JP2001074578A - 差圧測定装置の温度特性調整方法 - Google Patents
差圧測定装置の温度特性調整方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】生産性の優れたリモートシール形の差圧測定装
置の温度特性調整方法を提供する。 【解決手段】差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性を
測定（工程１）した後、前記本体に隔膜ユニットを取り
付けてリモートシール形差圧測定装置を組み立て（工程
２）、その零点出力の静圧特性を測定（工程３）し、後
者の測定値から前者の測定値を差し引いて隔膜ユニット
のみの零点出力の静圧特性値を算出（工程４）し、その
値に隔膜ユニットの内部封入液の熱膨張係数値を乗じ、
且つ同内部封入液の体積圧縮率で除した結果にマイナス
符号を付して、零点出力の温度特性の温度係数値を算出
（工程５）し、この温度係数値を用いて、隔膜ユニット
の零点出力の温度特性値を算出して前記本体の零点出力
の温度特性値に加算し、リモートシール形差圧測定装置
の零点出力の温度特性値とする（工程６）。
置の温度特性調整方法を提供する。 【解決手段】差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性を
測定（工程１）した後、前記本体に隔膜ユニットを取り
付けてリモートシール形差圧測定装置を組み立て（工程
２）、その零点出力の静圧特性を測定（工程３）し、後
者の測定値から前者の測定値を差し引いて隔膜ユニット
のみの零点出力の静圧特性値を算出（工程４）し、その
値に隔膜ユニットの内部封入液の熱膨張係数値を乗じ、
且つ同内部封入液の体積圧縮率で除した結果にマイナス
符号を付して、零点出力の温度特性の温度係数値を算出
（工程５）し、この温度係数値を用いて、隔膜ユニット
の零点出力の温度特性値を算出して前記本体の零点出力
の温度特性値に加算し、リモートシール形差圧測定装置
の零点出力の温度特性値とする（工程６）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、差圧測定装置の
零点出力の温度特性調整方法に関する。
零点出力の温度特性調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】石油、石油化学、化学プラント等におい
て使用される差圧測定装置の内で、高温、腐食性、高粘
度流体等の圧力や流量、液位、界面を測定するものは、
差圧測定装置本体を測定流体から隔離保護することが必
要である。そのような差圧測定装置としては、測定流体
側の受圧部と差圧測定装置本体とをキャピラリーチュー
ブ等によって接続し、その内部に圧力伝達用液体を封入
したリモートシール形の差圧測定装置がよく使用され
る。
て使用される差圧測定装置の内で、高温、腐食性、高粘
度流体等の圧力や流量、液位、界面を測定するものは、
差圧測定装置本体を測定流体から隔離保護することが必
要である。そのような差圧測定装置としては、測定流体
側の受圧部と差圧測定装置本体とをキャピラリーチュー
ブ等によって接続し、その内部に圧力伝達用液体を封入
したリモートシール形の差圧測定装置がよく使用され
る。
【０００３】図３は、このようなリモートシール形の差
圧測定装置の一例の構造を示す断面図である。
圧測定装置の一例の構造を示す断面図である。
【０００４】このリモートシール形の差圧測定装置は、
差圧測定装置本体１と一対の隔膜ユニット2A及び2Bとで
構成されている。
差圧測定装置本体１と一対の隔膜ユニット2A及び2Bとで
構成されている。
【０００５】差圧測定装置本体１は、差圧センサ12を内
蔵する本体セル11と、高圧側圧力受圧面である本体高圧
側シールダイアフラム13A 及び低圧側圧力受圧面である
本体低圧側シールダイアフラム13B と、それらのシール
ダイアフラム13A 及び13B で密閉された本体セル11の内
部空間に封入されている圧力伝達用液体であるシリコー
ンオイル等の内部封入液14A 及び14B と、差圧センサ12
からの差圧信号を処理して出力信号を外部へ出力する信
号処理回路15と、特性の温度変化である温度特性を補正
するために温度を測定する温度センサ16と、温度特性等
の特性データを格納するメモリー17とで構成されてい
る。
蔵する本体セル11と、高圧側圧力受圧面である本体高圧
側シールダイアフラム13A 及び低圧側圧力受圧面である
本体低圧側シールダイアフラム13B と、それらのシール
ダイアフラム13A 及び13B で密閉された本体セル11の内
部空間に封入されている圧力伝達用液体であるシリコー
ンオイル等の内部封入液14A 及び14B と、差圧センサ12
からの差圧信号を処理して出力信号を外部へ出力する信
号処理回路15と、特性の温度変化である温度特性を補正
するために温度を測定する温度センサ16と、温度特性等
の特性データを格納するメモリー17とで構成されてい
る。
【０００６】高圧側隔膜ユニット2Aと低圧側隔膜ユニッ
ト2Bとは、全く同じ構成をしているので、高圧側隔膜ユ
ニット2Aの構成だけを説明する（低圧側隔膜ユニット2B
の場合には、符号の末尾のＡをＢに変更するだけであ
る）。高圧側隔膜ユニット2Aは、高圧側カバー21A と高
圧側受圧部23A とキャピラリーチューブ22A と内部封入
液24A とで構成されている。高圧側カバー21A は、差圧
測定装置本体１に結合される部分であって、本体高圧側
シールダイアフラム13A を覆っている。高圧側受圧部23
A には、測定流体と内部封入液24A とを隔離するための
受圧部高圧側シールダイアフラム231Aが取り付けられて
おり、この受圧部高圧側シールダイアフラム231Aが測定
流体の高圧側の圧力を受ける。キャピラリーチューブ22
A は、高圧側カバー21A と高圧側受圧部23A とを接続す
る。内部封入液24A としては、圧力伝達用液体であるシ
リコーンオイル等が使用される。
ト2Bとは、全く同じ構成をしているので、高圧側隔膜ユ
ニット2Aの構成だけを説明する（低圧側隔膜ユニット2B
の場合には、符号の末尾のＡをＢに変更するだけであ
る）。高圧側隔膜ユニット2Aは、高圧側カバー21A と高
圧側受圧部23A とキャピラリーチューブ22A と内部封入
液24A とで構成されている。高圧側カバー21A は、差圧
測定装置本体１に結合される部分であって、本体高圧側
シールダイアフラム13A を覆っている。高圧側受圧部23
A には、測定流体と内部封入液24A とを隔離するための
受圧部高圧側シールダイアフラム231Aが取り付けられて
おり、この受圧部高圧側シールダイアフラム231Aが測定
流体の高圧側の圧力を受ける。キャピラリーチューブ22
A は、高圧側カバー21A と高圧側受圧部23A とを接続す
る。内部封入液24A としては、圧力伝達用液体であるシ
リコーンオイル等が使用される。
【０００７】このような構成において、高圧側受圧部23
A に印加された圧力ＰH は、受圧部高圧側シールダイア
フラム231A、内部封入液24A 、本体高圧側シールダイア
フラム13A 、内部封入液14A を経由して差圧センサ12の
高圧側導圧口へと伝達される。同様に、低圧側受圧部23
B に印加された圧力ＰL は、受圧部低圧側シールダイア
フラム231B、内部封入液24B 、本体低圧側シールダイア
フラム13B 、内部封入液14B を経由して差圧センサ12の
低圧側導圧口へと伝達される。このようにして、リモー
トシール形の差圧測定装置は、測定対象の差圧（ＰH −
ＰL ）を検出する。
A に印加された圧力ＰH は、受圧部高圧側シールダイア
フラム231A、内部封入液24A 、本体高圧側シールダイア
フラム13A 、内部封入液14A を経由して差圧センサ12の
高圧側導圧口へと伝達される。同様に、低圧側受圧部23
B に印加された圧力ＰL は、受圧部低圧側シールダイア
フラム231B、内部封入液24B 、本体低圧側シールダイア
フラム13B 、内部封入液14B を経由して差圧センサ12の
低圧側導圧口へと伝達される。このようにして、リモー
トシール形の差圧測定装置は、測定対象の差圧（ＰH −
ＰL ）を検出する。
【０００８】測定装置には、温度変化に伴って出力が変
動する温度特性がある。このため、より良い測定精度を
得るためには、出力の温度特性を補正することが不可欠
であり、多くの測定装置が温度特性補正機能を備えてい
る。図３に示したリモートシール形の差圧測定装置の差
