JP2009162603A - ヒータ兼温度センサ素子と、これを用いた気流センサ及び真空パッド、及び導電膜付チューブ並びに気流検知装置 - Google Patents
ヒータ兼温度センサ素子と、これを用いた気流センサ及び真空パッド、及び導電膜付チューブ並びに気流検知装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板から熱分離したカンチレバ状の薄膜にヒータ兼温度センサを形成し2端子とする。そのチップ寸法を1mm角程度の超小型化する。気流センサとして気流の流入口近傍の微小空間にヒータ兼温度センサ素子を取り付ける。これを真空パッドに適用し、素子を吸着パッド付近に取り付ける。内側と外側に導電膜を形成した導電膜付チューブを提供して電源回路などを有する本体と気流センサとの間の煩雑なワイヤ線を不要にする。更にこの気流センサを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有するコンパクトな気流検知装置とする。
【選択図】図1
Description
場合である。
10 薄膜
11 SOI層
12 下地基板
15 カンチレバ
20 温度センサ
21 n型拡散領域
22 p型拡散領域
23 pn接合ダイオード
29 オーム性コンタクト
40 空洞
42 スリット
45 中空部
50 シリコン酸化膜
51 BOX層
70、70a、70b 電極
71 電極
100 ヒータ兼温度センサ素子
101 熱伝導型センサチップ
110 配線
150 導電性膜
200 プラスチック
300 カバー
310 導電性接着剤
320 貫通孔
500 チューブ
600 パイプ
700 吸着パッド
Claims (9)
- 基板の一方の面側に形成してあり、該基板から熱分離してある薄膜に形成した温度センサを、自己加熱してヒータとしても用いるヒータ兼温度センサ素子において、該薄膜部分には接触しない構造を有するカバーを前記基板に接合し、該カバーにはヒータ兼温度センサ素子の2端子に対応する2個の電極のうちの少なくとも1個の電極が形成してあることを特徴とするヒータ兼温度センサ素子。
- 温度センサをpn接合ダイオード、ショットキ接合ダイオードもしくは電流検出型熱電対とした請求項1記載のヒータ兼温度センサ素子。
- 基板から熱分離してある薄膜の少なくとも一部を電気絶縁性で耐熱性のプラスチックで被覆した請求項1もしくは2のいずれかに記載のヒータ兼温度センサ素子。
- 温度センサを自己加熱してヒータとしても動作できるようにしたヒータ兼温度センサ素子と、気体が流れるパイプとを備え、該パイプの気流の流入口近傍に、前記ヒータ兼温度センサ素子を具備してあり、前記気体の流れの変動をヒータ兼温度センサ素子からの電気信号で検出できるようにしたことを特徴とする気流センサ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のヒータ兼温度センサ素子を用いた請求項4記載の気流センサ。
- 減圧により物体を捕獲する真空パッドにおいて、気流の発生が真空吸引に基づくようにした請求項4もしくは5のいずれかに記載の気流センサを具備したことを特徴とする真空パッド。
- パイプの少なくとも一部に電気絶縁性の材質で、かつフレキシブルなチューブが設けられてあり、該チューブの内側と外側に導電性膜を形成してあり、該内側と外側の導電性膜をヒータ兼温度センサ素子への配線として利用できるようにした請求項6記載の真空パッド。
- 請求項4もしくは5のいずれかに記載の気流センサ、または請求項7記載の真空パッドに用いる導電膜付チューブにおいて、該チューブの内側と外側の導電性膜を、少なくともそれぞれ1本ずつの2本のヒータ兼温度センサ素子への配線として利用できるようにしたことを特徴とする導電膜付チューブ。
- 請求項4もしくは5のいずれかに記載の気流センサを用いたこと、該気流センサを駆動し、該気流センサからの電気信号から気流の変化を計測して、制御するに必要な増幅回路、演算回路と制御回路とを少なくとも具備したこと、を特徴とする気流検知装置。
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