JPH06331487A - エアーリーク検出装置 - Google Patents
エアーリーク検出装置Info
- Publication number
- JPH06331487A JPH06331487A JP12436993A JP12436993A JPH06331487A JP H06331487 A JPH06331487 A JP H06331487A JP 12436993 A JP12436993 A JP 12436993A JP 12436993 A JP12436993 A JP 12436993A JP H06331487 A JPH06331487 A JP H06331487A
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- Japan
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- inspection
- inspection chamber
- pressure
- air leak
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Abstract
(57)【要約】
【目的】複数箇の被検査物のもののエアーリークを一挙
に検出しながら正確な検出をおこなえるようにする。 【構成】検査チャンバー１に気密を保って閉成する蓋体
２を備える。検査チャンバー１に配管３を介して減圧装
置４を接続する。気密的に封止された被検査物Ｓを装填
する検査チャンバー１内を減圧装置４にて所定圧に減圧
する。所定時間後における検査チャンバー１における減
圧状態を検知して被検査物Ｓのエアーリークを検出する
エアーリーク検出装置である。検査チャンバー１は複数
個の被検査物を装填可能に構成する。上記配管３の途中
で検査チャンバー１の減圧状態を検出する圧力検出部５
よりも減圧装置４側において、経路を開閉する開閉弁６
を設ける。
に検出しながら正確な検出をおこなえるようにする。 【構成】検査チャンバー１に気密を保って閉成する蓋体
２を備える。検査チャンバー１に配管３を介して減圧装
置４を接続する。気密的に封止された被検査物Ｓを装填
する検査チャンバー１内を減圧装置４にて所定圧に減圧
する。所定時間後における検査チャンバー１における減
圧状態を検知して被検査物Ｓのエアーリークを検出する
エアーリーク検出装置である。検査チャンバー１は複数
個の被検査物を装填可能に構成する。上記配管３の途中
で検査チャンバー１の減圧状態を検出する圧力検出部５
よりも減圧装置４側において、経路を開閉する開閉弁６
を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、接点開閉をおこなうス
イッチのような被検査物に封入された不活性ガスのよう
な封止状態を検出するエアーリーク検出装置に関し、詳
しくは複数箇の被検査物のエアーリークを一挙に検出し
て検査能率を高めながら正確な検出をおこなえるように
しようとする技術に係るものである。
イッチのような被検査物に封入された不活性ガスのよう
な封止状態を検出するエアーリーク検出装置に関し、詳
しくは複数箇の被検査物のエアーリークを一挙に検出し
て検査能率を高めながら正確な検出をおこなえるように
しようとする技術に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、図８に示すように、検査チャンバ
ー１に気密を保って閉成される蓋体２が備えられ、検査
チャンバー１に配管３を介して減圧装置４が接続され、
気密的に封止された被検査物Ｓが装填された検査チャン
バー１内を減圧装置４にて所定圧に減圧し、所定時間後
における検査チャンバー１における減圧状態を検知して
被検査物Ｓのエアーリークを検出するエアーリーク検出
装置においては、検査チャンバー１には被検査物Ｓを１
個づつ装填して、そのエアーリークを検出するものであ
った。つまり、良否の判定は、図８（ｂ）の従来の判定
タイムチャートでは、１個の被検査物Ｓの判定故に、−
４０００ｍｍＨ2 Ｏ程度の減圧で、その後における約
１．５秒にわたるＸｍｍＨ2 Ｏの変化を捉え、設定デー
タ（エアーリークが生じていない場合の圧力値）と比較
し、その比較結果に基づいて、１個の被検査物Ｓのエア
ーリークの判定をおこなうのである。
ー１に気密を保って閉成される蓋体２が備えられ、検査
チャンバー１に配管３を介して減圧装置４が接続され、
気密的に封止された被検査物Ｓが装填された検査チャン
バー１内を減圧装置４にて所定圧に減圧し、所定時間後
