JP3920426B2 - 洩れ検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は例えば数mm角程度の形状の微小電子部品等のケーシングの洩れを検査する洩れ検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より加圧気体として空気圧を利用して各種の器具の洩れの有無を検査する洩れ検査装置(以下エアリークテスタと称す)が実用されている。図10は一般的なエアリークテスタの構成を示す。Mはマスタと呼ばれ予め洩れのないことが確認されている部品、Wはワークと呼ばれている被検査体を示す。これらマスタMと被検査体Wに空気圧源1からテスト圧P1の圧力を持つ空気圧を印加し、バルブV2とV3を閉にして空気を被検査体W及びマスタMに閉じ込め、被検査体WとマスタMの間に挿入した微差圧センサDPS1に発生する差圧により被検査体Wの洩れを検査する構造としたものである。この構造のエアリークテスタは内圧方式と呼ばれ、ほとんどの自動車部品、ガス器具、部品等はこの方式で検査が行なわれている。
【0003】
図11は密封品を検査するためのエアリークテスタの構成を示す。つまり、防水時計、防水カメラ、ハーメチックリレー等の製品、部品のように内圧を掛けることができない密封品の場合はマスタ側及び被検査体側の双方にワークカプセルWKとマスタカプセルMKとが設けられ、これら各カプセルWKとMKの内部に被検査体WとマスタMとを挿入し、ワークカプセルWK及びマスタカプセルMKに一定容積を持つタンクT1とT2から一定量の空気圧を与える。
【0004】
被検査体Wに時間当りの洩れ量(cc/sec)が大きい洩れ(これを一般に大リークと称している)が存在した場合にはワークカプセルWKとマスタカプセルMKとの間に容積差が発生し、この容積差から差圧が発生し、洩れの存在を検出することができる。この原理の洩れ検査装置ではワーク内容積が0.5cc以上であればどのような大リークでも確実に検出することができる。然し乍ら被検査体Wの内容積が小さくなると、タンクT1及びT2の容積も小さくしなければならないため、微小容積の被検査体Wは検査がむずかしくなる。
【0005】
この欠点を解消する一つの方法として図12に示す構成のエアリークテスタが提案されている。このエアリークテスタではワークカプセルWKとマスタカプセルMKの双方の管路に可変容量タンクVT1とVT2を設け、バルブV2とV3を通じてワークカプセルWKとマスタカプセルMKにテスト圧P1の空気圧を与え、これらのバルブV2とV3を閉じた後バルブV6を開けて可変容量タンクVT1とVT2に空気圧を与えることにより、可変容量タンクVT1とVT2に設けたピストンを移動させ、ワークカプセルWK及びマスタカプセルMKの双方に容積変化を与え、圧力を発生させる。
【0006】
このとき、ワークカプセルWK及びマスタカプセルMKの双方で内容積が等しいときは圧力を発生させても差圧は発生しない。被検査体Wに大リークがあると、マスタM側に対して被検査体W側との間に微小な内容積差が発生するので差圧が生じる。(但し、この差圧を発生させるには検査装置自体の管路等の内容積を可及的に小さくする必要がある)この差圧を高感度差圧センサDPS1で検出することにより、大リークと判定する。この方式のエアリークテスタによればワーク内容積0.0025cc程度の内容積を持つ部品の洩れを検査することができ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように図12に示した構成のエアリークテスタによれば内容積が0.0025cc程度(米粒の約1/5)の微小内容積の被検査体の洩れの有無を検査することができる。然し乍らその洩れ流量は1×10-4〜1×10-5cc/sec以上の一般に大リークと称する洩れ流量を持つ場合である。
【0008】
最近の傾向として、例えば携帯電話器のように過酷な環境下で使用される機器に用いられる電子部品では、1×10-8〜1×10-5cc/sec程度の微小な洩れ流量(以下微小リークと称す)の洩れが存在しても動作不能に陥るおそれがある。エアリークテスタはこのような微小リークを検査するに至っていない。微小リークを検出することができる装置としてヘリウムガスを検出媒体として用いたヘリウムリークディテクタが例えば株式会社島津製作所より商品型名MSE−1000、MSE−3000、MSE−5000等と称して販売されている。
【0009】
ヘリウムリークディテクタでは容器内において被検査体を真空環境下におき、その状態で容器内にヘリウムガスを注入し、容器内においてヘリウムガスを4kg/cm2 の圧力で加圧した状態で2時間放置し、洩れのある被検査体にヘリウムガスを吸引させる。このヘリウムガスの注入処理をボンビング処理と称している。ボンビング処理の後に被検査体を検査用カプセルに挿入し、検査用カプセルを真空に吸引する粗引き行程を行う。次にヘリウムガスが被検査物から洩れているか否かを計測し、ヘリウムガスが検出されれば「洩れ有り」と判定する。
