KR101074620B1

KR101074620B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템

Info

Publication number: KR101074620B1
Application number: KR1020087008089A
Authority: KR
Inventors: 긴야 기소다
Original assignee: 쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2005-10-07
Publication date: 2011-10-17
Also published as: EP1933351A4; US20090233515A1; WO2007043159A1; CN101278370A; EP1933351A1; JPWO2007043159A1; KR20080052645A

Abstract

과제

플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널을 거의 전자동화하여 제조하는 것이 가능한 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템을 제공한다.

해결 수단

폐쇄 루프(closed-loop) 형상의 순환 경로(1)와, 순환 경로상을 이동하는 복수의 카트(2)와, 카트에 마련된 기판 탑재부와, 카트에 마련되며 배기관이 장착되는 배기관 장착부와, 카트에 마련되며 배기관 장착부에 접속된 배기 장치와, 순환 경로에 설비되며 밀봉 처리 및 배기 처리가 행해지는 열처리로(8)와, 순환 경로에 설비된 로더·언로더부(9)와, 로더·언로더부에 기판이나 배기관을 반입하는 컨베이어(10, 11)와, 로더·언로더부에 마련되며 제어 정보로 기초하여 동작되고 패널 제조 작업을 행하는 로봇(12~15)과, 로더·언로더부로부터 패널을 반출하는 컨베이어(16)와, 이들 로봇 등을 제어하는 제어반(17~20)을 구비하였다.

로더·언로더부, 패널, 카트, 기판 탑재부, 배기 장치, 열처리로, 순환 경로

Description

플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템{PANEL-MANUFACTURING SYSTEM FOR PLASMA DISPLAY PANEL OR THE LIKE}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널을 거의 전자동화하여 제조하는 것이 가능한 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템에 관한 것이다.

본원 출원인은 지금까지 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템에 관하여 부분적이지만, 예를 들어 특허문헌 1~5에 개시되어 있는 바와 같은 자동화 기술을 여러 종류 출원하고 있다.

특허문헌1: 일본국 특개2002-175758호 공보

특허문헌2: 일본국 특개2002-324486호 공보

특허문헌3: 일본국 특개2003-123648호 공보

특허문헌4: 일본국 특개2003-141994호 공보

특허문헌5: 일본국 특개2003-146409호 공보

발명이 해결하고자 하는 과제

종래의 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널의 제조 시스템에 있어서는, 상기 특허문헌 1~5 등에 기초하여, 부분적인 자동화를 달성되고 있으나, 조립 재료인 기판이나 배기관의 반입에서부터 카트로의 탑재와 탑재에 수반하는 기판에의 배기관의 배치, 그 후의 열처리로(熱處理爐) 내에서의 가열처리 및 배기 처리 후의, 배기관의 봉지(封止) · 절단 처리, 그리고 제품화된 패널의 반출 등, 이들 각종 작업을 일관한 자동 제어하에 일련으로 행하는 것이 가능한 제조 시스템의 고안이 요망되고 있었다.

즉, 종래는 기판 등의 카트에 대한 탑재로부터 제품화된 패널의 반출까지를 일관된 자동 제어로 연속적으로 제조할 수 있는 시스템은 존재하지 않고, 통상은 수동에 의해 세팅을 행하는 배치(batch)식 시스템이며, 그리고 특히, 제조 프로세스에 있어서 기판이 카트상에서 상대적인 변위를 일으키는 일이 많이 있어서, 배기관과 기판의 상대 위치를 고정 유지하는 것이 곤란하여, 이 때문에 전자동화를 달성하지 못하고, 결국, 수율의 개선이나 생력(省力)화, 양산화의 면에 있어서 한계가 있었다.

본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널을 거의 전자동화하여 제조하는 것이 가능한 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명에 관련되는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템은, 폐쇄 루프 형상으로 형성된 순환 경로와, 이 순환 경로상을 주행·정지를 반복하면서 순차적으로 이동하는 복수의 카트와, 이들 카트에 마련되며 서로 겹쳐진 적어도 1세트의 한 쌍의 기판이 탑재되는 기판 탑재부와, 이들 카트에 설치되고 배기관이 상기 한 쌍의 기판의 한쪽에 대면하도록 하여 착탈이 자유롭게 장착되는 배기관 장착부와, 이들 카트에 설치되며 상기 배기관 장착부에 접속되어 상기 배기관을 통하여 배기 처리를 행하는 배기 장치와, 상기 순환 경로에 설비되며 주행하는 상기 카트상의 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판 상호의 접합 및 상기 배기관의 이 기판으로의 접합을 위해 열처리를 행하는 동시에, 이 카트의 상기 배기 장치에 의해 이 기판 사이로부터의 배기 처리가 이루어지는 열처리로와, 상기 순환 경로에 상기 카트의 주행 방향을 따라서 상기 열처리로와 인접시켜 설비된 로더·언로더부와, 이 로더·언로더부에 서로 겹친 상기 한 쌍의 기판이나 상기 배기관을 반입하는 반입계와, 상기 로더·언로더부에 설치되며 제어 정보에 기초하여 동작되고 상기 열처리로에 장입(裝入)되는 상기 카트에 대해, 상기 배기관 장착부 및 상기 기판 탑재부로의 상기 배기관 및 상기 한 쌍의 기판의 공급을 행하는 동시에, 이 열처리로부터 추출된 이 카트에 대해, 이 기판과 접합되어 있는 이 배기관의 봉지·절단 및 절단후에 잔류하는 이 배기관의 철거와, 이 배기관이 절단되어 완성된 패널의 언로딩을 행하는 작업 로봇과, 상기 로더·언로더부로부터 상기 패널을 반출하는 반출계와, 이들 카트, 배기 장치, 열처리로, 반입계, 작업 로봇 및 반출계를 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 카트는, 특히 플라스마 디스플레이 패널을 제조하는 경우에는, 배기 처리후이며 상기 배기관의 봉지·절단 전에, 상기 배기관 장착부의 이 배기관을 통하여, 상기 한 쌍의 기판 사이에 방전 가스를 주입하기 위한 방전 가스 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 배기 장치는 배기 펌프와, 배기되도록 개폐가 자유롭게 개방되는 배기 밸브와, 상기 한 쌍의 기판간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 상기 배기 밸브를 폐쇄하는 배기 밸브 컨트롤러를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 방전 가스 공급 장치는 방전 가스 공급원과, 이 방전 가스 공급원으로부터 상기 배기관에 방전 가스를 공급하도록 개폐가 자유롭게 개방되는 공급 밸브와, 상기 한 쌍의 기판간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 상기 공급 밸브를 폐쇄하는 공급 밸브 컨트롤러를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 각 카트마다 주행·정지 조작을 행하는 것이 가능한 구동 기구를 구비하는 동시에, 정지한 상기 카트를 상기 순환 경로에 대해 고정 상태로 하기 위해, 이 카트에 결합과 분리가 자유롭게 결합하는 록크 장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단은, 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판의 상기 기판 탑재부에 대한 탑재 조작과 동시에 한쪽의 이 기판에 상기 배기관을 대면시키는 조립을 완료하기 위해, 이 배기관을 상기 배기관 장착부에 장착한 후에, 상기 한 쌍의 기판을 상기 기판 탑재부에 탑재하도록 상기 작업 로봇을 제어하는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단은, 자동 제어로 상기 배기관을 상기 반입계로부터 상기 카트의 상기 배기관 장착부에 공급하기 위해, 이 카트의 실(實) 정지 위치 정보 및 이 배기관 장착부의 이 배기관의 실(實) 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 장착 위치 정보에 기초하여, 상기 작업 로봇에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보를 출력하는 공급 동작 설정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 공급 동작 설정 수단은 미리 설정되어 있는 상기 카트의 기준 정지 위치 정보에 기초하여 실 정지 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 정지 위치에 대한 실 정지 위치의 편차로부터 상기 카트의 정지 위치를 수정하며, 미리 설정되어 있는 카트 정지 위치로부터의 상기 배기관 장착부의 기준 설치 위치 정보에 기초하여 실 설치 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 설치 위치에 대한 실 설치 위치의 편차로부터 상기 배기관 장착부의 설치 위치를 수정하며, 상기 배기관의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 장착 위치에 대한 실 장착 위치의 편차로부터 이 배기관의 장착 위치를 수정하며, 수정한 수정 공급 동작을 상기 작업 로봇에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보로서 출력하는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 배기관을 상기 반입계로부터 꺼내기 위해, 꺼냄 대기 위치에 있어서의 이 배기관의 실 대기 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 대기 상태 정보에 대한 실 대기 상태 정보의 편차에 기초하여 꺼냄 동작을 수정하며, 수정한 수정 꺼냄 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 꺼냄 동작 수정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 배기관을 상기 배기관 장착부에 장착하기 위해, 이 작업 로봇에 의한 이 배기관의 실 파지 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 파지 상태 정보에 대한 실 파지 상태 정보의 편차에 기초하여 장착 동작을 수정하고, 수정한 수정 장착 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 장착 동작 수정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 배기관 장착부는, 상기 배기 장치에 연통시켜 형성되며 상기 배기관을 위를 향하여 장착하기 위한 장착 구멍과, 이 장착 구멍에 설치되며 상기 배기관에 접리(接離) 가능하게 압접되어 이 배기관의 주위를 기밀하게 실링(sealing)하는 환상(環狀) 실(seal)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 환상 실 상태 변화에 관계없이 항상 상기 배기관을 위쪽으로부터 탑재되는 상기 한 쌍의 기판의 한쪽에 압접시키기 위해, 상기 배기관 장착부를 상하 방향으로 이동이 자유롭게 하는 상하 슬라이드 기구를 구비하는 동시에, 상기 배기관 장착부를 위쪽을 향하여 부세(附勢)하는 부세 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 기판 탑재부에는, 복수의 칸막이부에 의해서 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판을 개별적으로 장입하는 기판 장입용 공간이 형성되는 동시에, 상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 각 한 쌍의 기판을 상기 기판 탑재부에 탑재하기 위해, 상기 기판 장입용 공간의 치수를 화상 정보로서 취득하고, 취득된 치수 정보에 기초하여, 상기 한 쌍의 기판의 상기 기판 장입용 공간으로의 장입 여부의 제어 정보를 출력하는 장입 조작 판정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단은, 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 반입계로부터 공급되는 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판의 통기 구멍을 상기 카트의 상기 배기관 장착부의 상기 배기관에 합치시키기 위해, 이 배기관 장착부에 장착된 이 배기관의 중심 위치 정보 및 이 한 쌍의 기판의 탑재 대기 위치에 있어서의 이 통기 구멍의 중심 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 중심 위치 정보를 이용하여, 미리 상기 작업 로봇에 설정되어 있는 상기 한 쌍의 기판을 탑재 대기 위치로부터 상기 기판 탑재부에 공급하는 기준 탑재 동작에 의한 상기 배기관과 상기 통기 구멍의 중심 위치의 오차를 산출하고, 오차에 기초하여 수정한 수정 탑재 동작을 제어 정보로서 출력하는 탑재 동작 수정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 기판 탑재부는 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판을 복수 개소에서 개개로 지지하는 복수의 서포트를 구비하며, 이들 복수의 서포트 가운데, 상기 배기관에 근접하는 적어도 하나의 근접 위치 서포트를 제외한 다른 원격 위치 서포트는, 상기 한 쌍의 기판을 이 근접 위치 서포트에 비해서 상대 이동하기 쉽게 지지하는 것을 특징으로 한다.

