JP5009867B2 - ガスセンサ - Google Patents
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始めに、図1,図2を参照して、本発明の第1の実施形態となるガスセンサの構成について説明する。
次に、図3,図4を参照して、本発明の第2の実施形態となるガスセンサの構成について説明する。
2,2a,2b:感ガス用抵抗体
3:電源電圧パッド
4:接続配線
5,5a,5b:基準用抵抗体
6:接地電極パッド
7a〜7d:出力端子用パッド
8:V1パッド
Claims (3)
- 基板と、
前記基板の一表面側に露設され、検知対象ガスの接触に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体が一対の電極間に設けられた感ガス用抵抗素子と、
前記基板の前記一表面側に形成され、パッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体が一つの電極間に設けられた基準用抵抗素子と、
前記基板の前記一表面側に形成され、前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子とを直列接続する配線と、
前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子の直列回路の両端に設けられたパッドと、
前記基準用抵抗素子内又は前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子の接続点の異なる箇所からそれぞれ引き出された複数の配線に接続された複数の出力端子用パッドと
を備えることを特徴とするガスセンサ。 - 基板と、
前記基板の一表面側に露設され、検知対象ガスの接触に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体が一対の電極間に設けられた2つの感ガス用抵抗素子と、
前記基板の前記一表面側に形成され、パッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体が一つの電極間に設けられた2つの基準用抵抗素子と、
前記基板の前記一表面側に形成され、前記2つの感ガス用抵抗素子と前記2つの基準用抵抗素子とを感ガス用抵抗素子がブリッジ回路の対辺に位置するようにブリッジ接続する配線と、
前記ブリッジ回路において隣り合う辺に位置する前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子との接続点それぞれに電気的に接続された4つのパッドと、
1つの前記基準抵抗素子内又は当該基準用抵抗素子と前記感ガス用抵抗素子の接続点の異なる箇所からそれぞれ引き出された複数の配線に接続された複数の出力端子用パッドと
を備えることを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1又は請求項2に記載のガスセンサにおいて、
前記ナノ構造炭素材料がカーボンナノチューブであることを特徴とするガスセンサ。
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