【0010】
このヘリウムリークディテクタによれば1×10-8cc/sec〜1×10-5cc/secの領域の微小な洩れを検出できる。然し乍ら、このヘリウムリークディテクタでは大リークが存在した場合に特にその洩れ流量が大きい場合は「洩れ無し」と誤判定を下す欠点がある。
その理由としてはボンビング処理後に、ヘリウムリークディテクタの検査可能な範囲の中で大きいリーク流量を持つ被検査体からは真空粗引きの行程でヘリウムガスは短時間に大気に放出されてしまい、検査時点ではヘリウムガスは抜け出て無の状態になっている場合が多い。従ってこの状態で試験用カプセルに挿入し、検査してもヘリウムガスは元々存在しないので「洩れ無し」と判定してしまうのである。
【0011】
もっとも大リークの中でも比較的小リークに近いリーク量の被検査体の場合には検査までにヘリウムガスが飛散してしまうことはなく、被検査体に留まっている。従ってヘリウムリークディテクタでは大リークの中でも「洩れ無し」と判定する場合と、「洩れ有り」と判定する場合があり、大リークに対する検出性能には問題がある。つまりエアリークテスタとヘリウムリークテスタの各検査範囲の境界部分において検査精度が悪くなる不都合がある。
【0012】
更に、ヘリウムリークディテクタでは微量のヘリウムを検出する高感度センサを具備していることから、仮りにエアリークテスタで検出できる程の大リークを持つ被検査体から多量にヘリウムガスが放出され、このヘリウムガスをヘリウムリークディテクタが吸い込むと、そのヘリウムガスを完全に排気するまで次の試験を行なうことができない不都合もある。従ってヘリウムリークディテクタを用いた洩れ検査は効率(スルーブット)が悪い欠点もある。
【0013】
この発明の第1の目的は一度の工程で大リークと小リークの双方を確実(信頼性よく)に検査することができる洩れ検査装置を提案することにある。
この発明の第2の目的はヘリウムリークディテクタを効率よく動作させることができる洩れ検査装置を提供することにある。
【0014】
この発明の第3の目的はエアリークテスタとヘリウムリークテスタの各検査範囲の境界部分における検査精度を高めることができる洩れ検査装置を提案することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
この発明で用いる第1の洩れ検査方法はヘリウムガスをボンビング処理した被検査体を先ずエアリークテスタによって大リークの有無を検査し、次にヘリウムリークディテクタにより微小リークの有無を検査し、これらエアリークテスタとヘリウムリークディテクタにおいて共に洩れ無しと判定した被検査体だけを良品と判定する洩れ検査方法である。
【0016】
この発明で用いる第2の洩れ検査方法はエアリークテスタにおいて大リークの有無を検査する場合、被検査体とマスタに与える加圧気体をエアの代わりにヘリウムガスを用い、ヘリウムガスを特に被検査体に対して印加することにより、ボンビング処理後に時間の経過に伴ってヘリウムガスが抜けてしまった被検査体に対して、ヘリウムガスを再ボンビングし、ヘリウムガスが抜けてしまったことによる誤った検査結果が下される不都合を除去することができる洩れ検査方法である。
【0017】
これらの第1の洩れ検査方法及び第2の洩れ検査方法を実現する洩れ検査装置として混載された被検査体を一定の姿勢で1列に整列させて送り出す部品供給手段と、この部品供給手段によって送り出される被検査体を1個ずつ所定の姿勢を保持して整列させる整列手段と、この整列手段によって整列した被検査体を搬送する空中搬送装置と、この空中搬送装置によって送られて来る被検査体を収納する下カプセル板と、この下カプセル板を搬送する無終端搬送手段と、この無終端搬送手段の搬送経路に沿ってエアリークテスタ、ヘリウムリークディテクタの順に配置した検査ステーションと、検査ステーションを通過したカプセルに収納されている被検査体を良品と不良品に仕分けして収納する収納部とによって大リークと小リークの双方を一度に検査することができる洩れ検査装置を提案するものである。
【0018】
この発明で用いる第1の洩れ検査方法によればエアリークテスタとヘリウムリークディテクタの双方で「洩れ無し」と判定した被検査体だけを良品と判定するから、良品と判定した被検査体には大リークと小リークも何れも持たない製品とすることができる。よって信頼性の高い洩れ検査を行なうことができる。
更に、この発明で用いる第1の検査方法によればエアリークテスタによって大リークを検査した後に、ヘリウムリークディテクタによって微小リークを検出する検査を行なう方法としたから、エアリークテスタによって検査を行なった時点で大リークを持つ被検査体を検出できるから、ヘリウムリークディテクタで微小リークを検査する場合は「大リーク有り」と判定した被検査体を検査しなくてよい。従って、ヘリウムリークディテクタで大リークを持つ被検査体を検査しないから、ヘリウムガスを多量に吸い込むおそれはない。この結果ヘリウムリークディテクタを効率よく運用することができる利点が得られる。