상기 원격 위치 서포트는 요동 가능한 것을 특징으로 한다.

상기 원격 위치 서포트는 전동 축심이 상기 배기관의 중심 위치 방향과 직교시켜서 배치되고, 그 위에 상기 한 쌍의 기판을 지지하는 롤러 기구로 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단에 의한 자동 제어로 2 분할로 개폐가 자유롭게 작동되고, 상기 배기관의 봉지·절단을 행하기 위해 닫혀져 이 배기관 주위를 둘러싸는 히터를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단에 의한 자동 제어로 작동되고, 상기 배기관의 봉지·절단을 행하기 위해서, 이 배기관을 용융시키는 버너 및 이 배기관을 연신시킬 수 있도록 상기 배기관 장착부를 하강시키는 하강 수단이 구비되는 것을 특징으로 한다.

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 패널을 상기 카트의 상기 기판 탑재부로부터 상기 반출계에 언로딩하기 위해서, 이 카트의 실 정지 위치 정보 및 이 패널의 실 탑재 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 탑재 위치 정보에 기초하여, 상기 작업 로봇에 의한 상기 패널의 언로더 동작의 제어 정보를 출력하는 언로드 동작 설정 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

발명의 효과

본 발명에 관련되는 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템에 있어서는, 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널을 거의 전자동화하여 제조할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관련된 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템의 바람직한 일실시 형태의 전체 구성을 나타내는 개략 평면도이다.

도 2는 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 카트를 설명하는 도면이다.

도 3은 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 열처리로의 온도 커브를 나타내는 그래프도이다.

도 4는 도 2의 카트에 마련되는 배기 장치 등을 나타내는 개략 구성도이다.

도 5는 도 2의 카트의 주행 기구의 개략 구성을 나타내는 설명도이다.

도 6은 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 배기관 장착부 등을 나타내는 측 단면도이다.

도 7은 도 6 중, D-D선 시시(矢線) 개략 단면도이다.

도 8은 도 6의 배기관 장착부에 대한 배기관 장착 조작의 제1 단계를 나타내는 측단면도이다.

도 9는 도 6의 배기관 장착부에 대한 배기관 장착 조작의 제2 단계를 나타내는 측단면도이다.

도 10은 도 6의 배기관 장착부의 배기관상에 기판을 탑재 조작하는 제1 단계를 나타내는 측단면도이다.

도 11은 도 6의 배기관 장착부의 배기관상에 기판을 탑재 조작하는 제2 단계를 나타내는 측 단면도이다.

도 12는 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 배기관 장착부 등의 다른 예를 나타내는 개략 측면도이다.

도 13은 배기관의 트레이에 대한 배열 상태를 나타내는 개략 측면도이다.

도 14는 배기관의 트레이에 대한 배열 상태의 다른 예를 나타내는 개략 측면도이다.

도 15는 도 6의 배기관 장착부 등의 카트에의 장착 상태를 나타내는 측면도이다.

도 16은 도 15에 나타난 배기관 장착부 등의 카트에 대한 장착 상태의 평면도이다.

도 17은 도 6의 배기관 장착부의 화상 정보를 취득하고 있는 상태를 나타내 는 측면도이다.

도 18은 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 배기관의 화상 정보를 취득하고 있는 상태를 나타내는 측면도이다.

도 19는 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 다른 배기관의 화상 정보를 취득하고 있는 상태를 나타내는 측면도이다.

도 20은 기판과 기판 탑재부의 변형 상태와의 관계를 설명하는 설명도이다.

도 21은 기판의 기판 탑재부에 대한 순서를 설명하는 플로차트도이다.

도 22는 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 기판의 통기 구멍의 화상 정보를 취득하고 있는 상태를 나타내는 측면도이다.

도 23은 도 22에 나타낸 기판의 통기 구멍의 화상 정보를 취득하고 있는 상태의 평면도이다.

도 24는 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 기판 탑재부를 나타내는 측면도이다.

도 25는 도 24에 나타낸 기판 탑재부의 평면도이다.

도 26은 도 24의 기판 탑재부에 적용되는 원격 위치 서포트를 나타내는 확대 측면도이다.

도 27은 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 기판 탑재부의 다른 예를 나타내는 측면도이다.

도 28은 도 27에 나타난 기판 탑재부의 평면도이다.

도 29는 도 27에 나타난 기판 탑재부에 적용되는 원격 위치 서포트의 확대 측면도이다.

도 30은 도 29에 나타난 원격 위치 서포트의 확대 평면도이다.

도 31은 도 1의 패널 제조 시스템에 적용되는 배기관 밀봉 절단 장치를 나타내는 측면도이다.

도 32는 도 31에 나타난 배기관 밀봉 절단 장치의 작동을 설명하는 평면도이다.

<부호의 설명>

1 순환 경로

2 카트

3 기판

4 기판 탑재부

5 배기관

6 배기관 장착부

7 배기 장치

8 열처리로

9 로더· 언로더부

10 기판 반입용 컨베이어

11 배기관 반입용 컨베이어

12 배기관 핸들링 로봇

13 기판 탑재 로봇

14 배기관 밀봉 절단 로봇

15 패널 언로딩 로봇

16 패널 반출용 컨베이어

17 카트 제어반

18 로 제어반

19 로봇 제어반

20 메인 제어반

26 록크 장치

27 구동 바

28 결합부

29 돌기

33 서포트 빔

34 서포트

34a 근접 위치 서포트

34b 원격 위치 서포트

36 기판의 통기 구멍

39 배기 펌프

40 배기 밸브

42 방전 가스 공급 장치

43 방전 가스 공급원

44 공급 밸브

50 밸브 컨트롤러

53 장착 구멍

54 고리 형상 실

55 스프링

56 슬라이드 가이드

65 지레

72 롤러

73 지지면

S 기판 장입용 공간

T 전동 축심

이하에, 본 발명에 관련되는 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템의 바람직한 일실시형태를 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 실시형태에 관련되는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템은 개략적으로는 도 1~도 4에 나타내는 바와 같이, 폐쇄 루프 형상으로 형성된 순환 경로(1)와, 순환 경로(1)상을 주행·정지를 반복하면서 순차적으로 이동하는 복수의 카트(2)와, 이들 카트(2)에 설치되고 겹쳐진 적어도 1세트의 한 쌍의 기판(3,3)이 탑재되는 기판 탑재부(4)와, 이들 카트(2)에 마련되고 배기관(5)이 한 쌍의 기판(3)의 한쪽에 대면하도록 하여 착탈이 자유롭게 장착되는 배기관 장착부(6)와, 이들 카트(2)에 설치되고 배기관 장착부(6)에 접속되어 배기관(5)을 통하여 배기 처리를 행하는 배기 장치(7)와, 순환 경로(1)에 설비되고 주행하는 카트(2)상의 적어도 1세트의 한 쌍의 기판(3) 상호의 접합 및 배기관(5)의 기판(3)에 대한 접합을 위해서 열처리를 행하는 동시에, 카트(2)의 배기 장치(7)에 의해 배기관(5)을 통하여 한 쌍의 기판(3)사이로부터의 배기 처리가 행해지는 열처리로(8)와, 순환 경로(1)에 카트(2)의 주행 방향을 따라서 열처리로(8)와 인접시켜 설비된 로더·언로더부(9)와, 로더 ·언로더부(9)에 겹친 한 쌍의 기판(3)이나 배기관(5)을 반입하는 반입계로서의 기판 반입용 컨베이어(10) 및 배기관 반입용 컨베이어(11)와, 로더·언로더부(9)에 설치되고 제어 정보에 기초하여 동작되며, 열처리로(8)에 장입되는 카트(2)에 대해 배기관 장착부(6) 및 기판 탑재부(4)로의 배기관(5) 및 한 쌍의 기판(3)의 공급을 행하는 동시에, 열처리로(8)로부터 추출된 카트(2)에 대해, 기판(3)과 접합되어 있는 배기관(5)의 봉지·절단 및 절단후에 잔류하는 배기관(5)의 철거와, 배기관(5)이 절단되어 완성된 패널의 언로딩을 행하는 작업 로봇(12~15)과, 로더·언로더부(9)로부터 패널을 반출하는 반출계로서의 패널 반출용 컨베이어(16)와, 이들 카트(2), 배기 장치(7), 열처리로(8), 반입계인 기판 반입용 컨베이어(10), 배기관 반입용 컨베이어(11), 작업 로봇(12~15), 및 반출계인 패널 반출용 컨베이어(16)를 제어하는 제어 수단(17~20)을 구비하여 구성된다.

