JPH1114483A - ダイアフラムシール型差圧測定装置 - Google Patents
ダイアフラムシール型差圧測定装置Info
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- JPH1114483A JPH1114483A JP17154597A JP17154597A JPH1114483A JP H1114483 A JPH1114483 A JP H1114483A JP 17154597 A JP17154597 A JP 17154597A JP 17154597 A JP17154597 A JP 17154597A JP H1114483 A JPH1114483 A JP H1114483A
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- Japan
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- pressure side
- measuring device
- differential pressure
- pressure measuring
- diaphragm seal
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 周囲温度特性が向上し得るダイアフラムシー
ル型差圧測定装置を提供するにある。 【解決手段】 差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそ
れぞれキャピラリーチューブを介して測定流体に接する
高圧側と低圧側のシールダイアフラムユニットを具備す
るダイアフラムシール型差圧測定装置において、前記差
圧測定装置の低圧側に一端が接続され途中が前記高圧側
のキャピラリーチューブに並行し他端が前記高圧側のシ
ールダイアフラムユニット近くに配置され差圧測定装置
の高圧側に基づく周囲温度誤差を補償する低圧側の補償
キャピラリーチューブと、前記差圧測定装置の高圧側に
一端が接続され途中が前記低圧側のキャピラリーチュー
ブに並行し他端が前記低圧側のシールダイアフラムユニ
ット近くに配置され差圧測定装置の低圧側に基づく周囲
温度誤差を補償する高圧側の補償キャピラリーチューブ
とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差
圧測定装置である。
ル型差圧測定装置を提供するにある。 【解決手段】 差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそ
れぞれキャピラリーチューブを介して測定流体に接する
高圧側と低圧側のシールダイアフラムユニットを具備す
るダイアフラムシール型差圧測定装置において、前記差
圧測定装置の低圧側に一端が接続され途中が前記高圧側
のキャピラリーチューブに並行し他端が前記高圧側のシ
ールダイアフラムユニット近くに配置され差圧測定装置
の高圧側に基づく周囲温度誤差を補償する低圧側の補償
キャピラリーチューブと、前記差圧測定装置の高圧側に
一端が接続され途中が前記低圧側のキャピラリーチュー
ブに並行し他端が前記低圧側のシールダイアフラムユニ
ット近くに配置され差圧測定装置の低圧側に基づく周囲
温度誤差を補償する高圧側の補償キャピラリーチューブ
とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差
圧測定装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、周囲温度特性を改
良したダイアフラムシール型差圧測定装置に関するもの
である。
良したダイアフラムシール型差圧測定装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来より一般に「ダイアフラム
シール付き差圧計」として使用されている従来例の構成
説明図で、例えば、実開昭６２−８６５２８号の従来例
に示されている。
シール付き差圧計」として使用されている従来例の構成
説明図で、例えば、実開昭６２−８６５２８号の従来例
に示されている。
【０００３】図において、１は差圧測定装置本体で、本
体カプセル２と本体カプセル２を覆うカバー３とよりな
る。本体カプセル２は、この場合は、静電容量検出型が
使用されている。
体カプセル２と本体カプセル２を覆うカバー３とよりな
る。本体カプセル２は、この場合は、静電容量検出型が
使用されている。
【０００４】４、５は、本体カプセル２の両側面の高圧
側と低圧側のそれぞれに設けられたシールダイアフラム
である。６は高圧側のカバー３に、一端が接続された、
高圧側のキャピラリーチューブである。
側と低圧側のそれぞれに設けられたシールダイアフラム
である。６は高圧側のカバー３に、一端が接続された、
高圧側のキャピラリーチューブである。
【０００５】７は高圧側のキャピラリーチューブ６の他
端に接続されたダイアフラムシールユニットである。８
は、ダイアフラムシールユニット７とキャピラリーチュ
ーブ６と高圧側のカバー３内に封入された封入液であ
る。この場合は、シリコンオイルが使用されている。
端に接続されたダイアフラムシールユニットである。８
は、ダイアフラムシールユニット７とキャピラリーチュ
ーブ６と高圧側のカバー３内に封入された封入液であ
る。この場合は、シリコンオイルが使用されている。
【０００６】９は低圧側側のカバー３に、一端が接続さ
れた、低圧側のキャピラリーチューブである。１１は低
圧側のキャピラリーチューブ９の他端に接続されたダイ
アフラムシールユニットである。
れた、低圧側のキャピラリーチューブである。１１は低
圧側のキャピラリーチューブ９の他端に接続されたダイ
