JPS6038634A - 工業プロセス流体用の静圧変動補償付き差圧伝送器 - Google Patents
工業プロセス流体用の静圧変動補償付き差圧伝送器Info
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- JPS6038634A JPS6038634A JP59139218A JP13921884A JPS6038634A JP S6038634 A JPS6038634 A JP S6038634A JP 59139218 A JP59139218 A JP 59139218A JP 13921884 A JP13921884 A JP 13921884A JP S6038634 A JPS6038634 A JP S6038634A
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- JP
- Japan
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- differential pressure
- pressure transmitter
- diaphragm
- electrical
- compensation
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0002—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in ohmic resistance
-
- G—PHYSICS
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分明〕
本発明は一般的には差圧測定伝送器に関し、特に静圧変
動の影響を補償可能なa類の差圧伝送器に関する。
動の影響を補償可能なa類の差圧伝送器に関する。
差圧値の伝送用に使用する差圧伝送器は公知であり、最
もよく使用されるものは6つのグループに大別できる。
もよく使用されるものは6つのグループに大別できる。
即ち、出力電気量がそれぞれインダクタンスか、静電容
量か、または抵抗の変化に比例するかによって分類され
る誘導形、各輪形または抵抗形差圧伝送器がそれである
。
量か、または抵抗の変化に比例するかによって分類され
る誘導形、各輪形または抵抗形差圧伝送器がそれである
。
現在では、通常、インダクタンス、静電容量、または抵
抗値の変化は、すべて電子的グロセッシング回路で変換
され、これら回路はまた、発生のおそれのある直線性お
よび温度変化の補償作用も備えている。
抗値の変化は、すべて電子的グロセッシング回路で変換
され、これら回路はまた、発生のおそれのある直線性お
よび温度変化の補償作用も備えている。
然し、成る種の観点からすると良好な性能と良好々測定
精度を有するこの種の差圧伝送器は、機械的部品および
電気的センサの両者に作用する静圧変動の影響に悩まさ
れるという欠点を有し、この影響は伝送器出力の零点ド
リフトと線形特性の傾きの変化(通算減少〕を生じる(
零点効果およびフィールド効果)という結果を招く。
精度を有するこの種の差圧伝送器は、機械的部品および
電気的センサの両者に作用する静圧変動の影響に悩まさ
れるという欠点を有し、この影響は伝送器出力の零点ド
リフトと線形特性の傾きの変化(通算減少〕を生じる(
零点効果およびフィールド効果)という結果を招く。
これらの欠点は、これら測定装置の成るものに固有のも
のであり、従って、不幸な事に、静圧効果変動の補償が
まだ提供されていないために使用者が受入れざるを得な
いこととなっているが、または、通常1itを大きくす
るか機械的な構造に工夫を紛らせてこれらを減少させる
がであるが、この後者は、価格に影4?を及はす。
のであり、従って、不幸な事に、静圧効果変動の補償が
まだ提供されていないために使用者が受入れざるを得な
いこととなっているが、または、通常1itを大きくす
るか機械的な構造に工夫を紛らせてこれらを減少させる
がであるが、この後者は、価格に影4?を及はす。
本発明ハ、簡単かつ安価な電気式の補償システムによっ
て静圧変動の影響を低減した読取値を与え得る差圧伝送
器を提供することによって上述の欠点を克服することを
目的とする。
て静圧変動の影響を低減した読取値を与え得る差圧伝送
器を提供することによって上述の欠点を克服することを
目的とする。
前記の、及びその他の目的と長Fliは、充填液と金属
ダイアフラムとを含む閉止セル付きの測定トランスジュ
ーサを有する差圧伝送器によって達成され、前記ダイア
フラムには、抵抗性、或いは好ましくは誘導性または容
量性の素子が取付けられ、これらの素子はセルに印加さ
れた差圧によって生じたダイアフラムの撓みを電気音の
変化に変換でき、前記セルの内部には少なくともひとつ
の感圧要素が設けられ、これが充填液の圧力を受けて差
