JPH11326108A - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
ヘリウムリークディテクタInfo
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- JPH11326108A JPH11326108A JP12510898A JP12510898A JPH11326108A JP H11326108 A JPH11326108 A JP H11326108A JP 12510898 A JP12510898 A JP 12510898A JP 12510898 A JP12510898 A JP 12510898A JP H11326108 A JPH11326108 A JP H11326108A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- line
- vacuum
- diaphragm
- pump
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ダイヤフラムポンプを用いても粗引ラインを排
気に長時間を要することなく確実に所定真空度にまで排
気できるように構成する。 【解決手段】ダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂを粗引ライ
ン２に複数ステージ配置するに際して、それらのダイヤ
フラムポンプ３ａ、３ｂ同士を三方弁３ｄを介して粗引
ライン２に対し選択的にシリアル接続又はパラレル接続
とするように構成したため、排気の前半をパラレル接続
で速やかに排気し、排気の後半をシリアル接続で有効な
圧縮比の下に排気することができる。
気に長時間を要することなく確実に所定真空度にまで排
気できるように構成する。 【解決手段】ダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂを粗引ライ
ン２に複数ステージ配置するに際して、それらのダイヤ
フラムポンプ３ａ、３ｂ同士を三方弁３ｄを介して粗引
ライン２に対し選択的にシリアル接続又はパラレル接続
とするように構成したため、排気の前半をパラレル接続
で速やかに排気し、排気の後半をシリアル接続で有効な
圧縮比の下に排気することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、封止検査や密閉検
査などを行う際に利用されるヘリウムリークディテクタ
に関するものである。
査などを行う際に利用されるヘリウムリークディテクタ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】封止検査や密閉検査を行うための有力な
手段の一つにヘリウムリークディテクタがある。ヘリウ
ムリークディテクタは、被試験体を粗引きラインを介し
て真空ポンプにより吸引し得るように構成し、この粗引
きラインに被試験体より漏出したヘリウムを誘導すると
ともに、その誘導されたヘリウムの一部を粗引きライン
に接続した分析管に導いてリーク量の測定を行うもので
ある。
手段の一つにヘリウムリークディテクタがある。ヘリウ
ムリークディテクタは、被試験体を粗引きラインを介し
て真空ポンプにより吸引し得るように構成し、この粗引
きラインに被試験体より漏出したヘリウムを誘導すると
ともに、その誘導されたヘリウムの一部を粗引きライン
に接続した分析管に導いてリーク量の測定を行うもので
ある。
【０００３】そして、特に被試験体がクリーンルームで
用いられるようなオイルを嫌うものである場合、上記真
空ポンプにドライポンプ、一般的には可搬形でコンパク
トなダイヤフラムポンプを用いるようにしているのが通
例である。
用いられるようなオイルを嫌うものである場合、上記真
空ポンプにドライポンプ、一般的には可搬形でコンパク
トなダイヤフラムポンプを用いるようにしているのが通
例である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ダイヤフラ
ムポンプは、通常のポンプに比べて到達真空度が２桁程
度は劣るものであり、単体で用いた場合、粗引きライン
を所定真空度にまで排気できず、測定感度の低下が避け
難い。そこで、従来、複数ステージあるいは複数段のダ
イヤフラムポンプを用意し、これらをシリアル接続して
圧縮比を高める対策が講じられている。ところが、この
ようにしても、排気速度は単体のそれと同じか若しくは
