JP2003106930A

JP2003106930A - リーク検出装置

Info

Publication number: JP2003106930A
Application number: JP2001298897A
Authority: JP
Inventors: Osamu Nishiguchi; 統西口; Shiro Kuita; 嗣郎杭田; Hiroshi Maekawa; 博士前川; Kazunari Takeuchi; 和成竹内; Hideo Shoji; 英生庄司
Original assignee: Otsuka Pharmaceutical Co Ltd; Shimadzu System Solutions Co Ltd
Current assignee: Otsuka Pharmaceutical Co Ltd; Shimadzu System Solutions Co Ltd
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2003-04-09
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: JP4574092B2

Abstract

(57)【要約】【課題】素早い応答（リーク検査の時間短縮）、ガス
漏れ検知感度の向上を実現するリーク検出装置を提供す
る。【解決手段】昇降可能な真空容器１と、この真空容器
１と協同で閉鎖空間を形成する被試験計測台５とを備え
る。真空容器１の内側に複数個の排出口１０ａを有する
パージ配管１０を付設し、真空引き時に被検査体１００
の膨張を抑えるために被検査体１００の上面を押圧する
上下動可能な押さえ板２０を配置する。押さえ板２０に
は、複数個のガス吸引口２１ａ，２１ｂを有するサンプ
リング配管２０を付設する。被検査体１００からガスが
漏れていないかどうか検査する時、押さえ板２０を下げ
て被検査体１００に接触させる。被検査体１００からガ
スが漏れている場合は、漏洩ガスは真空容器１内で拡散
することなく直ちにガス吸引口２１ａ，２１ｂから吸引
され、配管系を通じて分析計に達する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、包装パック等の
包装品バリア袋に生じるリーク（ガス漏れ）の有無を検
出するリーク検出装置に関し、詳細には製品を多数個収
納した段ボール箱（製品の最終出荷姿）の外側より多数
個の内部製品を一括してリーク検査するリーク検出装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば医薬品では雑菌の侵入防止や腐敗
防止のため、薬品においては組成変化の防止のため、そ
れらを収容した製品（バリア袋）には、保護ガス（ヘリ
ウムガス、その他の不活性ガス）が封入されているもの
が多い。

【０００３】そのため、包装のバリア袋にピンホール等
によるガス漏れが無いかどうか検査を行っている。例え
ば、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）を
順に搬送するコンベヤの上部に、真空容器が上下移動機
構により上下動可能に設置され、この真空容器に配管系
を介して真空弁及び真空引きポンプが接続され、配管系
に分析計が設けられた装置を用いてリークの有無を検出
している。

【０００４】この装置では、真空容器が上昇した状態で
真空容器の直下に被検査体を位置させ、真空容器を下降
させて真空容器を密閉した後、真空引きポンプにより真
空引きして真空容器内部を真空状態とし、被検査体、即
ち段ボール箱内の個々の製品から保護ガスが漏れていな
いかどうかを検査する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、被検査体から漏れた保護ガスを吸引する
ガス吸引口は真空容器内の被検査体よりも離れた所の或
る箇所にだけ設けられているため、実際にガス漏れがあ
った場合に、被検査体からの漏洩ガスがガス吸引口から
分析計に到達するまでに時間が掛かり、分析結果が出る
までに時間を要し、応答性が悪くなるという問題があ
る。

【０００６】また、ガス漏れが微量である場合には、漏
洩ガスがガス吸引口から吸引されるまでに真空容器内で
拡散してしまうので、漏洩ガスの濃度が低下し、それに
より分析計でのガス漏れ検知の感度が低下し、しかも応
答時間が長く掛かるという問題がある。

【０００７】この発明は、そのような問題点に着目して
なされたものであって、素早い応答（リーク検査の時間
短縮）、ガス漏れ検知感度の向上を実現するリーク検出
装置を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、この発明の請求項１記載のリーク検出装置は、被検
査体から漏れたガスを吸引するガス吸引口を有すると共
に被検査体を出入自在とした真空容器と、この真空容器
を真空引きする真空手段と、真空容器内で真空引きされ
た被検査体からのガス漏れを検知する分析計とを備えた
ものにおいて、前記ガス吸引口が真空容器内における被
検査体の周りに複数箇所設けられていることを特徴とす
る。