圧値に応じた電気出力を発生し得るようになっている。
ダイアフラムとを含む閉止セル付きの測定トランスジュ
ーサを有する差圧伝送器によって達成され、前記ダイア
フラムには、抵抗性、或いは好ましくは誘導性または容
量性の素子が取付けられ、これらの素子はセルに印加さ
れた差圧によって生じたダイアフラムの撓みを電気音の
変化に変換でき、前記セルの内部には少なくともひとつ
の感圧要素が設けられ、これが充填液の圧力を受けて差
圧値に応じた電気出力を発生し得るようになっている。
本発明の特徴によれば、との要素は好ましくはペースト
カーボン抵抗でアル。
カーボン抵抗でアル。
図面を参照すると、本発明による差圧伝送器は、例えば
溶接によって封止関係に相互固着した1対の類似の対称
的な対向位置する半割本体(A−B)で形成された中央
本体(Oから成る。本体(C)Vi接触部材aのを介し
て本体(Qに当接する外部スリーブ(11)で固定、ク
ランプされている。
溶接によって封止関係に相互固着した1対の類似の対称
的な対向位置する半割本体(A−B)で形成された中央
本体(Oから成る。本体(C)Vi接触部材aのを介し
て本体(Qに当接する外部スリーブ(11)で固定、ク
ランプされている。
剛体製の2個の半割本体囚およびω)は、これらが結合
されて相互に封着固定されると内部にチェンバが形成さ
れ、その中に測定用ダイアフラム帖が配置されてこれが
その周辺部に沿って両学割本体の間に同定封止される、
と言う王台に構成されている。測定ダイアフラム(ロ)
はこのチェンバを両生チェンバ(HA)と(HB)に分
割する。測定ダイアフラム(財)は高透磁率を有する適
当な材料で形成した剛体ブロック(へ)を有する。
されて相互に封着固定されると内部にチェンバが形成さ
れ、その中に測定用ダイアフラム帖が配置されてこれが
その周辺部に沿って両学割本体の間に同定封止される、
と言う王台に構成されている。測定ダイアフラム(ロ)
はこのチェンバを両生チェンバ(HA)と(HB)に分
割する。測定ダイアフラム(財)は高透磁率を有する適
当な材料で形成した剛体ブロック(へ)を有する。
各半割本体囚および但)には磁心α養が固着されており
、これに励磁コイルが付設されるが、該磁心はダイアフ
ラム(財)の一部をなす磁性剛体ブロックに対面してい
る。
、これに励磁コイルが付設されるが、該磁心はダイアフ
ラム(財)の一部をなす磁性剛体ブロックに対面してい
る。
コイル(1!9は磁界を生じるた・めにリード線(1[
9を介して交流給電されるが、その磁束線は付属磁心I
と剛体ブロック軸中を通ってループを完結し、それによ
り測定ダイアフラム(財)が正しくリセット状態にあっ
てチェンバIを両生チェンバに分割しているときに同一
磁気量を有する2つの磁路が得られる。
9を介して交流給電されるが、その磁束線は付属磁心I
と剛体ブロック軸中を通ってループを完結し、それによ
り測定ダイアフラム(財)が正しくリセット状態にあっ
てチェンバIを両生チェンバに分割しているときに同一
磁気量を有する2つの磁路が得られる。
各半チェンバ(HA)および(HB)は座(17A)。
(18A)、 (17B)、 (18B)をそれぞれ有
し、その中にリード用ブッシングおよび充填液、例えば
シリコン油を半チェンバ内に導入するフィッティングが
収納されている。各半割本体囚およびCB)には通路(
19A)、 (19B)が設けられ、その内端は付属す
る半チェンバ(HA)、(HB)に開口し、その外端は
、半割本体(4)と03)の付属位置に適当に溶接、封
止した封止ダイアフラム(21A)、 (21B)で外
側が区画された空所(2OA)、 (20B)内に開口
している。通路(19A)、 (19B)はまた、フィ
ッティングに導入した充填液を有する座(18A)、
(18B)にも連通している。そのため、座(18A)
、 (18B)に位置するフィッティングを介して充填
液を導入することにより、半チェンバ(HA)、(HB
)を形成する全空所、即ち通路(19A)、 (19B
)、座(18A)、 (18B)および(17A)、
(17B)、磁心αれ空隙(TA几(TB)および半割
本体(4)、■)と中央ダイアフラムMと剛体ブロック
(へ)の間の空所はこの液で充満されることと々る。
し、その中にリード用ブッシングおよび充填液、例えば
シリコン油を半チェンバ内に導入するフィッティングが
収納されている。各半割本体囚およびCB)には通路(
19A)、 (19B)が設けられ、その内端は付属す
る半チェンバ(HA)、(HB)に開口し、その外端は
、半割本体(4)と03)の付属位置に適当に溶接、封
止した封止ダイアフラム(21A)、 (21B)で外
側が区画された空所(2OA)、 (20B)内に開口
している。通路(19A)、 (19B)はまた、フィ
ッティングに導入した充填液を有する座(18A)、
(18B)にも連通している。そのため、座(18A)
