JP2010230389A - フローセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るフローセンサ1は、流体の流れを検出する検出部7が形成されたフローセンサチップ2と、フローセンサチップ2と接合部材9を介して接合され、フローセンサチップ2とともに流体を流す流路4を形成する流路形成部材3と、流路を構成しているフローセンサチップ2上に形成され、接合部材9の流路4へのはみ出し許容量を示す許容線10と、を備えたものである。
【選択図】図1
Description
流体の流れを検出する検出部が形成されたフローセンサチップと、
前記フローセンサチップと接合部材を介して接合され、前記フローセンサチップとともに前記流体を流す流路を形成する流路形成部材と、
前記流路を構成している前記フローセンサチップ上に形成され、前記接合部材の前記流路へのはみ出し許容量を示す許容線と、を備えたものである。
これにより、流路内への接合部材のはみ出しによる不良品判定を簡易に行うことができる。
前記許容線は、白金からなることが好ましい。
前記接合部材は、低融点ガラスであることが好ましい。
流体の流れを検出する検出部が形成されたフローセンサチップと、
前記フローセンサチップと接合部材を介して接合され、前記フローセンサチップとともに前記流体を流す流路を構成する流路形成部材と、を備えたフローセンサの製造方法であって、
前記フローセンサチップ上に、前記接合部材の前記流路へのはみ出し許容量を示す許容線を形成するステップと、
前記フローセンサチップと前記流路形成部材とを前記接合部材を介して接合するステップと、
前記接合部材が前記許容線からはみ出しているか否かを検査するステップと、を備えたものである。
これにより、流路内への接合部材のはみ出しによる不良品判定を簡易に行うことができる。
また、前記許容線と前記検出部とを同一の金属膜からパターニングして形成することが好ましい。これにより、製造工程を増やすことなく、不良品判定を簡易に行うことができる。
前記許容線は、白金からなることが好ましい。
前記接合部材は、低融点ガラスであることが好ましい。
まず、フローセンサチップ2上に形成された白金薄膜をパターニングし、検出部7と許容線10とを同時に形成する。
次に、フリットガラス9を接合するフローセンサチップ2の上面2a又はガラスチップ3の下面3aの一方にスクリーン印刷等によって塗布する。
次に、フローセンサチップ2とガラスチップ3を、フリットガラス9を加熱しながら圧力印加することによって接合する。
最後に、フリットガラス9が許容線10からはみ出しているか否かを検査し、不良判定を行う。
2 フローセンサチップ、2a フローセンサチップの上面、2c フローセンサチップの凹部
3 ガラスチップ(流路形成部材)、3a ガラスチップの下面、3b ガラスチップの上面、3c ガラスチップの切欠部
4 流路、4a 流体導入口、4b 流体導出口
5 シリコン基板
6、8 絶縁膜
7 流量検出部
7a〜7c リードパターン
9 フリットガラス(接合部材)
10 許容線
a フローセンサ
Claims (9)
- 流体の流れを検出する検出部が形成されたフローセンサチップと、
前記フローセンサチップと接合部材を介して接合され、前記フローセンサチップとともに前記流体を流す流路を形成する流路形成部材と、
前記流路を構成している前記フローセンサチップ上に形成され、前記接合部材の前記流路へのはみ出し許容量を示す許容線と、を備えたフローセンサ。 - 前記許容線は、前記流路の長手方向に沿って、前記流路の両側に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフローセンサ。
- 前記許容線は、白金からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のフローセンサ。
- 前記接合部材は、低融点ガラスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のフローセンサ。
- 流体の流れを検出する検出部が形成されたフローセンサチップと、
前記フローセンサチップと接合部材を介して接合され、前記フローセンサチップとともに前記流体を流す流路を構成する流路形成部材と、を備えたフローセンサの製造方法であって、
前記フローセンサチップ上に、前記接合部材の前記流路へのはみ出し許容量を示す許容線を形成するステップと、
前記フローセンサチップと前記流路形成部材とを前記接合部材を介して接合するステップと、
前記接合部材が前記許容線からはみ出しているか否かを検査するステップと、を備えるフローセンサの製造方法。 - 前記許容線を形成するステップにおいて、
前記許容線を、前記流路の長手方向に沿って、前記流路の両側に形成することを特徴とする請求項5に記載のフローセンサの製造方法。 - 前記許容線を形成するステップにおいて、
前記許容線と前記検出部とを同一の金属膜からパターニングして形成することを特徴とする請求項5又は6に記載のフローセンサの製造方法。 - 前記許容線は白金からなることを特徴とする請求項7に記載のフローセンサの製造方法。
- 前記接合部材は、低融点ガラスであることを特徴とする請求項5〜8のいずれか一項に記載のフローセンサの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002168669A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP2008070323A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Yamatake Corp | フローセンサ |
JP2009008619A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Mitsubishi Electric Corp | 流量測定装置 |
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