における検査チャンバー１における減圧状態を検知して
被検査物Ｓのエアーリークを検出するエアーリーク検出
装置においては、検査チャンバー１には被検査物Ｓを１
個づつ装填して、そのエアーリークを検出するものであ
った。つまり、良否の判定は、図８（ｂ）の従来の判定
タイムチャートでは、１個の被検査物Ｓの判定故に、−
４０００ｍｍＨ2 Ｏ程度の減圧で、その後における約
１．５秒にわたるＸｍｍＨ2 Ｏの変化を捉え、設定デー
タ（エアーリークが生じていない場合の圧力値）と比較
し、その比較結果に基づいて、１個の被検査物Ｓのエア
ーリークの判定をおこなうのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
被検査物Ｓを１個づつそのエアーリークを検出するもの
においては、エアーリークの検出に際して、検査能率を
向上し難いという問題があった。本発明はこのような問
題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、複数個の被検査物のエアーリークの検査を一挙にお
こなえるようにしながら、かかる場合に、より正確にエ
アーリークの検出をおこなえるエアーリーク検出装置を
提供しようとするにある。
被検査物Ｓを１個づつそのエアーリークを検出するもの
においては、エアーリークの検出に際して、検査能率を
向上し難いという問題があった。本発明はこのような問
題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、複数個の被検査物のエアーリークの検査を一挙にお
こなえるようにしながら、かかる場合に、より正確にエ
アーリークの検出をおこなえるエアーリーク検出装置を
提供しようとするにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、検査チャンバ
ー１に気密を保って閉成される蓋体２が備えられ、検査
チャンバー１に配管３を介して減圧装置４が接続され、
気密的に封止された被検査物Ｓが装填された検査チャン
バー１内を減圧装置４にて所定圧に減圧し、所定時間後
における検査チャンバー１における減圧状態を検知して
被検査物Ｓのエアーリークを検出するエアーリーク検出
装置であって、検査チャンバー１は複数個の被検査物Ｓ
・・が装填可能に構成され、上記配管３の途中で検査チ
ャンバー１の減圧状態を検出する圧力検出部５よりも減
圧装置４側において、経路を開閉する開閉弁６が設けら
れて成ることを特徴とするものである。
ー１に気密を保って閉成される蓋体２が備えられ、検査
チャンバー１に配管３を介して減圧装置４が接続され、
気密的に封止された被検査物Ｓが装填された検査チャン
バー１内を減圧装置４にて所定圧に減圧し、所定時間後
における検査チャンバー１における減圧状態を検知して
被検査物Ｓのエアーリークを検出するエアーリーク検出
装置であって、検査チャンバー１は複数個の被検査物Ｓ
・・が装填可能に構成され、上記配管３の途中で検査チ
ャンバー１の減圧状態を検出する圧力検出部５よりも減
圧装置４側において、経路を開閉する開閉弁６が設けら
れて成ることを特徴とするものである。
【０００５】
【作用】検査チャンバー１に複数個の被検査物Ｓ・・を
装填し、減圧装置４にて検査チャンバー１の減圧をおこ
ない、そして、配管３途中に設けた開閉弁６を閉成する
ことで、検査チャンバー１側と減圧装置４側を遮断で
き、減圧装置４側においてエアーリークが生じている場
合の影響を生じさせないで、複数個の被検査物Ｓ・・の
エアーリークの検査を一挙にかつ正確におこなう。
装填し、減圧装置４にて検査チャンバー１の減圧をおこ
ない、そして、配管３途中に設けた開閉弁６を閉成する
ことで、検査チャンバー１側と減圧装置４側を遮断で
き、減圧装置４側においてエアーリークが生じている場
合の影響を生じさせないで、複数個の被検査物Ｓ・・の
エアーリークの検査を一挙にかつ正確におこなう。
【０００６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて詳述す
る。図２は外観斜視図を示していて、基台８の上の一端
側にはスイッチのような被検査物Ｓ・・を連続して供給
する供給部７が構成され、基台８の上の他端側にはエア
ーリークの検査がおこなわれた例えば良品の被検査物Ｓ
・・を取出す取出部９が構成されている。そして、供給
部７と取出部９との間にはターンテーブル１０が回転自
在に配設され、ターンテーブル１０には２ヶ所にわたっ
て検査チャンバー１に対する蓋体２，２が配設されてい