로더·언로더부(9)는 순환 경로(1)를 이동하는 카트(2)의 주행 방향에서 보면, 열처리로(8)와 인접한 관계에 있으며, 카트(2)에 대한 기판(3)이나 배기관(5)의 공급 작업이나, 카트(2)로부터의 제품화된 패널의 언로드 작업을 행하는 장소로 서 마련된다. 로더·언로더부(9)에는 반입계로서, 프릿 실(frit seal)을 통하여 겹쳐진 상태의 한 쌍의 기판(3)을 반입하는 기판 반입용 컨베이어(10)나, 프릿 실(21)이 상단에 설치된 배기관(5)을 반입하는 배기관 반입 컨베이어(11)와, 반출계로서 완성된 패널을 반출하는 패널 반출용 컨베이어(16)가 설치된다. 카트(2)는 열처리로(8)로부터 추출된 패널이 반출된 후, 새롭게 기판(3)과 배기관(5)이 공급되고 다시 열처리로(8)로 장입된다.

또 로더·언로더부(9)에는, 각종 작업을 행하는 작업 로봇(12~15)이 적절히 배치된다. 구체적으로는, 열처리로(8)의 장입구(8a)측에는, 해당 열처리로(8)를 향하는 카트(2)의 주행 방향을 따라서 카트(2)에 대한 배기관(5)이나 기판(3)의 조립 순서에 따라, 배기관 핸들링 로봇(12)과 기판 탑재 로봇(13)이 순차적으로 마련된다. 배기관 핸들링 로봇(12)은 배기관(5)을 배기관 반입용 컨베이어(11)로부터 카트(2)의 배기관 장착부(6)에 공급하고, 기판 탑재 로봇(13)은 겹쳐진 한 쌍의 기판(3)을 기판용 반입 컨베이어(10)로부터 카트(2)의 기판 탑재부(4)에 공급한다. 또 열처리로(8)의 추출구(8b)측에는, 해당 열처리로(8)로부터 추출된 카트(2)의 주행 방향을 따라서 배기관 봉지 절단 로봇(14)과 패널 언로딩 로봇(15)이 순차적으로 마련된다.

배기관 봉지 절단 로봇(14)은 기판(3)에 접합되어 배기 처리에 이용된 배기관(5)을 봉지하고 또한 절단하는 동시에, 절단된 배기관(5)을 배기관 장착부(6)로부터 철거한다. 또 패널 언로딩 로봇(15)은, 배기관(5)이 절단됨으로써 완성된 패널을 카트(2)로부터 언로딩하여 패널 반출용 컨베이어(16)에 이송한다. 또한, 로 더·언로더부(9)에는 적절한 개소에 카트(2)의 주행이나 배기 장치(7) 등 카트(2)상의 각종 기기를 제어하는 카트 제어반(17), 열처리로(8)의 운전을 제어하는 로 제어반(18), 각종 로봇을 각각 제어하는 복수의 로봇 제어반(19), 그리고 기판(3)이나 배기관(5)의 반입용 컨베이어(10, 11)이나 패널 반출용 컨베이어(16)를 포함하는 설비 전체를 컨트롤하는 메인 제어반(20)이 마련된다.

순환 경로(1)는 공장 설비 내에 설치된다. 이 순환 경로(1)는 서로 평행하게 한 쌍 나란히 설치되고, 예를 들어 8개의 차륜(22)을 구비하는 카트(2)가 그 위를 주행하는 레일(23)과, 이들 레일(23)의 양단에 각각 마련되며 카트(2)를 레일(23) 상호간에 갈아타게 하는 한 쌍의 카트·천차대(Traverser)(24, 25)로부터, 전체적으로 직사각형 형상의 폐쇄 루프 형상으로 형성된다. 한 쌍의 레일(23)의 한쪽에는, 이를 따라서 열처리로(8)가 설치된다. 다른 한쪽의 레일(23)은, 열처리로(8)에 나란히 설치하는 배치로 설정된 로더·언로더부(9)를 따라서 설치된다.

이 순환 경로(1)에는 순차적으로 이동하는 복수의 카트(2)가 설치되고, 이들 카트(2)는 로더·언로더부(9)를 따라서 다른 한쪽의 레일(23)상을 주행 이동하며, 도면 중, 레일(23)의 좌단에 이르면, 카트(2)를 열처리로(8)에 장입하기 위한 장입용 카트·천차대(24)에 의해 한쪽의 레일(23)로 갈아타고, 그 후, 열처리로(8) 내를 경과하여 주행 이동하며, 도면 중, 레일(23)의 우단에 이르면, 카트(2)를 로더·언로더부(9)로 추출하기 위한 추출용 카트·천차대(25)에 의해 다른 한쪽의 레일(23)로 갈아타도록, 순환 경로(1)를 순환 이동하도록 되어 있다. 이들 카트(2)는, 주행과 정지를 반복하는, 이른바 택트 운전에 의해 순차적으로 로더·언로더 부(9)와 열처리로(8) 사이를 순환 경로(1)를 따라서 주행된다.

제조 공정의 자동 제어화를 위해, 본 실시형태에 관련되는 패널 제조 시스템에 있어서는, 각 카트(2)마다 주행·정지 조작을 행하는 것이 가능한 구동 기구를 구비하는 동시에, 정지한 카트(2)를 순환 경로(1)에 대해 고정 상태로 하기 위해서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 카트(2)에 결합과 분리가 자유롭게 결합하는 록크 장치(26)가 구비된다. 우선, 구동 기구에 대하여 설명하면, 각 레일(23)에는 복수의 카트(2) 아래에 일련으로 배치하고, 레일 방향으로 일정 스트로크로 반복적으로 전후진 구동되며, 또한 그 축 주위에 일정한 회전 각도로 반복적으로 정역전(正逆轉) 구동되는 구동 바(27)가 설치된다. 이 구동 바(27)에는, 각 카트(2) 아래에 설치한 결합부(28) 각각에 결합과 분리가 자유롭게 결합하는 복수의 돌기(29)가 형성된다.

구동 바(27)는, 각 카트(2)의 결합부(28) 각각에 각 돌기(29)가 결합된 상태에서 전진 방향으로 구동되고, 그 후 정지됨으로써, 복수의 카트(2) 개개를 동시에 일정 스트로크로 전진시키며, 그 후 정회전 방향으로 회전 구동됨으로써 결합부(28)로부터 돌기(29)가 이탈하고, 계속해서 카트(2)가 정지하고 있는 상태에서, 후진 방향으로 구동되어 정지되고, 재차 역회전 방향으로 회전 구동됨으로써 각 돌기(29)가 카트(2)의 결합부(28)에 각각 결합하며, 이 상태에서 재차 전진 방향으로 구동되는 동작이 반복되어, 복수의 카트(2) 개개를 주행·정지를 반복하면서 한꺼번에 일정 스트로크로 이동시키도록 되어 있다. 또, 카트(2)의 주행은 도 2에 나타내는 바와 같이, 그 좌우 방향이 사이드 가이드(30)로 안내된다.

그리고, 이 카트(2)의 정지시에 카트(2)의 정지 상태를 유지하기 위해, 이들 카트(2)의 정지 위치에 배치하고, 카트(2)의 결합부(28)에 결합과 분리가 자유롭게 결합하는 록크 장치(26)가 마련된다. 이 록크 장치(26)는, 예를 들어 레일(23) 측에 고정한 도시하지 않은 실린더 기구와, 이 실린더 기구에 의해 결합부(28)를 향하여 진퇴 구동되는 록크 편(31)으로 구성된다. 록크 편(31)은 실린더 기구에 의해, 카트(2)가 정지하여 구동 바(27)의 돌기(29)가 이탈함에 따라 결합부(28)에 결합하고, 또 돌기(29)가 결합함에 따라 결합부(28)로부터 이탈되도록 되어 있어, 이에 의해, 자동 제어에 편리하도록, 정지시의 카트(2)의 정지 상태를 유지할 수 있다. 카트(2)의 주행 기구는 랙 앤드 피니언((rack and pinion)을 이용한 자주식(自走式)으로 하는 경우도, 거의 같게 구성할 수 있다.

카트(2)에는 도 2 등에 나타내는 바와 같이 기판 탑재부(4)가 마련된다. 이 기판 탑재부(4)에는, 미리 서로 겹친 상태의 한 쌍의 기판(3)이 이것을 1세트로 하여 가로 방향으로 뉘이고, 혹은 세로 방향으로 세운 상태에서 복수 세트 탑재된다. 도시예에 있어서는, 복수의 기판(3)을 수평 상태로 다단으로 탑재하는 형식의 기판 탑재부(4)가 도시되어 있고, 이 기판 탑재부(4)는 카트(2) 상에 세워 설치된 4개의 지주(支柱)(32)와, 이들 지주(32)에 의해 지지된 복수의 서포트 빔(support beam)(33)과, 이들 서포트 빔(33)에 돌출 설치되어 각 기판(3)을 복수의 개소에서 지지하는 서포트(34)로 구성된다.

기판(3)은 유리제나 합성수지제, 금속제 등으로 형성된다. 한 쌍의 기판(3)은, 어느 쪽인가 한쪽 기판(3)의 바깥 둘레부에 프릿 실을 도포한 상태에서 다른 한쪽의 기판(3)을 겹치게 하고, 또한 도 6에 나타내는 바와 같이, 이들 기판(3)을 클립(35) 등의 지그(jig)로 끼워 넣어 일체화한 상태로 취급된다. 또, 어느 쪽인가 한쪽 기판(3)에는, 코너부 근방에 위치시키고, 열처리로(8) 내에서의 이들 기판(3) 간으로부터의 배기 처리를 위해, 또 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 때에는, 배기 처리 후의 방전 가스의 주입 등을 위해 배기관(5)이 접합되는 통기 구멍(36)이 형성된다.

