JP2589313Y2 - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JP2589313Y2 JP2589313Y2 JP1992055937U JP5593792U JP2589313Y2 JP 2589313 Y2 JP2589313 Y2 JP 2589313Y2 JP 1992055937 U JP1992055937 U JP 1992055937U JP 5593792 U JP5593792 U JP 5593792U JP 2589313 Y2 JP2589313 Y2 JP 2589313Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- flow path
- block body
- flow rate
- mass flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、方形状のブロック体の
外部に流体流量を検出する流量検出部と流体流量を制御
する流量制御部とを設けたマスフローコントローラの改
良に関する。
外部に流体流量を検出する流量検出部と流体流量を制御
する流量制御部とを設けたマスフローコントローラの改
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記マスフローコントローラとして、例
えば図３に示すものがある。この図において、１は方形
状のブロック体で、その一つの側面２には流体導入口３
が開設され、液体または気体などの流体をブロック体１
に導入するための一次側継手４が着脱自在に設けられて
いる。４ａは一次側継手４内の流路である。
えば図３に示すものがある。この図において、１は方形
状のブロック体で、その一つの側面２には流体導入口３
が開設され、液体または気体などの流体をブロック体１
に導入するための一次側継手４が着脱自在に設けられて
いる。４ａは一次側継手４内の流路である。
【０００３】５は前記流体導入口３に連なる逆Ｌ字状の
流路で、その他端はブロック体１の上面６において開口
していると共に、その水平な部分にはバイパス素子７が
設けられている。また、ブロック体１の側面２に対応す
る側面８には、流体をブロック体１から導出するための
二次側継手９が連設されている。そして、ブロック体１
には、一端が上面６において開口し、他端が二次側継手
９内の流路９ａに連なったＬ字状の流路１０が形成され
ている。
流路で、その他端はブロック体１の上面６において開口
していると共に、その水平な部分にはバイパス素子７が
設けられている。また、ブロック体１の側面２に対応す
る側面８には、流体をブロック体１から導出するための
二次側継手９が連設されている。そして、ブロック体１
には、一端が上面６において開口し、他端が二次側継手
９内の流路９ａに連なったＬ字状の流路１０が形成され
ている。
【０００４】１１はブロック体１の上面６に立設される
流量検出部で、ハウジング１２内に、図外のブリッジ回
路に接続される２つの検出コイル１３を適宜の間隔をお
いて巻設した細い測定管路１４を設けて構成されてい
る。測定管路１４の上流側および下流側の端部は、前記
バイパス素子７の上流位置および下流位置においてそれ
ぞれ流路５と連通接続されている。
流量検出部で、ハウジング１２内に、図外のブリッジ回
路に接続される２つの検出コイル１３を適宜の間隔をお
いて巻設した細い測定管路１４を設けて構成されてい
る。測定管路１４の上流側および下流側の端部は、前記
バイパス素子７の上流位置および下流位置においてそれ
ぞれ流路５と連通接続されている。
【０００５】１５はブロック体１の上面６に、前記流量
検出部１１と並ぶようにして立設される流量制御部で、
前記流路５，１０の上面６側の開口５ａ，１０ａに跨が
って設けられ、これらを開閉する弁体１７と、これを駆
動する弁体駆動部１８とを収容してなる。
検出部１１と並ぶようにして立設される流量制御部で、
前記流路５，１０の上面６側の開口５ａ，１０ａに跨が
って設けられ、これらを開閉する弁体１７と、これを駆
動する弁体駆動部１８とを収容してなる。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のマスフローコントローラ１９においては、一次側継
手４と二次側継手９がブロック体１の対向する側面２，
８にそれぞれ設けられていると共に、流量検出部１１と
流量制御部１５とが、前記側面２，８と直交する方向の
上面６に設けられているため、ブロック体１が長大であ
ると共に、一次側継手４と弁体１７との間の流路５およ
び弁体１７と二次側継手９との間の流路１０は、共に上
方に折れ曲がった形状をしており、そのため、両流路
５，１０のトータル長さが大きくなっていた。そのた
