室１６と３７を連通路３
８によって互いに連通させる。また、連通路３８を封入
液通路１８を介してキャピラリチューブ５に接続する。
過負荷保護用ダイヤフラム３５のコンプライアンスを接
液ダイヤフラム１５のコンプライアンスより小さく設定
する。接液ダイヤフラム１５が変位すると、ダイヤフラ
ム室１６内の封入液２０は連通路３８を通ってダイヤフ
ラム室３７に移動し、過負荷保護用ダイヤフラム３５を
変位させる。この時の圧力のみがキャピラリチューブ５
を介して発振器本体２に伝わる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、差圧・圧力発信器
に関し、特に発信器本体と受圧器をキャピラリチューブ
によって接続した差圧・圧力発信器に関する。
に関し、特に発信器本体と受圧器をキャピラリチューブ
によって接続した差圧・圧力発信器に関する。
【０００２】
【従来の技術】石油、石油化学、化学プラントなどにお
いて、プロセス流体の流量、圧力、液位、比重などを測
定するために用いられる差圧・圧力発信器は、プロセス
流体が高温、高粘度、腐食性、凝固性の流体である場
合、受圧器と発信器本体を封入液が封入されたキャピラ
リチューブによって接続し、プロセス流体圧を受圧器の
接液ダイヤフラムで受け、この接液ダイヤフラムの変位
を封入液を介して発信器本体に導くようにした、所謂リ
モート・シール型差圧・圧力発信器が用いられる。この
ようなリモート・シール型差圧・圧力発信器としては、
実開昭５５−１０８９４７号公報、実開昭６２−８８９
３１号公報、実開昭６３−３３４３７号公報等に開示さ
れているように従来から種々提案されている。
いて、プロセス流体の流量、圧力、液位、比重などを測
定するために用いられる差圧・圧力発信器は、プロセス
流体が高温、高粘度、腐食性、凝固性の流体である場
合、受圧器と発信器本体を封入液が封入されたキャピラ
リチューブによって接続し、プロセス流体圧を受圧器の
接液ダイヤフラムで受け、この接液ダイヤフラムの変位
を封入液を介して発信器本体に導くようにした、所謂リ
モート・シール型差圧・圧力発信器が用いられる。この
ようなリモート・シール型差圧・圧力発信器としては、
実開昭５５−１０８９４７号公報、実開昭６２−８８９
３１号公報、実開昭６３−３３４３７号公報等に開示さ
れているように従来から種々提案されている。
【０００３】図３は上記した実開昭５５−１０８９４７
号公報に開示されているリモート・シール型差圧発信器
を説明するための断面図である。同図において、リモー
ト・シール型差圧発信器１は、発信器本体２と、同一構
造からなる２つの受圧器３と、発信器本体２と各受圧器
３をそれぞれ接続する２本のキャピラリチューブ５とを
備えている。発信器本体２は、内室７がセンターダイヤ
フラム６によって２つの室７ａ，７ｂに仕切られ、両側
面にシールダイヤフラム８がそれぞれ設けられた発信器
ボディ９と、この発信器ボディ９の両側面を覆うカバー
１０とを備え、また発信器ボディ９の上面には半導体圧
力センサ１１を収納するヘッド部１２が一体的に取り付
けられている。センターダイヤフラム６によって仕切ら
れた２つの室７ａ，７ｂは、シリコーンオイル等の封入
液１３がそれぞれ封入されるとともに、各シールダイヤ
フラム８と発信器ボディ９の側面との間に形成されたダ
イヤフラム室１４に通路ａを介してそれぞれ連通してい
る。
号公報に開示されているリモート・シール型差圧発信器
を説明するための断面図である。同図において、リモー
ト・シール型差圧発信器１は、発信器本体２と、同一構
造からなる２つの受圧器３と、発信器本体２と各受圧器
３をそれぞれ接続する２本のキャピラリチューブ５とを
備えている。発信器本体２は、内室７がセンターダイヤ
フラム６によって２つの室７ａ，７ｂに仕切られ、両側
面にシールダイヤフラム８がそれぞれ設けられた発信器
ボディ９と、この発信器ボディ９の両側面を覆うカバー
１０とを備え、また発信器ボディ９の上面には半導体圧
力センサ１１を収納するヘッド部１２が一体的に取り付
けられている。センターダイヤフラム６によって仕切ら
れた２つの室７ａ，７ｂは、シリコーンオイル等の封入
液１３がそれぞれ封入されるとともに、各シールダイヤ