【0019】
この発明で用いる第2の洩れ検査方法によれば、ボンビング処理した被検査体から比較的大きい洩れが存在することによりヘリウムガスが洩れてしまったとしても、エアリークテストを行なう際に、エアの代りにヘリウムガスを加圧気体として利用したから、被検査体に対してヘリウムガスを再ボンビングすることができる。
従って、エアリークテスタによっては「洩れ有り」と判定できないが、ヘリウムリークディテクタに対しては大きいリークの被検査体に対してヘリウムガスを再ボンビングすることができるから、エアリークテスタをヘリウムディテクタの各検査範囲の境界部分に属するリーク量の被検査体の検査精度を高めることができる利点が得られる。
【0020】
尚、ここでエアリークテスト中にヘリウムガスを再ボンビングすることができる被検査体としては短時間にヘリウムガスを吸引することができる被検査体に限られる。つまり、比較的大きいリーク流量(孔の面積が大きい)の被検査体に限られ、微小リークの被検査体に対しては検査開始前に行なう本来のボンビング処理によらなくてはヘリウムガスを吸引させることはできない。従ってエアリークテスト中に被検査体に対してヘリウムガスをボンビングできるとは言っても、検査前に行なう本来のボンビング処理(2時間程度掛けて行なうボンビング処理)は必要不可欠である。
【0021】
この発明の洩れ検査装置によれば、例えば振動フィーダによって構成した部品供給手段を用いるから被検査体を部品供給手段に供給すれば、その後は全てエアリークテスト(又はグロスリークテストと称す)とヘリウムリークディテクタによる洩れ試験(以下ファインリークテストと称す)を自動的に行なうことができる。従って人手を掛けることなく、微小な形状の電子部品等を多量に、然も信頼性よく洩れ検査することができる利点が得られる。
【0022】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明による微小空隔容積の部品(以下被検査体と称す)の洩れを検査する洩れ検査装置の一実施例を示す。図1を用いてこの発明による洩れ検査装置の概略の構成を予め説明する。この発明による洩れ検査装置は大別して7つの手段によって構成される。
【0023】
これらの7つの手段は被検査体の流れの順に部品供給手段100、整列手段200、無終端搬送手段300、下カプセル板400、グロスリークテストステーション500、ファインリークステーション600、収納部700が配置されて構成される。
以下にその概略の構成及び動作について説明する。部品供給手段100には予めボンビング処理されて洩れが存在する部品にはヘリウムガスがその内部空隔内に吸い込ませた状態で供給される。部品供給手段100に供給された被検査体は1個ずつ姿勢が揃えられて整列手段200に送られる。整列手段200は複数の被検査体を格納する格納部201を有し、この格納部201に被検査体を1個ずつ格納する。全ての格納部201に被検査体を格納すると整列手段200は図1に点線で示す位置まで移動する。
【0024】
整列手段200が点線の位置まで進み停止すると、図2に示すピックアンドプレスと呼ばれる空中搬送手段800で各被検査体を例えば真空吸着ヘッド801A〜801Hによって吸着し、無終端搬送手段300に搭載されている下カプセル板400に運ばれ、下カプセル板400に設けた検査カプセル401A〜401Hに挿入される。
【0025】
無終端搬送手段300は図の例では円盤状のターンテーブルによって構成した場合を示す。この無終端搬送手段300の搬送経路に沿ってグロスリークテストステーション500とファインリークテストステーション600を設け、これらがグロスリークテストステーション500とファインリークテストステーション600で各被検査体の洩れの有無を検査する。図の例では下カプセル板400に被検査体を8個ずつ供給して一度に8個を一組として被検査体の洩れの有無を検査するように構成した場合を示す。
【0026】
無終端搬送手段300にはこの実施例では120度角間隔に3個の下カプセル板400を搭載し、1動作で120度ずつ回転して下カプセル板400を図1に示すローダ及びアンローダ位置(積込、積降し位置)Aとグロスリークテストステーション500と対向する位置Bと、ファインリークテストステーション600と対向する位置Cを巡ぐって再びローダ及びアンローダ位置Aに戻るように構成した場合を示す。
【0027】
一巡してローダ及びアンローダ位置Aに戻った下カプセル板400に格納されている被検査体は検査が終了しており、各試験カプセル401A〜401H毎に設けられた記憶器に試験結果が記憶されており、その試験結果に従って収納部700に良品と不良品に仕分けして収納される。図の例では収納部700に3種の収納部701,702,703を設け、例えばグロスリークテストで不良と判定された被検査体、ファインリークテストで不良と判定された被検査体、不良判定が全くない良品の被検査体を仕分けして収納する構成とした場合を示す。