め、所謂デッドボリュームが大きく、ガス置換に時間が
かかると云った不都合があると共に、マスフローコント
ローラ全体の小型が阻まれていた。そして、流路５，１
０内に異物が溜まりやすかった。
来のマスフローコントローラ１９においては、一次側継
手４と二次側継手９がブロック体１の対向する側面２，
８にそれぞれ設けられていると共に、流量検出部１１と
流量制御部１５とが、前記側面２，８と直交する方向の
上面６に設けられているため、ブロック体１が長大であ
ると共に、一次側継手４と弁体１７との間の流路５およ
び弁体１７と二次側継手９との間の流路１０は、共に上
方に折れ曲がった形状をしており、そのため、両流路
５，１０のトータル長さが大きくなっていた。そのた
め、所謂デッドボリュームが大きく、ガス置換に時間が
かかると云った不都合があると共に、マスフローコント
ローラ全体の小型が阻まれていた。そして、流路５，１
０内に異物が溜まりやすかった。
【０００７】また、上記従来のマスフローコントローラ
１９を例えば並列接続するには、図４に示すように、複
数のエルボー２０とＴ字状のチーズ２１を用いる必要が
あり、それだけ、部品点数が多くなると云った欠点もあ
った。
１９を例えば並列接続するには、図４に示すように、複
数のエルボー２０とＴ字状のチーズ２１を用いる必要が
あり、それだけ、部品点数が多くなると云った欠点もあ
った。
【０００８】本考案は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、ブロック体そのもの
を短小とし、ブロック体内における流路長をできるだけ
短くすることにより、ガス置換性が優れると共に、流路
内に異物が溜まりにくいコンパクトな構成のマスフロー
コントローラを提供することにある。
もので、その目的とするところは、ブロック体そのもの
を短小とし、ブロック体内における流路長をできるだけ
短くすることにより、ガス置換性が優れると共に、流路
内に異物が溜まりにくいコンパクトな構成のマスフロー
コントローラを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案においては、方形状のブロック体の外部に流
体流量を検出する流量検出部と流体流量を制御する流量
制御部とを設け、ブロック体内にバイパス素子を備えた
バイパス流路を、流量検出部のハウジング内に設けた測
定管路と並列に設けたマスフローコントローラであっ
て、前記流量検出部をブロック体の上面に立設する一
方、前記流量制御部を、流体を前記ブロック体に導入す
るための一次側継手が設けられた側面に対応する側面に
設けると共に、流体を前記ブロック体から導出するため
の二次側継手を、前記一次側継手が設けられた側面と直
交する側面に設け、更に、ブロック体内に、前記バイパ
ス流路と流量制御部の弁体との間を接続する流路と、前
記弁体と二次側継手との間を接続する流路とを設けてい
る。
め、本考案においては、方形状のブロック体の外部に流
体流量を検出する流量検出部と流体流量を制御する流量
制御部とを設け、ブロック体内にバイパス素子を備えた
バイパス流路を、流量検出部のハウジング内に設けた測
定管路と並列に設けたマスフローコントローラであっ
て、前記流量検出部をブロック体の上面に立設する一
方、前記流量制御部を、流体を前記ブロック体に導入す
るための一次側継手が設けられた側面に対応する側面に
設けると共に、流体を前記ブロック体から導出するため
の二次側継手を、前記一次側継手が設けられた側面と直
交する側面に設け、更に、ブロック体内に、前記バイパ
ス流路と流量制御部の弁体との間を接続する流路と、前
記弁体と二次側継手との間を接続する流路とを設けてい
る。
【００１０】
【作用】上記特徴的構成よりなるマスフローコントロー
ラにおいては、バイパス素子から弁体までの流路長およ
び弁体から二次側継手までの流路長が大幅に短縮され、
これに伴って、ブロック体内における流路長が短くなる
と共に、ブロック体内におけるデッドスペースがなくな
ったので、ガス置換性が向上すると共に、流路内に異物
が溜まりにくくなる。また、マスフローコントローラを
含むガス供給系全体がコンパクトになる。
ラにおいては、バイパス素子から弁体までの流路長およ
び弁体から二次側継手までの流路長が大幅に短縮され、
これに伴って、ブロック体内における流路長が短くなる
と共に、ブロック体内におけるデッドスペースがなくな
ったので、ガス置換性が向上すると共に、流路内に異物
が溜まりにくくなる。また、マスフローコントローラを
含むガス供給系全体がコンパクトになる。
【００１１】
【実施例】以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説
明する。図１は例えば微少流量制御を行うための所謂ノ