フラム８と発信器ボディ９の側面との間に形成されたダ
イヤフラム室１４に通路ａを介してそれぞれ連通してい
る。
【０００４】受圧器３は、検出器ボディ１７の一側面に
設けられた接液ダイヤフラム１５と、この接液ダイヤフ
ラム１５と検出器ボディ１７の側面との間に形成された
ダイヤフラム室１６に一端が連通する封入液通路１８を
有し、この封入液通路１８の他端に前記キャピラリチュ
ーブ５の一端が接続されている。キャピラリチューブ５
の他端は、前記カバー１０に接続されている。キャピラ
リチューブ５、カバーの内部１０、ダイヤフラム室１６
および封入液通路１８には、封入液２０が封入されてい
る。
設けられた接液ダイヤフラム１５と、この接液ダイヤフ
ラム１５と検出器ボディ１７の側面との間に形成された
ダイヤフラム室１６に一端が連通する封入液通路１８を
有し、この封入液通路１８の他端に前記キャピラリチュ
ーブ５の一端が接続されている。キャピラリチューブ５
の他端は、前記カバー１０に接続されている。キャピラ
リチューブ５、カバーの内部１０、ダイヤフラム室１６
および封入液通路１８には、封入液２０が封入されてい
る。
【０００５】このような構造からなるリモート・シール
型差圧発信器１において、各受圧器３の接液ダイヤフラ
ム１５に低圧側と高圧側の被測定圧力ＰL 、ＰH がそれ
ぞれ加わると、接液ダイヤフラム１５が変位し、この変
位を封入液２０を介して各シールダイヤフラム８に伝達
し、室７ａ，７ｂ内の封入液１３を移動させる。このた
め、センターダイヤフラム６がこの時の差圧（ＰH −Ｐ
L ）に応じて変位し、この変位とバランスがとれた圧力
が封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に加えられ
る。したがって、半導体圧力センサ１１はその差圧に応
じて歪み、その歪量が電気信号に変換されて取り出され
ることで差圧が測定される。プロセス側から接液ダイヤ
フラム１５に測定限界圧以上の過大圧力が加わった場合
は、この接液ダイヤフラム１５が塑性変形により過大圧
力を吸収するより前にセンターダイヤフラム６および半
導体圧力センサ１１の破損等を防止するためにシールダ
イヤフラム８が検出器ボディ９の側面に着底し、これに
より過負荷防止機構を構成している。なお、以上の説明
は、差圧発信器について述べたが、圧力発信器において
も全く同じことがいえる。したがって、以下、両発信器
を総称して差圧・圧力発信器という。
型差圧発信器１において、各受圧器３の接液ダイヤフラ
ム１５に低圧側と高圧側の被測定圧力ＰL 、ＰH がそれ
ぞれ加わると、接液ダイヤフラム１５が変位し、この変
位を封入液２０を介して各シールダイヤフラム８に伝達
し、室７ａ，７ｂ内の封入液１３を移動させる。このた
め、センターダイヤフラム６がこの時の差圧（ＰH −Ｐ
L ）に応じて変位し、この変位とバランスがとれた圧力
が封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に加えられ
る。したがって、半導体圧力センサ１１はその差圧に応
じて歪み、その歪量が電気信号に変換されて取り出され
ることで差圧が測定される。プロセス側から接液ダイヤ
フラム１５に測定限界圧以上の過大圧力が加わった場合
は、この接液ダイヤフラム１５が塑性変形により過大圧
力を吸収するより前にセンターダイヤフラム６および半
導体圧力センサ１１の破損等を防止するためにシールダ
イヤフラム８が検出器ボディ９の側面に着底し、これに
より過負荷防止機構を構成している。なお、以上の説明
は、差圧発信器について述べたが、圧力発信器において
も全く同じことがいえる。したがって、以下、両発信器
を総称して差圧・圧力発信器という。
【０００６】このような過負荷防止機構を備えた従来の
リモート・シール型差圧・圧力発信器における応答性
（Ｔ）は、次式で表される。 Ｔ＝Ｋ・Ｃ・Ｒ ・・・・（１） Ｒ＝Ｋ1 ・ｌ／ｄ4 ただし：Ｋ，Ｋ1 は定数、Ｒは抵抗、Ｃはセンターダイ
ヤフラムのコンプライアンス、ｌはキャピラリチューブ
の長さ、ｄはキャピラリチューブの内径である。差圧・
圧力発信器の性質上、応答性Ｔは小さい値ほどよい。し
たがって、応答性Ｔを損なわないようにするためには、