【0028】
以上により、この発明による洩れ検査装置の概要が理解できよう。次に各部の構成をこの発明の独特の部分については詳細に説明する。
部品供給手段100は従来からよく知られているパーツフィーダ或は振動フィーダ等と呼ばれている装置によって構成することができる。収納凹部101に先にも説明したようにボンビング処理した被検査体を載置する。この載置状態は一般に山積みの状態と呼ばれるように、無作為に載置される。収納凹部101には例えば商用電源周波数で駆動されるバイブレータにより振動が与えられる。振動が与えられた被検査体は漸次ガイド102に取り込まれ、ガイド102に沿って矢印103の方向に送られる。ガイド102の途中に各種の関門が設けられ、例えば被検査体に設けられている端子、或は突起等の形状に従ってその向きが揃えられる。つまり、この種の分野ではよく知られているように一定の向きに合致した被検査体だけが通過を許され、不一致のものは関門で収納凹部101に落とされる。
【0029】
部品供給手段100の終端部分にはエスケープ機構104が設けられる。エスケープ機構とはガイド102に沿って整列された被検査体Wを1個ずつ分離して次のステージに送り出す機構を指す。エスケープ機構104には各種の構造のものが考えられているが、一般的には次のステージを移動させる間、ガイド102の最先端に位置する被検査体Wを抑え付けてその位置に静止させておく動作を行なう。図の例では部品供給手段100の排出口に空の格納部201が対向した状態で、最先端の被検査体Wを抑え付けている状態を解放し、被検査体Wの列を整列手段200に向って流し込む。最先端の被検査体Wが整列手段200の格納部201に格納された状態で次に排出口に到来した被検査体Wを抑え付ける。被検査体Wを抑え付けた状態で整列手段200は次の格納部201を部品供給手段100の部品排出口に対向するように移動する。この繰返しで整列手段200の各格納部201に被検査体Wを格納する。
【0030】
ここで整列手段200の各格納部201の奥行(被検査体Wが流れ込む方向の寸法)は被検査体Wの1個分の寸法に選定されている。従って1個の被検査体Wが各格納部201に格納された状態では次の被検査体Wの先端は丁度整列手段200の格納部201の入口の開口端部分と一致していると見ることができる。従って整列手段200をその状態のままX軸方向に移動させてもよいが、この実施例では整列手段200を一旦Y軸方向にわずかに後退させ、Y軸方向に移動させた状態でX軸方向に移動させるように構成した場合を示す。
【0031】
その理由は以下の如くである。被検査体Wが例えばセラミック製のパッケージに水晶振動子を収納した製品であったとする。セラミック製のパッケージは成形時に周囲にバリ等が突出して形成される場合が多い。このため、部品供給手段100から整列手段200の格納部201に送り込まれた被検査体Wの相互はバリ等で結合し合っていることがある。この結果、被検査体Wの相互がバリ等で結合している状態のまま、整列手段200をX軸方向に移動させると、被検査体Wの相互が噛り合い、破損させてしまうおそれがある。このために、この実施例では整列手段200をY軸方向に移動させ、被検査体Wの相互を引き離した状態でX軸方向に移動させるように構成したものである。X軸方向への移動は例えばパルスモータ202と、このパルスモータ202で回転駆動されるスクリューシャフト203とによって実行することができる。スクリューシャフト203には可動台204が螺合して配置され、この可動台204に整列手段200がY軸方向に可動できるように支持される。整列手段200をY軸方向に移動させる手段としては例えば可動台204に搭載したエアシリンダ205によって移動させる。従って整列手段200の移動としてはY1−X1−Y2−Y3−X2−Y4−Y5・・・の順に櫛歯状に移動する。
【0032】
整列手段200は長方形状の金属ブロックによって形成され、その一方の長辺に沿って格納部201が形成される。格納部201は被検査体Wの形状よりわずかに大きい程度の形状の凹溝によって構成され、その凹溝に被検査体Wを流し込んで被検査体Wを格納する。整列手段200の各格納部201には図3に拡大して示すように、格納部201に格納した被検査体Wを一方向に抑え付け、格納位置を規定する規制手段206が設けられる。この規制手段206は各格納部201毎に設けたレバー206Aと、このレバー206Aにピン206Bが係合する摺動レバー206Cと、この摺動レバー206Cを駆動する例えばエアシリンダ206Dと、各レバー206Aを図の例では反時計方向に回動偏倚させるバネ206Eとによって構成することができる。何れかの格納部201に被検査体Wを格納する状態ではエアシリンダ206Dを吸引動作させ、各レバー206Aをバネ206Eの偏倚力に抗して時計廻り方向に回動させる。被検査体Wが格納部201に格納された状態でエアシリンダ206Dは吸引力を解除し、摺動レバー206Cを元に戻す。このときレバー206Aが反時計方向に回動し、レバー206Aによって被検査体Wを格納部201を構成する凹溝の一方の内壁に抑え付ける。従って各格納部201に格納された被検査体Wは、各格納部201の一方の内壁に抑え付けられた位置に規制され、格納位置が揃えられる。これと共に整列手段200がY軸方向に移動するとき、被検査体Wがバリ同士で結合していても、格納部201に格納した被検査体Wはレバー206Aで抑え付けられているから、この被検査体Wが部品供給手段100の排出口側の被検査体に係合したまま格納部201から抜け出てしまうことも防止することができる。