圧測定装置本体１にも、温度特性補正用の温度センサ16
と、温度特性データを格納しておくメモリー17とが備え
られており、信号処理回路15のマイクロプロセッサは、
温度センサ16の出力信号とメモリー17に格納されている
温度特性データとに基づいて、差圧センサ12の出力信号
に温度特性の補正演算を施して、温度特性を補正された
差圧測定信号を外部に出力する。図２は、このような温
度特性補正機能付きの差圧測定装置の信号の流れを示し
たブロック図である。
動する温度特性がある。このため、より良い測定精度を
得るためには、出力の温度特性を補正することが不可欠
であり、多くの測定装置が温度特性補正機能を備えてい
る。図３に示したリモートシール形の差圧測定装置の差
圧測定装置本体１にも、温度特性補正用の温度センサ16
と、温度特性データを格納しておくメモリー17とが備え
られており、信号処理回路15のマイクロプロセッサは、
温度センサ16の出力信号とメモリー17に格納されている
温度特性データとに基づいて、差圧センサ12の出力信号
に温度特性の補正演算を施して、温度特性を補正された
差圧測定信号を外部に出力する。図２は、このような温
度特性補正機能付きの差圧測定装置の信号の流れを示し
たブロック図である。
【０００９】メモリー17に格納されている温度特性デー
タは、製造工程内で、差圧測定装置の組み立て完了後
に、以下のようにして取得される。差圧測定装置全体が
恒温槽に入れられ、指定された幾つかの温度毎に、温度
を十分に安定させた後、その温度における特性値が測定
記録されることが繰り返されて取得される。正確な温度
特性データを得るためには、差圧測定装置全体の温度が
均一且つ安定することが必要であり、温度が十分に安定
した状態で、その温度における測定値が測定され、その
測定結果が温度特性データとしてメモリー17に書き込ま
れる。指定された全温度における測定値の測定からメモ
リー17への書き込みまでの一連の工程を温度特性調整工
程と呼ぶ。
タは、製造工程内で、差圧測定装置の組み立て完了後
に、以下のようにして取得される。差圧測定装置全体が
恒温槽に入れられ、指定された幾つかの温度毎に、温度
を十分に安定させた後、その温度における特性値が測定
記録されることが繰り返されて取得される。正確な温度
特性データを得るためには、差圧測定装置全体の温度が
均一且つ安定することが必要であり、温度が十分に安定
した状態で、その温度における測定値が測定され、その
測定結果が温度特性データとしてメモリー17に書き込ま
れる。指定された全温度における測定値の測定からメモ
リー17への書き込みまでの一連の工程を温度特性調整工
程と呼ぶ。
【００１０】リモートシール形の差圧測定装置は、差圧
測定装置本体１に隔膜ユニット2A及び2Bが付加された応
用製品である。差圧測定装置本体１は、それ自体でも完
成品として使用できるものであり、メーカーでは、通
常、差圧測定装置本体１の状態で温度特性等を調整して
一旦完成させる。すなわち、差圧測定装置本体１は、そ
のままで温度特性調整工程等に投入される。したがっ
て、顧客の要求仕様がリモートシール形である場合に
は、温度特性等調整済みの差圧測定装置本体１に隔膜ユ
ニット2A及び2Bが付加される場合が多い。そのため、リ
モートシール形の差圧測定装置としては、隔膜ユニット
2A及び2Bから発生する温度特性に伴う誤差を低減するた
めに、再度、温度特性調整工程に投入されることが必要
となる。
測定装置本体１に隔膜ユニット2A及び2Bが付加された応
用製品である。差圧測定装置本体１は、それ自体でも完
成品として使用できるものであり、メーカーでは、通
常、差圧測定装置本体１の状態で温度特性等を調整して
一旦完成させる。すなわち、差圧測定装置本体１は、そ
のままで温度特性調整工程等に投入される。したがっ
て、顧客の要求仕様がリモートシール形である場合に
は、温度特性等調整済みの差圧測定装置本体１に隔膜ユ
ニット2A及び2Bが付加される場合が多い。そのため、リ
モートシール形の差圧測定装置としては、隔膜ユニット
2A及び2Bから発生する温度特性に伴う誤差を低減するた
めに、再度、温度特性調整工程に投入されることが必要
となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】リモートシール形の差
圧測定装置の隔膜ユニットのキャピラリーチューブの長
さは、1.5 〜６ｍが主流であり、顧客の要求によって
は、10ｍを越えることもある。そのため、リモートシー
ル形の差圧測定装置を恒温槽に入れて温度特性を測定し
ようとすると、差圧測定装置本体の場合に比べて、数倍
のスペースを必要とし、更に、測定温度を変える場合に
も、温度が安定するまでの所要時間が長くなり、１つの
温度条件だけで数時間を要し、温度特性データ取得には
非常に長い時間がかかる。言い換えれば、リモートシー
ル形の差圧測定装置の温度特性調整工程は、処理数量的
にも所要時間的にも生産性が非常に悪いという欠点をも
っている。
圧測定装置の隔膜ユニットのキャピラリーチューブの長
さは、1.5 〜６ｍが主流であり、顧客の要求によって
は、10ｍを越えることもある。そのため、リモートシー
ル形の差圧測定装置を恒温槽に入れて温度特性を測定し
ようとすると、差圧測定装置本体の場合に比べて、数倍
のスペースを必要とし、更に、測定温度を変える場合に
も、温度が安定するまでの所要時間が長くなり、１つの
温度条件だけで数時間を要し、温度特性データ取得には
非常に長い時間がかかる。言い換えれば、リモートシー
ル形の差圧測定装置の温度特性調整工程は、処理数量的
にも所要時間的にも生産性が非常に悪いという欠点をも
っている。
【００１２】この発明の課題は、上記の欠点を解消し
て、生産性の優れたリモートシール形の差圧測定装置の
温度特性調整方法を提供することである。
て、生産性の優れたリモートシール形の差圧測定装置の
温度特性調整方法を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】以上の説明から明らかな
ように、従来技術による差圧測定装置の温度特性調整工
程では、恒温槽によって差圧測定装置の温度を変えて、
温度特性データを取得するため、大きな恒温槽スペース
を必要とし、測定所要時間も長くなって生産性が著しく
悪い。この発明は、零点出力の温度特性を零点出力の静
圧特性に換算して、恒温槽による従来の零点出力の温度
特性調整工程を静圧印加による零点出力の温度特性調整
工程に置き換え、生産性を改善しようと言う発想に基づ
くものである。
ように、従来技術による差圧測定装置の温度特性調整工
程では、恒温槽によって差圧測定装置の温度を変えて、
温度特性データを取得するため、大きな恒温槽スペース
を必要とし、測定所要時間も長くなって生産性が著しく
悪い。この発明は、零点出力の温度特性を零点出力の静
圧特性に換算して、恒温槽による従来の零点出力の温度
特性調整工程を静圧印加による零点出力の温度特性調整
工程に置き換え、生産性を改善しようと言う発想に基づ
くものである。
【００１４】第１の発明による差圧測定装置の温度特性
調整方法は、温度特性調整済みの差圧測定装置本体に隔
膜ユニットが取り付けられたリモートシール形の差圧測
定装置の温度特性調整方法であって、差圧測定装置本体
に隔膜ユニットが取り付けられる前に、差圧測定装置本
体の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印加
して、その時の零点出力の変化である零点出力の静圧特
性を測定して記録する工程と、差圧測定装置本体に隔膜
ユニットを取り付け、圧力伝達用液体を封入して、リモ
ートシール形の差圧測定装置を組み立てる工程と、組み
立てられたリモートシール形の差圧測定装置の高圧側受
圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、零点出
力の静圧特性を測定して記録する工程と、前工程で測定
記録されたリモートシール形の差圧測定装置の零点出力
の静圧特性値から、前前工程で測定記録された差圧測定
装置本体の零点出力の静圧特性値を差し引いて、隔膜ユ
ニットのみの零点出力の静圧特性値を算出する工程と、
隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性値に、隔膜ユニ
ットに封入された圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、
且つ同液体の体積圧縮率で除した結果に、マイナス符号
を付して、隔膜ユニットの零点出力の温度特性の温度係