それよりも落ちることになり、そもそもダイヤフラムポ
ンプ単体は排気速度の点でも一般のポンプに比べて劣る
ものであるため、排気に長時間を要するとともに、テス
ト可能な被試験体の容量も自ずと制約の多いものとなら
ざるを得ない。
ムポンプは、通常のポンプに比べて到達真空度が２桁程
度は劣るものであり、単体で用いた場合、粗引きライン
を所定真空度にまで排気できず、測定感度の低下が避け
難い。そこで、従来、複数ステージあるいは複数段のダ
イヤフラムポンプを用意し、これらをシリアル接続して
圧縮比を高める対策が講じられている。ところが、この
ようにしても、排気速度は単体のそれと同じか若しくは
それよりも落ちることになり、そもそもダイヤフラムポ
ンプ単体は排気速度の点でも一般のポンプに比べて劣る
ものであるため、排気に長時間を要するとともに、テス
ト可能な被試験体の容量も自ずと制約の多いものとなら
ざるを得ない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、ダイヤフラムポンプを粗引ラインに
複数ステージあるいは複数段配置してなるものにおい
て、少なくとも一部のダイヤフラムポンプ同士を粗引ラ
インに対して選択的にシリアル接続又はパラレル接続と
する切換手段を設けたことを特徴とする。
ために、本発明は、ダイヤフラムポンプを粗引ラインに
複数ステージあるいは複数段配置してなるものにおい
て、少なくとも一部のダイヤフラムポンプ同士を粗引ラ
インに対して選択的にシリアル接続又はパラレル接続と
する切換手段を設けたことを特徴とする。
【０００６】このように構成した上で、粗引の前半にダ
イヤフラムポンプ同士をパラレル接続とし、後半にシリ
アル接続とすれば、ダイヤフラムポンプの圧縮能力が問
題とならない領域ではパラレル接続による有効な排気速
度の下に速やかに排気を進行させることができ、それ以
降は、ダイヤフラムポンプをシリアル接続とすることに
より圧縮比が高められて、排気速度は落ちるものの所定
真空度にまで確実に到達することができる。したがっ
て、最終的に必要な真空度を確保するように構成して
も、途中の排気を速やかに進行させることができ、更に
単体でのテスト可能な被試験体の内容積も増大させるこ
とが可能となる。
イヤフラムポンプ同士をパラレル接続とし、後半にシリ
アル接続とすれば、ダイヤフラムポンプの圧縮能力が問
題とならない領域ではパラレル接続による有効な排気速
度の下に速やかに排気を進行させることができ、それ以
降は、ダイヤフラムポンプをシリアル接続とすることに
より圧縮比が高められて、排気速度は落ちるものの所定
真空度にまで確実に到達することができる。したがっ
て、最終的に必要な真空度を確保するように構成して
も、途中の排気を速やかに進行させることができ、更に
単体でのテスト可能な被試験体の内容積も増大させるこ
とが可能となる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１〜図３を参
照して説明する。このヘリウムリークディテクタは、図
１に示すように、被試験体１を粗引ライン２を介してダ
イヤフラム型ポンプ装置３で吸引し得るように構成する
とともに、その粗引ライン２にドラッグ型ポンプ装置４
を介して分析管５を接続したものである。
照して説明する。このヘリウムリークディテクタは、図
１に示すように、被試験体１を粗引ライン２を介してダ
イヤフラム型ポンプ装置３で吸引し得るように構成する
とともに、その粗引ライン２にドラッグ型ポンプ装置４
を介して分析管５を接続したものである。
【０００８】具体的に説明すると、粗引ライン２の始端
にはテストポート６が設けられ、このテストポート６に
被試験体１を着脱可能且つ接続部が気密となるように取
り付けられる。前記粗引ライン２の途中には、バルブＢ
Ｖが配置してあり、その上流にはピラニー真空計８、大
気開放部９等が接続してある。ダイヤフラム型ポンプ装
置３は、単体のポンプ本体３ｃの内部に２つのダイヤフ
ラムポンプ３ａ、３ｂを配置したいわゆる２ステージタ
イプのもので、内部に本発明の切換手段に相当する三方
弁３ｄが内設してあり、この三方弁３ｄによって２つの
ダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂが粗引ライン２に対して
選択的にシリアル接続又はパラレル接続となるように切
換えられる。なお、この実施例では、第１ステージ側の
ダイヤフラムポンプ３ａの容量が第２ステージ側のダイ