【0033】
整列手段200の各格納部201の全てに被検査体Wが格納されると、整列手段200は図1に点線で示す位置に停止する。この停止位置で各格納部201の上部には図2に示した空中搬送手段800の各吸着ヘッド801A〜801Hが配置される。吸着ヘッド801A〜801Hはそれぞれ例えばゴムによって吸盤形状に形成されて構成され、吸盤の中心部分にホース802が連通され、このホース802が吸引ポンプに接続されて空気を吸引する。吸着ヘッド801A〜801Hはそれぞれエアシリンダ803によって上下に移動される。下向に移動させることにより、整列手段200に格納されている被検査体Wに吸着ヘッド801A〜801Hを接触させ、被検査体Wを吸着ヘッド801A〜801Hのそれぞれに吸着させる。804はホース802と各吸着ヘッド801A〜801Hの間に挿入した電磁弁を示す。この電磁弁804を開閉制御することにより、吸着ヘッド801A〜801Hは吸着力を発生する状態と、吸着力を解く状態とに切替られる。
【0034】
空中搬送手段800の各吸着ヘッド801A〜801Hに被検査体Wを吸着した状態でシリンダ803は吸着ヘッド801A〜801Hを上方に移動させ、被検査体Wを空間に吊り上げた状態で空中搬送手段800は全体が図1に示したX軸方向に移動し、無終端搬送手段300に搭載されている下カプセル板400の上部に移動する。
【0035】
下カプセル板400にはこの例では8個の試験カプセル401A〜401Hが形成され、この検査カプセル401A〜401Hに空中搬送手段800で搬送して来た被検査体Wを落し込む。
下カプセル板400には検査カプセル401A〜401Hに隣接してマスタカプセル402A〜402Hが形成される。マスタカプセル402A〜402Hには予め検査され、洩れ無しと判定されたマスタM(被検査体Wと同じ部品)を挿入しておく。
【0036】
検査カプセル401A〜401Hとマスタカプセル402A〜402Hの詳細構造を図4に示す。長方形状の金属板に2列に8個の円形の穴を形成し、各穴を一方の列を検査カプセル401A〜401Hとして使用し、他方の列をマスタカプセル402A〜402Hとして使用する。尚、この例では各検査カプセル401A〜401Hと、マスタカプセル402A〜402Hの各周縁にリング状の溝を形成し、この溝にオーリング403を装着すると共に、オーリング403を下カプセル板400の板面より一部を突出して装着し、この突出部分を上カプセル板に圧接して検査カプセル401A〜401H及びマスタカプセル402A〜402Hが気密状態に閉塞するように構成した場合を示す。
【0037】
下カプセル板400は無終端搬送手段300に対して上下方向に移動自在に支持される。グロスリークテストステーション500とファインリークテストステーション600の位置には下カプセル板400を上方に移動させる昇降装置が設けられる。
図5及び図6にその昇降装置の一例を示す。上カプセル板450は各グロスリークテストステーション500及びファインリークテストステーション600の各位置において図5及び図6に示すフレーム451によって無終端搬送手段300の上部に突出して配置される。つまり、下カプセル板400が停止する位置毎に設けられる。下カプセル板400の装着位置の中央部分には無終端搬送手段300を貫通する孔301が設けられる。この孔301を通じて昇降手段を構成するロッド452が上向に突き上げられ、ロッド452によって下カプセル板400が上向に押し上げられ、上カプセル板450に圧接される。
【0038】
ロッド452は図6に示すエアシリンダ453の突出駆動力をリンク454で方向転換して駆動される。455は下カプセル板400が例えば上昇位置にあることを検出するためのスイッチを示す。また図5に示す404は下カプセル板400に下向の偏倚力を与えるバネを示す。従ってロッド452が下降すると、下カプセル板400はこのバネ404の偏倚力によって元の下降位置に戻される。また図6に示す305は無終端搬送手段300を120度角ずつ回転駆動させるインデックス式の回転駆動装置を示す。
【0039】
上カプセル板450には下カプセル板400に形成した検査カプセル401A〜401H及びマスタカプセル402A〜402Hと対向して給入・排気ポート456が装着される。この給入・排気ポート456にパイプ457が接続され、グロスリークテストステーション500にあってはパイプ457はそれぞれ各1台のエアリークテスタに接続される。ファインリークテストステーション600にあってはそれぞれ電磁弁を通じて1台のヘリウムリークディテクタに接続される。