数値を算出する工程と、前記温度係数値から算出される
隔膜ユニットの零点出力の温度特性値を、差圧測定装置
本体に記録されている零点出力の温度特性値に加算し
て、リモートシール形の差圧測定装置の零点出力の温度
特性値とする工程とを備えている（請求項１の発明）。
調整方法は、温度特性調整済みの差圧測定装置本体に隔
膜ユニットが取り付けられたリモートシール形の差圧測
定装置の温度特性調整方法であって、差圧測定装置本体
に隔膜ユニットが取り付けられる前に、差圧測定装置本
体の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印加
して、その時の零点出力の変化である零点出力の静圧特
性を測定して記録する工程と、差圧測定装置本体に隔膜
ユニットを取り付け、圧力伝達用液体を封入して、リモ
ートシール形の差圧測定装置を組み立てる工程と、組み
立てられたリモートシール形の差圧測定装置の高圧側受
圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、零点出
力の静圧特性を測定して記録する工程と、前工程で測定
記録されたリモートシール形の差圧測定装置の零点出力
の静圧特性値から、前前工程で測定記録された差圧測定
装置本体の零点出力の静圧特性値を差し引いて、隔膜ユ
ニットのみの零点出力の静圧特性値を算出する工程と、
隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性値に、隔膜ユニ
ットに封入された圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、
且つ同液体の体積圧縮率で除した結果に、マイナス符号
を付して、隔膜ユニットの零点出力の温度特性の温度係
数値を算出する工程と、前記温度係数値から算出される
隔膜ユニットの零点出力の温度特性値を、差圧測定装置
本体に記録されている零点出力の温度特性値に加算し
て、リモートシール形の差圧測定装置の零点出力の温度
特性値とする工程とを備えている（請求項１の発明）。
【００１５】また、第２の発明による差圧測定装置の温
度特性調整方法は、温度特性及び静圧特性調整済みの差
圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモー
トシール形の差圧測定装置の温度特性調整方法であっ
て、リモートシール形の差圧測定装置の高圧側受圧部及
び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、その時の零点
出力の変化である零点出力の静圧特性を測定して記録す
る工程と、前工程で測定記録されたリモートシール形の
差圧測定装置の零点出力の静圧特性値から、差圧測定装
置本体に記録されている差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性値を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力
の静圧特性値を算出する工程と、隔膜ユニットのみの零
点出力の静圧特性値に、隔膜ユニットに封入されている
圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積
圧縮率で除した結果に、マイナス符号を付して、隔膜ユ
ニットの零点出力の温度特性の温度係数値を算出する工
程と、前記温度係数値から算出される隔膜ユニットの零
点出力の温度特性値を、差圧測定装置本体に記録されて
いる零点出力の温度特性値に加算して、リモートシール
形の差圧測定装置の零点出力の温度特性値とする工程と
を備えている（請求項２の発明）。
度特性調整方法は、温度特性及び静圧特性調整済みの差
圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモー
トシール形の差圧測定装置の温度特性調整方法であっ
て、リモートシール形の差圧測定装置の高圧側受圧部及
び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、その時の零点
出力の変化である零点出力の静圧特性を測定して記録す
る工程と、前工程で測定記録されたリモートシール形の
差圧測定装置の零点出力の静圧特性値から、差圧測定装
置本体に記録されている差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性値を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力
の静圧特性値を算出する工程と、隔膜ユニットのみの零
点出力の静圧特性値に、隔膜ユニットに封入されている
圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積
圧縮率で除した結果に、マイナス符号を付して、隔膜ユ
ニットの零点出力の温度特性の温度係数値を算出する工
程と、前記温度係数値から算出される隔膜ユニットの零
点出力の温度特性値を、差圧測定装置本体に記録されて
いる零点出力の温度特性値に加算して、リモートシール
形の差圧測定装置の零点出力の温度特性値とする工程と
を備えている（請求項２の発明）。
【００１６】以下に、上記の差圧測定装置の温度特性調
整方法によって、リモートシール形の差圧測定装置の零
点出力の温度特性が調整できることの理論的な根拠を説
明する。
整方法によって、リモートシール形の差圧測定装置の零
点出力の温度特性が調整できることの理論的な根拠を説
明する。
【００１７】まず最初に、隔膜ユニットを付加すること
によって発生する零点出力の温度特性の発生メカニズム
について説明する。
によって発生する零点出力の温度特性の発生メカニズム
について説明する。
【００１８】シールダイアフラムの形状は、その両面に
かかる圧力差とシールダイアフラムのばね性によって決
まるので、シールダイアフラムが取り付けられている部
材の圧力伝達用液体封入空間の体積は、シールダイアフ
ラムの両面にかかっている圧力差によって決まる。この
関係を表現するものが、シールダイアフラムの圧力／容
量特性である。
かかる圧力差とシールダイアフラムのばね性によって決
まるので、シールダイアフラムが取り付けられている部
材の圧力伝達用液体封入空間の体積は、シールダイアフ
ラムの両面にかかっている圧力差によって決まる。この
関係を表現するものが、シールダイアフラムの圧力／容
量特性である。
【００１９】温度変化によって、内部封入液が膨張また
は収縮すると、その体積変化とシールダイアフラムの圧
力／容量特性とによって、内部封入液の内圧に変化が生
じる。高圧側の隔膜ユニットの内圧と低圧側の隔膜ユニ
ットの内圧とに差が生じると、その差が零点出力の温度
誤差、すなわち、零点出力の温度特性となる。
は収縮すると、その体積変化とシールダイアフラムの圧
力／容量特性とによって、内部封入液の内圧に変化が生
じる。高圧側の隔膜ユニットの内圧と低圧側の隔膜ユニ
ットの内圧とに差が生じると、その差が零点出力の温度
誤差、すなわち、零点出力の温度特性となる。
【００２０】ここで、高圧側受圧部シールダイアフラム
の圧力／容量特性をφH (Pa/mm3)、低圧側受圧部シール
ダイアフラムの圧力／容量特性をφL (Pa/mm3)、高圧側
隔膜ユニットの内部封入液量をＶH (mm3) 、低圧側隔膜
ユニットの内部封入液量をＶ L (mm3) 、封入液の熱膨張
係数をα (℃-1) 、温度変化分をΔＴ (℃) 、温度変化
ΔＴにより生じる高圧側隔膜ユニットの内部封入液内圧
の変化分をΔＰtH (Pa) 、温度変化ΔＴにより生じる低
圧側隔膜ユニットの内部封入液内圧の変化分をΔＰtL
(Pa) 、温度変化ΔＴによって生じる両隔膜ユニットの
内部封入液内圧の変化分の差分をΔＰtD (Pa) とする
と、 ΔＰtH＝φH ＶH αΔＴ （１） ΔＰtL＝φL ＶL αΔＴ （２） ΔＰtD＝ΔＰtH−ΔＰtL であるから、（１）式及び（２）式によって、 ΔＰtD＝αΔＴ（φH ＶH −φL ＶL ） （３） となる。
の圧力／容量特性をφH (Pa/mm3)、低圧側受圧部シール
ダイアフラムの圧力／容量特性をφL (Pa/mm3)、高圧側
隔膜ユニットの内部封入液量をＶH (mm3) 、低圧側隔膜
ユニットの内部封入液量をＶ L (mm3) 、封入液の熱膨張
係数をα (℃-1) 、温度変化分をΔＴ (℃) 、温度変化
ΔＴにより生じる高圧側隔膜ユニットの内部封入液内圧
の変化分をΔＰtH (Pa) 、温度変化ΔＴにより生じる低