Ｒを小さく、言い換えればキャピラリチューブ５の長さ
ｌを短くし、内径ｄを大きくすればよい。しかしなが
ら、長さｌを短くすると、設置条件が大きく制約され、
内径ｄを大きくすると、封入液２０の量が増加する。ま
た、封入液２０の量が増加すると、周囲の環境変化によ
る封入液２０の体積膨張が大きくなるため、零点がずれ
たり、測定誤差が発生する。したがって、封入液２０の
体積量を可能な限り少なくするためには、キャピラリチ
ューブ５の内径ｄが小さいことが望ましい。
リモート・シール型差圧・圧力発信器における応答性
（Ｔ）は、次式で表される。 Ｔ＝Ｋ・Ｃ・Ｒ ・・・・（１） Ｒ＝Ｋ1 ・ｌ／ｄ4 ただし：Ｋ，Ｋ1 は定数、Ｒは抵抗、Ｃはセンターダイ
ヤフラムのコンプライアンス、ｌはキャピラリチューブ
の長さ、ｄはキャピラリチューブの内径である。差圧・
圧力発信器の性質上、応答性Ｔは小さい値ほどよい。し
たがって、応答性Ｔを損なわないようにするためには、
Ｒを小さく、言い換えればキャピラリチューブ５の長さ
ｌを短くし、内径ｄを大きくすればよい。しかしなが
ら、長さｌを短くすると、設置条件が大きく制約され、
内径ｄを大きくすると、封入液２０の量が増加する。ま
た、封入液２０の量が増加すると、周囲の環境変化によ
る封入液２０の体積膨張が大きくなるため、零点がずれ
たり、測定誤差が発生する。したがって、封入液２０の
体積量を可能な限り少なくするためには、キャピラリチ
ューブ５の内径ｄが小さいことが望ましい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
リモート・シール型差圧・圧力発信器においては、キャ
ピラリチューブ５の内径ｄを可能な限り小さくして封入
液２０の量を少なくすることが好ましいが、内径ｄをあ
まり小さくするとキャピラリチューブ５の内面と封入液
２０との間で生じる抵抗や封入液自体の粘性のために圧
力伝達が遅くなるため（時定数が大きくなる）、応答性
が低下するという問題があった。したがって、差圧・圧
力発信器の設計に際しては、キャピラリチューブ５の長
さ、使用温度、応答性、性能のいずれかもしくは全てに
制限を加えなければならないという問題があった。
リモート・シール型差圧・圧力発信器においては、キャ
ピラリチューブ５の内径ｄを可能な限り小さくして封入
液２０の量を少なくすることが好ましいが、内径ｄをあ
まり小さくするとキャピラリチューブ５の内面と封入液
２０との間で生じる抵抗や封入液自体の粘性のために圧
力伝達が遅くなるため（時定数が大きくなる）、応答性
が低下するという問題があった。したがって、差圧・圧
力発信器の設計に際しては、キャピラリチューブ５の長
さ、使用温度、応答性、性能のいずれかもしくは全てに
制限を加えなければならないという問題があった。
【０００８】本発明は、上記した従来の問題点を解決す
るためになされたもので、その目的とするところは、応
答性および温度特性に優れ、キャピラリチューブを長く
細くすることができるようにした差圧・圧力発信器を提
供することにある。
るためになされたもので、その目的とするところは、応
答性および温度特性に優れ、キャピラリチューブを長く
細くすることができるようにした差圧・圧力発信器を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、シールダイヤフラムを有し封入液が封入され
た発信器本体と、接液ダイヤフラムを有し封入液が封入
された受圧器と、この受圧器と前記発信器本体を接続す
るキャピラリチューブを備えた差圧・圧力発信器におい
て、前記受圧器の接液ダイヤフラムと対称な部位に過負
荷保護用ダイヤフラムを設け、これら両ダイヤフラムに
よって形成されたダイヤフラム室間を前記受圧器内に設
けた連通路によって連通するとともに、前記キャピラリ
チューブに接続したことを特徴とする。
本発明は、シールダイヤフラムを有し封入液が封入され
た発信器本体と、接液ダイヤフラムを有し封入液が封入
された受圧器と、この受圧器と前記発信器本体を接続す
るキャピラリチューブを備えた差圧・圧力発信器におい
て、前記受圧器の接液ダイヤフラムと対称な部位に過負
荷保護用ダイヤフラムを設け、これら両ダイヤフラムに