る。そして、ターンテーブル１０に並べて検査チャンバ
ー１を昇降自在に保持した機構部１１が配設されてい
る。また、供給部７と取出部８との間には、チャック装
置１２が配設されている。
る。図２は外観斜視図を示していて、基台８の上の一端
側にはスイッチのような被検査物Ｓ・・を連続して供給
する供給部７が構成され、基台８の上の他端側にはエア
ーリークの検査がおこなわれた例えば良品の被検査物Ｓ
・・を取出す取出部９が構成されている。そして、供給
部７と取出部９との間にはターンテーブル１０が回転自
在に配設され、ターンテーブル１０には２ヶ所にわたっ
て検査チャンバー１に対する蓋体２，２が配設されてい
る。そして、ターンテーブル１０に並べて検査チャンバ
ー１を昇降自在に保持した機構部１１が配設されてい
る。また、供給部７と取出部８との間には、チャック装
置１２が配設されている。
【０００７】しかして、コンベヤ（図示せず）から供給
部７に供給されたスイッチのような被検査物Ｓをチャッ
ク装置１２にてチャックして所定回転位置のターンテー
ブル１０のうえの蓋体２の凹部１３内に装填し、ターン
テーブル１０を１８０°回転させて被検査物Ｓを検査チ
ャンバー１の下方に持込み、そして、検査チャンバー１
をシリンダー１４の駆動にて下降させ、蓋体２に検査チ
ャンバー１の下面をシールリング１５を介して気密的に
当接させ、そして、検査チャンバー１内にエアーを減圧
用エアーシリンダー１６を備えた減圧装置４における減
圧動作にて所定圧力に減圧し、そして、かかる所定圧力
への減圧後から一定時間の経過を待って、上記減圧状態
の変化（圧力の高まり）を捉え、被検査物Ｓにおいて内
部に充填された例えば不活性ガスの封止が不完全で、か
かる不活性ガスの漏れ（エアーリーク）を検出して、被
検査物Ｓの良否を判別することができるようにしてあ
る。
部７に供給されたスイッチのような被検査物Ｓをチャッ
ク装置１２にてチャックして所定回転位置のターンテー
ブル１０のうえの蓋体２の凹部１３内に装填し、ターン
テーブル１０を１８０°回転させて被検査物Ｓを検査チ
ャンバー１の下方に持込み、そして、検査チャンバー１
をシリンダー１４の駆動にて下降させ、蓋体２に検査チ
ャンバー１の下面をシールリング１５を介して気密的に
当接させ、そして、検査チャンバー１内にエアーを減圧
用エアーシリンダー１６を備えた減圧装置４における減
圧動作にて所定圧力に減圧し、そして、かかる所定圧力
への減圧後から一定時間の経過を待って、上記減圧状態
の変化（圧力の高まり）を捉え、被検査物Ｓにおいて内
部に充填された例えば不活性ガスの封止が不完全で、か
かる不活性ガスの漏れ（エアーリーク）を検出して、被
検査物Ｓの良否を判別することができるようにしてあ
る。
【０００８】ところで、蓋体２の凹部１３は、３個の被
検査物Ｓ・・を装填することができる大きさに形成して
あり、そして、検査チャンバー１の大きさも３個の被検
査物Ｓ・・を収納することができる大きさにしてある。
被検査物Ｓと検査チャンバー１との隙間は約０．２ｍｍ
に設定されている。そして、図１に示すように、検査チ
ャンバー１と減圧装置４とを連通する配管３の途中で検
査チャンバー１の減圧状態を検出する圧力センサーを備
えた圧力検出部５よりも減圧装置４側において、配管３
の経路を開閉する開閉弁６が設けられている。
検査物Ｓ・・を装填することができる大きさに形成して
あり、そして、検査チャンバー１の大きさも３個の被検
査物Ｓ・・を収納することができる大きさにしてある。
被検査物Ｓと検査チャンバー１との隙間は約０．２ｍｍ
に設定されている。そして、図１に示すように、検査チ
ャンバー１と減圧装置４とを連通する配管３の途中で検
査チャンバー１の減圧状態を検出する圧力センサーを備
えた圧力検出部５よりも減圧装置４側において、配管３
の経路を開閉する開閉弁６が設けられている。
【０００９】このように、検査チャンバー１は複数個の
被検査物Ｓ・・が装填可能に構成され、上記配管３の途
中で検査チャンバー１の減圧状態を検出する圧力検出部
５よりも減圧装置４側において、経路を開閉する開閉弁
６が設けられることで、検査チャンバー１に複数個の被
検査物Ｓ・・を装填し、減圧装置４にて検査チャンバー
１の減圧をおこない、そして、配管３途中に設けた開閉
弁６を閉成することで、検査チャンバー１側と減圧装置
４側を遮断でき、減圧装置４側においてエアーリークが
生じている場合の影響を生じさせないで、複数個の被検
査物Ｓ・・のエアーリークの検査を一挙にかつ正確にお
こなえるのである。
被検査物Ｓ・・が装填可能に構成され、上記配管３の途
