JPH09510544A - テストガス・漏洩探知機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 テストガスの漏洩を探知する漏洩探知機（１）であって、テストガス接続部（２）、テストガス検出器（３）、ガス搬送ポンプ（４）及びテストガス導管（５）を備え、このテストガス導管が、テストガス接続部（２）とガス搬送ポンプ（４）との間で延びかつ遮断可能な分岐部を介してテストガス検出器（３）の流入部（６）に接続されている形式のものにおいて、応答時間を短縮するために、テストガス導管（５）とテストガス検出器（３）の流入部（６）とを接続するのに用いられる案内導管（７，８）が、測定運転中に、テストガス導管（５）内で流れるガス全体をほぼテストガス検出器（３）の流入部（６）内に案内するように、選択されている。

Description

【発明の詳細な説明】 テストガス・漏洩探知機 本発明は、テストガスの漏洩を探知する漏洩探知機であって、テストガス接続 部、テストガス検出器、ガス搬送ポンプ及びテストガス導管を備え、このテスト ガス導管が、テストガス接続部とガス搬送ポンプとの間で延びかつ遮断可能な分 岐部を介してテストガス検出器の流入部に接続されている形式のものに関する。 分岐部が開放された場合（測定運転）、テストガス導管を介して流れるガスの 一部（漏洩が生じた場合にテストガスを含む）が、分岐導管を介してテストガス 検出器内に達しかつテストガス検出器において記録される。 前記形式の漏洩探知機においては、応答時間、即ち、テストガス接続部内への テストガスの流入時点からテストガスの記録時点までの時間は、特に高圧の場合 、比較的長い。 本発明の課題は、応答時間が短縮されるように、冒頭に述べた形式の漏洩探知 機を改良することにある。 前記課題は本発明によれば、請求の範囲第１項の特徴部分に記載の構成の本発 明の漏洩探知機によって解決された。 本発明の構成によって、運転モード“測定”の場合 に、テストガス導管内で流れるガス全体がほぼ直接テストガス検出器内に達する ようになる。これによって、高圧の場合１０ファクタ以上、応答時間が著しく短 縮される。 テストガス検出器が、質量分析計及び質量分析計に前置された、送出方向とは 逆方向でテストガスにより貫流される高真空ポンプ、有利には、ターボ分子真空 ポンプを有する場合には、本発明によって、テストガス導管を介して流れるガス ひいては場合によってガス内に存在するテストガスが完全にかつ直接高真空ポン プの流出範囲に達するので、所望の応答時間短縮が達成される。 次に第１図乃至第６図で図示の実施例に基づき本発明を詳述する。 この場合、第１図乃至第４図は、本発明による漏洩探知機の概略図であり、第 ５図及び第６図は、テストガス導管と高真空ポンプとの間の本発明による接続路 を形成するための実施例を示す図である。 図面では、漏洩探知機が符号１で、テストガス接続部が符号２で、テストガス 検出器が符号３で、ガス搬送ポンプ又は真空ポンプが符号４でかつテストガス接 続部２と真空ポンプ４との間で延びるテストガス導管が符号５で示されている。 テストガス導管５はテストガス検出器３の流入部６に２本の導管区分７，８を介 して接続されている。 第１図の実施例では、各導管区分７，８、並びに、テスト導管５に対する導管 区分７，８の接続個所間に位置する、テストガス導管５の中間導管区分５′は、 それぞれ１つの２ポート２位置切換え弁１１，１２もしくは１３を備えている。 測定運転の場合には、切換え弁１１，１２が開放されかつ切換え弁１３が閉鎖さ れる。テストガス接続部２内に達するガス全体は、直接テストガス検出器３の流 入部６を貫流する。切換え弁１１，１２が閉鎖されかつ切換え弁１３が開放され た場合（ポンプ運転）には、テストガス接続部２に接続されるテストサンプル又 はフラスコを排気することができる。待機運転の場合、切換え弁１１，１３が閉 鎖されかつ切換え弁１２が閉鎖される。 第２図乃至第４図の実施例では、テストガス検出器３は質量分析計１４及び高 真空ポンプ１５、有利には、ターボ分子真空ポンプを有している。高真空ポンプ １５は、質量分析計１４を運転するのに必要な真空（ほぼ１０^-4ｍバール）を維 持するのに用いられる。