JP4026579B2 - 気密漏れ検査方法及び装置 - Google Patents
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しかし、この方法で微少量の漏れを高速、高精度に検出しようとした場合、検査対象物を真空容器内に入れ、検査対象物の周囲、即ち真空容器内を真空化した上で検出器を接続して使用しなければならない。また、真空容器の内部は、繰り返し使用時にヘリウムの吸着を可能な限り減らすように面精度の高いものにする必要があった。
更には、この真空式の検査方法を利用するには、検査対象物の形状は真空容器に入るものに制限されるという問題がある。
このスニファ式による方法は、検査対象物の漏れ位置や大雑把な漏れ量を知るには有効な手法であるが、漏れ量の定量化や高精度化の実現は困難であるという問題がある。
請求項1に記載の気密漏れ検査方法は、準備・掃気運転時に、検査対象物を囲むカバーから吸引流路を介して第3排気ポンプに至る経路の流路系と、吸引流路から分岐して第1バルブを経由して第1排気ポンプに至る経路の流路系と、第1大気吸引口から第2バルブを経由して第1バルブを経て第1排気ポンプに至る経路の流路系と、第2大気吸引口から第2バルブを経由して検出器を経て第2排気ポンプに至る経路の流路系との4つの流路系が確立され、第1、第2、第3排気ポンプを運転することによって、カバー内及び検出器内に大気の定常流れを形成する準備運転と、機器及び流路内のクリーンアップを図る掃気運転とを同時に行う準備・掃気運転段階と、検査運転時に、カバーから吸引流路を介して第3排気ポンプに至る経路の流路系は、準備・掃気運転時のままの状態で、第1、第2バルブを切り替え操作することで、吸引流路から分岐して第1バルブ、第2バルブを経由して検出器を経て第2排気ポンプに至る経路の流路系が確立され、少なくとも第2、第3排気ポンプを駆動することによって、カバー内に吸引される吸引エアの一部を分岐して検出器に導き、検査対象物から漏れたトレーサガスを検出器で検出すると同時に、残りの吸引エアは第3排気ポンプから大気に排出するようにしたものであり、これにより、検査対象物が大型化したり、多数個所を検査する場合のように、応答を早めるために吸引流量を増やす場合でも、一部の流量のみを分岐させて検査するので、大容量の排気ポンプを必要最低限の台数にすることができる。
請求項3の該検査方法は、先細構造を複数設けたものであり、また請求項4の該検査方法は、先細構造を複数の四角錘体から形成し、四角錘体の頂角を30度にしたものであり、これにより、カバー内を流れるエアの流れが安定し易い。
請求項6の該検査方法は、検査対象物が熱交換器の場合に、吸引エアの流れに熱交換器を通過する空気の流れの向きを合わせるようにしたものであり、これにより、吸引エアの流れが安定し易くなり、良好な検査を行うことができる。
請求項8の該検査方法は、検査対象物の多数の検査部位をそれぞれ別のカバーに分割して覆って同時に吸引する場合、各カバーにおけるカバー内容積/吸引流量の値を合わせるようにしたもので、これにより、各カバー内の漏れ出たトレーサガスの安定時間がそろい、最短の時間で検査ができる。
請求項10の該検査方法は、バックグラウンドはカバーに吸引される前の大気から吸い込んで測定し、バックグラウンドの測定時間を漏れ測定の時期に近付けるようにしたものである。これは、大気吸引口をカバーの取り入れ口の外側に配置し、第2大気吸引口から吸ったときの検出器の出力をバックグラウンドとすることで、大気中のトレーサガスに分布があっても正確にバックグラウンドとの差が測定できる。また、カバーからの流れが安定してこれを測定する直前にバックグラウンドの測定を行うことにより、時間的にも近接した差分測定となり、測定が正確に行える。
まず、制御機器8により、第1バルブ3A及び第2バルブ3Bを操作して、図1の実線の矢印で示すような流路系になるようにすると共に、第1排気ポンプ5A、第2排気ポンプ5B及び第3排気ポンプ5Cを駆動する。この場合、第3排気ポンプ5Cは、第1及び第2排気ポンプ5A,5Bに比べて大容量のポンプであるので、カバー2内に吸引された大気は、大部分(大流量)が第3排気ポンプ5C側に流れ、一部(小流量)が第1排気ポンプ5A側に流れる。このようにして、カバー2から吸引された気体の一部が第1バルブ3A及び流量計6Bを経由して第1排気ポンプ5Aから排気される。一方、第2大気吸引口bから吸引された大気は、第2バルブ3B、圧力制御機器7A及び圧力計6Aを通り、ヘリウム検出器4を経由して流量計6B及び流量制御機器7Bを通って第2排気ポンプ5Bから排気される。更に、第1大気吸引口aから吸引された大気は、第2バルブ3B及び第1バルブ3Aを通り、カバー2から吸引された気体と合流して流量計6Bを通って第1排気ポンプ5Aから排気される。
こうして、気密漏れ検査装置の準備・掃気運転と漏れ検査運転とが繰り返し行われる。
更には、検査対象物1が熱交換器のように熱交換器を通過する空気の流れに方向がある場合には、カバー2内を流れる気体の向きに合わせた方向に気体が流れるように熱交換器をカバー2内に置くことで、気体の流れが安定し易くなる。
準備・掃気運転及び漏れ検査運転の作動については、第1実施形態と同様である。
なお、この第3実施形態においても、準備・掃気運転及び漏れ検査運転の作動については、第1実施形態と同様である。
更に、カバーの取り入れ口の外側に配置した第2大気吸引口から吸ったときの検出器の出力をバックグラウンドとすることで、大気中のトレーサガスに分布があっても正確にバックグラウンドとの差が測定できる。また、このバックグラウンドの測定時期をカバーからの吸引エアの流れが安定してこれを測定する直前に行うと、時間的にも近接した差分測定となるので正確である。