【０００９】この装置では、被検査体の周りにガス吸引
口が設けられているので、真空容器内に被検査体を配置
して真空引きしたとき、被検査体からガス漏れがある
と、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から
吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏
洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれる
ので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いて
はリーク検査の時間が短縮されるだけでなく、被検査体
からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するのでガ
ス漏れの検知感度が向上する。

【００１０】この構成において、ガス吸引口は被検査体
に対して進退可能とすれば、被検査体の形状や大きさに
かかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることが
できる。

【００１１】また、真空引き時に被検査体の膨張を抑え
るために被検査体の少なくとも１面を押圧できるように
被検査体に対して進退可能な押さえ板を真空容器内に配
置し、この押さえ板にガス吸引口を設けることにより、
押さえ板により被検査体の膨張が抑えられるため被検査
体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り
出すことができる。また、押さえ板にガス吸引口が接す
るため、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガス
がより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一
層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。更に、
押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくな
る。

【００１２】押さえ板を使用する場合、押さえ板は被検
査体の上面側及び側面側にそれぞれ配置することとすれ
ば、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）に
おいて、収納されたどの製品で（段ボール箱内のどの箇
所で）ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体からガ
ス吸引口に吸い込まれる時間がより一様になり、各被検
査体にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度
が一層安定する。

【００１３】一方、真空容器と分析計とを連絡する配管
系に前記真空手段とは別個の漏洩ガス検出用の低真空漏
洩ガス吸引手段を設け、予め真空手段により被検査体を
真空引きし、その後に複数個のガス吸引口から低真空漏
洩ガス吸引手段により吸引し、被検査体からのガス漏れ
を分析計により検知するようにすることで、即ち真空引
きを真空手段により行うのとは別途に、リーク検査のた
めのガス吸引を低真空漏洩ガス吸引手段で行うことで、
ガス漏れ検査を効率良く行うことができる。

【００１４】他方、この種の装置ではリーク検査を繰り
返し行うため、ガス漏れが有った場合は、真空容器内及
びガス吸引口から分析計に至る配管系に漏洩ガスが残留
し、この残留ガスの影響を受け易くなる。そこで、分析
計によりガス漏れが検知された場合は、真空容器内及び
ガス吸引口から分析計の手前までの配管系内にクリーニ
ング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に
新鮮な空気をクリーニング時と同経路内に導入してクリ
ーニングを行うようにすればよい。これにより、１回毎
のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮
できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、実施の形態により、この発
明を更に詳細に説明する。

【００１６】その一実施形態に係るリーク検出装置の概
略構成図を図１（真空容器及び配管系の一部）、図２
（真空容器の一部及び配管系の残部）、図３（配管系の
残部）及び図４（配管系の残部）に示す。

【００１７】まず図１において、被検査体（多数個の製
品を収納した段ボール箱）１００を出入自在とする真空
容器１は、底部が開口したもので、真空容器昇降用のエ
アシリンダ３のピストンロッド３ａの先端部に取付けら
れ、エアシリンダ３により上下動可能に支持されてい
る。この真空容器１に対向して、その下方には被試験計
測台５が配置されている。また、真空容器１の下部周囲
端面には環状のパッキン７が設けられると共に、被試験
計測台５の対応部分にも環状のパッキン８が設けられて
いる。従って、真空容器１が下降して被試験計測台５に
接触することで、パッキン７，８同士が密着し、真空容
器１と被試験計測台５による密閉空間が形成される。但
し、パッキン７，８に代えて、真空容器１の下部周囲端
面にのみＯリングを設けてもよい。

【００１８】真空容器１の内側には、新鮮な空気を導入
するためのパージ配管１０が真空容器１の内壁に沿って
適当なパターンで配置され、パージ配管１０は一定間隔
毎に複数個の排出口１０ａを有する。このパージ配管１
０の更に内側には、真空引き時に被検査体１００の膨張
を抑えるために被検査体１００の上面を押圧するための
平板状の押さえ板２０が配置されている。押さえ板２０
は、押さえ板駆動用の２個のエアシリンダ２５のピスト
ンロッド２５ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ２
５により上下動可能である。