ルマルクローズタイプのマスフローコントローラ２２を
示している。この図において、図３に示した符号と同一
のものは同一物を示している。
明する。図１は例えば微少流量制御を行うための所謂ノ
ルマルクローズタイプのマスフローコントローラ２２を
示している。この図において、図３に示した符号と同一
のものは同一物を示している。
【００１２】この実施例に係るマスフローコントローラ
２２が、前記図３に示したマスフローコントローラ１９
と大きく異なる点は、流量制御部１５を、一次側継手４
が設けられた側面２に対応する側面８に設けると共に、
二次側継手９を、側面２，８と直交する面（図示例では
下面）２３に設けたことである。２４は測定流路１４と
並列に設けられ、バイパス素子７を備えたバイパス流
路、２５はこのバイパス流路２４と流量制御部１５の弁
体１７との間を接続する流路、２６は弁体１７と二次側
継手９との間を接続する流路で、いずれもブロック体１
内に設けられている。すなわち、両流路２５，２６の側
面８側の開口２５ａ，２６ａに跨がって前記流量制御部
１５を設けている。
２２が、前記図３に示したマスフローコントローラ１９
と大きく異なる点は、流量制御部１５を、一次側継手４
が設けられた側面２に対応する側面８に設けると共に、
二次側継手９を、側面２，８と直交する面（図示例では
下面）２３に設けたことである。２４は測定流路１４と
並列に設けられ、バイパス素子７を備えたバイパス流
路、２５はこのバイパス流路２４と流量制御部１５の弁
体１７との間を接続する流路、２６は弁体１７と二次側
継手９との間を接続する流路で、いずれもブロック体１
内に設けられている。すなわち、両流路２５，２６の側
面８側の開口２５ａ，２６ａに跨がって前記流量制御部
１５を設けている。
【００１３】上記構成のマスフローコントローラ２２に
おいては、バイパス素子７から弁体１７までの流路２５
が極めて短くなると共に、弁体１７から二次側継手９ま
での流路２６も短くなる。従って、ブロック体１内にお
ける流路長が大幅に短くなると共に、ブロック体１内に
おけるデッドスペースがなくなったので、ガス置換性が
向上すると共に、流路内に異物が溜まりにくくなる。ま
た、マスフローコントローラ全体２２がコンパクトにな
る。
おいては、バイパス素子７から弁体１７までの流路２５
が極めて短くなると共に、弁体１７から二次側継手９ま
での流路２６も短くなる。従って、ブロック体１内にお
ける流路長が大幅に短くなると共に、ブロック体１内に
おけるデッドスペースがなくなったので、ガス置換性が
向上すると共に、流路内に異物が溜まりにくくなる。ま
た、マスフローコントローラ全体２２がコンパクトにな
る。
【００１４】前記実施例においては、二次側継手９をブ
ロック体１の下面２３に設けたが、これを、側面２，８
の間の左右の側面に設けてもよい。図２は、二次側継手
９を互いに対称の位置に設けた２つのマスフローコント
ローラ２２をチーズ２１によって並列的接続した状態を
示す図である。この図から理解されるように、従来のマ
スフローコントローラ１９では必要であったエルボー２
０（図４参照）が不要になり、極めてコンパクトな状態
で接続することできる。前記図１に示したマスフローコ
ントローラ２２においても同様に接続できることは云う
までもない。
ロック体１の下面２３に設けたが、これを、側面２，８
の間の左右の側面に設けてもよい。図２は、二次側継手
９を互いに対称の位置に設けた２つのマスフローコント
ローラ２２をチーズ２１によって並列的接続した状態を
示す図である。この図から理解されるように、従来のマ
スフローコントローラ１９では必要であったエルボー２
０（図４参照）が不要になり、極めてコンパクトな状態
で接続することできる。前記図１に示したマスフローコ
ントローラ２２においても同様に接続できることは云う
までもない。
【００１５】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
バイパス素子から弁体までの流路長が大幅に短縮され、
これに伴って、ブロック体内における流路長が短くなる
と共に、ブロック体内におけるデッドスペースがなくな
ったので、ガス置換性が向上すると共に、流路内に異物
が溜まりにくくなる。また、マスフローコントローラ全
体がコンパクトになる。また、マスフローコントローラ
どうしを並列接続するような場合、継手部材が少なくて
済み、極めてコンパクトな状態で接続することできる。
バイパス素子から弁体までの流路長が大幅に短縮され、
これに伴って、ブロック体内における流路長が短くなる
と共に、ブロック体内におけるデッドスペースがなくな
ったので、ガス置換性が向上すると共に、流路内に異物
が溜まりにくくなる。また、マスフローコントローラ全