アフラムシールユニットである。
【０００７】１２は、ダイアフラムシールユニット１１
とキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー３内に封入
された封入液である。この場合は、シリコンオイルが使
用されている。１３は、本体カプセル２に取付られた変
換器部である。
とキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー３内に封入
された封入液である。この場合は、シリコンオイルが使
用されている。１３は、本体カプセル２に取付られた変
換器部である。
【０００８】以上の構成において、ダイアフラムシール
ユニット７，１１が、測定流体Ａに接すると、測定圧
は、キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を
介して、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定され
る。
ユニット７，１１が、測定流体Ａに接すると、測定圧
は、キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を
介して、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定され
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、 （１）周囲温度が変化すると、封入液８，１２が、膨張
或いは収縮を起こし温度誤差を生ずる。
な装置においては、 （１）周囲温度が変化すると、封入液８，１２が、膨張
或いは収縮を起こし温度誤差を生ずる。
【００１０】（２）２個のシールダイアフラムの容積変
化率と２個の室の封入液量が、全く同一ではないため、
封入液の内圧が、２個の室で異なり、温度誤差を生ず
る。 （３）電気式のダイアフラムシール型差圧測定装置で
は、本体カプセル２と変換器部１３とに配置した温度セ
ンサと、信号変換部に搭載したマイクロプロセッサによ
り、周囲温度が高圧側，低圧側共に、同じように変化す
る場合には、温度誤差を補正出来る。
化率と２個の室の封入液量が、全く同一ではないため、
封入液の内圧が、２個の室で異なり、温度誤差を生ず
る。 （３）電気式のダイアフラムシール型差圧測定装置で
は、本体カプセル２と変換器部１３とに配置した温度セ
ンサと、信号変換部に搭載したマイクロプロセッサによ
り、周囲温度が高圧側，低圧側共に、同じように変化す
る場合には、温度誤差を補正出来る。
【００１１】しかし、空気式のダイアフラムシール型差
圧測定装置では、マイクロプロセッサを有していないた
め、補正することが出来ず、温度誤差は生じたままであ
る。温度誤差を出来るだけ少なくするために、封入液を
出来る限り少なくする。或いは、シールダイアフラムの
直径を大きくし、容積変化率を大きくする事も限界があ
る。
圧測定装置では、マイクロプロセッサを有していないた
め、補正することが出来ず、温度誤差は生じたままであ
る。温度誤差を出来るだけ少なくするために、封入液を
出来る限り少なくする。或いは、シールダイアフラムの
直径を大きくし、容積変化率を大きくする事も限界があ
る。
【００１２】従って、例えば、直径３インチ、或いは４
インチ等のシールダイアフラムの直径を大きくしたもの
を使い、ある程度の温度誤差が生ずるのはやむを得ない
としていた。
インチ等のシールダイアフラムの直径を大きくしたもの
を使い、ある程度の温度誤差が生ずるのはやむを得ない
としていた。
【００１３】しかし、装置の小型化、軽量化の趨勢か
ら、シールダイアフラムの直径を小さくして、シールダ
イアフラムも小型軽量化を図る必要があるが、従来の空
気式ダイアフラムシール型差圧測定装置ではこれに対応
することができない。
ら、シールダイアフラムの直径を小さくして、シールダ
イアフラムも小型軽量化を図る必要があるが、従来の空
気式ダイアフラムシール型差圧測定装置ではこれに対応
することができない。
【００１４】すなわち、従来例のダイアフラムシール型
差圧測定装置の内圧変化ΔＰは ΔP＝ΔPH−ΔPL ＝(((VH・ΔtH)/vdH)−((Vl・ΔtL)/vdL))β （１）
差圧測定装置の内圧変化ΔＰは ΔP＝ΔPH−ΔPL ＝(((VH・ΔtH)/vdH)−((Vl・ΔtL)/vdL))β （１）
【００１５】 ΔPH,ΔPL:高低圧側の内圧変化(mmH2O) VH,Vl :高低圧側の温度変化の影響を受ける部分の容
積(cc) vdH,vdL :高低圧側のシールダイアフラムの容積変化率
(cc/mmH2O) ΔtH,ΔtL:高低圧側の温度変化(℃) β :封入液の熱膨張係数（/℃）
積(cc) vdH,vdL :高低圧側のシールダイアフラムの容積変化率
(cc/mmH2O) ΔtH,ΔtL:高低圧側の温度変化(℃) β :封入液の熱膨張係数（/℃）
【００１６】と表わされ、VH＝Vl＝V、vdH＝vdL＝vとな
るように構成されているが、製造上のバラツキ、高低圧
側の温度差等により零点がシフトする。（１）式よりΔ
Ｐは、封入系独自に決まり、このΔＰをスパンで割った
値がゼロシフトになる。このようにシフト量は封入系独
自に決まるので、圧力、差圧スパンが小さいほど、ゼロ
シフトへの影響が大きくなる。
るように構成されているが、製造上のバラツキ、高低圧
側の温度差等により零点がシフトする。（１）式よりΔ
Ｐは、封入系独自に決まり、このΔＰをスパンで割った
値がゼロシフトになる。このようにシフト量は封入系独
自に決まるので、圧力、差圧スパンが小さいほど、ゼロ
シフトへの影響が大きくなる。
【００１７】従って、圧力、差圧スパンは、出来るだけ