카트(2)에는 또, 복수 탑재되는 기판(3)의 세트 수에 대응시켜 복수의 배기관 장착부(6)가 설치된다. 카트(2)상에는, 도 15 등에 나타내는 바와 같이, 기판 탑재부(4)의 외측으로서 기판(3)의 통기 구멍(36) 위치에 근접시켜 1개의 장착 기둥(37)이 설치되는 동시에, 이 장착 기둥(37)의 높이 방향으로 다단으로 돌출부(38)가 형성되고, 복수의 배기관 장착부(6)는 이들 돌출부( 38) 각각에 장착된다. 그리고, 각 배기관 장착부(6)에 배기관(5)이 각각 착탈이 자유롭게 장착된다. 배기관(5)은, 각 서포트(34)상에 지지되는 한 쌍의 기판(3) 중, 통기 구멍(36)을 갖는 기판(3)에 아래쪽으로부터 대면하도록 하고, 그 아래쪽 부분이 배기관 장착부(6)에 삽입되어서 장착된다. 이 배기관(5)에는, 해당 기판(3)에 면하는 상단에 프릿 실(21)이 도포되어 설치된다.

특히, 배기관(5)나 한 쌍의 기판(3)을 카트(2)에 공급하는 배기관 핸들링 로봇(12)나 기판 탑재 로봇(13)은, 자동 제어화에 적합한 공급 동작으로서 적어도 1세트의 한 쌍의 기판(3)의 기판 탑재부(4)에 대한 탑재 조작과 동시에 한쪽 기판(3)에 배기관(5)을 대면시키는 조립을 완료하기 위해, 배기관(5)을 배기관 장착 부(6)에 장착한 후에, 한 쌍의 기판(3)을 기판 탑재부(4)에 탑재하도록 로봇 제어반(19)에 의해 작동 제어된다.

이들 배기관 장착부(6)에는, 이에 장착한 배기관(5)을 이용하여 한 쌍의 기판(3) 사이로부터 배기 처리를 행하기 위해, 카트(2)에 탑재된 배기 장치(7)가 접속된다. 배기 처리는 열처리로(8) 내에서 카트(2)를 주행시키면서 행해진다. 배기 장치(7)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 배기 펌프(39)와, 배기되도록 개폐가 자유롭게 개방되는 배기 밸브(40)와, 한 쌍의 기판(3)간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 배기 밸브(40)를 폐쇄하는 컨트롤러(41)를 구바하여 배기 처리의 자동 제어가 달성된다.

또, 카트(2)는 필요에 따라서, 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 경우에 필요한 방전 가스를 기판(3) 사이에 주입하기 위해, 배기 처리후이며 배기관(5)의 봉지·절단의 전에, 배기관 장착부(6)의 배기관(5)을 통하여 한 쌍의 기판(3) 사이에 방전 가스를 주입하는 방전 가스 공급 장치(42)를 구비한다. 방전 가스 공급 장치(42)는 방전 가스 공급원(43)과, 방전 가스 공급원(43)으로부터 배기관(5)으로 방전 가스를 공급하도록 개폐가 자유롭게 개방되는 공급 밸브(44)와, 한 쌍의 기판(3)간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 공급 밸브(44)를 폐쇄하는 컨트롤러(41)를 구비하여 방전 가스 주입 작업의 자동화를 달성된다. 방전 가스의 주입을 행하지 않는 경우에는 배기 처리에 의해 중공(中空)의 패널이 형성되게 된다.

각 배기관 장착부(6)에는, 각각 전자식 개폐밸브(45)를 가지는 개별의 배관(46)을 통하여 헤더(47)가 접속되고, 이 헤더(47)에는, 배기 밸브(40)를 가지는 배기 배관(48)을 통하여 배기 펌프(39)가, 또 공급 밸브(44)를 가지는 급기 배관(49)을 통하여 봄베 등의 방전 가스 공급원(43)이 접속된다. 헤더(47)는 배기 펌프(39)나 방전 가스 공급원(43)으로, 복수 세트의 기판(3) 에 대한 배기 처리나 방전 가스 봉입 처리를 일괄하여 연속적으로 행하기 위해 설치된다. 컨트롤러(41)는 압력계(50)와 제어기(51)로 구성된다. 헤더(47)에는, 각 세트의 기판(3)간의 압력을 검지하기 위해 압력계(50)가 설치된다. 압력계(50)의 검지 출력은 제어기(51)에 출력되고, 제어기(51)는 각 밸브(40, 44)의 개폐나 배기 펌프(39)의 작동 등을 제어한다.

배기 처리에서는, 배기 밸브(40) 및 개별 배관(46)의 전자식 개폐 밸브(45)가 모두 개방되어 각 기판(3)간이 배기 펌프(39)와 연통되고, 각 기판(3)간은 10-4~10-7 Torr까지 배기된다. 방전 가스의 주입 처리에서는, 배기 펌프(39)가 정지되고 배기 밸브(40)가 닫히는 동시에, 공급 밸브(44)가 개방되고 방전 가스 공급원(43)으로부터, 예를 들어, Ne, Ar, Xe 등의 방전 가스가 기판(3) 사이에 400~700 Torr까지 주입된다.

배기 처리에 대해서는, 헤더(47)에 배기 배관(48) 및 급기 배관(49)에 대해 전환 가능하도록, 도시하지 않은 전자식 개폐밸브를 통하여 퍼지 가스 공급관을 접속하도록 하고, 배기 처리의 초기에 기판(3) 사이로부터 배기하고, 이어서 퍼지 가스를 기판(3) 사이에 공급하며, 그 후 재차 기판(3) 사이로부터 배기하는 퍼지 공정을 설정하도록 해도 된다.

열처리로(8)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 카트(2)의 이동 방향을 따르는 장입(裝入)구(8a)측으로부터 추출구(8b)측을 향하여 순차적으로, 각각 복수의 존으로 이루어진 밀봉 처리 블록(A), 배기 처리 블록(B), 및 냉각 처리 블록(C)으로 나누어 구성되며, 각 블록 A~C는 필요한 열처리 조작을 위해 다른 로(爐)내 온도로 설정되고, 열처리로(8) 내를 주행하는 카트(2)는 각 블록 A~C에서 해당 로내 온도의 로내 분위기에 노출된다. 열처리로(8)의 로 바닥에는, 로바닥 아래의 레일(23)에서 카트(2)를 주행시키기 위해, 전 길이에 걸쳐 개구부가 형성되는 한편, 카트(2)에는 해당 개구부를 봉쇄하는 단열 부재가 설치되고, 레일(23)상을 복수의 카트(2)가 서로 인접한 상태로 연속적으로 주행됨으로써, 해당 로 바닥의 개구부는 이들 카트(2)의 단열 부재에 의해 봉쇄된 상태가 된다.

순차적으로 밀봉 온도까지 로내 분위기가 상승되는 밀봉 처리 블록(A)과, 밀봉 온도보다 약간 낮은 배기 온도로 일정하게 유지되는 배기 처리 블록(B)에는, 로체 내에 설치한 순환 배플(baffle)에 의해 형성된 순환 통로에, 라디안트 튜브 버너(Radiant Tube Burner)나 또는 전열 히터 등의 열원이 배치되며, 로내 분위기는 열원에 의해 가열되면서 순환 팬에 의해 순환되어 기판(3) 등을 가열한다. 냉각 처리 블록(C)은 밀봉 처리 블록(A)이나 배기 처리 블록(B)에 있어서의 열원에 덧붙여, 외기 도입 개구 혹은 냉각 튜브 등의 냉각원이 구비된다. 밀봉 처리 블록(A)에서는, 프릿 실의 용융에 의해 한 쌍의 기판(3)끼리가 접합되고, 또 기판(3)에 배기관(5)이 접합되는 밀봉 처리를 달성되며, 배기 처리 블록에서는 배기 장치(7)에 의한 배기관(5)을 통한 배기 처리가 행해진다. 또, 열처리로(8)의 추출구(8b)와 추출용 카트·천차대(25) 사이에, 기판(3) 사이에 방전 가스를 주입하기 위한 방전 가스 주입 영역(52)이 형성된다.

이하, 대략 패널의 제조 공정에 따라서 자동 제어화에 바람직한 구성을 차례차례 설명한다. 우선, 자동 제어로 배기관(5)을 장착하는데 바람직한 배기관 장착부(6) 및 열처리로(8)에 있어서의 열처리의 영향을 고려하여, 배기관(5)을 유지하는 배기관 장착부(6)를 바람직하게 장착할 수 있는 구조에 대하여 설명한다.

도 6~도 11에 나타내는 바와 같이, 배기관 장착부(6)는 그 중심부에 개별 배관(46)을 통하여 배기 장치(7)에 연통시켜 형성되고, 배기관(5)을 위로 향하게 하여 장착하기 위한 장착 구멍(53)과, 장착 구멍(53)에 설치되고 배기관(5)에 접촉과 분리가 가능하게 압접되어 배기관(5)을 유지하면서, 그 주위를 기밀하게 밀봉하는 탄성 부재로 이루어진 중공의 환상 실(54)을 구비한다. 또, 환상 실(54)의 상태 변화에 관계없이 항상 배기관(5)을 위쪽으로부터 탑재되는 한 쌍의 기판(3)의 한쪽에 압접시키기 위해, 배기관 장착부(6)를 상하 방향으로 이동이 자유롭게 하는 상하 슬라이드 기구로서의 슬립 가이드(56)를 구비하는 동시에, 배기관 장착부(6)를 위쪽을 향하여 부세하는 부세 수단으로서의 스프링(55)을 구비한다.