、 (18B)に位置するフィッティングを介して充填
液を導入することにより、半チェンバ(HA)、(HB
)を形成する全空所、即ち通路(19A)、 (19B
)、座(18A)、 (18B)および(17A)、
(17B)、磁心αれ空隙(TA几(TB)および半割
本体(4)、■)と中央ダイアフラムMと剛体ブロック
(へ)の間の空所はこの液で充満されることと々る。
可撓性が大きく、高耐蝕性ダイアフラムである2枚の封
止ダイアプラム(21A)、 (21B)と充填液とを
通して前記封止ダイアフラムに印加された差圧は、測定
ダイアフラムMに転送され、このダイアフラムはこの差
圧を高透磁率を有する剛体ブ四ツク(へ)の微少変位に
変換する。この微小撓みは、磁心Iと付蔵交流印加コイ
ルα9で形成される2個の固定対向磁気回路の空隙(T
A)、(TB)の変化を生じる。2個のインダクタンス
の最初のおよび最後の値の差は差圧測定トランスジュー
サの出力と々る〇 既述の通り、静圧が変化すると、これがなお零点ドリフ
トおよび傾き低下に影響されるため、この種のトランス
ジューサの出力は完全に正確衣ものではない。セルの内
部に、電気的な静圧感応センサを配置することによって
、圧力に対して相当リニアな出力が得られ、伝送器出力
信号上の静圧変化の影響を、これを減少することによっ
て満足すべき以上の補償ができることが発見されたのは
驚くべきであった。電気的な静圧感応センサとして、圧
力変化に特に敏感々ペーストカーボン抵抗を採用すると
よいことが判明している。従ってこの電気抵抗はトラン
スジューサの本体(Qの内部に、即ちリード導入用ブッ
シングを入れる座(17A)。
止ダイアプラム(21A)、 (21B)と充填液とを
通して前記封止ダイアフラムに印加された差圧は、測定
ダイアフラムMに転送され、このダイアフラムはこの差
圧を高透磁率を有する剛体ブ四ツク(へ)の微少変位に
変換する。この微小撓みは、磁心Iと付蔵交流印加コイ
ルα9で形成される2個の固定対向磁気回路の空隙(T
A)、(TB)の変化を生じる。2個のインダクタンス
の最初のおよび最後の値の差は差圧測定トランスジュー
サの出力と々る〇 既述の通り、静圧が変化すると、これがなお零点ドリフ
トおよび傾き低下に影響されるため、この種のトランス
ジューサの出力は完全に正確衣ものではない。セルの内
部に、電気的な静圧感応センサを配置することによって
、圧力に対して相当リニアな出力が得られ、伝送器出力
信号上の静圧変化の影響を、これを減少することによっ
て満足すべき以上の補償ができることが発見されたのは
驚くべきであった。電気的な静圧感応センサとして、圧
力変化に特に敏感々ペーストカーボン抵抗を採用すると
よいことが判明している。従ってこの電気抵抗はトラン
スジューサの本体(Qの内部に、即ちリード導入用ブッ
シングを入れる座(17A)。
(17B)のそれぞれの中に設置する。図中に(RA)
。
。
(RB)で示すこれらの抵抗は充填液の圧力を受け、従
ってトランスジューサが使用中に受ける静圧変化の影響
を受ける。抵抗(RA)および(RB)は、プロセシン
グ回路に適用されるべきトランスジューサの外へ抜は出
るリードr2りを介してトランスジューサプロセシング
回路へ接続されている。
ってトランスジューサが使用中に受ける静圧変化の影響
を受ける。抵抗(RA)および(RB)は、プロセシン
グ回路に適用されるべきトランスジューサの外へ抜は出
るリードr2りを介してトランスジューサプロセシング
回路へ接続されている。
以上のように、本発明によれば、感圧特性を有する簡単
な抵抗対により計器の出力をプロセスした信号の補償が
得られ、これけ静圧変化の影響を低下させるものである
。
な抵抗対により計器の出力をプロセスした信号の補償が
得られ、これけ静圧変化の影響を低下させるものである
。
尚、前記実施例では誘導性の差圧測定トランスジューサ
のみについて応用したものとして添付図面に図示、説明
を行ったか、トランスジューサ本体内に使用される電気
的特性2!i−不する感圧を素を適当に選定することに
よって、静電容S″形、または抵抗形の様々その他の種
類の差圧測定トランスジューサにも本発明を応用し得る
ことは勿論である。
のみについて応用したものとして添付図面に図示、説明
を行ったか、トランスジューサ本体内に使用される電気
的特性2!i−不する感圧を素を適当に選定することに
よって、静電容S″形、または抵抗形の様々その他の種
類の差圧測定トランスジューサにも本発明を応用し得る
ことは勿論である。
重要な仁とは、この感圧要素がトランスジューサ本体内
忙、即ちヒれが直接に又は充填液を介して差圧の影響下
にある位置に配置されるということである。
忙、即ちヒれが直接に又は充填液を介して差圧の影響下
にある位置に配置されるということである。
当業名の到達範囲内にあるすべての変形および変更は本
発明の範囲から出ることなしに図示し本文記載の実施例