大きい方が有利である。また、誤差やゼロシフト量を表
現する場合は、スパンが幾らの時の値であるかを明確に
表示する必要がある。
大きい方が有利である。また、誤差やゼロシフト量を表
現する場合は、スパンが幾らの時の値であるかを明確に
表示する必要がある。
【００１８】（１）式において、たとえ、VH＝Vl＝V、v
dH＝vdL＝vとしても、高低圧側の温度差の項目は常に残
る。
dH＝vdL＝vとしても、高低圧側の温度差の項目は常に残
る。
【００１９】（４）電気式ダイアフラムシール型差圧測
定装置においても、周囲温度と変換器部分の温度とは、
若干の温度差があり、これが補正誤差の１つの要因とな
っていた。また、キャピラリーチューブ６，９の周囲温
度に基づく温度は、高圧側キャピラリーチューブ６と低
圧側キャピラリーチューブ９とは、異なる場合が大部分
である。
定装置においても、周囲温度と変換器部分の温度とは、
若干の温度差があり、これが補正誤差の１つの要因とな
っていた。また、キャピラリーチューブ６，９の周囲温
度に基づく温度は、高圧側キャピラリーチューブ６と低
圧側キャピラリーチューブ９とは、異なる場合が大部分
である。
【００２０】例えば、高圧側キャピラリーチューブ６
は、日光に照らされ、低圧側キャピラリーチューブ９は
日陰にある場合、とかの例がある。このような相違も、
温度誤差の要因となる。電気式ダイアフラムシール型差
圧測定装置の場合、マイクロプロセッサを用いて温度補
正が出来るといっても、高圧側と低圧側との温度差で生
ずる、このような誤差は、補正することが出来ない。
は、日光に照らされ、低圧側キャピラリーチューブ９は
日陰にある場合、とかの例がある。このような相違も、
温度誤差の要因となる。電気式ダイアフラムシール型差
圧測定装置の場合、マイクロプロセッサを用いて温度補
正が出来るといっても、高圧側と低圧側との温度差で生
ずる、このような誤差は、補正することが出来ない。
【００２１】（５）ダイアフラムシールユニット７と１
１の相対高度に違いがあると、ヘッド差が生ずるので、
サプレッションを加えて、零点を調整する必要がある。
特に、空気式ダイアフラムシール型差圧測定装置では、
電気抵抗等を使用する電気的な調整はできないので、必
ず、サプレッション機構が必要になる。
１の相対高度に違いがあると、ヘッド差が生ずるので、
サプレッションを加えて、零点を調整する必要がある。
特に、空気式ダイアフラムシール型差圧測定装置では、
電気抵抗等を使用する電気的な調整はできないので、必
ず、サプレッション機構が必要になる。
【００２２】また、電気式ダイアフラムシール型差圧測
定装置においても、現場に設置後、電気的な調整が必要
である。
定装置においても、現場に設置後、電気的な調整が必要
である。
【００２３】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、周囲温度特性が向上し得るダイア
フラムシール型差圧測定装置を提供するにある。
る。本発明の目的は、周囲温度特性が向上し得るダイア
フラムシール型差圧測定装置を提供するにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれキ
ャピラリーチューブを介して測定流体に接する高圧側と
低圧側のシールダイアフラムユニットを具備するダイア
フラムシール型差圧測定装置において、前記差圧測定装
置の低圧側に一端が接続され途中が前記高圧側のキャピ
ラリーチューブに並行し他端が前記高圧側のシールダイ
アフラムユニット近くに配置され差圧測定装置の高圧側
に基づく周囲温度誤差を補償する低圧側の補償キャピラ
リーチューブと、前記差圧測定装置の高圧側に一端が接
続され途中が前記低圧側のキャピラリーチューブに並行
し他端が前記低圧側のシールダイアフラムユニット近く
に配置され差圧測定装置の低圧側に基づく周囲温度誤差
を補償する高圧側の補償キャピラリーチューブとを具備
したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装
置。 （２）空気式の差圧測定装置本体を具備したことを特徴
とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装
置。 （３）電気式の差圧測定装置本体を具備したことを特徴
とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装
置。を構成した。
に、本発明は、 （１）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれキ
ャピラリーチューブを介して測定流体に接する高圧側と
低圧側のシールダイアフラムユニットを具備するダイア
フラムシール型差圧測定装置において、前記差圧測定装
置の低圧側に一端が接続され途中が前記高圧側のキャピ
ラリーチューブに並行し他端が前記高圧側のシールダイ
アフラムユニット近くに配置され差圧測定装置の高圧側
に基づく周囲温度誤差を補償する低圧側の補償キャピラ
リーチューブと、前記差圧測定装置の高圧側に一端が接
続され途中が前記低圧側のキャピラリーチューブに並行
し他端が前記低圧側のシールダイアフラムユニット近く
に配置され差圧測定装置の低圧側に基づく周囲温度誤差
を補償する高圧側の補償キャピラリーチューブとを具備
したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装
置。 （２）空気式の差圧測定装置本体を具備したことを特徴
とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装
置。 （３）電気式の差圧測定装置本体を具備したことを特徴
とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装