배기 처리는, 하방부가 배기관 장착부(6)에 장착된 유리제 등의 배기관(5)의 상단을 기판(3)에 압압(押壓)한 상태에서, 열처리로(8) 내에서 가열함으로써 배기관(5)을 통기 구멍(36)에 접합한 후, 이 배기관(5)으로부터 배기관 장착부(6)를 통하여 기판(3) 사이로부터 배기를 행하도록 되어 있다. 배기관(5)을 기판(3)에 접합할 때에는, 배기관(5)의 상단을 기판(3)에 압압한 상태, 즉 배기관(5)에 적당한 압축 응력이 작용하고 있는 상태에서 가열하여 융착시킨다.

배기관 장착부(6)는 또한, 열처리시의 열에 대해 이 환상 실(54)을 냉각하기 위해 그 주위에 배열 설치된 환상 수냉 재킷(57)과, 환상 실(54)의 내부 공간에 연통된 에어 공급·배기관(58)과, 이것들을 상하로부터 끼우는 상부 단면 부재(59) 및 하부 단면 부재(60)를 구비하고, 배기관 장착부(6) 자체는, 상부 단면 부재(59)의 아래쪽에 설치된 스프링(55)을 통하여, 장착 기둥(37)의 돌출부(38)에 상하 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 61은 냉각수 공급관, 62는 냉각수 배출관이다. 배기관(5)은 접합측인 상단이 깔때기 형상으로 형성되고, 배기관(5)의 일정 지름의 하방부는 상부 단면 부재(59)의 개구로부터 환상 실(54)을 관통하여 장착 구멍(53) 내의 소정 위치에 배치된다. 이 상태에서, 에어 공급·배기관(58)으로부터 공급된 고압 에어에 의해 팽창한 환상 실(54)에 의해 배기관(5)의 외주부는 기밀하게 유지된다. 환상 실(54)은 기계적으로 팽창 수축시키도록 해도 된다.

배기관(5)을 배기관 장착부(6)에 장착하려면, 미리 프릿 실(21)을 상단에 도포해 두고, 이 배기관(5)의 하방부를 배기관 장착부(6)의 장착 구멍(53)내에 삽입한다. 이 경우, 배기관(5)의 상단은, 기판(3)이 서포트(34)상에 수평으로 탑재되었을 때의 기판(3)의 하면 위치보다 1~2 ㎜ 정도 위쪽으로 돌출하도록 위치 결정한 후, 에어 공급·배기관(58)으로부터 고압 에어를 환상 실(54)의 내부 공간에 공급하여 배기관(5)의 주위면을 해당 환상 실(54)에 의해 단단히 조여 고정한다.

그 후, 통기 구멍(36)이 배기관(5)에 합치하도록 기판(3)을 카트(2)상에 탑재한다. 배기관(5)의 상단이 기판(3)의 하면보다 약간 돌출하여 배기관 장착부(6)에 고정되어 있기 때문에, 배기관 장착부(6)는 스프링(55)의 탄발력에 반동하여 하 강하고, 배기관(5)의 상단은 기판(3)의 하면에 압압된 상태로 밀착한다. 이에 의해, 배기관(5)은 적당한 압축 응력이 가해지고 있는 상태로 배기관 장착부(6)에 기밀하게 유지되며, 이 상태로 카트(2)가 열처리로(8) 내에 장입되어 밀봉·배기 처리가 행해진다. 배기관(5)에 적당한 압축 응력이 작용하고 있는 상태에서 가열하여 배기관(5)을 기판(3)에 융착시키기 때문에, 리크 등이 발생하는 일이 없는 확실한 접합을 형성할 수 있는 동시에, 또한, 밀봉·배기 처리시에 배기관(5)이 변형되는 일도 없어, 그 후의 절단 작업을 효율적으로 실시할 수 있으며, 따라서, 배기관(5)의 봉지·절단 작업의 자동 제어화를 원활하게 도입할 수 있다.

게다가 또, 카트(2)의 주행시, 또 밀봉· 배기 처리 등의 동안에, 배기관(5)과 기판(3)의 각각의 부가 상대적으로 일정한 위치 관계를 유지하는 것이 바람직하나, 진동이나 충격에 의해, 혹은 열팽창이나 수축의 차이 등에 의해 배기관 장착부(6)와 기판(3) 사이에 상대적 위치 차이를 일으키는 경우가 있다. 이 경우, 예를 들어, 환상 실(54)로부터 배기관(5)에 작용하는 힘이 너무 크면, 이 힘이 기판(3)과 배기관(5)을 일체적으로 고정하는 힘을 이겨, 배기관(5)이 경사져서 파손되거나, 혹은 프릿 실(21)이 기판(3)의 하면으로부터 멀어져서 밀봉 처리가 불가능해지는 등의 문제가 생길 우려가 있어, 이를 고려할 필요가 있다. 또한, 배기관 장착부(6)와 기판(3) 사이에 수평 방향에서의 상대적 위치 차이가 발생했을 경우, 배기관 장착부(6)가 평행 이동하지 않고 경사지는 경우가 있다. 이 경우, 배기관(5)에 회전을 일으키게 하는 바람직하지 않은 힘이 작용하여, 배기관(5)에 과대한 굽힘 모멘트가 작용하여, 배기관(5)이 경사져서 배기관(5)의 파손이나, 밀봉 처 리가 불가능해진다고 하는 사태도 고려할 필요가 있다.

도시예에 있어서는, 상부 단면 부재(59)의 아래쪽에 마련된 스프링(55)을 통하여 배기관 장착부(6)가 돌출부(38)에 지지되어 있으나, 이 경우도 상기와 같은 문제가 생기는 것을 생각할 수 있다.

그래서 추가로, 돌출부(38)와 하부 단면 부재(60) 사이에 슬립 가이드(56)가 개설되어 있다. 이 슬립 가이드(56)는 슬라이딩 작용을 원활화하는 카본제 등의 내주면을 갖는 통상체(筒狀體)(63)와 이 통상체(63) 내에 슬라이딩 가능하게 끼워 넣어진 로더 부재(64)로 이루어지며, 통상체(63)는 돌출부(38)의 하면에 고정되고, 로더 부재(64)는 하부 단면 부재(60)에 세워 설치되어 있다. 그리고, 이 슬립 가이드(56)에 의해 돌출부(38)에 대해, 배기관 장착부(6)는 상대적으로 가로 방향의 이동은 규제되며 상하 방향으로만 이동 가능하게 되어 있다.

기판(3)을 위로부터 얹어 놓음으로써 배기관 장착부(6)가 기판(3)의 자중에 의해 눌러 내려져 약간 하강할 때, 슬립 가이드(56)에 의해 배기관 장착부(6)가 안내되어, 배기관(5)은 횡방향의 힘을 받지 않고, 상하 방향으로만 변위 가능하게 되어 있다. 슬립 가이드(56)의 작용과 서로 작용하여, 스프링(55)에 의한 배기관 장착부(6), 나아가서는 배기관(5)의 상단의 기판(3)에 대한 압압 작용에 의해, 프릿 실(21)과 기판(3) 사이의 마찰력이 크게 확보되기 때문에, 밀봉 공정에 있어서, 가열되는 기판(3)은 배기관(5)이 압압된 통기 구멍(36)을 기점으로 하여 팽창하게 되며, 배기관(5)과 통기 구멍(36) 사이에서의 위치 차이는 생기지 않는다. 또, 이 밀봉 공정에 있어서, 기판(3)에 휨이 발생했다 하더라도, 배기관(5)은 슬립 가이 드(56)의 작용에 의해 스프링(55)에 의해 확실하게 위쪽을 향하여 부세되어 있기 때문에, 기판(3)과 프릿 실(21) 사이에 틈새가 생기는 일도 없다.

따라서, 클립(35)으로 기판(3)과 배기관(5)을 일체 고정하지 않고 밀봉 처리하는 것이 가능하기 때문에, 배기관(5)과 함께 기판(3)을 열처리로(8) 내에 장입할 때의 충격이나 진동에 수반하여, 혹은 밀봉·배기 처리시에 있어서의 각부의 열팽창이나 수축의 차이로부터 생기는 열변형에 수반하여 배기관(5)에 과대한 힘, 특히 옆쪽으로부터 배기관(5)을 회전시키려고 하는 힘이 작용하는 것을 회피할 수 있으며, 또한 클립(35)에 의한 흡집의 발생, 배기관(5)의 손상을 방지할 수 있는 동시에, 밀봉 처리의 준비 작업이 간소화되어 그 신뢰성도 향상시킬 수 있다. 이와 같이, 배기관 장착부(6)를 스프링(55)에 의해 지지하는 동시에, 상하 방향으로만 변위 가능하게 하고 있기 때문에, 기판(3)을 향하여 압압되고 밀봉되는 배기관(5)이 수직으로 유지되며, 배기관(5)에 이 수직 방향 이외의 의도하지 않은 방향의 힘이 작용하지 않아 배기관(5)의 압압 상태의 유지가 용이해진다.

부세 수단으로서는 스프링(55) 대신에, 도 12에 나타내는 바와 같이, 배기관 장착부(6)를 일단에 장착한 지레(65)의 타단에 카운터 웨이트(66)를 마련하는 형식으로 해도 된다.

다음에, 배기관(5)의 배기관 장착부(6)에 대한 장착 조작의 자동 제어화에 대하여 설명한다. 배기관 핸들링 로봇(12)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단은, 자동 제어로 배기관(5)을 배기관 반입용 컨베이어(11)로부터 카트(2)의 배기관 장착부(6)에 공급하기 위해서, 카트(2)의 실 정지 위치 정보 및 배기관 장착부(6)의 배기관(5)의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 장착 위치 정보에 기초하여, 배기관 핸들링 로봇(12)에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보를 출력하는 공급 동작 설정 수단을 구비한다.