ヤフラムポンプ３ｂの容量よりも大きく設定されてい
る。
にはテストポート６が設けられ、このテストポート６に
被試験体１を着脱可能且つ接続部が気密となるように取
り付けられる。前記粗引ライン２の途中には、バルブＢ
Ｖが配置してあり、その上流にはピラニー真空計８、大
気開放部９等が接続してある。ダイヤフラム型ポンプ装
置３は、単体のポンプ本体３ｃの内部に２つのダイヤフ
ラムポンプ３ａ、３ｂを配置したいわゆる２ステージタ
イプのもので、内部に本発明の切換手段に相当する三方
弁３ｄが内設してあり、この三方弁３ｄによって２つの
ダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂが粗引ライン２に対して
選択的にシリアル接続又はパラレル接続となるように切
換えられる。なお、この実施例では、第１ステージ側の
ダイヤフラムポンプ３ａの容量が第２ステージ側のダイ
ヤフラムポンプ３ｂの容量よりも大きく設定されてい
る。
【０００９】ドラッグ型ポンプ装置４は、分析管５とダ
イヤフラム型ポンプ装置３の上流との間を接続する分析
ライン１０に配置されてなるもので、分析管５に近い側
に配置された第１段側のモレキュラドラッグポンプ４ａ
と第２段側のモレキュラドラッグポンプ４ｂとをシリア
ルに接続した構成からなっている。この第２段側のモレ
キュラドラッグポンプ４ｂの下流にはピラニー真空系１
１及びバルブＦＶが配置してある。
イヤフラム型ポンプ装置３の上流との間を接続する分析
ライン１０に配置されてなるもので、分析管５に近い側
に配置された第１段側のモレキュラドラッグポンプ４ａ
と第２段側のモレキュラドラッグポンプ４ｂとをシリア
ルに接続した構成からなっている。この第２段側のモレ
キュラドラッグポンプ４ｂの下流にはピラニー真空系１
１及びバルブＦＶが配置してある。
【００１０】さらに、両モレキュラドラッグポンプ４
ａ、４ｂの中間段と粗引ライン２のバルブＢＶよりも上
流とを接続する位置に、バルブＴＶを有する補助分析ラ
イン１２が構成されている。次に、このヘリウムリーク
ディテクタを用いてリークテストを行う手順を概説す
る。先ず、バルブＢＶ、ＴＶを閉、バルブＦＶを開にし
た状態で、ドラッグ型ポンプ装置４及びダイヤフラム型
ポンプ装置３を稼働させ、分析ライン１０を排気する。
この排気が完了した時点で、テストポート６への被試験
体１の取付を終えておく。次に、分析管５に所定のバッ
クグランド値が得られるか、或いはピラニー真空計１１
で所定真空度に達したことを確認したら、バルブＴＶを
閉にしたまま、バルブＦＶを閉、バルブＢＶを開にし、
粗引ライン２をダイヤフラム型ポンプ装置３で排気す
る。この排気過程において、排気の前半は両ダイヤフラ
ムポンプ３ａ、３ｂが粗引ライン２に対してパラレル接
続となるように三方弁３ｄを切換え、所定真空度に達し
た後あるいは所定時間経過後は両ダイヤフラムポンプ３
ａ、３ｂが粗引ライン２に対してシリアル接続となるよ
うに三方弁３ｄを切り換える。この切換えは、ピラニー
真空計８が示す真空度に基づいて行ってもよく、経過時
間により行ってもよい。そして、最後にバルブＢＶを開
に保持したまま、バルブＦＶを開にする。これにより、
被試験体１に外部からＨｅガスを吹き付けると、粗引ラ
イン２から分析ライン１０にＨｅが回り込み、両モレキ
ュラドラッグポンプ４ｂ、４ａを逆拡散した後に分析管
５に流入したＨｅが該分析管５において測定され、その
測定値に基づいて被試験体１のリーク量が求められる。
ａ、４ｂの中間段と粗引ライン２のバルブＢＶよりも上
流とを接続する位置に、バルブＴＶを有する補助分析ラ
イン１２が構成されている。次に、このヘリウムリーク
ディテクタを用いてリークテストを行う手順を概説す
る。先ず、バルブＢＶ、ＴＶを閉、バルブＦＶを開にし
た状態で、ドラッグ型ポンプ装置４及びダイヤフラム型
ポンプ装置３を稼働させ、分析ライン１０を排気する。
この排気が完了した時点で、テストポート６への被試験
体１の取付を終えておく。次に、分析管５に所定のバッ
クグランド値が得られるか、或いはピラニー真空計１１
で所定真空度に達したことを確認したら、バルブＴＶを
閉にしたまま、バルブＦＶを閉、バルブＢＶを開にし、
粗引ライン２をダイヤフラム型ポンプ装置３で排気す
る。この排気過程において、排気の前半は両ダイヤフラ
ムポンプ３ａ、３ｂが粗引ライン２に対してパラレル接
続となるように三方弁３ｄを切換え、所定真空度に達し
た後あるいは所定時間経過後は両ダイヤフラムポンプ３