【００１９】この押さえ板２０には、被検査体１００に
封入されたガス（例えばヘリウムガス）の漏れ検査のた
めの吸引及びクリーニングのためのＮ₂ガス排出を行う
ためのサンプリング配管２１が縦横に付設され、その一
部は真空容器１の底部開口に向かって延びている。サン
プリング配管２１は、押さえ板２０以外の部分及び押さ
え板２０の部分にそれぞれ一定間隔を置いて複数個のガ
ス吸引口２１ａ，２１ｂを有する。

【００２０】なお、図１では、押さえ板２０とサンプリ
ング配管２１は、便宜上離して示されているが、押さえ
板２０上のサンプリング配管２１部分は、実際には押さ
え板２０に固定されている。押さえ板２０とサンプリン
グ配管２１との固定関係は、押さえ板２０内部にサンプ
リング配管２１を埋設し、そのガス吸引口２１ｂを押さ
え板２０の表面（下面）から露出させてもよいし、或い
は押さえ板２０の下面にサンプリング配管２１を付設し
てもよい。また、押さえ板２０にガス吸引口２１ｂが示
されているが、これも便宜上のもので、実際にはサンプ
リング配管２１のガス吸引口２１ｂが押さえ板２０から
現出している。

【００２１】一方、被試験計測台５側においても、一定
間隔毎に複数個の排出口１１ａを有するパージ配管１１
が、被試験計測台５の上壁に沿って適当なパターンで配
置されている。このパージ配管１１の更に上側には、コ
ンベヤ（図示せず）により順に搬送されてくる被検査体
１００を載せる平板状の支持板３０が配置されている。
支持板３０は、支持板駆動用の２個のエアシリンダ３５
のピストンロッド３５ａの先端部に取付けられ、エアシ
リンダ３５により上下動可能である。

【００２２】この支持板３０にも、上記押さえ板２０と
同様に、一定間隔毎に複数個のガス吸引口２２ａを有す
るサンプリング配管２２が縦横に付設されている。ここ
でも、支持板３０とサンプリング配管２２は離して示さ
れているが、前記と同様に実際にはサンプリング配管２
２は支持板３０に固定されており、ガス吸引口２２ａが
支持板３０の上面から現出する。

【００２３】パージ配管１０，１１は同じ配管系Ａ（エ
ア配管系，図３及び図４参照）に接続され、その配管系
Ａにそれぞれエアパージ弁５０，５１が設けられてい
る。この配管系Ａとは別系統でサンプリング配管２１，
２２は配管系Ｂ（測定配管系、図３及び図４参照）に接
続され、その配管系Ｂにそれぞれサンプリング弁６０，
６１が設けられている。また、真空容器１の内部の真空
圧を測定するための真空計３５が設けられている。

【００２４】図２において、真空容器１の内部を真空引
きする真空ポンプ（真空手段）４０が設けられ、真空ポ
ンプ４０は、この真空ポンプ４０の真空元の真空圧を測
定するための真空計４１と、粗引弁（真空弁）４２を介
して真空容器１の内部に接続されている。更に、真空容
器１は、大気開放弁（リーク弁）４４を介して外部（屋
外）に連通すると共に、大気維持弁（パージ保持用弁）
４６と大気維持圧調整用絞りボール式弁４７を介しても
屋外に連通している。

【００２５】図３及び図４において、真空容器１の昇降
用エアシリンダ３はエアシリンダ駆動パイロット弁５３
に接続され、エアシリンダ駆動パイロット弁５３は、パ
ージ配管１０，１１が接続された配管系Ａに接続されて
いる。その配管系Ａには、パージ圧を測定する圧力計５
４、パージ用減圧調圧弁５５、空気圧元減圧調圧弁５６
が設けられ、外部装置（図示せず）により空気圧が供給
される。また、配管系Ａには、空気圧パージ監視流量計
５７が設けられている。