공급 동작 설정 수단은, 미리 설정되어 있는 카트(2)의 기준 정지 위치 정보에 기초하여 실 정지 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 정지 위치에 대한 실 정지 위치의 편차로부터 카트(2)의 정지 위치를 수정하며, 미리 설정되어 있는 카트 정지 위치로부터의 배기관 장착부(6)의 기준 설치 위치 정보에 기초하여 실 설치 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 설치 위치에 대한 실 설치 위치의 편차로부터 배기관 장착부(6)의 설치 위치를 수정하며, 배기관(5)의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 배기관(5)의 기준 장착 위치에 대한 실 장착 위치의 편차로부터 배기관(5)의 장착 위치를 수정하고, 수정한 수정 공급 동작을 배기관 핸들링 로봇(12)에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보로서 출력하도록 되어 있다.

배기관 핸들링 로봇(12)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단은, 자동 제어로 배기관 핸들링 로봇(12)에 의해 배기관(5)을 반입계의 배기관 반입용 컨베이어(11)로부터 꺼내기 위해서, 꺼냄 대기 위치에 있어서의 배기관(5)의 실 대기 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 배기관(5)의 기준 대기 상태 정보에 대한 실 대기 상태 정보의 편차에 기초하여 꺼냄 동작을 수정하고, 수정한 수정 꺼냄 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 꺼냄 동작 수정 수단을 갖춘다.

배기관 핸들링 로봇(12)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단은, 자동 제어로 배기관 핸들링 로봇(12)에 의해 배기관(5)을 배기관 장착부(6)에 장착하기 위해서, 배기관 핸들링 로봇(12)에 의한 배기관(5)의 실 파지 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 배기관(5)의 기준 파지 상태 정보에 대한 실 파지 상태 정보의 편차에 기초하여 장착 동작을 수정하고, 수정한 수정 장착 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 장착 동작 수정 수단을 갖춘다.

배기관 반입용 컨베이어(11)로 로더·언로더부(9)에 반입되는 배기관(5)은 배기관 장착부(6)에 대한 공급에 있어서, 도 13에 나타내는 바와 같이, 배기관(5)만의 상태에서 트레이(67)에 세워서 준비되던지, 도 14에 나타내는 바와 같이 배기관(5)의 상단에 프릿 실(21)이 배치된 상태에서 트레이(67)에 세워서 준비된다. 그리고, 배기관(5)은 배기관 장착부(6)의 장착 구멍(53) 내에 삽입된다. 그러나, 배기관(5)은 유리제 등으로 파손되기 쉬우며, 또 도 13에 나타내는 바와 같이, 제작 오차로 인하여, 배기관(5)의 길이는 ΔL1(기준 길이 ± 1 ㎜ 정도)의 편차가 생겨서 일정하지 않다. 또한, 이 배기관(5)의 상단에 프릿 실(21)이 배치된 상태에 있어서, 도 14에 나타내는 바와 같이 배기관(5) 및 프릿 실(21)을 포함한 치수에 있어서도, ΔL2의 편차가 생긴다. 한편, 배기관 장착부(6)의 상면과 배기관(5)의 상단 사이의 거리를 일정한 값으로 유지할 필요가 있다.

이러한 이유에서, 배기관(5)의 배기관 장착부(6)에 대한 장착은 수작업에 의해 이하의 순서에 의해 행해지고 있다. 우선, 트레이(67)로부터 꺼내진 1개의 배기관(5)이, 작업자의 육안 확인에 의해 배기관 장착부(6)의 장착 구멍(53) 내에 삽입된다. 계속해서, 배기관 장착부(6)의 상면과 배기관(5)의 상단 사이의 거리가 일정한 값이 되도록 배기관(5)의 높이가 조정된다. 마지막으로, 높이 조정된 배기관(5)이 환상 실(54)에 고압 에어를 보냄으로써 배기관 장착부(6)에 기밀하게 유지된다. 그러나, 수작업에 의한 배기관(5)의 배기관 장착부(6)에 대한 장착은 작업 효율이 나쁘며 생산성이 낮다. 자동화를 위한 배기관 핸들링 로봇(12)을 채용하여, 배기관(5)을 배기관 장착부(6)에 장착하는 일련의 동작을 자동 제어하는 것이 바람직하다.

이 경우, 정위치에 고정 설치된 배기관 핸들링 로봇(12)의 전방에 카트(2)가 정지한 후, 일련의 장착 동작이 개시되나, 카트(2)는 정해진 기준 정지 위치에서 항상 정지한다고는 할 수 없으며, 그 정지 위치의 편차는 피할 수 없다. 또, 카트(2) 상에 장착되어 마련되는 배기관 장착부(6) 및 기판 탑재부(4) 그 자체가 열처리로(8) 내에 있어서의 봉착·배기 처리 과정에서 열변형되기 때문에, 배기관 장착부(6)의 장착 구멍(53)의 위치에도 편차가 생긴다. 또한, 장착 구멍(53) 내에 배기관(5)이 삽입된 경우라도, 배기관 장착부(6)의 높이에 편차가 있기 때문에, 배기관(5)을 배기관 장착부(6)에서 정상적으로 유지시키는 것이 어렵다. 따라서, 이들에 대한 대책을 실시하는 것이 자동 제어하에는 필요해진다.

도 24 및 도 25에 나타내는 바와 같이, 카트(2)의 코너부에 기준 표지 1X, 1Y 및 1Z가 장착되어 있고, 기준 표지 1X는 레일(23)을 따른 수평한 X축 방향에 있어서의 카트(2)의 위치를 나타내는 기준이 되고, 기준 표지 1Y는 레일(23)에 직교하는 수평한 Y축 방향에 있어서의 카트(2)의 위치를 나타내는 기준이 되며, 기준 표지 1Z는 X축 및 Y축에 직교하는 Z축 방향에 있어서의 카트(2)의 위치, 즉 높이를 나타내는 기준이 된다. 또, 도 15 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 카트(2) 상에 세워 설치된 장착 기둥(37)의 돌출부(38)의 각각 에도, 그 위치를 나타내는 기준이 되는 기준 표지 1H가 마련되어 있다. 기준 표지 1X, 1Y 및 1Z는 카트(2) 그 자체에 형성한 것이어도 되고, 카트(2)와는 별개의 부재에 의해 형성한 것이어도 된다. 마찬가지로, 기준 표지 1H는 돌출부(38) 그 자체에 형성한 것이어도 되고, 돌출부(38)와는 별개의 부재에 의해 형성한 것이어도 된다.

한편, 로더·언로더부(9)의 정위치에 고정하여 마련되는 배기관 핸들링 로봇(12)은, 삼차원적으로 직선 운동 및 회전 운동 가능한 로봇 핸드를 갖는다. 이 로봇 핸드에는, 각종 제어 정보를 화상 정보로서 취득하기 위해 카메라(68)가 장착되어 있으며, 이 카메라(68)에 의해 도 17에 나타내는 바와 같이, 배기관 장착부(6)의 장착 구멍(53)이 검지된다. 그리고, 로봇 핸드에 의해, 장착 구멍(53)의 중심 위치 좌표를 산출하기 위한 제1 작동과, 트레이(67)에 수납된 특정의 배기관(5)을 파지시켜 장착 구멍(53) 내에 삽입하는 제2 작동이 행해진다. 제2 작동에 있어서는, 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이, 로봇 핸드의 척(chuck)부(69)에 의해 파지되는 배기관(5)의 상단이 카메라(68)에 의해 검지되고, 척부(69)로부터 배기관(5)의 상단까지의 거리, 혹은 배기관(5)에 프릿 실(21)이 설치되어 있는 경우에는, 척부(69) 로부터 프릿 실(21)의 상단까지의 거리가 계측된다.

배기관(5)의 배기관 장착부(6)로의 삽입에 있어서는, 우선, 스텝(1)에서 이동해 온 카트(2)가 배기관 핸들링 로봇(12)의 전방에서 정지하면, 카메라(68)에 의해 검지된 기준 표지 1X, 1Y 및 1Z의 위치에 기초하여, 카트(2)의 기준 정지 위치 와 실 정지 위치 사이의 오차량(Δx1, Δy1, Az1)이 산출된다. 이 산출된 오차량(Δx1, Δy1, Δz1)에 기초하여, 로봇 핸드의 제1 기준 이동 정지 위치인 제1 계측 지점의 수정이 행해진다. 예를 들어, 오차량의 X축 방향 성분이 +ΔX이면, 로봇 핸드의 스트로크의 X축 방향 성분을 AX만큼 길게 하고, 반대로 오차량의 X축 방향 성분이 -ΔX이면, 스트로크의 X축 방향 성분을 ΔX만큼 짧게 한다. Y축 방향, Z축 방향에 대해서도 같은 수정이 행해진다. 따라서, 카트(2)의 실 정지 위치에 오차가 생기더라도, 로봇 핸드의 제1 계측 지점은 돌출부(38)상의 기준 표지 1H를 카메라(68)에 의해 검지할 수 있는 위치로 수정된다.

스텝(2)에서, 로봇 핸드가 수정된 제1 계측 지점에서 정지하면, 카메라(68)에 의해 돌출부(38)상의 기준 표지 1H가 검지되고, 배기관 장착부(6)의 기준 배치 위치, 구체적으로는 장착 구멍(53)의 중심 위치와 실 배치 위치 사이의 오차량(Δx2, Δy2, Δz2)이 산출된다. 또한, 이 산출된 오차량(Δx2,Δy2, Δz2)에 기초하여, 상기와 같게 하여 로봇 핸드의 제2 기준 이동 정지 위치인 제2 계측 지점의 수정이 행해진다. 따라서, 배기관 장착부(6)의 기준 배치 위치에 오차가 생기더라도, 로봇 핸드의 제2 계측 지점은, 장착 구멍(53)의 중심 위치를 카메라(68)에 의해 검지할 수 있는 위치로 수정된다.