【0040】
図7にグロスリークテストステーション500とファインリークテストステーション600の各空圧回路と電気系の構成を示す。グロスリークテストステーション500には図10で説明したエアリークテスタが8台ART1〜ART8が設けられる。これら8台のエアリークテスタART1〜ART8は図10で説明したと同様に検査カプセル401A(その他の検査カプセルも同様)とマスタカプセル402A(その他のマスタカプセルも同様)にパイプ457を通じて空圧源1から空気圧を印加し、バルブV2とV3を閉じた状態で可変容積タンクVT1とVT2の容積を変化させ、検査カプセル401Aとマスタカプセル402Aに圧力変化を与える一例を示す。
【0041】
尚、図7ではバルブV2とV3は空圧制御型のバルブを用いた場合を示し、バルブV7を例えば開に制御してバルブV2とV3を閉の状態に制御するように構成した場合を示す。
この圧力変化を与えた状態で差圧検出器DPS1が差圧を検出するか否かによって洩れの有無を判定する。501A〜501Hは各エアリークテスタART1〜ART8に設けた差圧検出器DPS1の検出信号を増幅し、その増幅出力と基準値とを比較し、洩れの有無を判定する判定装置を示す。各エアリークテスタART1〜ART8に設けた判定装置501A〜501Hの判定結果はマルチプレクサ502で1つずつ選択されて制御器PCに取り込まれる。制御器PCは例えばパーソナルコンピュータによって構成することができ、各エアリークテスタART1〜ART8の電磁弁V1,V2,V3,V6,V7の開閉制御と、各判定装置501A〜501Hの判定結果の取り込みを実行する。制御器PCには各エアリークテスタART1〜ART8毎にと、また、無終端搬送手段300に搭載した3個の下カプセル板400の別に記憶器が設けられ、この記憶器に良否の判定結果を記憶する。従ってグロスリークテストステーション500で検査した各被検査体Wはファインリークテストステーション600に送られた状態でどの検査カプセルに収納されている被検査体Wがグロスリークテストで「洩れ有り」と判定されたかが認識できる。
【0042】
ファインリークテストステーション600では各検査カプセル401A〜401Hは電磁弁601A〜601Hを通じてヘリウムリークディテクタHELTに接続される。ヘリウムリークディテクタHELTは吸引手段を内蔵し、検査カプセル401A〜401Hから空気を吸引する。但し、グロスリークテストステーション500において「洩れ有り」と判定された検査カプセルに関しては電磁弁601A〜601Hが閉の状態に制御されて検査から除外される。
【0043】
ヘリウムリークディテクタHELTにおいて、ヘリウムガスが検出されなければ検査した全ての被検査体Wは良品と判定する。ヘリウムガスが検出された場合は、そのとき検査した被検査体Wの中に微小な洩れが存在するものが存在していると判定する。この場合、一つの方法として、電磁弁601A〜601Hの開に制御されている電磁弁を順次閉の状態に制御し、閉の状態に制御した時点でヘリウムの検出が無になればそのとき閉じた弁に相当する被検査体が「ファインリーク有り」と判定し、洩れの有る被検査体を特定することもできる。また他の方法としてそのとき検査対象となっている被検査体Wを全て「ファインリーク有り」と判定し、再度ボンビング処理して再検査するように処理することもできる。
【0044】
グロスリークテスト及びファインリークテストを終了した被検査体Wは下カプセル板400に乗せられた状態で図1に示すローダ及びアンローダ位置Aに戻される。ローダ及びアンローダ位置Aに戻された被検査体Wは再び図2に示した空中搬送手段800に吸着され収納部700に配送される。収納部700には「グロスリーク有り」を収納する収納部701と、「ファインリーク有り」を収納する収納部702と、「良品」を収納する収納部703とが設けられる。これらの各収納部701,702,703に仕分けして収納する。
【0045】
これらの各収納部701〜703に空中搬送手段800から仕分けして被検査体Wを収納する方法としては収納部700を空中搬送手段800の各吸着ヘッド801A〜801Hをその配列方向と直交する方向(Y軸方向)に移動自在に装着し、空中搬送手段800を各収納部701〜703の上部に移動させた状態で収納部700をY軸方向に移動させ、目的とする収納部701,702又は703を空中搬送手段800の下部に順次位置させ、各位置で各検査結果に従って被検査体Wを落し込む方法と、空中搬送手段800の全体をY軸方向に移動させ、被検査体Wを仕分けして各収納部701〜703に落し込む方法と、或は空中搬送手段800の各吸着ヘッド801A〜801Hを別々にY軸方向に移動できるように支持し、各吸着ヘッド801A〜801Hを移動させて被検査体Wを仕分けして各収納部701〜703に落し込む方法とが考えられる。