圧側隔膜ユニットの内部封入液内圧の変化分をΔＰtL
(Pa) 、温度変化ΔＴによって生じる両隔膜ユニットの
内部封入液内圧の変化分の差分をΔＰtD (Pa) とする
と、 ΔＰtH＝φH ＶH αΔＴ （１） ΔＰtL＝φL ＶL αΔＴ （２） ΔＰtD＝ΔＰtH−ΔＰtL であるから、（１）式及び（２）式によって、 ΔＰtD＝αΔＴ（φH ＶH −φL ＶL ） （３） となる。
【００２１】以上は温度変化に伴う内部封入液の体積変
化による内部封入液内圧の変化分を式に表したものであ
るが、次に、内部封入液の体積は、外部からの圧力によ
っても変化するという現象に着目する。高圧側及び低圧
側の両受圧部に同一の圧力（静圧）を印加する場合に
は、内部封入液が圧縮されて、その圧縮分に相当するシ
ールダイアフラムの圧力／容量特性相当分の内圧変化が
生じ、それに伴って零点出力の静圧誤差（静圧特性）が
発生する。
化による内部封入液内圧の変化分を式に表したものであ
るが、次に、内部封入液の体積は、外部からの圧力によ
っても変化するという現象に着目する。高圧側及び低圧
側の両受圧部に同一の圧力（静圧）を印加する場合に
は、内部封入液が圧縮されて、その圧縮分に相当するシ
ールダイアフラムの圧力／容量特性相当分の内圧変化が
生じ、それに伴って零点出力の静圧誤差（静圧特性）が
発生する。
【００２２】ここで、封入液の体積圧縮率をβ (Pa-1)
、静圧変化分をΔＰs (Pa) 、静圧変化ΔＰs により
生じる高圧側隔膜ユニットの内部封入液内圧の変化分を
ΔＰpH(Pa) 、静圧変化ΔＰs により生じる低圧側隔膜
ユニットの内部封入液内圧の変化分をΔＰpL (Pa) 、静
圧変化ΔＰs によって生じる両隔膜ユニットの内部封入
液内圧の変化分の差分をΔＰpD (Pa) とすると、静圧変
化分ΔＰs を受けた高圧側受圧部シールダイアフラムの
容量変化分ΔＶ pH(mm3) は、高圧側受圧部シールダイア
フラムの両面にかかる圧力差によるから、 ΔＶpH＝（ΔＰs −ΔＰpH）／φH となる。
、静圧変化分をΔＰs (Pa) 、静圧変化ΔＰs により
生じる高圧側隔膜ユニットの内部封入液内圧の変化分を
ΔＰpH(Pa) 、静圧変化ΔＰs により生じる低圧側隔膜
ユニットの内部封入液内圧の変化分をΔＰpL (Pa) 、静
圧変化ΔＰs によって生じる両隔膜ユニットの内部封入
液内圧の変化分の差分をΔＰpD (Pa) とすると、静圧変
化分ΔＰs を受けた高圧側受圧部シールダイアフラムの
容量変化分ΔＶ pH(mm3) は、高圧側受圧部シールダイア
フラムの両面にかかる圧力差によるから、 ΔＶpH＝（ΔＰs −ΔＰpH）／φH となる。
【００２３】高圧側隔膜ユニットの内部封入液量Ｖ
H が、内圧変化分ΔＰpHによって圧縮される容積ΔＶ
dpH (mm3) は、 ΔＶdpH ＝ＶH βΔＰpH となる。
H が、内圧変化分ΔＰpHによって圧縮される容積ΔＶ
dpH (mm3) は、 ΔＶdpH ＝ＶH βΔＰpH となる。
【００２４】高圧側受圧部シールダイアフラムの容量変
化分ΔＶpHと高圧側隔膜ユニットの内部封入液量の圧縮
分ΔＶdpH とは等しいから、 （ΔＰs −ΔＰpH）／φH ＝ＶH βΔＰpH となり、この式からΔＰpHを求めると、 ΔＰpH＝ΔＰs ／（φH ＶH β＋１） （４） が得られる。
化分ΔＶpHと高圧側隔膜ユニットの内部封入液量の圧縮
分ΔＶdpH とは等しいから、 （ΔＰs −ΔＰpH）／φH ＝ＶH βΔＰpH となり、この式からΔＰpHを求めると、 ΔＰpH＝ΔＰs ／（φH ＶH β＋１） （４） が得られる。
【００２５】低圧側隔膜ユニットでも同様にして、 （ΔＰs −ΔＰpL）／φL ＝ＶL βΔＰpL となり、この式からΔＰpLを求めると、 ΔＰpL＝ΔＰs ／（φL ＶL β＋１） （５） が得られる。
【００２６】したがって、静圧変化ΔＰs によって生じ
る両隔膜ユニットの内部封入液内圧の変化分の差分ΔＰ
pDは、 ΔＰpD＝ΔＰpH−ΔＰpL であるから、この式に（４）式及び（５）式を代入して
通分し、分母のβを含む項を１に比べて十分に小さいと
して省略すると、 ΔＰpD≒βΔＰs （φL ＶL −φH ＶH ）（６） の近似式が得られる。
る両隔膜ユニットの内部封入液内圧の変化分の差分ΔＰ
pDは、 ΔＰpD＝ΔＰpH−ΔＰpL であるから、この式に（４）式及び（５）式を代入して
通分し、分母のβを含む項を１に比べて十分に小さいと
して省略すると、 ΔＰpD≒βΔＰs （φL ＶL −φH ＶH ）（６） の近似式が得られる。
【００２７】ここで、（３）式と（６）式との両辺それ
ぞれの比を取ると、 ΔＰtD／ΔＰpD≒−αΔＴ／βΔＰs となり、 ΔＰtD≒（−α／β）ΔＰpDΔＴ／ΔＰs （７） の関係を得ることができる。
ぞれの比を取ると、 ΔＰtD／ΔＰpD≒−αΔＴ／βΔＰs となり、 ΔＰtD≒（−α／β）ΔＰpDΔＴ／ΔＰs （７） の関係を得ることができる。
【００２８】この関係式は、内部封入液の熱膨張係数α
と体積圧縮率βとが既知である場合には、静圧変化ΔＰ
s による零点出力の誤差（零点出力の静圧特性値）ΔＰ
pDを測定することによって、その結果から温度変化ΔＴ
による零点出力の誤差（零点出力の温度特性値）ΔＰtD
を求めることが可能であることを示している。
と体積圧縮率βとが既知である場合には、静圧変化ΔＰ
s による零点出力の誤差（零点出力の静圧特性値）ΔＰ
pDを測定することによって、その結果から温度変化ΔＴ
による零点出力の誤差（零点出力の温度特性値）ΔＰtD
を求めることが可能であることを示している。
【００２９】（７）式が、この発明による差圧測定装置
の温度特性調整方法の根拠となる式である。
の温度特性調整方法の根拠となる式である。
【００３０】以上の説明において、隔膜ユニットのシー
ルダイアフラム及び内部封入液を差圧測定装置本体のシ
ールダイアフラム及び内部封入液に置き換えると、
（７）式は、そのまま、差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性値から零点出力の温度特性値を算出する式にな
る。
ルダイアフラム及び内部封入液を差圧測定装置本体のシ
ールダイアフラム及び内部封入液に置き換えると、
（７）式は、そのまま、差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性値から零点出力の温度特性値を算出する式にな
る。
【００３１】したがって、第３の発明による差圧測定装
置の温度特性調整方法は、高圧側受圧部及び低圧側受圧
部のそれぞれにシールダイアフラムを備え、両受圧部に
印加されたそれぞれの圧力を封入されたそれぞれの圧力
伝達用液体を介して差圧センサに伝達して両圧力の差を
測定する差圧測定装置の温度特性調整方法であって、差
圧測定装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静
圧を印加して、その時の零点出力の変化である零点出力
の静圧特性を測定して記録する工程と、測定記録された
零点出力の静圧特性値に、封入されている圧力伝達用液
体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積圧縮率で除し
た結果に、マイナス符号を付して、差圧測定装置の零点
出力の温度特性の温度係数値を算出する工程と、前記温
度係数値から差圧測定装置の零点出力の温度特性値を算
出する工程とを備えている（請求項３の発明）。
置の温度特性調整方法は、高圧側受圧部及び低圧側受圧
部のそれぞれにシールダイアフラムを備え、両受圧部に
印加されたそれぞれの圧力を封入されたそれぞれの圧力
伝達用液体を介して差圧センサに伝達して両圧力の差を
測定する差圧測定装置の温度特性調整方法であって、差
圧測定装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静
圧を印加して、その時の零点出力の変化である零点出力
の静圧特性を測定して記録する工程と、測定記録された
零点出力の静圧特性値に、封入されている圧力伝達用液
体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積圧縮率で除し
た結果に、マイナス符号を付して、差圧測定装置の零点
出力の温度特性の温度係数値を算出する工程と、前記温
度係数値から差圧測定装置の零点出力の温度特性値を算
出する工程とを備えている（請求項３の発明）。
【００３２】