置。を構成した。
【００２５】
【作用】以上の構成において、ダイアフラムシールユニ
ットが、測定流体に接すると、測定圧は、キャピラリー
チューブ中の封入液を介して、本体カプセルに伝達さ
れ、差圧が測定される。
ットが、測定流体に接すると、測定圧は、キャピラリー
チューブ中の封入液を介して、本体カプセルに伝達さ
れ、差圧が測定される。
【００２６】而して、周囲温度が変化すると、封入液
が、膨張或いは収縮を起こし温度誤差を生じようとす
る。しかし、補償キャピラリーチューブが設けられてい
るので、補正され、温度誤差を生じない。以下、実施例
に基づき詳細に説明する。
が、膨張或いは収縮を起こし温度誤差を生じようとす
る。しかし、補償キャピラリーチューブが設けられてい
るので、補正され、温度誤差を生じない。以下、実施例
に基づき詳細に説明する。
【００２７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図である。図において、図５と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図５と相違部分のみ説明す
る。
構成説明図である。図において、図５と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図５と相違部分のみ説明す
る。
【００２８】２１は、差圧測定装置の低圧側に一端が接
続され、途中が高圧側のキャピラリーチューブ６に並行
し、他端が高圧側のシールダイアフラムユニット７近く
に配置され、差圧測定装置の高圧側に基づく周囲温度誤
差を補償する低圧側の補償キャピラリーチューブであ
る。
続され、途中が高圧側のキャピラリーチューブ６に並行
し、他端が高圧側のシールダイアフラムユニット７近く
に配置され、差圧測定装置の高圧側に基づく周囲温度誤
差を補償する低圧側の補償キャピラリーチューブであ
る。
【００２９】２２は、差圧測定装置の高圧側に一端が接
続され、途中が低圧側のキャピラリーチューブ９に並行
し、他端が低圧側のシールダイアフラムユニット１１近
くに配置され、差圧測定装置の低圧側に基づく周囲温度
誤差を補償する高圧側の補償キャピラリーチューブであ
る。
続され、途中が低圧側のキャピラリーチューブ９に並行
し、他端が低圧側のシールダイアフラムユニット１１近
くに配置され、差圧測定装置の低圧側に基づく周囲温度
誤差を補償する高圧側の補償キャピラリーチューブであ
る。
【００３０】以上の構成において、ダイアフラムシール
ユニット７，１１が、測定流体に接すると、測定圧は、
キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を介し
て、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定される。
ユニット７，１１が、測定流体に接すると、測定圧は、
キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を介し
て、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定される。
【００３１】而して、周囲温度が変化すると、封入液
８，１２が、膨張或いは収縮を起こし温度誤差を生じよ
うとする。しかし、補償キャピラリーチューブ２１，２
２が設けられているので、補正され、温度誤差を生じな
い。
８，１２が、膨張或いは収縮を起こし温度誤差を生じよ
うとする。しかし、補償キャピラリーチューブ２１，２
２が設けられているので、補正され、温度誤差を生じな
い。
【００３２】すなわち、キャピラリーチューブ６，９と
補償キャピラリーチューブ２１，２２の容積が等しいと
すると、 ΔP＝ΔPH−ΔPL ＝(((VH/2)・ΔtH＋(VL/2)・ΔtL)/vdH)β −(((Vl/2)・ΔtL＋(VH/2)・ΔtH)/vdL)β （２） ＝((VH/2)((1/vdH)−(1/vdL))ΔtH＋(VL/2)((1/vdH)−(1/vdL))ΔtL)β ＝(β/2)((1/vdH)-(1/vdL))(VHΔtH-VLΔtL)
補償キャピラリーチューブ２１，２２の容積が等しいと
すると、 ΔP＝ΔPH−ΔPL ＝(((VH/2)・ΔtH＋(VL/2)・ΔtL)/vdH)β −(((Vl/2)・ΔtL＋(VH/2)・ΔtH)/vdL)β （２） ＝((VH/2)((1/vdH)−(1/vdL))ΔtH＋(VL/2)((1/vdH)−(1/vdL))ΔtL)β ＝(β/2)((1/vdH)-(1/vdL))(VHΔtH-VLΔtL)
【００３３】ΔPH,ΔPL:高低圧側の内圧変化(mmH2O) VH,Vl :高低圧側の温度変化の影響を受ける部分の容
積(cc) vdH,vdL :高低圧側のシールダイアフラムの容積変化率
(cc/mmH2O) ΔtH,ΔtL:高低圧側の温度変化(℃) β :封入液の熱膨張係数（/℃）
積(cc) vdH,vdL :高低圧側のシールダイアフラムの容積変化率
(cc/mmH2O) ΔtH,ΔtL:高低圧側の温度変化(℃) β :封入液の熱膨張係数（/℃）
【００３４】即ち、高低圧側のシールダイアフラムの容
積変化率vdH,vdLを揃えれば揃えるほど、ΔPはゼロに近
ずく。前述の（１）式では、高低圧側のシールダイアフ
ラムの容積変化率vdH,vdLが等しくなっても、ゼロには
ならない。また、高低圧側の温度変化があっても有効で
ある。
積変化率vdH,vdLを揃えれば揃えるほど、ΔPはゼロに近
ずく。前述の（１）式では、高低圧側のシールダイアフ
ラムの容積変化率vdH,vdLが等しくなっても、ゼロには
ならない。また、高低圧側の温度変化があっても有効で