【００２６】一方、サンプリング配管２１，２２が接続
された配管系Ｂでは、ストップ弁６３とサンプリングポ
ンプ（漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段）６４
が直列接続され、これと並列にＮ₂パージバイパス弁６
５が接続されている。更に、配管系Ｂには、パージ切換
弁６６及びスニファ弁６７を介して、漏洩ヘリウムガス
を吸い込むためのスニファユニット（スニファとポンプ
で構成されたもの）７０及びヘリウムガスの有無を検知
するための分析計（Ｈｅリークデテクタ）７１が設けら
れている。

【００２７】また、パージ切換弁６６とスニファ弁６７
との間には、スニファ用として大気吸込み流量調整用絞
り弁６８が設けられている。スニファユニット７０は、
サンプリング確認流量計７３を介して屋外に接続されて
いる。

【００２８】ストップ弁６３とサンプリングポンプ６４
との間からは、Ｎ₂ガスパージ用の配管系Ｂ′が分岐
し、その配管系Ｂ′には、クリーニング弁８０、パージ
監視用流量計８１、Ｎ₂ガスパージ圧を測定する圧力計
８２を介して、Ｎ₂ガスパージ用ボンベ（図示せず）が
接続されている。

【００２９】次に、上記のように構成したリーク検出装
置の動作について、図５及び図６の動作概念図と図７及
び図８のタイムチャートを参照して説明する。但し、こ
こでは、被検査体１００のマーカーガスとしてヘリウム
ガスを、クリーニング用のガスとしてＮ₂ガスを使用す
るものとする。また、図６に示された時間（ＳＥＣ）を
表す数値は一例であり、これに限定されない。

【００３０】なお、図５の動作概念図において、＊注１
は、クリーニング時間を表し、クリーニングは分析計７
１が漏洩ヘリウムガスを計測しきい値のα％以上検出し
たとき動作し、漏洩ヘリウムガスを検知したとき（ＮＧ
判定したとき）動作する。＊注３は、クリーニング時間
の後半の時間、即ち真空容器１が上昇してからクリーニ
ング設定時間がタイムアップするまでの時間を表す。＊
注４は、ＮＧ判定した時のＮＧ処理時間とＮＧ多漏れ時
の処理時間を表す。＊注２は無い。

【００３１】真空容器昇降用のエアシリンダ３により真
空容器１が上昇して上限に位置し、支持板昇降用のエア
シリンダ３５により支持板３０が下降した状態におい
て、コンベヤにより被検査体１００が搬送され、支持板
３０上に載せられると、検査（テスト）が開始する。ま
ずエアシリンダ３により真空容器１が下降し、被試験計
測台５に接触する。これにより、真空容器１のパッキン
７と被試験計測台５のパッキン８が密接し、真空容器１
と被試験計測台５により閉鎖空間が形成される。このと
き、大気維持弁４６が開いているので、真空容器１を被
試験計測台５に接触させるときに空気抵抗は受けない。

【００３２】真空容器１の下降が終了すると、粗引弁４
２が開き、真空ポンプ４０により真空容器１が真空引き
される。この段階では、まだ大気維持弁４６が開いたま
まであるが、絞りボール式弁４７により真空容器１の内
部は低い真空の状態になる（大気維持時間）。

【００３３】大気維持時間が終了すると、エアパージ弁
５０，５１が開から閉に、サンプリング弁６０，６１も
開から閉に切り換わると共に、大気維持弁４６が閉じ
る。これにより、真空容器１は完全な密閉状態になり、
真空容器１が真空引きされる。また、ストップ弁６３が
開き、Ｎ₂パージバイパス弁６５が閉じ、サンプリング
ポンプ６４がＯＮになる。

【００３４】これと併行して、押さえ板２０が押さえ板
昇降用エアシリンダ２５により下降し、押さえ板２０が
被検査体１００の上面を適度の力で押圧し、真空引きに
よる被検査体１００の膨張が阻止される。この状態で真
空引きが続行され、真空容器１の真空圧が真空計３５の
測定により所定値に達すると、ガス漏れ検査が開始す
る。

【００３５】ガス漏れ検査が開始すると、粗引弁４２が
閉じ、真空ポンプ４０に係る真空引き回路が閉止し、サ
ンプリング弁６０，６１が閉から開に変わり、スニファ
弁６７が開く。但し、真空ポンプ４０は運転を継続す
る。この状態のまま、しばらくは計測時間のうちの検出
開始時間となる。