【発明の実施の形態】この発明による差圧測定装置の温
度特性調整方法の実施の形態について実施例を用いて説
明する。
度特性調整方法の実施の形態について実施例を用いて説
明する。
【００３３】実施例は、図３に示したリモートシール形
の差圧測定装置において零点出力の温度特性を調整した
一例である。このリモートシール形の差圧測定装置の差
圧測定装置本体１は、温度特性調整済みであり、その調
整方法は、図１に示す６つの工程からなる。
の差圧測定装置において零点出力の温度特性を調整した
一例である。このリモートシール形の差圧測定装置の差
圧測定装置本体１は、温度特性調整済みであり、その調
整方法は、図１に示す６つの工程からなる。
【００３４】実施例に用いた差圧測定装置に関係する諸
数値は次の通りである。
数値は次の通りである。
【００３５】 測定レンジ ：０〜1000 （Pa） キャピラリーチューブ長さ：６ （ｍ） 隔膜ユニット内部封入液量：約６×103 （mm3 ） 最大印加静圧 ：10×106 （Pa） 内部封入液の熱膨張係数α：1.07×10-3（℃-1） 内部封入液の圧縮率β ：1.0 ×10-9（Pa-1） なお、内部封入液にはシリコーンオイルを使用した。
【００３６】また、静圧変化ΔＰs には最大印加静圧で
ある10×106 Paを採用した。
ある10×106 Paを採用した。
【００３７】以下に、実施例の差圧測定装置の温度特性
調整方法を工程順に説明する。
調整方法を工程順に説明する。
【００３８】〔工程１：差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性の測定〕差圧測定装置本体１の本体高圧側シー
ルダイアフラム13A 及び本体低圧側シールダイアフラム
13B に、同一の静圧ΔＰs （＝10×106 Pa）を印加し
て、その時の零点出力の変化値である零点出力の静圧特
性値（ΔＰm ）を測定して記録する。この実施例におい
ては、ΔＰm ＝8.0 ×10-1Paであった。
静圧特性の測定〕差圧測定装置本体１の本体高圧側シー
ルダイアフラム13A 及び本体低圧側シールダイアフラム
13B に、同一の静圧ΔＰs （＝10×106 Pa）を印加し
て、その時の零点出力の変化値である零点出力の静圧特
性値（ΔＰm ）を測定して記録する。この実施例におい
ては、ΔＰm ＝8.0 ×10-1Paであった。
【００３９】〔工程２：リモートシール形差圧測定装置
の組立〕差圧測定装置本体１に高圧側及び低圧側隔膜ユ
ニット2A及び2Bを取り付けて、リモートシール形の差圧
測定装置を組み立てる。
の組立〕差圧測定装置本体１に高圧側及び低圧側隔膜ユ
ニット2A及び2Bを取り付けて、リモートシール形の差圧
測定装置を組み立てる。
【００４０】〔工程３：リモートシール形差圧測定装置
の零点出力の静圧特性の測定〕高圧側及び低圧側隔膜ユ
ニット2A及び2Bの高圧側受圧部シールダイアフラム231A
及び低圧側受圧部シールダイアフラム231Bに、同一の静
圧ΔＰs （＝10×106Pa）を印加して、その時の零点出
力の変化値である零点出力の静圧特性値（ΔＰ r ）を測
定して記録する。
の零点出力の静圧特性の測定〕高圧側及び低圧側隔膜ユ
ニット2A及び2Bの高圧側受圧部シールダイアフラム231A
及び低圧側受圧部シールダイアフラム231Bに、同一の静
圧ΔＰs （＝10×106Pa）を印加して、その時の零点出
力の変化値である零点出力の静圧特性値（ΔＰ r ）を測
定して記録する。
【００４１】この実施例においては、ΔＰr ＝2.16Paで
あった。
あった。
【００４２】〔工程４：隔膜ユニットによって追加され
た零点出力の静圧特性値の算出〕工程３のΔＰr から工
程１のΔＰm を差し引くことによって、隔膜ユニットに
よって追加された零点出力の静圧特性値ΔＰpDを算出す
る。すなわち、ΔＰpD＝ΔＰr −ΔＰm ＝1.36Pa とな
る。
た零点出力の静圧特性値の算出〕工程３のΔＰr から工
程１のΔＰm を差し引くことによって、隔膜ユニットに
よって追加された零点出力の静圧特性値ΔＰpDを算出す
る。すなわち、ΔＰpD＝ΔＰr −ΔＰm ＝1.36Pa とな
る。
【００４３】〔工程５：隔膜ユニットの零点出力の温度
特性の温度係数値の算出〕工程４で算出したΔＰpDと静
圧ΔＰs との比に、内部封入液の熱膨張係数αを乗じ、
且つ内部封入液の体積圧縮率βで除して、その結果にマ
イナス符号を付して、隔膜ユニットの零点出力の温度特
性の温度係数値を算出する。すなわち、 隔膜ユニットの零点出力の温度特性の温度係数値＝（−
α／β）（ΔＰpD／ΔＰs ） 上記したα等の数値を用いると、この温度係数値は、 −0.14552 （Pa／℃） となる。
特性の温度係数値の算出〕工程４で算出したΔＰpDと静
圧ΔＰs との比に、内部封入液の熱膨張係数αを乗じ、
且つ内部封入液の体積圧縮率βで除して、その結果にマ
イナス符号を付して、隔膜ユニットの零点出力の温度特
性の温度係数値を算出する。すなわち、 隔膜ユニットの零点出力の温度特性の温度係数値＝（−
α／β）（ΔＰpD／ΔＰs ） 上記したα等の数値を用いると、この温度係数値は、 −0.14552 （Pa／℃） となる。
【００４４】〔工程６：リモートシール形差圧測定装置
の零点出力の温度特性値の算出〕差圧測定装置本体１の
零点出力の温度特性値に、工程５で算出した隔膜ユニッ
トの零点出力の温度特性の温度係数値に温度変化分ΔＴ
を乗じて算出した隔膜ユニットの零点出力の温度特性値
を加算して、リモートシール形差圧測定装置の零点出力
の温度特性値を算出する。すなわち、リモートシール形
差圧測定装置の零点出力の温度特性値は、 〔差圧測定装置本体１の零点出力の温度特性値〕＋（−
α／β）（ΔＰpD／ΔＰs ）ΔＴ で算出される。
の零点出力の温度特性値の算出〕差圧測定装置本体１の
零点出力の温度特性値に、工程５で算出した隔膜ユニッ
トの零点出力の温度特性の温度係数値に温度変化分ΔＴ
を乗じて算出した隔膜ユニットの零点出力の温度特性値
を加算して、リモートシール形差圧測定装置の零点出力
の温度特性値を算出する。すなわち、リモートシール形
差圧測定装置の零点出力の温度特性値は、 〔差圧測定装置本体１の零点出力の温度特性値〕＋（−
α／β）（ΔＰpD／ΔＰs ）ΔＴ で算出される。
【００４５】この実施例の場合には、リモートシール形
差圧測定装置の零点出力の温度特性値は、 〔差圧測定装置本体１の零点出力の温度特性値〕 −0.14552 ΔＴ となる。
差圧測定装置の零点出力の温度特性値は、 〔差圧測定装置本体１の零点出力の温度特性値〕 −0.14552 ΔＴ となる。
【００４６】このようにして算出した温度特性値は、同
じリモートシール形差圧測定装置を恒温槽に入れて、従
来技術の方法で測定した零点出力の温度特性値とよく一
致していた。
じリモートシール形差圧測定装置を恒温槽に入れて、従
来技術の方法で測定した零点出力の温度特性値とよく一
致していた。
【００４７】ここで、ΔＰs として10×106 Paを印加す
る静圧特性測定が、温度特性測定のΔＴに換算すると幾
らの温度差に相当するか推定してみる。
る静圧特性測定が、温度特性測定のΔＴに換算すると幾
らの温度差に相当するか推定してみる。
【００４８】この推定は、「課題を解決するための手
段」の項で説明した（７）式において、ΔＰtD＝ΔＰpD
として、ΔＴを求めることに相当するから、 ΔＴ＝ΔＰs ／（−α／β） であり、上述の各数値を代入すると、 ΔＴ＝−10×106 ／1.07×106 ≒−10 となって、ΔＰs として10×106 Paを印加する静圧特性
測定は、ΔＴとして約−10℃の温度変化を与える温度特
性測定に相当することが分かる。
段」の項で説明した（７）式において、ΔＰtD＝ΔＰpD
として、ΔＴを求めることに相当するから、 ΔＴ＝ΔＰs ／（−α／β） であり、上述の各数値を代入すると、 ΔＴ＝−10×106 ／1.07×106 ≒−10 となって、ΔＰs として10×106 Paを印加する静圧特性
測定は、ΔＴとして約−10℃の温度変化を与える温度特
性測定に相当することが分かる。
【００４９】このようにして、大きな恒温槽スペースと
非常に長い測定時間とを必要とする面倒な恒温槽による
温度特性の測定を、恒温槽を必要とせず且つ短時間で実
施できる静圧印加の測定に置き換えることができ、作業
スペースと測定時間を大幅に削減することができ、生産
性を飛躍的に高めることができた。
非常に長い測定時間とを必要とする面倒な恒温槽による
温度特性の測定を、恒温槽を必要とせず且つ短時間で実