この実施例では、テストガス（軽いガス、通常ヘリウム ）が、高真空ポンプをポンプ送出方向とは逆方向で貫流する。それ故、テストガ ス検出器３の流入部６は同時に、高真空ポンプの流出部を成す。 導管区分内に３つの２ポート２位置切換え弁１１，１２，１３を設ける代わり に、２つの３ポート２位置切換え弁１６，１７を設けることができ、この切換え 弁は同時に、テストガス導管５における導管区分７，８の接続部を成す。第２図 乃至第４図では導管区分７，８及び中間導管区分５′は、実線（開放状態）及び 鎖線（閉鎖状態）で図示されている。その都度の開放もしくは閉鎖状態は、切換 え弁１６，１７の対応する位置によって得られる。第２図では測定運転を、第３ 図ではポンプ運転をかつ第４図では待機運転を図示している。 第５図（測定運転）及び第６図（ポンプ運転）は、テストガス検出器３の流入 部６（もしくは高真空ポンプ１５の流出部６）の範囲の有利な構成を図示してい る。テストガス検出器３の流入部６（もしくは高真空ポンプ１５の流出部６）の 主要構成部材は、フランジ２２を備えた接続管片２１である。前記フランジ２２ には、（同様にフランジ２３を備えた）導管区分８が接続されている。少なくと もフランジに隣接する範囲では導管区分８は、導管区分７よりも大きな直径を有 している。この範囲では導管区分７は、導管区分８内に案内されている。導管区 分７は、フランジに隣接した導管区分８の範囲を貫通していてかつ導管区分８の 開口部の範囲でテストガス検出器３もしくは高真空ポンプ１５内に達している。 このような構成によって、テストガス導管５を貫流するガス全体が、テストガス 検出器３の流入部６もしくは高真空ポンプ１５の流出部内に達することが保証さ れる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．テストガスの漏洩を探知する漏洩探知機（１）であって、テストガス接続 部（２）、テストガス検出器（３）、ガス搬送ポンプ（４）及びテストガス導管 （５）を備え、このテストガス導管が、テストガス接続部（２）とガス搬送ポン プ（４）との間で延びかつ遮断可能な分岐部を介してテストガス検出器（３）の 流入部（６）に接続されている形式のものにおいて、テストガス導管（５）とテ ストガス検出器（３）の流入部（６）とを接続するのに用いられる案内導管（７ ，８）が、測定運転中に、テストガス導管（５）内で流れるガス全体をほぼテス トガス検出器（３）の流入部（６）内に案内するように、選択されていることを 特徴とする、テストガス・漏洩探知機。 ２．テストガス導管（５）が、２本の遮断可能な導管区分（７，８）を介して 、テストガス検出器（３）の流入部（６）に接続されており、テストガス検出器 に案内される導管区分（７，８）の接続個所の間に位置する、テストガス導管（ ５）の中間導管区分（５′）が同様に遮断可能である、請求項１記載の漏洩探知 機。 ３．両導管区分（７，８）とテストガス導管（５）の中間導管区分（５′）と が、それぞれ１つの２ポート２位置切換え弁を備えている、請求項２記載の漏洩 探知機。 ４．テストガス導管（５）に対する両導管区分（７，８）の接続個所の範囲に 、それぞれ１つの３ポート２位置切換え弁（１６もしくは１７）が設けられてい る、請求項２記載の漏洩探知機。 ５．両導管区分（７，８）が、テストガス検出器（３）の流入部（６）の範囲 で異なる直径を有しかつ互いに同心的に案内されている、請求項１から４までの いずれか１項記載の漏洩探知機。 ６．テストガス検出器（３）が、フランジ（２２）を備えた接続管片（２１） を有しており、直径の大きな分岐導管（７又は８）が、フランジ（２３）を介し て接続管片（２１）に接続されており、直径の小さな分岐導管（７又は８）が、 接続管片（２１）を同心的に貫通している、請求項５記載の漏洩探知機。 ７．テストガス検出器（３）が、質量分析計、及び、送出方向とは逆方向でテ ストガスによって貫流される高真空ポンプ（１５）を有しており、高真空ポンプ （１５）の流出部が、質量分析計（３）の流入部（６）を成している、請求項１ から４までのいずれか１項記載の漏洩探知機。