JP2020190523A - 気密性検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
検査対象となるワークを収容するためのチャンバーを有するワークホルダを備え、上記チャンバーは、直線状に水平に延びて上記ワークホルダを貫通し、その両端が上記ワークホルダの両側面に開口しており、
さらに、上記チャンバーの両端の開口をそれぞれ封止することにより、上記チャンバーを密封する第1、第2封止体と、上記第1、第2封止体をそれぞれ上記ワークホルダに対して接近、離間する方向に移動する第1、第2駆動手段と、密封状態の上記チャンバーにテスト圧を供給するテスト圧供給手段と、上記チャンバー内のワークの気密性を検査するために、上記チャンバー内の圧力の変化を監視する圧力検出手段と、を備えたことを特徴とする。
上記構成によれば、押圧ロッドを用いることにより、確実にワークをチャンバーから排出することができる。
上記構成によれば、1つのワークホルダで一度に複数のワークの気密性を検査できるので、検査の効率を向上させることができる。
上記構成によれば、封止構造を簡略化することができる。
上記構成によれば、装置の設置面積を大幅に減じることができる。
上記構成によれば、搬入、搬出作業をより円滑に行なうことができる。
2つのスライダ22は、チャック(図示しない)を有し、このチャックがワークホルダ10の背側チャック受部を掴んだ状態でワークホルダ10を交互に上方へ運ぶようになっている。
右側垂直移動部40は左側垂直移動部20と同様に、2本のガイドレール41と、各ガイドレール41に沿って移動する自走式のスライダ42とを有している。
2つのスライダ42は、チャック(図示しない)を有し、このチャックがワークホルダ10の背側チャック受部を掴んだ状態でワークホルダ10を交互に下方へ運ぶ。
スライダ52は、右側垂直移動部40の最下位位置にあるワークホルダ10の下側チャック受部19をチャック55で掴み、左方向に水平に移動することにより、ワークホルダ10を左側垂直移動部20の最下位位置(初期位置)まで運ぶ。
封止体61は、8つのチャンバー15の開口15aに対する共通の封止体として1つ配置されている。封止体62は、8つのチャンバー15の開口15bに対する共通の封止体として1つ配置されている。
なお、一方の封止体61には8つの突起61aが形成されている。これら突起61aは、上記チャンバー15内に入り込みチャンバー15の実容積を減じることにより、後述する検査精度を高める役割を担う。突起61aのサイズは、ワークWの大きさに応じて変更することができる。
図3、図4に示すように、検査ユニット70は、上記封止体62に固定されるベース板70aと、このベース板70aに取り付けられた8組の部品群70bとを有している。
各部品群70bは、3つの開閉弁71,72,73と、タンク74と、圧力センサ75(圧力検出手段)とを備えている。
上記チャンバー15の封止後に開閉弁73を閉じ、その後で開閉弁72を開く。これにより、タンク74の所定のタンク圧がチャンバー15に供給される。
上記説明から明らかなように、主通路77と開閉弁71,72,73とタンク74により、テスト圧供給回路70x(テスト圧供給手段)が構成される。
図示しないコントローラでは、開閉弁72が開いてから所定時間経過後の上記検出圧の上昇分が閾値未満であればワークWを良品と判定し、閾値を超えていれば不良品と判定する。
次に開閉弁72を閉じ、開閉弁73を開き、その後で、圧力源76からの供給圧を負圧に切り替え、タンク74を所定の負圧に戻すことにより、検査工程が終了する。
上述したように、1つのワークホルダ10で8つのワークWの気密性検査を一度に行えるので、検査作業の効率を高めることができる。
このようにチャンバー15の両端が開口されているので、エアシリンダ80により効率良くワークWを搬出することができる。
テスト圧は正圧でもよい。
11,12 シール面(両側面)
15 チャンバー
15a,15b チャンバーの開口
20 左側垂直移動部(第1垂直移動部)
40 右側垂直移動部(第2垂直移動部)
61 第1封止体
62 第2封止体
63 エアシリンダ(第1駆動手段)
64 エアシリンダ(第2駆動手段)
70x テスト圧供給回路(テスト圧供給手段)
75 圧力センサ(圧力検出手段)
80 エアシリンダ(排出手段)
81 シリンダ部(駆動部)
82 押圧ロッド
M 移動機構
S1 搬入ステージ
S2 検査ステージ
S3 搬出ステージ
Claims (6)
- 検査対象となるワークを収容するためのチャンバーを有するワークホルダを備え、上記チャンバーは、直線状に水平に延びて上記ワークホルダを貫通し、その両端が上記ワークホルダの両側面に開口しており、
さらに、
上記チャンバーの両端の開口をそれぞれ封止することにより、上記チャンバーを密封する第1、第2封止体と、
上記第1、第2封止体をそれぞれ上記ワークホルダに対して接近、離間する方向に移動する第1、第2駆動手段と、
密封状態の上記チャンバーにテスト圧を供給するテスト圧供給手段と、
上記チャンバー内のワークの気密性を検査するために、上記チャンバー内の圧力の変化を監視する圧力検出手段と、
を備えたことを特徴とする気密性検査装置。 - さらに、検査後のワークを排出するための排出手段を備え、上記排出手段は、
押圧ロッドと、
上記押圧ロッドを上記チャンバーの一方の開口から上記チャンバー内に挿入することにより、上記チャンバー内のワークを上記チャンバーの他方の開口から押し出す駆動部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の気密性検査装置。 - 上記ワークホルダは上記チャンバーを複数有しており、上記複数のチャンバー毎に上記テスト圧供給手段および上記圧力検出手段が装備されていることを特徴とする請求項1または2に記載の気密性検査装置。
- 上記一対の封止体の各々は、上記複数のチャンバーの対応する開口に共通の1つの封止体により構成されており、対応する開口を一度に封止することを特徴とする請求項3に記載の気密性検査装置。
- 上記ワークホルダが複数装備され、
さらに移動機構を備え、この移動機構は上記複数のワークホルダを、初期位置から、上記チャンバーにワークを搬入する搬入ステージ、上記気密性の検査を行う検査ステージ、上記ワークを上記チャンバーから搬出する搬出ステージへと順に移動させて上記初期位置へと戻すように循環させ、
上記初期位置、上記搬入ステージ、上記検査ステージおよび上記搬出ステージが垂直面上に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の気密性検査装置。 - 上記チャンバーは上記ワークホルダに垂直方向に等ピッチで複数形成されており、
上記移動機構は上記ワークホルダの移動方向が逆の第1、第2垂直移動部を含み、上記第1垂直移動部に上記搬入ステージが配置され、上記第2垂直移動部に上記搬出ステージが配置されており、
上記搬入ステージにおいて、上記第1垂直移動部によりワークホルダを上記チャンバーのピッチと等しい移動量で間欠的に移動させ、所定位置でワークを上記チャンバーに搬入し、
上記搬出ステージにおいて、上記第2垂直移動部によりワークホルダを上記チャンバーのピッチと等しい移動量で間欠的に移動させ、所定位置でワークを上記チャンバーから搬出することを特徴とする請求項5に記載の気密性検査装置。
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