となされる、ということも了解されるべきである。
発明の範囲から出ることなしに図示し本文記載の実施例
となされる、ということも了解されるべきである。
図は本発明によるトランスジューサの縦断面である。
図中、IIA、HBはチェンバ(密閉セル)、Mはダイ
アンラム、Nは高透磁率剛体ブロック、RA、RBは感
圧要素、TA、TBは空隙、14は磁I6,15は励磁
コイル、16と22はリードを示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗
アンラム、Nは高透磁率剛体ブロック、RA、RBは感
圧要素、TA、TBは空隙、14は磁I6,15は励磁
コイル、16と22はリードを示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗
Claims (4)
- (1)充填液と金ねダイアフラムとを含む密閉セル伺き
測定トランスジューサを有し、前記ダイアフラムの両側
に抵抗形、@片影または誘導形の素子が配設され、セル
に印加された差圧によって生じたダイアフラムの撓みを
該素子によって電気量変化に変換可能になされた差圧伝
送器であって、前記セルの内部に少くともひとつの感圧
を素を備え、該感圧要素が前記差圧値に応じた電1気出
力を生じるようになされたことを特徴とする差圧伝送器
。 - (2)前記感圧費素が電気抵抗である特許請求の範囲第
1項に記載の差圧伝送器。 - (3)前記電気抵抗がペーストカーボン類のものである
特許請求の範囲第2項に記載の差圧伝送器。 - (4) 前記電気抵抗が二個であって、各々が測定ダイ
アフラムで画定された二つのチェンバのひとつずつに位
置している特許請求の範囲第1項に記載の差圧伝送器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT8321983A IT1164315B (it) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Trasmettitore di pressioni differenziali di fluidi di processo industriali, con compensazione degli effetti delle variazioni di pressione statica |
IT21983-A/83 | 1983-07-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6038634A true JPS6038634A (ja) | 1985-02-28 |
Family
ID=11189763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59139218A Pending JPS6038634A (ja) | 1983-07-08 | 1984-07-06 | 工業プロセス流体用の静圧変動補償付き差圧伝送器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4559829A (ja) |
EP (1) | EP0131551A3 (ja) |
JP (1) | JPS6038634A (ja) |
ES (1) | ES534062A0 (ja) |
IT (1) | IT1164315B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6440042U (ja) * | 1987-09-07 | 1989-03-09 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2555743B1 (fr) * | 1983-11-25 | 1986-04-11 | Sereg Soc | Capteur inductif de pression differentielle |
IT1185212B (it) * | 1985-07-09 | 1987-11-04 | Kent Tieghi Spa | Trasmettitore di pressioni di fluidi per atmosfere potenzialmente esplosive |
DE3719620A1 (de) * | 1987-06-12 | 1988-12-29 | Hottinger Messtechnik Baldwin | Mechanisch-elektrischer differenzdruckwandler und verfahren zur justierung eines derartigen wandlers |
EP0753728A3 (en) * | 1995-07-14 | 1998-04-15 | Yokogawa Electric Corporation | Semiconductor differential pressure measuring device |
