JP5144046B2 - 接触燃焼式ガスセンサ - Google Patents
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Description
例えば、接触燃焼式ガスセンサ素子には、ヒーター部を有し、それに装備された燃焼触媒上で生成した可燃性ガスの接触燃焼熱によるヒーター部の抵抗値変化を電圧変化として出力することにより可燃性ガスの存在を検知するものである。
し合い、ガス感度が鈍るおそれがある。そのため、検知素子と補償素子から発生する熱を遮断できることが求められる。
本実施例にある検知素子と補償素子とを直列に接続した第1の直列回路と、同じ抵抗値の2個の固定抵抗を直列に接続した第2の直列回路とを並列に接続してホイートストンブリッジ回路を構成し、その第1の直列回路と第2の直列回路の接続点間に直流電圧を印加し、検知素子と補償素子との接続点と2個の固定抵抗の接続点との間の電圧を検出信号として出力させる。固定抵抗を絶縁膜に形成し、ワンチップ化したセンサの構成でもよく、固定抵抗は絶縁膜の表裏に形成しても良い。
2 熱伝導層材料
3 燃焼触媒材料
4 シリコン基板
5 表面ヒーター部
6 電極
7 表面配線部
8 コンタクトホール
9 中継配線部
10貫通孔
11裏面ヒーター部
12裏面配線部
13絶縁膜
14表面白金膜
15裏面白金膜
16焼結体
17エアギャップ
18シリコン結晶薄膜
Claims (4)
- 焼結体に接触したガスの燃焼により発生した燃焼熱によってヒーター部の電気的な特性値が変化し、その特性値の変化に基づいて可燃性ガスの存在を検知する接触燃焼式ガスセンサであって、前記焼結体および前記ヒーター部が絶縁膜の表面と裏面の両方に形成されており、前記絶縁膜の表面と裏面との間にエアギャップを設けたことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサ。
- 前記ヒーター部の周囲に前記絶縁膜を貫通する複数の貫通孔を有することを特徴とする請求項1に記載の接触燃焼式ガスセンサ。
- 前記絶縁膜の裏面に形成された前記ヒーター部から延びる配線部が前記絶縁膜を貫通して前記表面にも形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の接触燃焼式ガスセンサ。
- 前記表面と裏面とで前記ヒーター部に隣接する電極間での抵抗値が同一であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の接触燃焼式ガスセンサ。
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