ある。
【００３５】以上の結果、補償キャピラリーチューブ２
１，２２が設けられたので、 （１）周囲温度誤差を小さくすることが出来、温度特性
が良好なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。
１，２２が設けられたので、 （１）周囲温度誤差を小さくすることが出来、温度特性
が良好なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。
【００３６】（２）２個のシールダイアフラムの容積変
化率と２個の室の封入液量が、全く同一ではないため、
封入液の内圧が、２個の室で異なつても、温度誤差を小
さくすることが出来、温度特性が良好な、ダイアフラム
シール型差圧測定装置が得られる。 （３）シールダイアフラムの小型化が採用出来るので、
装置全体の小型化が促進できるダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
化率と２個の室の封入液量が、全く同一ではないため、
封入液の内圧が、２個の室で異なつても、温度誤差を小
さくすることが出来、温度特性が良好な、ダイアフラム
シール型差圧測定装置が得られる。 （３）シールダイアフラムの小型化が採用出来るので、
装置全体の小型化が促進できるダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
【００３７】（４）周囲温度と変換器部分の温度とは若
干の温度差がある。また、キャピラリーチューブ６，９
の周囲温度に基づく温度は、高圧側キャピラリーチュー
ブ６と低圧側キャピラリーチューブ９とは、異なる場合
が大部分である。 上記の如き場合も、補償キャピラリーチューブ２１，２
２により補正され、温度特性が良好なダイアフラムシー
ル型差圧測定装置が得られる。
干の温度差がある。また、キャピラリーチューブ６，９
の周囲温度に基づく温度は、高圧側キャピラリーチュー
ブ６と低圧側キャピラリーチューブ９とは、異なる場合
が大部分である。 上記の如き場合も、補償キャピラリーチューブ２１，２
２により補正され、温度特性が良好なダイアフラムシー
ル型差圧測定装置が得られる。
【００３８】図２は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、密閉タンクＢの液位測
定に使用された例である。
図である。本実施例においては、密閉タンクＢの液位測
定に使用された例である。
【００３９】レベル計測の場合には、封入液８，１２の
密度が、周囲温度によって変化すると、誤差となる。本
発明では、差圧測定装置本体１の高圧側も、低圧側も、
同じ密度変化となるため、温度特性が良好なダイアフラ
ムシール型差圧測定装置が得られる。
密度が、周囲温度によって変化すると、誤差となる。本
発明では、差圧測定装置本体１の高圧側も、低圧側も、
同じ密度変化となるため、温度特性が良好なダイアフラ
ムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４０】レベル計測の場合には、ダイアフラムシー
ルユニット７と１１の相対高度に違いがあり、ヘッド差
が生ずるので、サプレッションを加えて、零点を調整す
る必要がある。特に、空気式ダイアフラムシール型差圧
測定装置では、電気抵抗等を使用する電気的な調整はで
きないので、必ず、サプレッション機構が必要になる。
ルユニット７と１１の相対高度に違いがあり、ヘッド差
が生ずるので、サプレッションを加えて、零点を調整す
る必要がある。特に、空気式ダイアフラムシール型差圧
測定装置では、電気抵抗等を使用する電気的な調整はで
きないので、必ず、サプレッション機構が必要になる。
【００４１】これに対し、本発明では、サプレッション
は不要となる。すなわち、高圧側と低圧側との位置差の
影響は発生せず、安価なダイアフラムシール型差圧測定
装置が得られる。
は不要となる。すなわち、高圧側と低圧側との位置差の
影響は発生せず、安価なダイアフラムシール型差圧測定
装置が得られる。
【００４２】すなわち、図３に示す如く、サプレッショ
ン量Ｘは、 （１）補償キャピラリーチューブ２１，２２が無い場合
は、 Ｘ＝（ｌ1−ｌ2）ρ ｌ1：高圧側キャピラリーチューブ高さ ｌ2：低圧側キャピラリーチューブ高さ ρ ：封入液の密度
ン量Ｘは、 （１）補償キャピラリーチューブ２１，２２が無い場合
は、 Ｘ＝（ｌ1−ｌ2）ρ ｌ1：高圧側キャピラリーチューブ高さ ｌ2：低圧側キャピラリーチューブ高さ ρ ：封入液の密度
【００４３】（２）補償キャピラリーチューブ２１，２
２が有る場合は、 Ｘ＝（（ｌ1＋Δｌ1）−ｌ1）ρ ＝Δｌ1ρ
２が有る場合は、 Ｘ＝（（ｌ1＋Δｌ1）−ｌ1）ρ ＝Δｌ1ρ
【００４４】 ｌ1 ：補償キャピラリーチューブ２１の高さ ｌ1＋Δｌ1：低圧側のキャピラリーチューブ高さ ρ ：封入液の密度 となり、Δｌ1は殆ど無視できるので、サプレッション
は不要となる。
は不要となる。
【００４５】図４は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、管路Ｃの測定流体Ａの
流量を、オリフィスＤを設けて流量計測するようにした
ものである。
図である。本実施例においては、管路Ｃの測定流体Ａの
流量を、オリフィスＤを設けて流量計測するようにした
ものである。
【００４６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、補償キャピラリーチューブが設けられ
たので、 （１）周囲温度誤差を小さくすることが出来、温度特性
が良好なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。