ａ、３ｂが粗引ライン２に対してシリアル接続となるよ
うに三方弁３ｄを切り換える。この切換えは、ピラニー
真空計８が示す真空度に基づいて行ってもよく、経過時
間により行ってもよい。そして、最後にバルブＢＶを開
に保持したまま、バルブＦＶを開にする。これにより、
被試験体１に外部からＨｅガスを吹き付けると、粗引ラ
イン２から分析ライン１０にＨｅが回り込み、両モレキ
ュラドラッグポンプ４ｂ、４ａを逆拡散した後に分析管
５に流入したＨｅが該分析管５において測定され、その
測定値に基づいて被試験体１のリーク量が求められる。
【００１１】なお、以上において分析管５における感度
を高める必要がある場合には、バルブＴＶを開にし、補
助分析ライン１２を使って分析管５に回り込むＨｅの量
を増大させるようにする。以上のようにして、この実施
例のヘリウムリークディテクタは、粗引ライン２の排気
に圧縮比の小さいダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂを用い
ているにも拘わらず、これらのダイヤフラムポンプ３
ａ、３ｂの圧縮比が問題とならない領域ではパラレル接
続して有効な排気速度の下に速やかに排気を進行させ、
その後はダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂをシリアル接続
して圧縮比を高め、排気速度は落ちるものの所定真空度
にまで確実に到達することができる。したがって、最終
的に必要な真空度を確保するように構成しても、途中の
排気を速やかに進行させて排気時間の短縮を図ることが
でき、同時にテスト可能な被試験体の内容積も増大させ
ることが可能となる。図２は横軸に時間ｔ、縦軸に真空
度Ｐａ（Pascal)をとってその効果を具体的に説明する
ものである。図中ラインＡはシリアル接続による排気特
性を示し、ラインＢはパラレル接続による排気特性を示
している。シリアル接続はパラレル接続に比べて到達真
空度Ｐ１は高いが所定真空度Ｐ０に至るまでの排気に長
時間（Ｔ１）を要し、逆にパラレル接続はシリアル接続
に比べて前半の排気速度は速いが最終的な到達真空度Ｐ
２が低い。これに対して、本実施例は図３に示すある真
空度Ｐｘ（例えば最終的に到達すべき真空度Ｐ０の２桁
程度手前の時点）までの排気をパラレル接続で速やかに
行い、この真空度Ｐｘ以降はシリアル接続に切り換えて
圧縮比を高めるものであり、同図に示すように前半を排
気ラインＢに沿って、また後半を排気ラインＡに沿って
行うことになり、所定真空度Ｐ０が確実に得られる上
に、それまでのトータルの排気時間Ｔ２が前記Ｔ１より
も有効に短縮されることとなる。
を高める必要がある場合には、バルブＴＶを開にし、補
助分析ライン１２を使って分析管５に回り込むＨｅの量
を増大させるようにする。以上のようにして、この実施
例のヘリウムリークディテクタは、粗引ライン２の排気
に圧縮比の小さいダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂを用い
ているにも拘わらず、これらのダイヤフラムポンプ３
ａ、３ｂの圧縮比が問題とならない領域ではパラレル接
続して有効な排気速度の下に速やかに排気を進行させ、
その後はダイヤフラムポンプ３ａ、３ｂをシリアル接続
して圧縮比を高め、排気速度は落ちるものの所定真空度
にまで確実に到達することができる。したがって、最終
的に必要な真空度を確保するように構成しても、途中の
排気を速やかに進行させて排気時間の短縮を図ることが
でき、同時にテスト可能な被試験体の内容積も増大させ
ることが可能となる。図２は横軸に時間ｔ、縦軸に真空
度Ｐａ（Pascal)をとってその効果を具体的に説明する
ものである。図中ラインＡはシリアル接続による排気特
性を示し、ラインＢはパラレル接続による排気特性を示
している。シリアル接続はパラレル接続に比べて到達真
空度Ｐ１は高いが所定真空度Ｐ０に至るまでの排気に長
時間（Ｔ１）を要し、逆にパラレル接続はシリアル接続
に比べて前半の排気速度は速いが最終的な到達真空度Ｐ
２が低い。これに対して、本実施例は図３に示すある真
空度Ｐｘ（例えば最終的に到達すべき真空度Ｐ０の２桁
程度手前の時点）までの排気をパラレル接続で速やかに
行い、この真空度Ｐｘ以降はシリアル接続に切り換えて
圧縮比を高めるものであり、同図に示すように前半を排
気ラインＢに沿って、また後半を排気ラインＡに沿って
行うことになり、所定真空度Ｐ０が確実に得られる上
に、それまでのトータルの排気時間Ｔ２が前記Ｔ１より