よって形成されたダイヤフラム室間を前記受圧器内に設
けた連通路によって連通するとともに、前記キャピラリ
チューブに接続したことを特徴とする。
【００１０】本発明において、通常測定時は、接液ダイ
ヤフラムは撓むが、シールダイヤフラムは撓まないた
め、適正な圧力を伝達し、これを測定することができる
が、過大圧力が加わると、接液ダイヤフラムが塑性変形
を起こして検出器ボディの側面に着底する前に、シール
ダイヤフラムが弾性変形を起こし、これが十分着底する
前に過大圧を吸収することができる。接液ダイヤフラム
によって形成されたダイヤフラム室内の封入液は、連通
路を通り過負荷保護用ダイヤフラムによって形成された
ダイヤフラム室内に流れ込み、接液ダイヤフラムは着底
し、過大圧力を吸収する。したがって、過大圧力は検出
器本体側には伝わらなくなる。
ヤフラムは撓むが、シールダイヤフラムは撓まないた
め、適正な圧力を伝達し、これを測定することができる
が、過大圧力が加わると、接液ダイヤフラムが塑性変形
を起こして検出器ボディの側面に着底する前に、シール
ダイヤフラムが弾性変形を起こし、これが十分着底する
前に過大圧を吸収することができる。接液ダイヤフラム
によって形成されたダイヤフラム室内の封入液は、連通
路を通り過負荷保護用ダイヤフラムによって形成された
ダイヤフラム室内に流れ込み、接液ダイヤフラムは着底
し、過大圧力を吸収する。したがって、過大圧力は検出
器本体側には伝わらなくなる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る差
圧・圧力発信器の実施の形態を示す断面図である。な
お、図中従来技術の欄で示した構成部品等と同一のもの
については同一の符号をもって示し、その説明を省略す
る。同図において、発信器本体２の発信器ボディ９は、
両側面に設けられたシールダイヤフラム８と、これらの
シールダイヤフラム８によって形成されたダイヤフラム
室１４に一端がそれぞれ連通する封入液通路３１を有
し、ダイヤフラム室１４および封入液通路３１に封入さ
れた封入液１３を介して各シールダイヤフラム８の変位
を半導体圧力センサ１１に伝達するように構成されてい
る。したがって、発信器本体２は、図３に示したセンタ
ーダイヤフラム６および内室７を備えていない。
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る差
圧・圧力発信器の実施の形態を示す断面図である。な
お、図中従来技術の欄で示した構成部品等と同一のもの
については同一の符号をもって示し、その説明を省略す
る。同図において、発信器本体２の発信器ボディ９は、
両側面に設けられたシールダイヤフラム８と、これらの
シールダイヤフラム８によって形成されたダイヤフラム
室１４に一端がそれぞれ連通する封入液通路３１を有
し、ダイヤフラム室１４および封入液通路３１に封入さ
れた封入液１３を介して各シールダイヤフラム８の変位
を半導体圧力センサ１１に伝達するように構成されてい
る。したがって、発信器本体２は、図３に示したセンタ
ーダイヤフラム６および内室７を備えていない。
【００１２】発信器本体２にキャピラリチューブ５を介
してそれぞれ接続される低圧側と高圧側の受圧器３は、
その検出器ボディ１７の一側面に設けられた接液ダイヤ
フラム１５と、この接液ダイヤフラム１５と対称な部位
となるように他側面に設けられた過負荷保護用ダイヤフ
ラム３５をそれぞれ備えている。検出器ボディ１７の側
面と接液ダイヤフラム１５および過負荷保護用ダイヤフ
ラム３５によってそれぞれ形成されたダイヤフラム室１
６，３７は、連通路３８によって互いに連通しており、
またこの連通路３８は封入液通路１８を介して前記キャ
ピラリチューブ５に接続されている。過負荷保護用ダイ
ヤフラム３５のコンプライアンス（外力が加わったとき
の変形と力の比で、ダイヤフラムの変形し易さ、撓み易
さを表す）は、接液ダイヤフラム１５のコンプライアン
スより小さく設定されている。言い換えれば、過負荷保
護用ダイヤフラム３５は、接液ダイヤフラム１５より撓
み難く製作されている。なお、４０はキャピラリチュー
ブ５を発信器ボディ９と検出器ボディ１１に接続するた
めの接続具、４１はキャピラリチューブ５の接続端部を