【0046】
以上説明した実施例ではエアリークテスタはその加圧気体として空気を利用した本来のエアリークテスタとして動作させた場合を説明したが、この発明で用いる第2の洩れ検査方法では加圧気体をヘリウムガスとし、グロスリークテスト中にヘリウムガスを被検査体Wに対して再ボンビングする洩れ検査方法を採る。
【0047】
このためには、例えば図7に示した空圧源1を図8に示すようにヘリウムガス源11に交換し、ヘリウムガスを加圧して検査カプセル401Aとマスタカプセル402Aに与えるようにすればよい。但し、この場合、電磁弁V6とV7を図8に示すように3方電磁弁に交換し、これらの排気口と3方電磁弁V1の排気口を回収装置12に接続し、グロスリークテストの終了時点で各3方電磁弁V1とV6,V7を通じてヘリウムガスを回収装置12に回収するように構成することができる。
【0048】
また下カプセル板400に形成するオーリング403を格納する凹溝を図9に示すように、オーリング403の内側に間隙Gが形成されるように構成し、オーリング403と凹溝の間に圧入されるヘリウムガスを下カプセル板400の上面を開放した時に速やかに逃がし、ヘリウムガスが残留しないように構成するか、又はオーリング403を上カプセル板450(図5、図6参照)に装着し、オーリング403の部分にヘリウムガスが残留したままファインリークテストステーション600に運ばれることを阻止するように構成することが考えられる。
【0049】
エアリークテスタにおける加圧気体源をヘリウムガス源11に交換しても、グロスリークテストは空気圧の場合と何等変わることなく、正常に行なわれる。更にグロスリークテスト時に洩れ量が大きい被検査体Wに対してはヘリウムガスを再ボンビングすることができる。従って洩れ量が大きい被検査体Wに予めボンビングしたヘリウムガスが洩れてしまっていても、その被検査体Wに対してヘリウムガスを再ボンビングすることができ、次に行なわれるファインリークテストで洩れ有りと判定させることができる。
【0050】
尚、グロスリークテスト時に行なわれる再ボンビングは数秒程度の極く短かい時間であるため、微小な洩れ量の被検査体Wに対してはボンビング作用は全くない。従ってグロスリークテスト時にボンビングを行なうと言っても検査前のボンビング処理を省略することはできない。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば部品供給手段100にボンビング処理した被検査体Wを供給するだけで全自動でグロスリークテストとファインリークテストを連続して実行し、グロスリークテスト及びファインリークテストで共に「洩れなし」と判定された被検査体だけを良品と判定する構成としたから、良品と判定された被検査体は大リーク1×10-5cc/sec以上の洩れから微小リーク1×10-8〜1×10-5cc/secまでの広い領域にわたって洩れがないものと見ることができる。従って微小な部品であっても密封度に関して信頼性の高い検査を行なうことができる。また全自動化したから2種類の検査を人手を掛けることなく実現することができる利点が得られる。
【0052】
更に、この発明では洩れ有りの被検査体Wに対してヘリウムガスをボンビング処理して空隔内にガスを吸引させ、そのボンビング処理した被検査体をグロスリークテストにより大リーク有りを検出し、大リーク有りと判定した被検査体はファインリークテストステーション600では検査対象としない検査方法を採ったから、ファインリークテストにおいてヘリウムリークディテクタHELTは多量のヘリウムガスを吸引することを阻止することができる。
【0053】
この結果、ヘリウムリークディテクタHELTに多量のヘリウムガスを吸引してしまって検査を一時中断し、ヘリウムガスをヘリウムリークディテクタHELTから排気する等の処理をしなければならない状況が発生するおそれはなく、検査を効率よく実施することができる利点も得られる。
また、この発明で用いる第2の洩れ検査方法によればエアリークテスト時に加圧気体としてヘリウムガスを用いたから、被検査体に対してボンビング処理した後に、洩れ量が大きい(エアリークテスタの検査範囲より小さく、ヘリウムリークディテクタの検査範囲より大きい洩れ量)ためにヘリウムガスが抜けてしまった被検査体が存在しても、その被検査体に対してヘリウムガスを再ボンビングすることができる。
【0054】
従って、この第2の洩れ検査方法を用いることにより、洩れ量がヘリウムリークディテクタの検査範囲より大きいためにファインリークテストを行なうまでにヘリウムガスが抜けてしまっても、エアリークテスタによるグロスリークテスト時にヘリウムガスが再ボンビングされるから、グロスリークテスト時に洩れ量がグロスリークテストの検査範囲より小さいために「洩れなし」と判定され、更にファインリークテスト時にヘリウムガスが抜けてしまってファインリークテストでも「洩れなし」と判定してしまう事故を防止できる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明による洩れ検査装置の一実施例を説明するための略線的な平面図。