求項１によれば、補償キャピラリーチューブが設けられ
たので、 （１）周囲温度誤差を小さくすることが出来、温度特性
が良好なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。
【００４７】（２）２個のシールダイアフラムの容積変
化率と２個の室の封入液量が、全く同一ではないため、
封入液の内圧が、２個の室で異なつても、温度誤差を小
さくすることが出来、温度特性が良好な、ダイアフラム
シール型差圧測定装置が得られる。 （３）シールダイアフラムの小型化が採用出来るので、
装置全体の小型化が促進できるダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
化率と２個の室の封入液量が、全く同一ではないため、
封入液の内圧が、２個の室で異なつても、温度誤差を小
さくすることが出来、温度特性が良好な、ダイアフラム
シール型差圧測定装置が得られる。 （３）シールダイアフラムの小型化が採用出来るので、
装置全体の小型化が促進できるダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
【００４８】（４）周囲温度と変換器部分の温度とは若
干の温度差がある。また、キャピラリーチューブの周囲
温度に基づく温度は、高圧側キャピラリーチューブと低
圧側キャピラリーチューブとは、異なる場合が大部分で
ある。上記の如き場合も、補償キャピラリーチューブに
より補正され、温度特性が良好なダイアフラムシール型
差圧測定装置が得られる。
干の温度差がある。また、キャピラリーチューブの周囲
温度に基づく温度は、高圧側キャピラリーチューブと低
圧側キャピラリーチューブとは、異なる場合が大部分で
ある。上記の如き場合も、補償キャピラリーチューブに
より補正され、温度特性が良好なダイアフラムシール型
差圧測定装置が得られる。
【００４９】（５）レベル計測の場合には、封入液の密
度が、周囲温度によって変化すると、誤差となる。本発
明では、差圧測定装置本体の高圧側も、低圧側も、同じ
密度変化となるため、温度特性が良好なダイアフラムシ
ール型差圧測定装置が得られる。
度が、周囲温度によって変化すると、誤差となる。本発
明では、差圧測定装置本体の高圧側も、低圧側も、同じ
密度変化となるため、温度特性が良好なダイアフラムシ
ール型差圧測定装置が得られる。
【００５０】（６）レベル計測の場合には、ダイアフラ
ムシールユニットとの相対高度に違いがあり、ヘッド差
が生ずるので、サプレッションを加えて、零点を調整す
る必要がある。特に、空気式ダイアフラムシール型差圧
測定装置では、電気抵抗等を使用する電気的な調整はで
きないので、必ず、サプレッション機構が必要になる。
ムシールユニットとの相対高度に違いがあり、ヘッド差
が生ずるので、サプレッションを加えて、零点を調整す
る必要がある。特に、空気式ダイアフラムシール型差圧
測定装置では、電気抵抗等を使用する電気的な調整はで
きないので、必ず、サプレッション機構が必要になる。
【００５１】これに対し、本発明では、サプレッション
は不要となる。すなわち、高圧側と低圧側との位置差の
影響は発生せず、安価なダイアフラムシール型差圧測定
装置が得られる。
は不要となる。すなわち、高圧側と低圧側との位置差の
影響は発生せず、安価なダイアフラムシール型差圧測定
装置が得られる。
【００５２】本発明の請求項２によれば、 （１）周囲温度誤差による、零点ドリフトの極めて少な
い空気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。 （２）高圧側と低圧側の周囲温度に差があっても、零点
ドリフトが少ない空気式ダイアフラムシール型差圧測定
装置が得られる。
い空気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。 （２）高圧側と低圧側の周囲温度に差があっても、零点
ドリフトが少ない空気式ダイアフラムシール型差圧測定
装置が得られる。
【００５３】（３）また、レベル計として使用した場
合、サプレッションをかける必要がなくなり、サプレッ
ション機構が省略できる。更に、設置現場での調整の必
要がなくなり、製造コスト、設置コストが低減出来る空
気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
合、サプレッションをかける必要がなくなり、サプレッ
ション機構が省略できる。更に、設置現場での調整の必
要がなくなり、製造コスト、設置コストが低減出来る空
気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５４】（４）封入液の密度が温度変化によって、
変わった結果、誤差が発生することを避ける事が出来、
精度が良い空気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
変わった結果、誤差が発生することを避ける事が出来、
精度が良い空気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
【００５５】本発明の請求項３によれば、 （１）周囲温度誤差による、零点ドリフトの極めて少な
い電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。マイコンを利用して補正をすれば、殆ど、誤差零の
電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
い電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。マイコンを利用して補正をすれば、殆ど、誤差零の