【００３６】検出開始時間が終了した後の計測時間中
は、真空容器１内のガス（空気や被検査体１００から漏
れたヘリウムガス）は、サンプリング配管２１のガス吸
引口２１ａ，２１ｂとサンプリング配管２２のガス吸引
口２２ａから吸引され、配管系Ｂを通じて分析計７１に
到達する。即ち、ガスは、配管系Ｂにおいて、ストップ
弁６３、サンプリングポンプ６４、パージ切換弁６６、
スニファ弁６７を順に通過し、スニファユニット７０に
達し、更に分析計７１に至る。

【００３７】被検査体１００からヘリウムガスが外に漏
れ出した場合は、分析計７１によりヘリウムガスが検知
されるので、リーク有（ガス漏れＮＧ）と判定される。
この場合は、ＮＧ処理（＊注１）が行われる。このＮＧ
処理は、ヘリウムガスの室内飛散防止と配管系Ｂのクリ
ーニングを目的として、真空容器１の密閉状態で装置内
の漏れたヘリウムガスを室外に放出するために行われ
る。ここでは、Ｎ₂ガスを装置内に取り込み、真空引き
によりＮ₂ガスでヘリウムガスを追い出すようにする。
なお、ＮＧ処理時間は１０〜２０秒程度である。

【００３８】つまり、ＮＧ処理を行うときは、粗引弁４
２が開、大気開放弁４４が開、大気維持弁４６が開とな
る。また、ストップ弁６３が閉、Ｎ₂パージバイパス弁
６５が開、サンプリングポンプ６４がＯＦＦ、クリーニ
ング弁８０が開、パージ切換弁６６が閉、スニファ弁６
７が閉となる。この状態で、真空ポンプ４０による真空
引きが行われると、配管系Ｂから分岐する配管系Ｂ′を
通じてＮ₂ガスがＮ₂パージ用ボンベから装置内に導入
される。

【００３９】Ｎ₂ガスは、配管系Ｂ′において、パージ
監視用流量計８１、クリーニング弁８０を通過して配管
系Ｂに流入し、更に配管系Ｂにおいて、サンプリングポ
ンプ６４、Ｎ₂パージバイパス弁６５を通過し、サンプ
リング配管２１のガス吸引口２１ａ，２１ｂとサンプリ
ング配管２２のガス吸引口２２ａから真空容器１内に噴
射される。真空容器１内に入ったＮ₂ガスは、更に真空
容器１内から粗引弁４２を通って真空ポンプ４０により
屋外に排出される。このＮ₂ガスが屋外に排出されるこ
とで、Ｎ₂ガスにより配管系Ｂ、サンプリング配管２
１，２２及び真空容器１内部がクリーニングされ、それ
らに残留する漏洩ヘリウムガスが屋外に排出される。

【００４０】ＮＧ処理が終了すると、換言するとヘリウ
ムガスの漏れが検出されない場合は、ＧＯＯＤ判定とな
り、大気開放と同時にクリーニングが行われる。このク
リーニング時には、粗引弁４２が閉、大気開放弁４４が
開、大気維持弁４６が開、ストップ弁６３が閉、Ｎ₂パ
ージバイパス弁６５が開、サンプリングポンプ６４がＯ
ＦＦ、クリーニング弁８０が開、パージ切換弁６６が閉
となる。

【００４１】このクリーニングでは、粗引弁４２が閉
じ、真空ポンプ４０による真空引きは行われず、大気開
放弁４４及び大気維持弁４６が共に開状態であるため、
真空容器１は大気開放され、大気圧と平衡する。同時
に、Ｎ₂パージ用ボンベからのＮ ₂ガスは、ＮＧ処理と
同様に配管系Ｂ′から配管系Ｂに流入し、サンプリング
配管２１，２２から真空容器１内に入る。このＮ₂ガス
によるクリーニングは、上記ＮＧ処理に比べて、真空ポ
ンプ４０による真空引きが行われない点だけが異なる。