も有効に短縮されることとなる。
【００１２】なお、本発明は、上述した実施例のみに限
定されるものではない。例えば、上記実施例では２ステ
ージ型のダイヤフラムポンプ装置について説明したが、
ステージ数は３以上であってもよく、その切換えも全て
のダイヤフラムポンプをパラレルからシリアルに切り換
える場合に限らず、多様な組み合わせの下に実施するこ
とができる。図４はその一変形例を示すものであり、第
１、第２ステージのダイヤフラムポンプ１０３ａ、１０
３ｂはシリアル接続で固定、第３、第４ステージのダイ
ヤフラムポンプ１０３ｃ、１０３ｄのみをシリアル／パ
ラレル切換え可能としたものである。この変形例の場
合、（ａ）に示す全シリアル接続状態で排気速度は１０
Ｌ／ｍｉｎ、到達真空度は５０Ｐａ程度であり、（ｂ）
に示す一部パラレル接続状態で排気速度は１９Ｌ／ｍｉ
ｎ、到達真空度は１００Ｐａ程度である。そこで、図５
に示すように６０００Ｐａ程度から先ず一部パラレル接
続ラインＤに沿って排気を行い、１０００Ｐａ以降は全
シリアル接続ラインＣに沿って排気を行えば、全ての排
気を一部パラレル接続状態で行うことでは到達し得ない
最終的な到達真空度５０Ｐａに確実に達することがで
き、且つ全ての排気を全シリアル接続状態で行う場合の
排気時間Ｔ３に比べて図６に示す排気時間Ｔ４は確実に
短縮されることとなる。
定されるものではない。例えば、上記実施例では２ステ
ージ型のダイヤフラムポンプ装置について説明したが、
ステージ数は３以上であってもよく、その切換えも全て
のダイヤフラムポンプをパラレルからシリアルに切り換
える場合に限らず、多様な組み合わせの下に実施するこ
とができる。図４はその一変形例を示すものであり、第
１、第２ステージのダイヤフラムポンプ１０３ａ、１０
３ｂはシリアル接続で固定、第３、第４ステージのダイ
ヤフラムポンプ１０３ｃ、１０３ｄのみをシリアル／パ
ラレル切換え可能としたものである。この変形例の場
合、（ａ）に示す全シリアル接続状態で排気速度は１０
Ｌ／ｍｉｎ、到達真空度は５０Ｐａ程度であり、（ｂ）
に示す一部パラレル接続状態で排気速度は１９Ｌ／ｍｉ
ｎ、到達真空度は１００Ｐａ程度である。そこで、図５
に示すように６０００Ｐａ程度から先ず一部パラレル接
続ラインＤに沿って排気を行い、１０００Ｐａ以降は全
シリアル接続ラインＣに沿って排気を行えば、全ての排
気を一部パラレル接続状態で行うことでは到達し得ない
最終的な到達真空度５０Ｐａに確実に達することがで
き、且つ全ての排気を全シリアル接続状態で行う場合の
排気時間Ｔ３に比べて図６に示す排気時間Ｔ４は確実に
短縮されることとなる。
【００１３】その他、ダイヤフラムポンプを複数ステー
ジではなく複数段接続としても事情は同じであり、切換
手段を始めとする各部の具体的な構成等も本発明の趣旨
を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
ジではなく複数段接続としても事情は同じであり、切換
手段を始めとする各部の具体的な構成等も本発明の趣旨
を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１４】
【発明の効果】本発明のヘリウムリークディテクタは、
以上説明した構成であるから、ダイヤフラムポンプを用
いても粗引ラインを短時間で所定真空度にまで確実に排
気することができ、またテスト可能な被試験体の内容積
も増大して、オイルを嫌う種々の広範な被試験体に好適
に適用できる優れた効果が奏される。特に、軽量コンパ
クトな可搬型にもできるため、実用的価値を一層高める
ことが可能となる。
以上説明した構成であるから、ダイヤフラムポンプを用
いても粗引ラインを短時間で所定真空度にまで確実に排
気することができ、またテスト可能な被試験体の内容積
も増大して、オイルを嫌う種々の広範な被試験体に好適
に適用できる優れた効果が奏される。特に、軽量コンパ
クトな可搬型にもできるため、実用的価値を一層高める
ことが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す排気系統図。
【図２】同実施例の作用説明図。
【図３】同実施例の作用説明図。
【図４】本発明の変形例を示す図。
【図５】同変形例の作用説明図。
【図６】同変形例の作用説明図。
２…粗引ライン ３ａ、３ｂ…ダイヤフラムポンプ ３ｄ…切換手段（三方弁） １０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ…ダイヤフラ