施できる静圧印加の測定に置き換えることができ、作業
スペースと測定時間を大幅に削減することができ、生産
性を飛躍的に高めることができた。
【００５０】上記の実施例においては、温度特性調整済
みの差圧測定装置本体が使用されたが、温度特性及び静
圧特性調整済みの差圧測定装置本体を使用することもで
きる。この場合には、差圧測定装置本体の静圧特性を測
定することを必要としないから、前記の工程１を省略す
ることができ、リモートシール形差圧測定装置を組み上
げた状態で、上記の工程３からの温度特性調整工程に投
入することができる。この調整工程の工程４では、工程
１で測定したΔＰm に替えて、予め測定されていた差圧
測定装置本体の静圧特性が使用されることになる。それ
以外は上記の実施例と同じである。
みの差圧測定装置本体が使用されたが、温度特性及び静
圧特性調整済みの差圧測定装置本体を使用することもで
きる。この場合には、差圧測定装置本体の静圧特性を測
定することを必要としないから、前記の工程１を省略す
ることができ、リモートシール形差圧測定装置を組み上
げた状態で、上記の工程３からの温度特性調整工程に投
入することができる。この調整工程の工程４では、工程
１で測定したΔＰm に替えて、予め測定されていた差圧
測定装置本体の静圧特性が使用されることになる。それ
以外は上記の実施例と同じである。
【００５１】この場合には、工程１も省略できるので、
作業能率が更に向上する。
作業能率が更に向上する。
【００５２】また、「課題を解決するための手段」の項
で説明したように、隔膜ユニットのシールダイアフラム
及び内部封入液を差圧測定装置本体のシールダイアフラ
ム及び内部封入液に置き換えると、（７）式は、そのま
ま、差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性値から零点
出力の温度特性値を算出する式になる。したがって、差
圧測定装置本体の零点出力の静圧特性を測定することに
よって、零点出力の温度特性値を算出することができ、
面倒な恒温槽による温度特性の測定を静圧印加の測定に
置き換えることができ、作業スペースと作業時間を大幅
に削減することができる。
で説明したように、隔膜ユニットのシールダイアフラム
及び内部封入液を差圧測定装置本体のシールダイアフラ
ム及び内部封入液に置き換えると、（７）式は、そのま
ま、差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性値から零点
出力の温度特性値を算出する式になる。したがって、差
圧測定装置本体の零点出力の静圧特性を測定することに
よって、零点出力の温度特性値を算出することができ、
面倒な恒温槽による温度特性の測定を静圧印加の測定に
置き換えることができ、作業スペースと作業時間を大幅
に削減することができる。
【００５３】
【発明の効果】この発明によれば、第１の発明による差
圧測定装置の温度特性調整方法は、温度特性調整済みの
差圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモ
ートシール形の差圧測定装置の温度特性調整方法であっ
て、差圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられる
前に、差圧測定装置本体の高圧側受圧部及び低圧側受圧
部に同一の静圧を印加して、その時の零点出力の変化で
ある零点出力の静圧特性を測定して記録する工程と、差
圧測定装置本体に隔膜ユニットを取り付け、圧力伝達用
液体を封入して、リモートシール形の差圧測定装置を組
み立てる工程と、組み立てられたリモートシール形の差
圧測定装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静
圧を印加して、零点出力の静圧特性を測定して記録する
工程と、前工程で測定記録されたリモートシール形の差
圧測定装置の零点出力の静圧特性値から、前前工程で測
定記録された差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性値
を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性
値を算出する工程と、隔膜ユニットのみの零点出力の静
圧特性値に、隔膜ユニットに封入された圧力伝達用液体
の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積圧縮率で除した
結果に、マイナス符号を付して、隔膜ユニットの零点出
力の温度特性の温度係数値を算出する工程と、前記温度
係数値から算出される隔膜ユニットの零点出力の温度特
性値を、差圧測定装置本体に記録されている零点出力の
温度特性値に加算して、リモートシール形の差圧測定装
置の零点出力の温度特性値とする工程とを備えている。
圧測定装置の温度特性調整方法は、温度特性調整済みの
差圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモ
ートシール形の差圧測定装置の温度特性調整方法であっ
て、差圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられる
前に、差圧測定装置本体の高圧側受圧部及び低圧側受圧
部に同一の静圧を印加して、その時の零点出力の変化で
ある零点出力の静圧特性を測定して記録する工程と、差
圧測定装置本体に隔膜ユニットを取り付け、圧力伝達用
液体を封入して、リモートシール形の差圧測定装置を組
み立てる工程と、組み立てられたリモートシール形の差
圧測定装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静
圧を印加して、零点出力の静圧特性を測定して記録する
工程と、前工程で測定記録されたリモートシール形の差
圧測定装置の零点出力の静圧特性値から、前前工程で測
定記録された差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性値
を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性
値を算出する工程と、隔膜ユニットのみの零点出力の静
圧特性値に、隔膜ユニットに封入された圧力伝達用液体
の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積圧縮率で除した
結果に、マイナス符号を付して、隔膜ユニットの零点出
力の温度特性の温度係数値を算出する工程と、前記温度
係数値から算出される隔膜ユニットの零点出力の温度特
性値を、差圧測定装置本体に記録されている零点出力の
温度特性値に加算して、リモートシール形の差圧測定装
置の零点出力の温度特性値とする工程とを備えている。
【００５４】差圧測定装置本体及びリモートシール形の
差圧測定装置の零点出力の静圧特性の測定結果から、隔
膜ユニットの零点出力の静圧特性値が算出されると、
「課題を解決するための手段」の項で説明したように、
（７）式によって隔膜ユニットの零点出力の温度特性値
が算出される。この算出結果が差圧測定装置本体の温度
特性データに加算されることによって、リモートシール
形の差圧測定装置の零点出力の温度特性値が算出される
ので、恒温槽を使った従来技術による温度特性調整工程
を必要としない。したがって、生産性の優れたリモート
シール形の差圧測定装置の温度特性調整方法を提供する
ことができる（請求項１の発明）。
差圧測定装置の零点出力の静圧特性の測定結果から、隔
膜ユニットの零点出力の静圧特性値が算出されると、
「課題を解決するための手段」の項で説明したように、
（７）式によって隔膜ユニットの零点出力の温度特性値
が算出される。この算出結果が差圧測定装置本体の温度
特性データに加算されることによって、リモートシール
形の差圧測定装置の零点出力の温度特性値が算出される
ので、恒温槽を使った従来技術による温度特性調整工程
を必要としない。したがって、生産性の優れたリモート
シール形の差圧測定装置の温度特性調整方法を提供する
ことができる（請求項１の発明）。
【００５５】また、第２の発明による差圧測定装置の温
度特性調整方法は、温度特性及び静圧特性調整済みの差
圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモー
トシール形の差圧測定装置の温度特性調整方法であっ
て、リモートシール形の差圧測定装置の高圧側受圧部及
び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、その時の零点