계속해서, 스텝(3)에서, 로봇 핸드가 수정된 제2 계측 지점에서 이동 정지하며, 도 17에 나타내는 바와 같이 장착 구멍(53)의 중심 위치의 위쪽에 카메라(68)가 이동하고, 이 카메라(68)에 의해 장착 구멍(53)의 기준 중심 위치와 실 중심 위치 사이의 오차량(Δx3, Δy3, Δz3)이 산출된다. 스텝(1)~(3)에 의해, 배기관(5) 의 장착 작업시에 있어서의 로봇 핸드의 배기관 장착부(6) 상에 있어서의 적정한 정지 위치(X, Y, Z)가 결정된다.

한편, 로봇 핸드의 상기 정지 위치(X, Y, Z)로부터의 하강 정지 위치(X, Y, Z1)는, Z축 방향의 배기관 장착부(6)의 높이 정보와 파지 대상인 배기관(5)의 실 길이 정보 혹은 배기관(5)에 프릿 실(21)을 더한 실 길이 정보에 기초하여 결정된다. 예를 들어, 로봇 핸드의 척부(69)에 의한 배기관(5)의 파지 위치, 즉 로봇 핸드의 정지 위치를 일정하게 하려면, 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이, 척부(69)로부터 배기관(5)의 상단까지의 거리 H1 혹은 척부(69)로부터 프릿 실(21)의 상단까지의 거리 H2가 계측되어, 배기관(5)의 기준 길이와 실 길이 사이의 오차량(ΔL)이 산출된다. 또한, 도 18은 배기관(5)만을 장착 구멍(53) 내에 삽입하는 경우를, 도 19는 프릿 실(21)이 상단에 배치된 배기관(5)을 장착 구멍(53) 내에 삽입하는 경우를 나타내고 있다.

그리고, 배기관 장착부(6)의 Z축 방향의 상기 높이 정보와 배기관(5)에 관한 상기 오차량(ΔL)에 기초하여, 배기관(5)의 실 길이에 대응한 로봇 핸드의 하강 정지 위치(X, Y, Z1)가 결정된다. 예를 들어, 배기관(5)의 실 길이와 기준 길이 사이의 오차량( = 실 길이 - 기준 길이)이 +ΔL이면, 로봇 핸드의 하강 정지 위치는 오차량이 영인 경우를 기준으로 하여 ΔL만큼 낮은 위치가 되어, 항상 배기관(5) 혹은 프릿 실(21)의 상단과 배기관 장착부(6)의 높이와의 위치 관계는 일정해진다.

그러나, 전술한 조업예에서는, 척부(69)에 의해 배기관(5)을 파지시킨 후에 배기관(5) 혹은 프릿 실(21)의 상단 위치를 계측하였으나, 이에 한정되지 않고, 척 부(69)에 의해 배기관(5)을 파지시키기 전에 미리 배기관(5) 혹은 프릿 실(21)의 상단 위치를 계측해 둬도 된다. 이 경우, 척부(69)에 의해 배기관(5)을 파지키기 전에 미리 카메라(68) 등에 의해 배기관(5) 혹은 프릿 실(21)의 상단 위치를 계측해 두고, 이 계측된 상단 위치 정보에 기초하여 척부(69)에 의한 배기관(5)의 파지 위치를 수정하며, 그 후, 배기관 장착부(6)의 높이 정보에 기초하여 로봇 핸드의 하강 정지 위치를 보정하면 된다.

이상과 같은 배기관 핸들링 로봇(12)의 제어를 행함으로써, 카트(2)의 실제의 정지 위치의 편차, 제작 오차 혹은 돌출부(38) 등의 열변형에 의한 배기관 장착부(6)에 있어서의 장착 구멍(53)의 중심 위치의 편차, 또한 배기관(5)의 제작 오차에 의한 배기관 길이의 편차가 생기더라도, 장착 구멍(53)에 맞추고, 또한 배기관(5)의 길이에 맞추어 적정한 위치에 배기관(5)을 장착 구멍(53) 내에 장착할 수 있다. 또, 편차가 큰 카트(2)의 정지 위치를 검지하고 검지 범위를 좁힌 다음에 편차가 작은 장착 구멍(53)의 중심 위치를 검지하도록 하고 있기 때문에, 카메라(68)의 시야가 좁더라도, 장착 구멍(53)의 중심 위치가 확실하게 검지되어 배기관(5)의 장착 구멍(53) 내에 대한 장착이 보다 원활하게 행해진다.

다음에, 배기관 장착부(6)에 배기관(5)이 장착되어 있는 카트(2) 상에, 기판(3)을 자동 제어로 탑재하는데 바람직한 구성에 대하여 설명한다. 기판 탑재부(4)에는, 복수의 칸막이부인 서포트 빔(33)에 의해, 적어도 1세트의 한 쌍의 기판(3)을 개별적으로 장입하는 기판 장입용 공간(S)이 형성되는 동시에, 기판 탑재 로봇(13)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단은, 자동 제어로 기판 탑재 로봇(13)에 의해 각 한 쌍의 기판(3)을 기판 탑재부(4)에 탑재하기 위해, 기판 장입용 공간(S)의 치수를 화상 정보로서 취득하고, 취득된 치수 정보에 기초하여, 한 쌍의 기판(3)의 기판 장입용 공간(S)에 대한 장입 여부의 제어 정보를 출력하는 장입 조작 판정 수단을 갖춘다.

기판 탑재 로봇(13)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단은, 자동 제어로 기판 탑재 로봇(13)에 의해 기판 반입용 컨베이어(10)로부터 공급되는 적어도 1세트의 한 쌍의 기판(3)의 통기 구멍(36)을 카트(2)의 배기관 장착부(6)의 배기관(5)에 합치시키기 위해, 배기관 장착부(6)에 장착된 배기관(5)의 중심 위치 정보 및 한 쌍의 기판(3)의 탑재 대기 위치에 있어서의 통기 구멍(36)의 중심 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 중심 위치 정보를 이용하여 미리 기판 탑재 로봇(13)에 설정되어 있는 한 쌍의 기판(3)을 탑재 대기 위치로부터 기판 탑재부(4)에 공급하는 기준 탑재 동작에 의한 배기관(5)과 통기 구멍(36)의 중심 위치의 오차를 산출하고, 오차에 기초하여 수정한 수정 탑재 동작을 제어 정보로서 출력하는 탑재 동작 수정 수단을 갖춘다.

서포트 빔(33)의 배치 간격을 D, 서포트(34)의 높이를 h로 하면, 한 쌍의 기판(3)은 서포트(34)의 상면과 서포트 빔(33)의 하면 사이의 세로 방향에 치수(D-h)의 공간, 즉 기판 장입용 공간(S)에 장입되게 된다. 또, 기판(1)의 서포트(34) 상에 대한 얹어놓음은, 기판(1)의 코너부 근방에 마련된 통기 구멍(36)의 중심과 배기관(5)의 중심을 일치시키는 것이 필수 조건으로 되어 있다.

한편, 지주(32) 및 서포트 빔(33)이 열처리로(8) 내에서의 밀봉·배기 공정 에 있어서 열변형하기 때문에, 서포트(34)의 상면과 서포트 빔(33)의 하면 사이의 간격이 전술한 치수(D-h)에서 변화되어 일정한 값으로 유지되지 않는다. 또, 배기관 장착부(6)의 장착 구멍(53)의 위치, 즉 배기관 장착부(6)에 장착된 배기관(5)의 중심 위치는, 카트(2)의 정지 위치의 편차나 전술한 열변형 등에 의해 일정하지 않다. 또한, 기판(3)의 통기 구멍(36)의 위치는 제작시의 오차에 의해서도 일정하게는 되지 않는다. 이러한 이유에 의해 기판(1)의 카트(2)에 대한 적재는 수동으로 행해지고 있다. 수동에 의한 기판(3)의 카트(2)에 대한 적재는 작업 효율이 나쁘며, 또 생산성이 낮다. 따라서, 자동 제어화를 위한 기판 탑재 로봇(13)을 채용하고, 로봇 핸드에 의해 기판(3)을 유지하여 기판 장입용 공간(S)까지 이송하고 서포트(34)상에 얹는 것을 생각할 수 있다.

그러나, 기판 장입용 공간(S)이 상기 치수(D-h)의 상태로부터 변화하여, 이것보다도 작아져서, 충분한 높이를 갖지 않는 경우라고 하더라도, 기판(3)은 로봇 핸드에 의해 기판 장입용 공간(S) 내에 장입되고, 기판(1)과 서포트(34) 혹은 로봇 핸드와 서포트 빔(33)이 충돌하여, 이것들을 파손할 우려가 있으므로, 이를 고려해 넣을 필요가 있다. 또, 로봇 핸드에 의해 기판(3)을 항상 같은 위치에 이송한다 하더라도, 카트(2)의 정지 위치에 편차가 있어, 기판(3)의 통기 구멍(36)의 중심과 배기관(5) 중심의 각 위치가 반드시 일치한다고는 할 수 없는 것에도 유의할 필요가 있다.

레일(23) 옆쪽의 로더·언로더부(9)에 기판 탑재 로봇(13)이 배치되어 있고, 카트(2) 상에 배열 설치된 복수 단의 서포트 빔(33)의 외측면의 세 개소에, 도 20 에 나타낸 바와 같이 기준 표지(70)가 마련되어 있다. 이 기준 표지(70)는 서포트 빔(33) 자체로 가공하여 형성해도 되고, 별도의 부재에 의해 형성해도 된다. 또, 카트(2)상의 각 배기관 장착부(6)에는 배기관 핸들링 로봇(12)에 의해 배기관(5)이 장착되어 있다. 그리고, 기판 탑재 로봇(13)의 로봇 핸드에 마련한 도시하지 않은 카메라에 의해 이 기준 표지(70)가 검지되고, 각 단(段)에 있어서의 서포트 빔(33)의 실제의 높이가 계측되며, 이하의 순서에 의해 기판(3)의 카트(2)에 대한 적재가 행해진다.