電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５６】（２）高圧側と低圧側の周囲温度に差があ
っても、零点ドリフトが少ない電気式ダイアフラムシー
ル型差圧測定装置が得られる。これをマイコンを利用し
て補正をするためには、高圧側のキャピラリーチューブ
と低圧側キャピラリーチューブにそれぞれ設置された計
２個の温度センサが必要になる。従って、製造コストが
低減出来る電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
っても、零点ドリフトが少ない電気式ダイアフラムシー
ル型差圧測定装置が得られる。これをマイコンを利用し
て補正をするためには、高圧側のキャピラリーチューブ
と低圧側キャピラリーチューブにそれぞれ設置された計
２個の温度センサが必要になる。従って、製造コストが
低減出来る電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
【００５７】（３）また、レベル計として使用した場
合、サプレッションをかける必要がなくなり、サプレッ
ション機構が省略できる。更に、設置現場での調整の必
要がなくなり、製造コスト、設置コストが低減出来る電
気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
合、サプレッションをかける必要がなくなり、サプレッ
ション機構が省略できる。更に、設置現場での調整の必
要がなくなり、製造コスト、設置コストが低減出来る電
気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５８】（４）封入液の密度が温度変化によって、
変わった結果、誤差が発生することを避ける事が出来、
精度が良い電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
変わった結果、誤差が発生することを避ける事が出来、
精度が良い電気式ダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
【００５９】従って、本発明によれば、周囲温度特性が
向上し得るダイアフラムシール型差圧測定装置を実現す
ることが出来る。
向上し得るダイアフラムシール型差圧測定装置を実現す
ることが出来る。
【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の構成説明図である。
【図３】図２の動作説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の構成説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
１ 差圧測定装置本体 ２ 本体カプセル ３ カバー ４ シールダイアフラム ５ シールダイアフラム ６ 高圧側のキャピラリーチューブ ７ 高圧側のダイアフラムシールユニット ８ 封入液 ９ 低圧側のキャピラリーチューブ １１ 低圧側のダイアフラムシールユニット １２ 封入液 ２１ 低圧側の補償キャピラリーチューブ ２２ 高圧側の補償キャピラリーチューブ Ａ 測定流体 Ｂ 密閉タンク Ｃ 管路 Ｄ オリフィス
Claims (3)
- 【請求項１】差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれ
ぞれキャピラリーチューブを介して測定流体に接する高
圧側と低圧側のシールダイアフラムユニットを具備する
ダイアフラムシール型差圧測定装置において、 前記差圧測定装置の低圧側に一端が接続され途中が前記
高圧側のキャピラリーチューブに並行し他端が前記高圧
側のシールダイアフラムユニット近くに配置され差圧測
定装置の高圧側に基づく周囲温度誤差を補償する低圧側
の補償キャピラリーチューブと、 前記差圧測定装置の高圧側に一端が接続され途中が前記
低圧側のキャピラリーチューブに並行し他端が前記低圧
側のシールダイアフラムユニット近くに配置され差圧測
定装置の低圧側に基づく周囲温度誤差を補償する高圧側
の補償キャピラリーチューブとを具備したことを特徴と
するダイアフラムシール型差圧測定装置。 - 【請求項２】空気式の差圧測定装置本体を具備したこと
を特徴とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧
測定装置。 - 【請求項３】電気式の差圧測定装置本体を具備したこと
を特徴とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17154597A JPH1114483A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17154597A JPH1114483A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114483A true JPH1114483A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15925121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17154597A Pending JPH1114483A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114483A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2359889A (en) * | 2000-03-01 | 2001-09-05 | Alan Tailford | Error compensation for remote diaphragm seal differential pressure measurement arrangement |