中で検査チャンバー１の減圧状態を検出する圧力検出部
５よりも減圧装置４側において、経路を開閉する開閉弁
６が設けられることで、検査チャンバー１に複数個の被
検査物Ｓ・・を装填し、減圧装置４にて検査チャンバー
１の減圧をおこない、そして、配管３途中に設けた開閉
弁６を閉成することで、検査チャンバー１側と減圧装置
４側を遮断でき、減圧装置４側においてエアーリークが
生じている場合の影響を生じさせないで、複数個の被検
査物Ｓ・・のエアーリークの検査を一挙にかつ正確にお
こなえるのである。
【００１０】図６はタイムチャートを示していて、−５
０００ｍｍＨ2 Ｏ程度にまで減圧した後、約２．０秒間
程度にわたって減圧の状況を検知して、図６におけるＸ
ｍｍＨ2 Ｏの変化を捉え、制御部２０において設定デー
タ（エアーリークが生じていない場合の圧力値）と比較
し、その比較結果に基づいて、３個の被検査物Ｓ・・の
良否の判定をおこなうのである。
０００ｍｍＨ2 Ｏ程度にまで減圧した後、約２．０秒間
程度にわたって減圧の状況を検知して、図６におけるＸ
ｍｍＨ2 Ｏの変化を捉え、制御部２０において設定デー
タ（エアーリークが生じていない場合の圧力値）と比較
し、その比較結果に基づいて、３個の被検査物Ｓ・・の
良否の判定をおこなうのである。
【００１１】図４は被検査物Ｓの供給及びチャック装置
１２を示していて、図３（ｃ）及び図４（ａ）のよう
に、供給部７に供給された被検査物Ｓ・・の３個を存否
検出センサーａ・・、プッシャー１７及び固定ストッパ
ー１８とでまとめて受け、そして、両爪１９，１９を備
えたチャック装置１２にて保持し、そして、チャック装
置１２にて３個の被検査物Ｓ・・を蓋体２の凹部１３へ
と搬送することができるようにしてある。このように被
検査物Ｓ・・を３個まとめる構成及びチャック装置１２
の構成は種々設計変更可能である。また、被検査物Ｓの
形状形態は種々設計変更可能である。図中２１は不良品
の排出路であり、エアーリークが生じている被検査物Ｓ
・・の３個の全てをチャック装置１２にて搬出するよう
にしてある。かかる不良品を個々に再度エアーリーク検
査をおこなって不良品を見つけ出すようにしてもよい。
１２を示していて、図３（ｃ）及び図４（ａ）のよう
に、供給部７に供給された被検査物Ｓ・・の３個を存否
検出センサーａ・・、プッシャー１７及び固定ストッパ
ー１８とでまとめて受け、そして、両爪１９，１９を備
えたチャック装置１２にて保持し、そして、チャック装
置１２にて３個の被検査物Ｓ・・を蓋体２の凹部１３へ
と搬送することができるようにしてある。このように被
検査物Ｓ・・を３個まとめる構成及びチャック装置１２
の構成は種々設計変更可能である。また、被検査物Ｓの
形状形態は種々設計変更可能である。図中２１は不良品
の排出路であり、エアーリークが生じている被検査物Ｓ
・・の３個の全てをチャック装置１２にて搬出するよう
にしてある。かかる不良品を個々に再度エアーリーク検
査をおこなって不良品を見つけ出すようにしてもよい。
【００１２】
【発明の効果】本発明は上述のように、検査チャンバー
は複数個の被検査物が装填可能に構成され、上記配管の
途中で検査チャンバーの減圧状態を検出する圧力検出部
よりも減圧装置側において、経路を開閉する開閉弁が設
けられているから、検査チャンバーに複数個の被検査物
を装填し、減圧装置にて検査チャンバーの減圧をおこな
い、そして、配管途中に設けた開閉弁を閉成すること
で、検査チャンバー側と減圧装置側を遮断でき、減圧装
置側においてエアーリークが生じている場合の影響を生
じさせないで、複数個の被検査物のエアーリークの検査
を一挙にかつ正確におこなえるという利点がある。
は複数個の被検査物が装填可能に構成され、上記配管の
途中で検査チャンバーの減圧状態を検出する圧力検出部
よりも減圧装置側において、経路を開閉する開閉弁が設
けられているから、検査チャンバーに複数個の被検査物
を装填し、減圧装置にて検査チャンバーの減圧をおこな
い、そして、配管途中に設けた開閉弁を閉成すること
で、検査チャンバー側と減圧装置側を遮断でき、減圧装
置側においてエアーリークが生じている場合の影響を生
じさせないで、複数個の被検査物のエアーリークの検査
を一挙にかつ正確におこなえるという利点がある。
【図１】本発明の一実施例の概略説明図である。
【図２】同上の全体斜視図である。
【図３】（ａ）は平面図、（ｂ）は部分側面図、（ｃ）
は部分平面図である。
は部分平面図である。
【図４】（ａ）は被検査物のまとめ作用を示す平面図、
（ｂ）は側面図、（ｃ）は拡大側面図、（ｄ）は分解斜