覆う保護カバー、４２は信号処理回路、４３はカバー１
０を発信器ボディ９に固定するボルトである。その他の
構成は図３に示した従来の差圧・圧力発信器と同様であ
る。
してそれぞれ接続される低圧側と高圧側の受圧器３は、
その検出器ボディ１７の一側面に設けられた接液ダイヤ
フラム１５と、この接液ダイヤフラム１５と対称な部位
となるように他側面に設けられた過負荷保護用ダイヤフ
ラム３５をそれぞれ備えている。検出器ボディ１７の側
面と接液ダイヤフラム１５および過負荷保護用ダイヤフ
ラム３５によってそれぞれ形成されたダイヤフラム室１
６，３７は、連通路３８によって互いに連通しており、
またこの連通路３８は封入液通路１８を介して前記キャ
ピラリチューブ５に接続されている。過負荷保護用ダイ
ヤフラム３５のコンプライアンス（外力が加わったとき
の変形と力の比で、ダイヤフラムの変形し易さ、撓み易
さを表す）は、接液ダイヤフラム１５のコンプライアン
スより小さく設定されている。言い換えれば、過負荷保
護用ダイヤフラム３５は、接液ダイヤフラム１５より撓
み難く製作されている。なお、４０はキャピラリチュー
ブ５を発信器ボディ９と検出器ボディ１１に接続するた
めの接続具、４１はキャピラリチューブ５の接続端部を
覆う保護カバー、４２は信号処理回路、４３はカバー１
０を発信器ボディ９に固定するボルトである。その他の
構成は図３に示した従来の差圧・圧力発信器と同様であ
る。
【００１３】このような構造からなるリモート・シール
型の差圧・圧力発信器において、測定流体の低圧側およ
び高圧側の圧力ＰL ，ＰH が低圧側、高圧側の受圧器３
の接液ダイヤフラム１５にそれぞれ加わると、これらの
接液ダイヤフラム１５はその圧力に応じて変位する。そ
のため、ダイヤフラム室１６内の封入液２０の一部は、
連通路３８を通ってダイヤフラム室３７へ移動する。こ
の時、通常測定時においては、接液ダイヤフラム１５が
検出器ボディ１７の側面に着底せず、ダイヤフラム室１
６の容積は零にならない。このダイヤフラム室１６内の
封入液２０は、連通路３８を通ってダイヤフラム室３７
に流れ込み、過負荷保護用ダイヤフラム３５を変位させ
る。したがって、この時の圧力のみが封入液２０を介し
て発信器本体２に導かれ、シールダイヤフラム８を変位
させる。そして、このシールダイヤフラム８の変位は、
封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に導かれ、そ
の差圧が測定される。
型の差圧・圧力発信器において、測定流体の低圧側およ
び高圧側の圧力ＰL ，ＰH が低圧側、高圧側の受圧器３
の接液ダイヤフラム１５にそれぞれ加わると、これらの
接液ダイヤフラム１５はその圧力に応じて変位する。そ
のため、ダイヤフラム室１６内の封入液２０の一部は、
連通路３８を通ってダイヤフラム室３７へ移動する。こ
の時、通常測定時においては、接液ダイヤフラム１５が
検出器ボディ１７の側面に着底せず、ダイヤフラム室１
６の容積は零にならない。このダイヤフラム室１６内の
封入液２０は、連通路３８を通ってダイヤフラム室３７
に流れ込み、過負荷保護用ダイヤフラム３５を変位させ
る。したがって、この時の圧力のみが封入液２０を介し
て発信器本体２に導かれ、シールダイヤフラム８を変位
させる。そして、このシールダイヤフラム８の変位は、
封入液１３を介して半導体圧力センサ１１に導かれ、そ
の差圧が測定される。
【００１４】一方、たとえば低圧側受圧器３の接液ダイ
ヤフラム１５に測定限界圧以上の過大圧力が加わると、
この接液ダイヤフラム１５は変位して検出器ボディ１７
の側面に着底し、ダイヤフラム室１６の容積を零にす
る。そのため、ダイヤフラム室１６内の封入液２０は全
て連通路３８を通ってダイヤフラム室３７内へ移動し、
過負荷保護用ダイヤフラム３５を変位させる。過負荷保
護用ダイヤフラム３５は、コンプライアンスが小さい
が、接液ダイヤフラムが通常の弾性域を越えて塑性域に
入る状態よりは撓み易いので、十分に変位してダイヤフ
ラム室１６内の封入液２０をダイヤフラム室３７内に受
け入れ、過大圧力を吸収する。したがって、過大圧力は
発信器本体２側には伝わらず、シールダイヤフラム８お
よび半導体圧力センサ１１が破損することはない。高圧
