JP5271096B2 - リークテスト装置 - Google Patents
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Description
例えば特許文献1の図11に開示されているリークテスト装置では、インデックステーブル上において、4つの群(複数群)のワークカプセルが周方向に90°間隔で配置されている。各群は、複数例えば4つのワークカプセルを含んでいる。
各群のワークカプセルが搬出・搬入位置にある時、テスト済のワークがワークカプセルから回収部へと搬出され、新たなワークが供給部からワークカプセルへ搬入される。
上記構成によれば、ある群のワークカプセルがリークテストを受けている際、他の群のワークカプセルを移動させることができるので、ワーク搬出、搬入に便宜を図ることができ、構造上の種々の改良が可能となる。
この構成によれば、上記テーブル本体はホルダに対して回動のみを負担すればよく、ホルダを安定して回動させることができる。
この構成によれば、比較的簡単な構造でホルダの支持及び案内を行うことができる。
この構成によれば、連結機構と解除機構を分けたことにより、ホルダや回転テーブルに駆動手段を装備せずに済む。
この構成によれば、テスト位置のホルダの静止状態を安定して維持できる。
この構成によれば、ワークの搬出と搬入を位置をずらして独立した機構で行う装置において、ワークカプセル群の数を減らすことができる。
この構成によれば、ワーク搬出手段の第1吸着ノズルの数を減らすことができ、しかも第1吸着ノズルの移動軌跡がワークカプセル毎に同じであるので第1移動手段の構成および制御を簡略化することができる。
この構成によれば、ワーク搬入手段の第2吸着ノズルの数を減らすことができ、しかも第2吸着ノズルの移動軌跡がワークカプセル毎に同じであるので第2移動手段の構成および制御を簡略化することができる。
上記構成によれば、ワーク搬出期間と、ワーク搬入期間が一部重なるので、ワークの搬出、搬入に要する時間を短縮できる。
上記構成によれば、2種のリークテストを行う場合において、ホルダの数、ひいてはワークカプセル群の数を3つに減らすことができる。しかも、リークテスト終了後のワークカプセル群の再配置を迅速に行うことができる。
上記構成によれば、1種のリークテストを行う場合において、ホルダの数、ひいてはワークカプセル群の数を2つにすることができる。しかも、リークテスト終了後のワークカプセル群の再配置を迅速に行うことができる。
この構成によれば、ワーク搬出・搬入手段の構造を簡単にすることができる。
図2に示すように、保持部15bの上面には凹部すなわちワークカプセル16が形成されており、ワークWが収容されるようになっている。なお、保持部15bの上面にはワークカプセル16を囲むOリング17が設けられている。
エアシリンダ51が作動して第2位置になると、作動部材52が下降して上記ストッパ44に当たり、係合シャフト42をコイルバネ43に抗して押し下げる。これにより、係合シャフト42の上端部と第1係合穴45との係合が解除され、これにより、テーブル本体11が回動してもホルダ12は一緒に回動せず、静止状態を維持される。
上記3つの連結機構40と上記2つの解除機構50は協働して、3つのホルダ12をテーブル本体11に対して選択的に連結、連結解除するための連結制御手段を構成している。
上記押し上げ機構65は、エアシリンダ65aと、このエアシリンダ65aによって昇降する押し上げ部材65bとを有している。通常、押し上げ部材65bは上記昇降体15、62の下方に離れて位置している。エアリークテストを開始する際には、エアシリンダ65aを作動させて押し上げ部材65bを上昇させ、昇降体15、62を押し上げる。これにより、ワークカプセル16、マスタカプセル63を通路ブロック64の受部64a,64bでそれぞれ密閉する。
上記吸着ノズル81が上記特定搬出点Paに位置するワークカプセル16からワークWを吸着した後、上記ノズル移動機構82が吸着ノズル81を上記湾曲軌跡を経て上記特定回収点Pbへと移し、この特定回収点Pbで吸着ノズル81がワークWの吸着を解除して、ワークWを落下させる。ボックス移動機構87は、漏れの有無の判定結果に基づいて回収ボックス86を移動させ、良品判定の場合はワークWの落下地点(特定回収点Pb)に室86aを位置させ、不良品判定の場合は室86bを位置させる。
上記吸着ノズル91が上記特定供給点Pcに位置するワークWを吸着した後、上記ノズル移動機構92が吸着ノズル81を上記湾曲軌跡を経て上記特定搬入点Pdへと移し、この特定搬入点Pdで吸着ノズル81がワークWの吸着を解除することにより、特定搬入点Pdに位置するワークカプセル16にワークWを搬入する。
図4(A)は、リークテスト終了後に3つのホルダ12X〜12Zをテーブル本体11に連結して互いに90°間隔維持したまま、90°回動させた直後の状態を示す。この回動により、ホルダ12Xはヘリウムリークテスト位置P2から1番目の搬出位置P3に至り、ホルダ12Yはエアリークテスト位置P1からヘリウムリークテスト位置P2に至り、ホルダ12Zは準備位置P5からエアリーク位置P1に至る。
次に、図4(B)に示すように、上記ホルダ12Y、12Zでヘリウムリークテスト、エアリークテストを実行している最中に、テーブル本体11を、ワークカプセル16間の角度間隔に相当する6°だけ回動させる。この際、ホルダ12Xではテーブル本体11と連結されているので、テーブル本体11と一緒に回動するが、ホルダ12Y、12Zではテーブル本体11との連結が解除され、支持部材32と連結されているため、静止状態を維持される。図4(B)の状態で、特定搬出点Paに位置するホルダ12Xの2番目のワークカプセルからワークWが搬出される。
それ以降は、例えば図4(D)に示すようにテーブル本体11およびホルダ12Xを6°回転して停止する度に、搬入点Pdに位置するホルダ12Xの6,7,8番目のワークカプセルにワークWを搬入する。