2,2A〜2D…カバー
3A,3B…第1及び第2バルブ
4…ヘリウム検出器(検出器)
5A,5B,5C…第1〜第3排気ポンプ
6A…圧力計
6B…流量計
7A…圧力制御機器
7B…流量制御機器
8…制御機器
9A〜9D…切替弁
Claims (11)
- 検査対象物中にトレーサガスを加圧封入し、大気圧下で該検査対象物からのトレーサガスの漏れを検査する気密漏れ検査方法において、この方法が以下の段階
(1)準備・掃気運転時に、該検査対象物を囲むカバーから吸引流路を介して第3排気ポンプに至る経路の流路系と、前記カバーから吸引流路で分岐して第1バルブを経由して第1排気ポンプに至る経路の流路系と、第1大気吸引口から第2バルブを経由して第1バルブを経て前記第1排気ポンプに至る経路の流路系と、第2大気吸引口から前記第2バルブを経由して検出器を経て第2排気ポンプに至る経路の流路系との4つの流路系が確立され、前記第1、第2、第3排気ポンプを運転することによって、前記カバー内及び前記検出器内に大気の定常流れを形成する準備運転と、機器及び流路内のクリーンアップを図る掃気運転とが同時に行われる準備・掃気運転段階と、
(2)検査運転時に、前記カバーから吸引流路を介して前記第3排気ポンプに至る経路の流路系は、準備・掃気運転時のままの状態で、前記第1、第2バルブを切り替え操作することで、前記カバーに接続する前記吸引流路から分岐して前記第1バルブ及び前記第2バルブを経由して前記検出器を経て前記第2排気ポンプに至る経路の流路系が確立され、少なくとも前記第2、第3排気ポンプを駆動することによって、前記カバー内に吸引される吸引エアの一部を分岐して前記検出器に導き、前記検査対象物から漏れたトレーサガスを前記検出器で検出すると同時に、残りの吸引エアは第3排気ポンプから大気に排出する運転検査段階と、
を具備することを特徴とする気密漏れ検査方法。 - 前記カバーが検査対象物全体を覆うように形成され、前記カバー内を吸引エアが均等に流れるように、前記カバーの後部が接続する前記吸引流路に向かって勾配をつけてすぼめる先細構造となっていることを特徴とする請求項1に記載の気密漏れ検査方法。
- 前記カバーの後部には、前記吸引流路に向かって勾配をつけてすぼめる先細構造が複数からなっていることを特徴とする請求項2に記載の気密漏れ検査方法。
- 前記先細構造が、複数の四角錘体からなり、該四角錘体の頂角が30度以下であることを特徴とする請求項2又は3に記載の気密漏れ検査方法。
- 前記カバーの前部である大気側には、外部空気の流れの影響を受けにくくするフィルタが設けられていることを特徴とする請求項2,3又は4に記載の気密漏れ検査方法。
- 前記検査対象物が熱交換器の場合は、吸引エアの流れと熱交換器を通過する空気の流れの向きを合わせることを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項に記載の気密漏れ検査方法。
- 前記カバーが複数設けられ、該複数のカバー内に均等に吸引エアが流れることを特徴とする請求項1に記載の気密漏れ検査方法。
- 前記カバー内を同時に吸引する場合、各々のカバーにおけるカバー内容積/吸引エア流量の値を合わせることを特徴とする請求項7に記載の気密漏れ検査方法。
- 異なる容積の前記カバーが複数設けられ、検査対象物の多数の検査部位を分割して吸引しそれぞれ順に検査する場合、各分割部には予め吸引エアの流れを作っておき、吸引エアの流れが安定するまでの安定時間の短い部分から順に検査することを特徴とする請求項1に記載の気密漏れ検査方法。
- バックグラウンドは、前記カバーに吸引される前の大気から吸い込んで測定し、バックグラウンドの測定時間を漏れ測定の時期に近付けることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の気密漏れ検査方法。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の気密漏れ検査方法を実施するための気密漏れ検査装置が、
検査対象物を囲むカバー、吸引流路及び第3排気ポンプとから構成される流路系と、前記吸引流路から分岐して、第1バルブ及び第1排気ポンプとから構成される流路系と、第1大気吸引口、第2バルブ、前記第1バルブ及び前記第1排気ポンプとから構成される流路系と、第2大気吸引口、前記第2バルブ、検出器及び第2排気ポンプとから構成される流路系との4つの流路系からなる準備・掃気運転のための流路系と、
前記カバー、前記吸引流路及び前記第3排気ポンプとから構成される流路系は、そのままの状態で、前記吸引流路から分岐して、前記第1バルブ、前記第2バルブ、前記検出器及び前記第2排気ポンプとから構成される流路系からなる、検査対象物からのトレーサガスの漏れ検査運転のための流路系と、
を有し、
前記第1バルブ及び前記第2バルブを切り替え操作することにより、前記カバー内及び前記検出器内に気体の定常流れを発生させる掃気運転と、流路系を形成する流路及び機器類をクリーンアップする掃気運転とを同時に行う、準備・掃気運転のための流路系から、前記カバー内に吸引される吸引エアの一部を分岐して前記検出器に導き、検査対象物から漏れたトレーサガスを前記検出器で検出すると同時に、残りの吸引エアを大気に排出する漏れ検査運転のための流路系に切り替えることができることを特徴とする気密漏れ検査装置。
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