ムポンプ
ムポンプ
Claims (1)
- 【請求項１】ダイヤフラムポンプを粗引ラインに複数ス
テージあるいは複数段配置してなるものにおいて、 少なくとも一部のダイヤフラムポンプ同士を粗引ライン
に対して選択的にシリアル接続又はパラレル接続とする
切換手段を設けたことを特徴とするヘリウムリークディ
テクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12510898A JPH11326108A (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | ヘリウムリークディテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12510898A JPH11326108A (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | ヘリウムリークディテクタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326108A true JPH11326108A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=14902056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12510898A Pending JPH11326108A (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11326108A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198865A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| JP2013532833A (ja) * | 2010-08-04 | 2013-08-19 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出装置 |
| CN109341989A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-02-15 | 大连理工大学 | 一种能够剔除车辆动力效应的桥梁影响线识别方法 |
| FR3121749A1 (fr) * | 2021-04-13 | 2022-10-14 | Pfeiffer Vacuum | Système de détection de fuites perfectionné par reniflage |
-
1998
- 1998-05-07 JP JP12510898A patent/JPH11326108A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198865A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| JP2013532833A (ja) * | 2010-08-04 | 2013-08-19 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れ検出装置 |
| JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| CN109341989A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-02-15 | 大连理工大学 | 一种能够剔除车辆动力效应的桥梁影响线识别方法 |
| FR3121749A1 (fr) * | 2021-04-13 | 2022-10-14 | Pfeiffer Vacuum | Système de détection de fuites perfectionné par reniflage |
| WO2022219029A1 (en) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 | Pfeiffer Vacuum | Refined sniffing-based leak detection system |
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