その後で、ホルダ12X、12Zとテーブル本体11との連結が解除され、前述と同様にしてリークテストが実行される。このリークテストの間に、ホルダ12YでワークWの搬出と搬入が実行される。
以後、同様の動作を繰り返し実行する。
本実施例では、エアリークテスト位置P1と1番目の搬出位置P3が90°離れ、準備位置P5がエアリークテスト位置P1と90°離れ、1番目の搬出位置P3と180°離れている。
他の作用は実施例1と同様であるので説明を省略する。
実施例1において、実施例2と同様のパーツフィーダを用いてもよい。この場合、ヘリウムボンビングを済ませたワークをパーツフィーダに供給しておく。
実施例1において、キャリアをロッド形状にし、このキャリ・BR>Aにワークをセットした状態でヘリウムボンビングを行うようにしているが、キャリアは矩形のパレット状にしてもよい。この場合、キャリアは2次元的に移動される。
連結機構はテーブル本体に設けてもよい。また、連結制御手段の全ての構成要素をホルダに設けてもよい。
10 インデックステーブル
11 テーブル本体
12 ホルダ
16 ワークカプセル
20 モータ(回転駆動手段)
30 ガイド機構
33 レール
34 スライダ
40 連結機構(連結制御手段)
42 係合シャフト
43 コイルスプリング(付勢手段)
45 第1係合穴
46 第2係合穴
50 解除機構(連結制御手段)
51 エアシリンダ51(駆動手段)
52 作動部材
60 エアリークテスト機構(第1リークテスト手段)
70 ヘリウムリークテスト機構(第2リークテスト手段)
80 ワーク搬出機構(ワーク搬出・搬入手段)
81 吸着ノズル(第1吸着ノズル)
82 ノズル移動機構(第1移動手段)
85 回収部
90 ワーク搬入機構(ワーク搬出・搬入手段)
91 吸着ノズル(第2吸着ノズル)
92 ノズル移動機構(第2移動手段)
Claims (13)
- (ア)インデックステーブルと、
(イ)インデックステーブル上において、周方向に複数群に分かれて配置され、各群が複数の所定数からなるワークカプセルと、
(ウ)上記インデックステーブルを回転軸線を中心として回転駆動させることにより、各群のワークカプセルを、少なくとも1つのテスト位置と、非テスト位置に、順に繰り返し位置させる回転駆動手段と、
(エ)上記テスト位置にある1群のワークカプセルに収容されたワークに対して、ワークカプセルを密閉した状態で一度にリークテストを実行するリークテスト手段と、
(オ)上記非テスト位置にあるワークカプセル群からインデックステーブル外の回収部へとリークテスト済のワークを搬出するとともに、非テスト位置にあるワークカプセル群にインデックステーブル外の供給部から新しいワークを搬入するワーク搬出・搬入手段と、
を備えたリークテスト装置において、
上記インデックステーブルは、上記回転駆動手段により回転駆動されるテーブル本体と、このテーブル本体と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダとを有し、各ホルダに上記ワークカプセルが1群ずつ配置され、
さらに連結制御手段を備え、この連結制御手段は、上記複数のホルダを上記テーブル本体に対して選択的に連結したり連結解除し、上記テスト位置にあるホルダをテーブル本体に対して連結解除するとともに上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体に連結することにより、上記テスト位置にあるホルダを静止させたままで上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体と一緒に回動可能にすることを特徴とするリークテスト装置。 - さらにガイド機構を備え、このガイド機構は、上記ホルダを支持するとともに、上記回転軸線を中心とする円の軌跡に沿って案内することを特徴とする請求項1に記載のリークテスト装置。
- 上記ガイド機構が、上記回転軸線を中心とする円環形状のレールと、各ホルダに設けられこのレールに沿って走行するスライダとを有することを特徴とする請求項2に記載のリークテスト装置。
- 上記連結制御手段は、上記ホルダ毎に設けられた連結機構と、テスト位置に対応して設けられた解除機構とを備え、
上記連結機構は、上記テーブル本体に形成された第1係合穴に対して挿入離脱される係合シャフトと、この係合シャフトを第1係合穴への挿入位置に向かって付勢する付勢手段とを有し、この係合シャフトの第1係合穴への挿入により、上記ホルダとテーブル本体との連結が得られるようになっており、
上記解除機構は、通常時には係合シャフトと干渉しない位置にある作動部材と、この作動部材を移動させて係合シャフトに係合させるとともにこの係合シャフトを上記第1係合穴から離脱させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のリークテスト装置。 - 上記テーブル本体に対向して支持部材が固定位置に配置され、この支持部材に第2係合穴が形成されており、上記係合シャフトは上記第1係合穴から離脱した時に上記第2係合穴に挿入されることを特徴とする請求項4に記載のリークテスト装置。
- 上記回転駆動手段は、上記非テスト位置のホルダを、リークテストの最中に、少なくとも1つの搬出位置から少なくとも1つの搬入位置へと回動させ、
上記ワーク搬出・搬入手段は、上記搬出位置にあるホルダのワークカプセル群から上記回収部へワークを搬出するワーク搬出機構と、上記供給部から上記搬入位置にあるホルダのワークカプセル群へワークを搬入するワーク搬入機構とを有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のリークテスト装置。 - 全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第1角度ずつ離れて配置され、