側受圧器３の接液ダイヤフラム１５に過大圧力が加わっ
た時も同様に、高圧側の過負荷保護用ダイヤフラム３７
が変位して過負荷を吸収することにより、過大圧力が発
信器本体２側に伝わらず、シールダイヤフラム８および
半導体圧力センサ１１の破損を防止する。
ヤフラム１５に測定限界圧以上の過大圧力が加わると、
この接液ダイヤフラム１５は変位して検出器ボディ１７
の側面に着底し、ダイヤフラム室１６の容積を零にす
る。そのため、ダイヤフラム室１６内の封入液２０は全
て連通路３８を通ってダイヤフラム室３７内へ移動し、
過負荷保護用ダイヤフラム３５を変位させる。過負荷保
護用ダイヤフラム３５は、コンプライアンスが小さい
が、接液ダイヤフラムが通常の弾性域を越えて塑性域に
入る状態よりは撓み易いので、十分に変位してダイヤフ
ラム室１６内の封入液２０をダイヤフラム室３７内に受
け入れ、過大圧力を吸収する。したがって、過大圧力は
発信器本体２側には伝わらず、シールダイヤフラム８お
よび半導体圧力センサ１１が破損することはない。高圧
側受圧器３の接液ダイヤフラム１５に過大圧力が加わっ
た時も同様に、高圧側の過負荷保護用ダイヤフラム３７
が変位して過負荷を吸収することにより、過大圧力が発
信器本体２側に伝わらず、シールダイヤフラム８および
半導体圧力センサ１１の破損を防止する。
【００１５】上記したように本発明に係る差圧・圧力発
信器においては、接液ダイヤフラム１５の裏側室を形成
するダイヤフラム室１６内の封入液２０を過負荷保護用
ダイヤフラム３５の裏側室を形成するダイヤフラム室３
７内に移動させるようにしているので、封入液２０がキ
ャピラリチューブ５を通って発信器本体２側に殆ど移動
せず、圧力のみを発信器本体２側に伝えることができ
る。このような差圧・圧力発信器における応答性は次式
によって示される。 Ｔ＝Ｋ・Ｒ1・Ｃ1 ・・・・（２） Ｒ1＝Ｋ3・ｌ2 ／ｄ04 ただし、Ｒ1 は抵抗、Ｋ3は定数、Ｃ1 は過負荷保護用
ダイヤフラムのコンプライアンス、ｌ2 は連通路３８の
長さ、ｄ0 は連通路３８の内径である。ここで、抵抗Ｒ
1 は、キャピラリチューブ５の長さおよび内径に全く依
存せず、また上記（１）式に示した抵抗Ｒに比べて十分
小さいので、応答性Ｔを向上させることができる。ま
た、キャピラリチューブ５に依存しなければ、封入液２
０の総量を変えないでキャピラリチューブ５の長さおよ
び内径を自由に変えることができ、環境変化による影響
を少なくすることができる。
信器においては、接液ダイヤフラム１５の裏側室を形成
するダイヤフラム室１６内の封入液２０を過負荷保護用
ダイヤフラム３５の裏側室を形成するダイヤフラム室３
７内に移動させるようにしているので、封入液２０がキ
ャピラリチューブ５を通って発信器本体２側に殆ど移動
せず、圧力のみを発信器本体２側に伝えることができ
る。このような差圧・圧力発信器における応答性は次式
によって示される。 Ｔ＝Ｋ・Ｒ1・Ｃ1 ・・・・（２） Ｒ1＝Ｋ3・ｌ2 ／ｄ04 ただし、Ｒ1 は抵抗、Ｋ3は定数、Ｃ1 は過負荷保護用
ダイヤフラムのコンプライアンス、ｌ2 は連通路３８の
長さ、ｄ0 は連通路３８の内径である。ここで、抵抗Ｒ
1 は、キャピラリチューブ５の長さおよび内径に全く依
存せず、また上記（１）式に示した抵抗Ｒに比べて十分
小さいので、応答性Ｔを向上させることができる。ま
た、キャピラリチューブ５に依存しなければ、封入液２
０の総量を変えないでキャピラリチューブ５の長さおよ
び内径を自由に変えることができ、環境変化による影響
を少なくすることができる。
【００１６】図２は本発明の他の実施の形態を示す断面
図である。この実施の形態においては、低圧側と高圧側
の受圧器３のダイヤフラム室３７をパイプ５０によって
連通させている。５１は密閉タンクである。その他の構
成は上記した実施の形態と同一である。このような構造
において、パイプ５０の長さをＬ、キャピラリチューブ
５の長さをｌ3 とすると、Ｌ《ｌ3 のアプリケーション
の時、静圧が高い状況下でも測定が可能である。このと
き、過負荷保護用ダイヤフラム３５は、差圧によって動
作する。このときの応答性は、上記した（２）式中のＲ
1 （＝Ｋ3 ・ｌ2 ／ｄ04）を、 Ｒ1 ＝Ｋ3 ・Ｌ／ｄ04 に置き換えればよい。