【００４２】クリーニング中に、大気開放時間が終わる
と、真空容器１がエアシリンダ３により上昇し始める。
真空容器１が上限位置に達すると、大気開放弁４４が
閉、エアパージ弁５０，５１が開、大気維持弁４６が閉
となる。これにより、空気が配管系Ａに導入される。即
ち、配管系Ａにおいて、空気は空気圧元減圧調圧弁５
６、パージ用減圧調圧弁５５、エアパージ弁５０，５１
を順に通過し、パージ配管１０の排出口１０ａとパージ
配管１１の排出口１１ａから噴射される。また、押さえ
板２０がエアシリンダ２５により上昇する。

【００４３】真空容器１が上限位置に達してから、パー
ジ切換弁６６が開き、更にその後にクリーニングが終了
する。但し、真空容器１が上限に位置してからクリーニ
ングが終了するまでの時間（＊注２）は、真空容器１が
上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップする
までの時間である。

【００４４】また、真空容器１が上限位置に達した後、
支持板３０上の被検査体１００が搬出されると共に、次
の新たな被検査体が搬入され、支持板３０上に載せられ
る。そして、前記したリーク検出動作が同様に繰り返さ
れる。

【００４５】このリーク検出装置では、真空ポンプ４０
による真空引きを行った後、サンプリングポンプ６４に
より真空容器１内のガスを引くとき、特にサンプリング
配管２１，２２が被検査体１００の周囲に位置するの
で、被検査体１００からヘリウムガスが漏れている場
合、ヘリウムガスは、真空容器１内で拡散することなく
直ちにガス吸引口２１ａ，２１ｂ，２２ａから吸引さ
れ、配管系Ｂの分析計７１に達する。このため、ヘリウ
ムガス漏れが有った場合に、分析計７１による分析結果
が早く出ることになり、応答が早くなり、リーク検査に
要する時間が短縮され、リーク検査を効率良く繰り返す
ことができる。しかも、被検査体１００からのヘリウム
ガスが薄められずに分析計７１に到達するので、ヘリウ
ムガス漏れの検知感度が向上する。

【００４６】また、押さえ板２０及び支持板３０が被検
査体１００に接触し、押さえ板２０及び支持板３０にガ
ス吸引口２１ｂ，２２ａが有るので、即ちガス吸引口２
１ｂ，２２ａが被検査体１００に接するので、ヘリウム
ガス漏れが有る場合に、ヘリウムガスがより素早く分析
計７１まで到達するようになり、応答が一層早くなり、
検知感度も更に高まる。

【００４７】更には、押さえ板２０が昇降可能であるの
で、ガス吸引口２１ａ，２１ｂも被検査体１００に対し
て進退可能であり、被検査体１００の形状や大きさにか
かわらず、ガス吸引口２１ａ，２１ｂを被検査体１００
に近接させることができる。

【００４８】上記実施形態では、押さえ板２０は被検査
体１００の上面（１面）側だけに配置されているが、上
面側以外にも配置してもよい。その一例を図９に示す。
図９では、被検査体１００の両側面（２面）側にも押さ
え板９０が配置されている。押さえ板９０は、エアシリ
ンダ９５のピストンロッド９５ａの先端部に取付けら
れ、横方向に移動可能である。勿論、押さえ板９０にも
サンプリング配管２１が付設され、そのガス吸引口２１
ｂが押さえ板９０から現出している。その他の構成は上
記実施形態と同じである。

【００４９】この場合、被検査体１００（多数個の製品
を収納した段ボール箱）において、収納されたどの製品
で（段ボール箱内のどの箇所で）ガス漏れが起きても、
漏洩ガスが被検査体１００からガス吸引口２１ｂに吸い
込まれる時間がより一様になり、各被検査体１００にか
かわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安
定する。

【００５０】他方、上記実施形態では、エア配管系Ａと
測定配管系Ｂは別系統になっているが、配管系Ｂに切換
弁を設け、配管系Ｂを介して空気を送るようにしてもよ
い。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
記載のリーク検出装置によれば、被検査体の周りにガス
吸引口が設けられているので、被検査体からガス漏れが
あると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口
から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従っ
て、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込
まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、
延いてはリーク検査の時間が短縮される。また、被検査
体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するの
で、ガス漏れの検知感度が向上する。

【００５２】請求項２の構成とすれば、被検査体の形状
や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接さ
せることができる。