【図2】 図1に示した洩れ検査装置に用いる空中搬送手段の一例を説明するための正面図。
【図3】 図1に示した洩れ検査装置に用いる整列手段の一例を説明するための拡大平面図。
【図4】 図1に示した洩れ検査装置に用いる下カプセル板の構造を説明するための拡大断面図。
【図5】 図1に示した洩れ検査装置に用いる各テストステーションに設けた昇降装置の一例を説明するための正面図。
【図6】 図5の側面図。
【図7】 図1に示した洩れ検査装置の空気圧回路と電気系の構成を説明するための系統図。
【図8】 この発明で用いる洩れ検査方法を説明するための系統図。
【図9】 図8に示した検査方法に用いる下カプセル板の構造を説明するための拡大断面図。
【図10】 従来のエアリークテスタの例を説明するための図。
【図11】 従来のエアリークテスタの他の例を説明するための図。
【図12】 微小空隙内容積の洩れを検査することができるエアリークテスタの例を説明するための図。
【符号の説明】
1 空圧源
11 ヘリウムガス源
100 部品供給手段
200 整列手段
300 無終端搬送手段
400 下カプセル板
500 グロスリークテストステーション
600 ファインリークテストステーション
700 収納部
800 空中搬送手段
Claims (6)
- A.混載された被検査体をガイド上に整列させ、排出口に送り出す部品供給手段と、
B.この部品供給手段の排出口に設けられ、上記被検査体を1個ずつ分離して排出させるエスケープ機構と、
C.このエスケープ機構によって1個ずつに分離されて排出される被検査体を所定の姿勢で取り込む整列手段と、
D.この整列手段に取り込んだ被検査体を取り上げて搬送する空中搬送装置と、
E.無終端搬送手段に等間隔に複数装着され、上記空中搬送装置によって搬送された複数の被検査体のそれぞれを各1個ずつ収納する検査カプセルと、この検査カプセルに隣接して設けられ、洩れのない被検査体と同等の部品を収納するマスタカプセルとを具備した下カプセル板に、
F.上記無終端搬送手段の搬送通路の複数の位置に設けられ、上記下カプセル板が送られて来る毎にその下カプセル板を上昇させる昇降装置と、
G.この昇降装置によって上昇される上記下カプセル板と接触し上記検査カプセルを密封する上カプセル板と、
H.上記無終端搬送手段に搭載した上記下カプセル板が被検査体を積込んだ位置から最初に対向する上記昇降装置に設けた上記上カプセル板を貫通し、上記検査カプセル及びマスタカプセルに連通したパイプと、
I.このパイプに接続したエアリークテスタと、
J.上記下カプセル板が上記無終端搬送手段によって搬送されて2番目に対向する昇降装置に設けた上記上カプセル板を貫通し上記検査カプセルに連通したパイプと、
K.このパイプのそれぞれに電磁弁を介して接続したヘリウムリークディテクタと、
L.上記エアリークテスタとヘリウムリークディテクタの検査結果に従って双方の検査結果が共に洩れ無しとする被検査体を良品と判定して収納する収納部と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。 - 請求項1記載の洩れ検査装置において、上記整列手段は長方形状の金属板によって構成され、この金属板の一方の長辺に沿って所定個の凹溝で形成された格納部が設けられ、この格納部に供給される被検査体を上記凹溝の一方の側壁に抑え付け、格納位置を揃える規制手段を設けた構造としたことを特徴とする洩れ検査装置。
- 請求項1又は2の何れかに記載の洩れ検査装置において、上記整列手段は格納部の配列方向と直交する方向と配列方向と平行する方向とに駆動する駆動手段によって移動し、被検査体を上記格納部に格納する毎に上記直交する方向に移動して後に配列方向と平行する方向に移動し、その後再び上記直交する方向に逆向に移動することを繰返して全ての格納部に被検査体を格納することを特徴とする洩れ検査装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載の洩れ検査装置において、上記無終端搬送手段は円盤形状の回転テーブルによって構成され、この回転テーブルに等角間隔に上記下カプセル板を3個装着したことを特徴とする洩れ試験装置。
- 請求項1乃至4の何れかに記載の洩れ検査装置において、上記上カプセル板を貫通し、各検査カプセルとマスタカプセルに連通したパイプのそれぞれをエアリークテスタの1台ずつに接続したことを特徴とする洩れ検査装置。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の洩れ検査装置において、エアリークテスタに用いる圧縮気体をヘリウムガスとしたことを特徴とする洩れ検査装置。
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