図である。この実施の形態においては、低圧側と高圧側
の受圧器３のダイヤフラム室３７をパイプ５０によって
連通させている。５１は密閉タンクである。その他の構
成は上記した実施の形態と同一である。このような構造
において、パイプ５０の長さをＬ、キャピラリチューブ
５の長さをｌ3 とすると、Ｌ《ｌ3 のアプリケーション
の時、静圧が高い状況下でも測定が可能である。このと
き、過負荷保護用ダイヤフラム３５は、差圧によって動
作する。このときの応答性は、上記した（２）式中のＲ
1 （＝Ｋ3 ・ｌ2 ／ｄ04）を、 Ｒ1 ＝Ｋ3 ・Ｌ／ｄ04 に置き換えればよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る差圧・
圧力発信器は、シールダイヤフラムを有し封入液が封入
された発信器本体と、接液ダイヤフラムを有し封入液が
封入された受圧器と、この受圧器と前記発信器本体を接
続するキャピラリチューブを備えた差圧・圧力発信器に
おいて、前記受圧器の接液ダイヤフラムと対称な部位に
過負荷保護用ダイヤフラムを設け、これら両ダイヤフラ
ムによって形成されたダイヤフラム室間を前記受圧器内
に設けた連通路によって連通するとともに、前記キャピ
ラリチューブに接続し、過負荷保護用ダイヤフラムのコ
ンプライアンスを接液ダイヤフラムのコンプライアンス
より小さく設定したので、キャピラリチューブ内での封
入液の移動が殆どなく、圧力のみを発信器本体に伝達す
ることができる。したがって、キャピラリチューブの長
さおよび内径に依存せず、差圧・圧力発信器の応答性お
よび温度特性を向上させることができ、キャピラリチュ
ーブの長さおよび内径を自由に変更し得る。
圧力発信器は、シールダイヤフラムを有し封入液が封入
された発信器本体と、接液ダイヤフラムを有し封入液が
封入された受圧器と、この受圧器と前記発信器本体を接
続するキャピラリチューブを備えた差圧・圧力発信器に
おいて、前記受圧器の接液ダイヤフラムと対称な部位に
過負荷保護用ダイヤフラムを設け、これら両ダイヤフラ
ムによって形成されたダイヤフラム室間を前記受圧器内
に設けた連通路によって連通するとともに、前記キャピ
ラリチューブに接続し、過負荷保護用ダイヤフラムのコ
ンプライアンスを接液ダイヤフラムのコンプライアンス
より小さく設定したので、キャピラリチューブ内での封
入液の移動が殆どなく、圧力のみを発信器本体に伝達す
ることができる。したがって、キャピラリチューブの長
さおよび内径に依存せず、差圧・圧力発信器の応答性お
よび温度特性を向上させることができ、キャピラリチュ
ーブの長さおよび内径を自由に変更し得る。
【図１】 本発明に係る差圧・圧力発信器の実施の形態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】 本発明の他の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図３】 従来のリモート・シール型差圧発信器の断面
図である。
図である。
１…差圧発信器、２…発信器本体、３…受圧器、５…キ
ャピラリチューブ、６…センターダイヤフラム、８…シ
ールダイヤフラム、１３…封入液、１５…接液ダイヤフ
ラム、１６…ダイヤフラム室、１８…封入液通路、２０
…封入液、３５…過負荷保護用ダイヤフラム、３７…ダ
イヤフラム室、３８…連通路。
ャピラリチューブ、６…センターダイヤフラム、８…シ
ールダイヤフラム、１３…封入液、１５…接液ダイヤフ
ラム、１６…ダイヤフラム室、１８…封入液通路、２０
…封入液、３５…過負荷保護用ダイヤフラム、３７…ダ
イヤフラム室、３８…連通路。
Claims (1)
- 【請求項１】 シールダイヤフラムを有し封入液が封入
された発信器本体と、接液ダイヤフラムを有し封入液が
封入された受圧器と、この受圧器と前記発信器本体を接
続するキャピラリチューブを備えた差圧・圧力発信器に
おいて、前記受圧器の接液ダイヤフラムと対称な部位に
過負荷保護用ダイヤフラムを設け、これら両ダイヤフラ
ムによって形成されたダイヤフラム室間を前記受圧器内
に設けた連通路によって連通するとともに、前記キャピ
ラリチューブに接続したことを特徴とする差圧・圧力発