【００５３】請求項３の構成とすれば、押さえ板により
被検査体の膨張が抑えられるため被検査体からガスが出
やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができ
る。また、押さえ板にガス吸引口が接するため、ガス漏
れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分
析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガ
ス漏れの検知感度も更に高まる。更に、押さえ板により
被検査体の外装にダメージを与えなくなる。

【００５４】請求項４の構成とすれば、被検査体（多数
個の製品を収納した段ボール箱）において、収納された
どの製品で（段ボール箱内のどの箇所で）ガス漏れが起
きても、漏洩ガスが被検査体からガス吸引口に吸い込ま
れる時間がより一様になり、各被検査体にかかわらず、
応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。

【００５５】請求項５の構成とすれば、ガス漏れ検査を
効率良く行うことができる。

【００５６】請求項６の構成とすれば、１回毎のリーク
検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図
（真空容器及び配管系の一部）である。

【図２】同リーク検出装置の概略構成図（真空容器の一
部及び配管系の残部）である。

【図３】同リーク検出装置の概略構成図（配管系の残
部）である。

【図４】同リーク検出装置の概略構成図（配管系の残
部）である。

【図５】同リーク検出装置の動作概念図（一部）であ
る。

【図６】図５の動作概念図に続く図（残部）である。

【図７】同リーク検出装置の動作のタイムチャート（一
部）である。

【図８】図７のタイムチャートに続くチャート（残部）
である。

【図９】別実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図
（真空容器及び配管系の一部）である。

【符号の説明】

１真空容器３，２５，３５エアシリンダ５被試験計測台１０，１１パージ配管１０ａ，１１ａ排出口２０，９０押さえ板２１，２２サンプリング配管２１ａ，２１ｂガス吸引口２２ａガス吸引口３０支持板４０真空ポンプ（真空手段）６４サンプリングポンプ（低真空漏洩ガ
ス吸引手段）７１分析計１００被検査体Ａ，Ｂ，Ｂ′ 配管系

フロントページの続き (72)発明者杭田嗣郎京都市中京区西ノ京下合町26 島津計装株式会社内 (72)発明者前川博士徳島県徳島市川内町北原７番地 (72)発明者竹内和成徳島県板野郡松茂町中喜来字中瀬西ノ越36 番地の９ (72)発明者庄司英生徳島県板野郡北島町新喜来字二分１の10 Ｆターム(参考） 2G067 AA47 BB04 CC12 DD18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体から漏れたガスを吸引するガス吸
引口を有すると共に被検査体を出入自在とした真空容器
と、この真空容器を真空引きする真空手段と、真空容器
内で真空引きされた被検査体からのガス漏れを検知する
分析計とを備えたリーク検出装置において、前記ガス吸引口は、真空容器内における被検査体の周り
に複数箇所設けたことを特徴とするリーク検出装置。
【請求項２】前記ガス吸引口は、被検査体に対して進退
可能であることを特徴とする請求項１記載のリーク検出
装置。
【請求項３】前記真空引き時に被検査体の膨張を抑える
ために被検査体の少なくとも１面を押圧できるように被
検査体に対して進退可能な押さえ板を真空容器内に配置
し、この押さえ板にガス吸引口を設けたことを特徴とす
る請求項１又は請求項２記載のリーク検出装置。
【請求項４】前記押さえ板は、被検査体の上面側及び側
面側にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項
３記載のリーク検出装置。
【請求項５】前記真空容器と分析計とを連絡する配管系
に前記真空手段とは別個の漏洩ガス検出用の低真空漏洩
ガス吸引手段を設け、予め真空手段により被検査体を真
空引きし、その後に複数個のガス吸引口から低真空漏洩
ガス吸引手段により吸引し、被検査体からのガス漏れを
分析計により検知するようにしたことを特徴とする請求
項１、請求項２、請求項３又は請求項４記載のリーク検
出装置。
【請求項６】前記分析計によりガス漏れが検知された場
合は、真空容器内及びガス吸引口から分析計の手前まで
の配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニ
ングを行い、その後に新鮮な空気をクリーニング時と同
経路内に導入してクリーニングを行うようにしたことを
特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又
は請求項５記載のリーク検出装置。