出力の変化である零点出力の静圧特性を測定して記録す
る工程と、前工程で測定記録されたリモートシール形の
差圧測定装置の零点出力の静圧特性値から、差圧測定装
置本体に記録されている差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性値を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力
の静圧特性値を算出する工程と、隔膜ユニットのみの零
点出力の静圧特性値に、隔膜ユニットに封入されている
圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積
圧縮率で除した結果に、マイナス符号を付して、隔膜ユ
ニットの零点出力の温度特性の温度係数値を算出する工
程と、前記温度係数値から算出される隔膜ユニットの零
点出力の温度特性値を、差圧測定装置本体に記録されて
いる零点出力の温度特性値に加算して、リモートシール
形の差圧測定装置の零点出力の温度特性値とする工程と
を備えている。
度特性調整方法は、温度特性及び静圧特性調整済みの差
圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモー
トシール形の差圧測定装置の温度特性調整方法であっ
て、リモートシール形の差圧測定装置の高圧側受圧部及
び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、その時の零点
出力の変化である零点出力の静圧特性を測定して記録す
る工程と、前工程で測定記録されたリモートシール形の
差圧測定装置の零点出力の静圧特性値から、差圧測定装
置本体に記録されている差圧測定装置本体の零点出力の
静圧特性値を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力
の静圧特性値を算出する工程と、隔膜ユニットのみの零
点出力の静圧特性値に、隔膜ユニットに封入されている
圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積
圧縮率で除した結果に、マイナス符号を付して、隔膜ユ
ニットの零点出力の温度特性の温度係数値を算出する工
程と、前記温度係数値から算出される隔膜ユニットの零
点出力の温度特性値を、差圧測定装置本体に記録されて
いる零点出力の温度特性値に加算して、リモートシール
形の差圧測定装置の零点出力の温度特性値とする工程と
を備えている。
【００５６】この発明の場合は、差圧測定装置本体の零
点出力の静圧特性が測定済みであるので、リモートシー
ル形の差圧測定装置の零点出力の静圧特性を測定するだ
けで、第１の発明と同様に、隔膜ユニットの零点出力の
静圧特性値が算出され、「課題を解決するための手段」
の項で説明したように、（７）式によって隔膜ユニット
の零点出力の温度特性値が算出される。したがって、生
産性のより優れたリモートシール形の差圧測定装置の温
度特性調整方法を提供することができる（請求項２の発
明）。
点出力の静圧特性が測定済みであるので、リモートシー
ル形の差圧測定装置の零点出力の静圧特性を測定するだ
けで、第１の発明と同様に、隔膜ユニットの零点出力の
静圧特性値が算出され、「課題を解決するための手段」
の項で説明したように、（７）式によって隔膜ユニット
の零点出力の温度特性値が算出される。したがって、生
産性のより優れたリモートシール形の差圧測定装置の温
度特性調整方法を提供することができる（請求項２の発
明）。
【００５７】更に、第３の発明による差圧測定装置の温
度特性調整方法は、高圧側受圧部及び低圧側受圧部のそ
れぞれにシールダイアフラムを備え、両受圧部に印加さ
れたそれぞれの圧力を封入されたそれぞれの圧力伝達用
液体を介して差圧センサに伝達して両圧力の差を測定す
る差圧測定装置の温度特性調整方法であって、差圧測定
装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印
加して、その時の零点出力の変化である零点出力の静圧
特性を測定して記録する工程と、測定記録された零点出
力の静圧特性値に、封入されている圧力伝達用液体の熱
膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積圧縮率で除した結果
に、マイナス符号を付して、差圧測定装置の零点出力の
温度特性の温度係数値を算出する工程と、前記温度係数
値から差圧測定装置の零点出力の温度特性値を算出する
工程とを備えている。
度特性調整方法は、高圧側受圧部及び低圧側受圧部のそ
れぞれにシールダイアフラムを備え、両受圧部に印加さ
れたそれぞれの圧力を封入されたそれぞれの圧力伝達用
液体を介して差圧センサに伝達して両圧力の差を測定す
る差圧測定装置の温度特性調整方法であって、差圧測定
装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印
加して、その時の零点出力の変化である零点出力の静圧
特性を測定して記録する工程と、測定記録された零点出
力の静圧特性値に、封入されている圧力伝達用液体の熱
膨張係数を乗じ、且つ同液体の体積圧縮率で除した結果
に、マイナス符号を付して、差圧測定装置の零点出力の
温度特性の温度係数値を算出する工程と、前記温度係数
値から差圧測定装置の零点出力の温度特性値を算出する
工程とを備えている。
【００５８】「課題を解決するための手段」の項で説明
したように、（７）式は、隔膜ユニットのみに適用され
るものではなく、差圧測定装置本体にも適用できるもの
であるから、差圧測定装置本体の零点出力の温度特性測
定を零点出力の静圧特性測定に置き換えることが可能で
あり、零点出力の静圧特性を測定するだけで、零点出力
の温度特性値を算出することができる。したがって、生
産性の優れた差圧測定装置の温度特性調整方法を提供す
ることができる（請求項３の発明）。
したように、（７）式は、隔膜ユニットのみに適用され
るものではなく、差圧測定装置本体にも適用できるもの
であるから、差圧測定装置本体の零点出力の温度特性測
定を零点出力の静圧特性測定に置き換えることが可能で
あり、零点出力の静圧特性を測定するだけで、零点出力
の温度特性値を算出することができる。したがって、生
産性の優れた差圧測定装置の温度特性調整方法を提供す
ることができる（請求項３の発明）。
【図１】この発明による差圧測定装置の温度特性調整方
法を示す工程図
法を示す工程図
【図２】温度特性補正機能付きの差圧測定装置の信号の
流れを示すブロック図
流れを示すブロック図
【図３】リモートシール形の差圧測定装置の一例の構造
を示す断面図
を示す断面図
１ 差圧測定装置本体 11 本体セル 12 差圧センサ 13A 本体高圧側シールダイアフラム 13B 本体低圧側シールダイアフラム 14A, 14B 内部封入液 15 信号処理回路 16 温度センサ 17 メモリー 2A(2B) 高圧（低圧）側隔膜ユニット 21A(21B) 高圧（低圧）側カバー 22A, 22B キャピラリーチューブ 23A(23B) 高圧（低圧）側受圧部 231A 高圧側受圧部シールダイアフラム 231B 低圧側受圧部シールダイアフラム 24A, 24B 内部封入液
Claims (3)
- 【請求項１】温度特性調整済みの差圧測定装置本体に隔
膜ユニットが取り付けられたリモートシール形の差圧測
定装置の温度特性調整方法であって、 差圧測定装置本体に隔膜ユニットが取り付けられる前
に、差圧測定装置本体の高圧側受圧部及び低圧側受圧部
に同一の静圧を印加して、その時の零点出力の変化であ
る零点出力の静圧特性を測定して記録する工程と、 差圧測定装置本体に隔膜ユニットを取り付け、圧力伝達
用液体を封入して、リモートシール形の差圧測定装置を
組み立てる工程と、 組み立てられたリモートシール形の差圧測定装置の高圧
側受圧部及び低圧側受圧部に同一の静圧を印加して、零
点出力の静圧特性を測定して記録する工程と、 前工程で測定記録されたリモートシール形の差圧測定装
置の零点出力の静圧特性値から、前前工程で測定記録さ
れた差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性値を差し引
いて、隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性値を算出
する工程と、 隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性値に、隔膜ユニ