信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30017995A JPH09145518A (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 差圧・圧力発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30017995A JPH09145518A (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 差圧・圧力発信器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145518A true JPH09145518A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17881700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30017995A Pending JPH09145518A (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 差圧・圧力発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145518A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006177829A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Yokogawa Electric Corp | ダイアフラムシール付伝送器 |
| WO2007126503A2 (en) | 2006-04-10 | 2007-11-08 | Rosemount Inc. | Industrial process pressure transmitter with field repairable remote seals |
| JP2018536150A (ja) * | 2015-09-30 | 2018-12-06 | ローズマウント インコーポレイテッド | 過圧保護付き圧力送信器 |
| JP2020524270A (ja) * | 2017-06-16 | 2020-08-13 | ローズマウント インコーポレイテッド | 高作動圧力用途のための圧力センサモジュール |
-
1995
- 1995-11-17 JP JP30017995A patent/JPH09145518A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006177829A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Yokogawa Electric Corp | ダイアフラムシール付伝送器 |
| WO2007126503A2 (en) | 2006-04-10 | 2007-11-08 | Rosemount Inc. | Industrial process pressure transmitter with field repairable remote seals |
| EP2011116A4 (en) * | 2006-04-10 | 2015-03-04 | Rosemount Inc | PRESENTING AN INDUSTRIAL PROCESS WITH REPLACEABLE REMOTE SEALS IN THE FIELD OF USE |
| JP2018536150A (ja) * | 2015-09-30 | 2018-12-06 | ローズマウント インコーポレイテッド | 過圧保護付き圧力送信器 |
| JP2020524270A (ja) * | 2017-06-16 | 2020-08-13 | ローズマウント インコーポレイテッド | 高作動圧力用途のための圧力センサモジュール |
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