US5680109A (en) * | 1996-06-21 | 1997-10-21 | The Foxboro Company | Impulse line blockage detector systems and methods |
US5817943A (en) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | General Electric Company | Pressure sensors |
DE102008054991A1 (de) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Differenzdruckmessumformer |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5467480A (en) * | 1977-11-09 | 1979-05-30 | Toshiba Corp | Differential pressure detector |
JPS5856492A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-04 | 三井東圧化学株式会社 | 印刷抵抗体の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3529238A (en) * | 1968-10-09 | 1970-09-15 | Trw Inc | Pressure gauge with diaphragm null position means |
US4006641A (en) * | 1976-01-05 | 1977-02-08 | Dynamic Industries, Inc. | Method and apparatus for sensing and measuring fluid pressure |
US4172387A (en) * | 1978-06-05 | 1979-10-30 | The Foxboro Company | Pressure responsive apparatus |
US4395915A (en) * | 1981-10-06 | 1983-08-02 | Bourns Instruments, Inc. | Pressure measuring apparatus |
-
1983
- 1983-07-08 IT IT8321983A patent/IT1164315B/it active
-
1984
- 1984-06-20 EP EP84830188A patent/EP0131551A3/en not_active Withdrawn
- 1984-06-25 US US06/624,514 patent/US4559829A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-07-05 ES ES534062A patent/ES534062A0/es active Granted
- 1984-07-06 JP JP59139218A patent/JPS6038634A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5467480A (en) * | 1977-11-09 | 1979-05-30 | Toshiba Corp | Differential pressure detector |
JPS5856492A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-04 | 三井東圧化学株式会社 | 印刷抵抗体の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6440042U (ja) * | 1987-09-07 | 1989-03-09 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT8321983A0 (it) | 1983-07-08 |
IT1164315B (it) | 1987-04-08 |
ES8505224A1 (es) | 1985-06-01 |
EP0131551A2 (en) | 1985-01-16 |
EP0131551A3 (en) | 1986-03-19 |
ES534062A0 (es) | 1985-06-01 |
US4559829A (en) | 1985-12-24 |
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