視図、（ｅ）は次工程への移送作用を示す概略平面図で
ある。
（ｂ）は側面図、（ｃ）は拡大側面図、（ｄ）は分解斜
視図、（ｅ）は次工程への移送作用を示す概略平面図で
ある。
【図５】（ａ）は部分分解斜視図、（ｂ）は側断面図で
ある。
ある。
【図６】同上のタイムチャートである。
【図７】同上の一部破断した概略側面図である。
【図８】従来例を示し、（ａ）は概略説明図、（ｂ）は
タイムチャートである。
タイムチャートである。
１ 検査チャンバー ２ 蓋体 ３ 配管 ４ 減圧装置 ５ 圧力検出部 ６ 開閉弁
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１０月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (1)
- 【請求項１】 検査チャンバーに気密を保って閉成され
る蓋体が備えられ、検査チャンバーに配管を介して減圧
装置が接続され、気密的に封止された被検査物が装填さ
れた検査チャンバー内を減圧装置にて所定圧に減圧し、
所定時間後における検査チャンバーにおける減圧状態を
検知して被検査物のエアーリークを検出するエアーリー
ク検出装置であって、検査チャンバーは複数個の被検査
物が装填可能に構成され、上記配管の途中で検査チャン
バーの減圧状態を検出する圧力検出部よりも減圧装置側
において、経路を開閉する開閉弁が設けられて成ること
を特徴とするエアーリーク検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12436993A JPH06331487A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | エアーリーク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12436993A JPH06331487A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | エアーリーク検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331487A true JPH06331487A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14883700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12436993A Pending JPH06331487A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | エアーリーク検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06331487A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU686814B2 (en) * | 1994-06-09 | 1998-02-12 | Daikin Industries, Ltd. | Fluoroolefin, fluoropolymer, and thermoplastic resin composition containing the polymer |
| JP2020190523A (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社フクダ | 気密性検査装置 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP12436993A patent/JPH06331487A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU686814B2 (en) * | 1994-06-09 | 1998-02-12 | Daikin Industries, Ltd. | Fluoroolefin, fluoropolymer, and thermoplastic resin composition containing the polymer |
| JP2020190523A (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社フクダ | 気密性検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020813 |