| JP2003254847A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Nagano Keiki Co Ltd | 差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計 |
| US7937989B2 (en) * | 2006-09-08 | 2011-05-10 | Abb S.P.A. | Device for detecting a variable for a process fluid via differential measurement |
| JP2011123011A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Yokogawa Electric Corp | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
| CN107290095A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | Vega格里沙贝两合公司 | 压差传感器 |
| CN107290100A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | Vega格里沙贝两合公司 | 压力传感器 |
| WO2020060608A1 (en) | 2018-09-21 | 2020-03-26 | Rosemount Inc. | Remote seal diaphragm system |
| CN114646421A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-06-21 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所九江分部 | 一种耐高压、耐腐蚀远传压差传感器 |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP17154597A patent/JPH1114483A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2359889A (en) * | 2000-03-01 | 2001-09-05 | Alan Tailford | Error compensation for remote diaphragm seal differential pressure measurement arrangement |
| JP2003254847A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Nagano Keiki Co Ltd | 差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計 |
| US7937989B2 (en) * | 2006-09-08 | 2011-05-10 | Abb S.P.A. | Device for detecting a variable for a process fluid via differential measurement |
| JP2011123011A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Yokogawa Electric Corp | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
| CN107290095A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | Vega格里沙贝两合公司 | 压差传感器 |
| CN107290100A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | Vega格里沙贝两合公司 | 压力传感器 |
| WO2020060608A1 (en) | 2018-09-21 | 2020-03-26 | Rosemount Inc. | Remote seal diaphragm system |
| CN110940449A (zh) * | 2018-09-21 | 2020-03-31 | 罗斯蒙特公司 | 远程密封隔膜系统 |
| US10816424B2 (en) | 2018-09-21 | 2020-10-27 | Rosemount Inc. | Remote seal diaphragm system |
| CN110940449B (zh) * | 2018-09-21 | 2021-12-21 | 罗斯蒙特公司 | 远程密封隔膜系统 |
| CN114646421A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-06-21 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所九江分部 | 一种耐高压、耐腐蚀远传压差传感器 |
| CN114646421B (zh) * | 2022-03-11 | 2024-01-02 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所九江分部 | 一种耐高压、耐腐蚀远传压差传感器 |
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