ットに封入された圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、
且つ同液体の体積圧縮率で除した結果に、マイナス符号
を付して、隔膜ユニットの零点出力の温度変化（以下で
は零点出力の温度特性という）の温度係数値を算出する
工程と、 前記温度係数値から算出される隔膜ユニットの零点出力
の温度特性値を、差圧測定装置本体に記録されている零
点出力の温度特性値に加算して、リモートシール形の差
圧測定装置の零点出力の温度特性値とする工程とを備え
ていることを特徴とする差圧測定装置の温度特性調整方
法。 - 【請求項２】温度特性及び静圧特性調整済みの差圧測定
装置本体に隔膜ユニットが取り付けられたリモートシー
ル形の差圧測定装置の温度特性調整方法であって、 リモートシール形の差圧測定装置の高圧側受圧部及び低
圧側受圧部に同一の静圧を印加して、その時の零点出力
の変化である零点出力の静圧特性を測定して記録する工
程と、 前工程で測定記録されたリモートシール形の差圧測定装
置の零点出力の静圧特性値から、差圧測定装置本体に記
録されている差圧測定装置本体の零点出力の静圧特性値
を差し引いて、隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性
値を算出する工程と、 隔膜ユニットのみの零点出力の静圧特性値に、隔膜ユニ
ットに封入されている圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗
じ、且つ同液体の体積圧縮率で除した結果に、マイナス
符号を付して、隔膜ユニットの零点出力の温度特性の温
度係数値を算出する工程と、 前記温度係数値から算出される隔膜ユニットの零点出力
の温度特性値を、差圧測定装置本体に記録されている零
点出力の温度特性値に加算して、リモートシール形の差
圧測定装置の零点出力の温度特性値とする工程とを備え
ていることを特徴とする差圧測定装置の温度特性調整方
法。 - 【請求項３】高圧側受圧部及び低圧側受圧部のそれぞれ
にシールダイアフラムを備え、両受圧部に印加されたそ
れぞれの圧力を封入されたそれぞれの圧力伝達用液体を
介して差圧センサに伝達して両圧力の差を測定する差圧
測定装置の温度特性調整方法であって、 差圧測定装置の高圧側受圧部及び低圧側受圧部に同一の
静圧を印加して、その時の零点出力の変化である零点出
力の静圧特性を測定して記録する工程と、 測定記録された零点出力の静圧特性値に、封入されてい
る圧力伝達用液体の熱膨張係数を乗じ、且つ同液体の体
積圧縮率で除した結果に、マイナス符号を付して、差圧
測定装置の零点出力の温度特性の温度係数値を算出する
工程と、 前記温度係数値から差圧測定装置の零点出力の温度特性
値を算出する工程とを備えていることを特徴とする差圧
測定装置の温度特性調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24811699A JP2001074578A (ja) | 1999-09-02 | 1999-09-02 | 差圧測定装置の温度特性調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24811699A JP2001074578A (ja) | 1999-09-02 | 1999-09-02 | 差圧測定装置の温度特性調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001074578A true JP2001074578A (ja) | 2001-03-23 |
Family
ID=17173475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24811699A Pending JP2001074578A (ja) | 1999-09-02 | 1999-09-02 | 差圧測定装置の温度特性調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001074578A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7174319B2 (en) | 1999-03-18 | 2007-02-06 | Oracle International Corporation | Methods and systems for single sign-on authentication in a multi-vendor e-commerce environment and directory-authenticated bank drafts |
| JP2010176418A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | 製品の組立調整方法および組立調整装置 |
| JP2012504772A (ja) * | 2008-10-06 | 2012-02-23 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセス伝送器及び熱型診断法 |
| CN103017974A (zh) * | 2011-09-26 | 2013-04-03 | 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 | 一种新型测量超高温介质压力的远传压力、差压变送器 |
| JP2015520400A (ja) * | 2012-06-19 | 2015-07-16 | ローズマウント インコーポレイテッド | 圧力センサを有する差圧伝送器 |
| CN105671394A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-15 | 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 | 镓液态金属材料及其在远传压力、差压变送器上的应用 |
-
1999
- 1999-09-02 JP JP24811699A patent/JP2001074578A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7174319B2 (en) | 1999-03-18 | 2007-02-06 | Oracle International Corporation | Methods and systems for single sign-on authentication in a multi-vendor e-commerce environment and directory-authenticated bank drafts |
| JP2012504772A (ja) * | 2008-10-06 | 2012-02-23 | ローズマウント インコーポレイテッド | プロセス伝送器及び熱型診断法 |
| JP2010176418A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | 製品の組立調整方法および組立調整装置 |
| CN103017974A (zh) * | 2011-09-26 | 2013-04-03 | 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 | 一种新型测量超高温介质压力的远传压力、差压变送器 |
| CN103017974B (zh) * | 2011-09-26 | 2015-03-25 | 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 | 一种新型测量超高温介质压力的远传压力、差压变送器 |
| JP2015520400A (ja) * | 2012-06-19 | 2015-07-16 | ローズマウント インコーポレイテッド | 圧力センサを有する差圧伝送器 |
| CN105671394A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-15 | 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 | 镓液态金属材料及其在远传压力、差压变送器上的应用 |
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