上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第1角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬出位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬出点に順に位置させるようにし、
上記ワーク搬出機構は、上記整数に相当する数の第1吸着ノズルと、この第1吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第1移動手段とを有し、上記特定搬出点にあるワークカプセル内のワークを上記第1吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記回収部の特定回収点で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダからのワークの搬出を完了することを特徴とする請求項6に記載のリークテスト装置。 - さらに上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第1角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬入位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬入点に順に位置させるようにし、
上記ワーク搬入機構は、上記整数に相当する数の第2吸着ノズルと、この第2吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第2移動手段とを有し、上記供給部の特定供給点にあるワークを上記第2吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記特定搬入点にあるワークカプセル上で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダへのワークの搬入を完了することを特徴とする請求項7に記載のリークテスト装置。 - 上記ホルダは、所定の角度にある時に、上記搬出位置の1つに位置するとともに上記複数の搬入位置の1つに位置し、これにより、上記ホルダの1群のワークカプセルのうち、上記整数に相当する数のワークカプセルが上記特定搬出点に位置するとともに、上記整数に相当する数の他のワークカプセルが上記特定搬入点に位置し、上記ワーク搬出機構によるワーク搬出と上記ワーク搬入機構によるワーク搬入が同時に行われることを特徴とする請求項8に記載のリークテスト装置。
- 上記整数が1または2であることを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載のリークテスト装置。
- 上記複数のホルダが3つのホルダを含み、
上記少なくとも1つのテスト位置は、第1テスト位置と第2テスト位置とを含み、さらに準備位置が設定され、
上記準備位置と、第1テスト位置と、第2テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第2角度ずつ離れており、
上記回転駆動手段は、第1,第2テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、
リークテストが終了した後、上記連結制御手段が第1テスト位置および第2テスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回転駆動手段が全てのホルダを上記第2角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダを第1テスト位置へ、第1テスト位置にあるホルダを第2テスト位置へ、第2テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載のリークテスト装置。 - 上記複数のホルダが2つのホルダを含み、上記少なくとも1つのテスト位置は、単一のテスト位置を含み、さらに準備位置が設定され、
上記準備位置と、テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第2角度ずつ離れており、
上記回転駆動手段は、テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、
リークテストが終了した後、上記連結制御手段がテスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回転駆動手段が全てのホルダを上記第2角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダをテスト位置へ、テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載のリークテスト装置。 - 全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第1角度ずつ離れて配置され、
上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第1角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の位置で停止させることにより、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定点に順に位置させ、この特定点においてワーク搬出・搬入手段によるワークの搬出、搬入を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のリークテスト装置。
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