体がコンパクトになる。また、マスフローコントローラ
どうしを並列接続するような場合、継手部材が少なくて
済み、極めてコンパクトな状態で接続することできる。
【図１】本考案に係るマスフローコントローラの一例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】本考案の他の実施例に係るマスフローコントロ
ーラを並列的に接続した状態を示す断面斜視図である。
ーラを並列的に接続した状態を示す断面斜視図である。
【図３】従来のマスフローコントローラを示す縦断面図
である。
である。
【図４】従来のマスフローコントローラを並列的に接続
した状態を示す図である。
した状態を示す図である。
１…ブロック体、２，８，２３…側面、４…一次側継
手、７…バイパス素子、９…二次側継手、１１…流量検
出部、１２…ハウジング、１４…測定管路、１５…流量
制御部、２２…マスフローコントローラ、２４…バイパ
ス流路。
手、７…バイパス素子、９…二次側継手、１１…流量検
出部、１２…ハウジング、１４…測定管路、１５…流量
制御部、２２…マスフローコントローラ、２４…バイパ
ス流路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G05D 7/06 G01F 1/68
Claims (1)
- 【請求項１】 方形状のブロック体の外部に流体流量を
検出する流量検出部と流体流量を制御する流量制御部と
を設け、ブロック体内にバイパス素子を備えたバイパス
流路を、流量検出部のハウジング内に設けた測定管路と
並列に設けたマスフローコントローラであって、前記流
量検出部をブロック体の上面に立設する一方、前記流量
制御部を、流体を前記ブロック体に導入するための一次
側継手が設けられた側面に対応する側面に設けると共
に、流体を前記ブロック体から導出するための二次側継
手を、前記一次側継手が設けられた側面と直交する側面
に設け、更に、ブロック体内に、前記バイパス流路と流
量制御部の弁体との間を接続する流路と、前記弁体と二
次側継手との間を接続する流路とを設けたことを特徴と
するマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992055937U JP2589313Y2 (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992055937U JP2589313Y2 (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | マスフローコントローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615107U JPH0615107U (ja) | 1994-02-25 |
| JP2589313Y2 true JP2589313Y2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=13012992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992055937U Expired - Lifetime JP2589313Y2 (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2589313Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53162183U (ja) * | 1977-05-25 | 1978-12-19 | ||
| JP4505009B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2010-07-14 | 株式会社堀場エステック | 集積タイプのマスフローコントローラ及びガス供給ライン |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5451026A (en) * | 1977-09-29 | 1979-04-21 | Hidekuni Yokota | Variable constant flow valve apparatus |
-
1992
- 1992-07-15 JP JP1992055937U patent/JP2589313Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0615107U (ja) | 1994-02-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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