기판(3)의 카트(2)에 대한 적재는 도 21에 나타낸 바와 같이, 우선 스텝 S1에서, 카메라에 의해 검지된 기준 표지(70)의 높이에 기초하여, 각 단의 서포트 빔(33)의 하면과 그 아래쪽의 서포트(34) 사이의 틈새 치수의 산출이 행해진다. 구체적으로는, 예를 들어 1 단째와 2 단째에 관하여, 도 20에 나타낸 바와 같이 검지된 각 기준 표지(1)의 높이로부터, 각 서포트(34)의 상면의 기준 레벨 L0로부터의 높이 Z1a, Z1b, Z1c, Z2a, Z2b, Z2c가 산출되며, Z1a, Z1b, Z1c 중에서 최대치, 즉 Max(Z1a, Z1b, Z1c)와 Z2a, Z2b, Z2c 중에서 최소치, 즉 Min(Z2a, Z2b, Z2c)가 구해진다. 또한, 틈새 치수로서[Min(Z2a, Z2b, Z2c) - Max(Z1a, Z1b, Z1c) - D]의 값이 산출된다. 이 값은, 가능성으로서 있을 수 있는 가장 작은 틈새 치수의 값이다.

스텝 S2에서, 산출된 틈새 치수의 경우, 로봇 핸드에 유지된 기판(3)의 장입이 가능한지의 여부의 판단이 이루어지고, 예의 경우에는 스텝 S3으로 진행되며, 아니오의 경우에는 스텝 S7로 진행된다. 스텝 S3에서, 도 22 및 도 23에 나타내는 바와 같이, 로봇 핸드에 의해 기판(3)을 고정 카메라(71)의 위쪽의 정위치에 이송하고, 이 고정 카메라(71)에 의해 장입 전의 기판(3)의 통기 구멍(36)이 검지되고, 로봇 핸드의 일정 동작에 의해 이 기판(3)을 서포트(34)의 위쪽에 이송했을 경우에 있어서의 로봇 핸드의 이동 정지 위치에서의 통기 구멍(36)의 중심 위치의 계측이 행해진다.

스텝 S4에서, 이미 로봇 핸드의 카메라에 의해 검지되고 구해진 배기관(5)의 중심 위치와 스텝 S3에서 계측된 통기 구멍(36)의 중심 위치가 일치하는지의 여부의 판단이 이루어지고, 예의 경우에는 스텝 S5로 진행되며, 아니오의 경우에는 스텝 S9로 진행된다. 스텝 S5에서, 배기관(5)의 중심 위치와 통기 구멍(36)의 중심 위치가 일치한다고 하는 것으로, 로봇 핸드에 의해 기판(3)이 상하의 서포트 빔(33) 사이로 이송되며, 배기관(5)의 위쪽에 위치되어진 후, 서포트(34)상에 얹어 놓여져 기판(3)의 장입이 완료된다.

이 장입 후, 필요에 따라서, 스텝 S6에서, 로봇 핸드에 의해 클립(35)을 이용하여 기판(3)과 배기관(5)의 고정이 이루어진다. 한편, 스텝 S7에서, 상하의 서포트 빔(33)에 대한 기판(3)의 장입은 가능하지 않다는 것으로, 즉 서포트 빔(33)이 비정상으로 변형하고 있다는 것으로 경보를 보내고, 계속되는 스텝 S8에서 카트(2)에 대한 기판(3)의 적재 작업을 중지한다. 또, 스텝 S9에서, 통기 구멍(36)의 중심 위치가 미리 결정된 정규의 위치로부터 이탈하여, 이 정규의 위치로부터의 오차를 발생시키고 있다고 하는 것에서, 그 오차의 산출이 행해진다.

또한, 스텝 S10에서, 스텝 S9에서의 산출 결과에 기초하여, 로봇 핸드의 이 동 정지 위치의 수정이 이루어지고, 그 후 스텝 S5로 진행되어, 전술한 바와 같이 기판(3)의 서포트(34)상에 대한 장입이 행해진다. 이상과 같이 하여, 기판(3)이 배기관(5)상에 얹어 놓여지고, 기판(3)의 카트(2)에 대한 적재가 완료된다. 그리고 전술한 작업이 서포트 빔(33)의 단수(段數)만큼 반복된다.

카트(2)에 기판 탑재 로봇(13)에 의해 기판(3)을 적재할 때에, 기판 장입용 공간(S)의 높이를 계측하고, 이 기판 장입용 공간(S)에 대한 기판(3)의 장입이 가능한지의 여부를 판단하고, 가능한 경우에, 기판(3)의 통기 구멍(36)의 중심 위치 정보와 배기관 장착부(6)의 배기관(5)의 중심 위치 정보에 기초하여, 양 중심 위치가 일치하도록 기판(3)을 유지한 로봇 핸드의 이동 정지 위치를 필요에 따라서 수정한 후, 서포트(34) 상에 기판(3)을 이송하도록 하고 있기 때문에, 기판 탑재 로봇(13)에 의해 기판(3)을 다른 부분과의 충돌을 일으키는 일 없이 기판 장입용 공간(S)에 장입하여, 적정 위치에 이송하는 것이 가능하게 되어 자동 제어화에 의해 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

다음으로, 패널 제조 작업의 자동 제어화에 있어서, 기판 탑재부(4)와 이에 탑재된 기판(3)이 열처리 조작 등에 의해서 위치가 엇갈리는 것에 대응할 수 있는 기구에 대하여 설명한다. 기판 탑재부(4)는 적어도 한 세트의 한 쌍의 기판(3)을 복수 개소에서 각각 지지하는 복수의 서포트(34)를 구비하고, 이들 복수의 서포트(34) 중, 배기관(5)에 근접하는 적어도 하나의 근접 위치 서포트(34a)를 제외한 다른 원격 위치 서포트(34b)는 한 쌍의 기판(3)을, 근접 위치 서포트(34a)와 비교해서 상대 이동하기 쉽게 지지하도록 되어 있다. 원격 위치 서포트(34b)는 요동 가능하게 구성해도 된다. 또, 혹은, 원격 위치 서포트(34b)는 전동 축심(T)이 배기관(5)의 중심 위치 방향과 직교시켜 배치되며, 그 위에 한 쌍의 기판(3)을 지지하는 롤러 기구로 구성된다.

열처리에 있어서는, 카트(2)의 각부나 기판(3)의 열팽창, 수축을 수반한다. 이 경우, 카트(2)의 각부 및 기판(3)의 열팽창률이 반드시 동일하지 않으며, 각각의 열팽창, 수축에 의한 변화량의 차이나 각부 온도에 기인하여 배기관(5)과 기판(3)의 접합부나 배기관(5) 자체에 외력이 작용하면, 배기관(5)과 기판(3)의 통기 구멍(36) 사이의 위치 엇갈림이나 배기관(5)의 파손이라고 하는 사태를 초래할 우려가 있음에 유의할 필요가 있다.

이 때문에, 카트(2)에서는 배기관(5)을 유지하는 배기관 장착부(6)에 접속하는 개별 배관(46) 등의 배관류를 플렉시블 튜브로 하고, 이 플렉시블 튜브를 통하여 배기관 장착부(6)를 돌출부(38)에 장착함으로써 배기관 장착부(6)의 이동을 구속하지 않도록 하는 등의 고안이 이루어진다. 이에 의해, 배기관 장착부(6)의 하중이나 외력이 배기관(5)에 작용하는 것을 가능한 한 회피하려고 하고 있으나, 이것이 자동화 등의 생력화의 큰 장애가 되는 동시에, 배기관(5)에 작용하는 외력을 완전하게는 배제할 수 없기 때문에, 전술한 위치 엇갈림이나 파손이 생길 우려가 있고, 이것이 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조상의 수율 저하의 원인이 되고 있는 점을 고려하는 것이 바람직하다.

또, 서포트(34)가 돌출 설치된 서포트 빔(33)의 열팽창율과 기판(3)의 열팽창률을 같게 하거나, 서포트(34) 상에 기판(3)과 같은 팽창률을 가지는 베이스 플 레이트를 설치하고, 이것에 서포트(34)를 돌출 설치하는 것도 생각할 수 있으나, 기판(3)이 유리제 등이기 때문에, 이것과 같은 재료로 한 서포트 빔(33)이나 베이스 플레이트는 파손이나 휘어짐이 생기기 쉽고, 또 카트(2) 전체의 중량이 늘어나 열효율의 저하를 초래하는 등의 문제도 개선하는 것이 바람직하다.

도 24 및 도 25에 나타난 바와 같이, 카트(2) 상에는, 서포트 빔(33)과는 별도로 장착 기둥(37)으로 지지되어 있는 돌출부(38)의 연장부(74)에, 배기관(5) 근방에 위치시켜 근접 위치 서포트(34a)가 돌출 설치되는 한편, 지주(32)로 지지되어 있는 서포트 빔(33)에는, 근접 위치 서포트(34a)보다 배기관(5)으로부터 떨어져서 위치하는 원격 위치 서포트(34b)가 돌출 설치되어 있다. 그리고, 근접 위치 서포트(34a)의 상단면과 기판(3) 사이의 마찰 계수는 원격 위치 서포트(34b)의 상단면과 기판(3) 사이의 마찰 계수보다 커져 있다. 예를 들어, 근접 위치 서포트(34a)는 금속 섬유, 금속망, 혹은, 세라믹재에 의해, 상단면이 성긴 면이 되도록 형성되고, 원격 위치 서포트(34b)는 금속이나 세라믹에 의해, 상단면이 경면(鏡面)으로 마무리되어 형성되어 있다. 도시예에 있어서는, 각 돌출부(38)에 두 개씩, 배기관(5)으로부터 대략 동등 거리의 위치에 전술한 근접 위치 서포트(34a)를 구비하고 있다.

기판(3)은 프릿 실(21)이 배열 설치된 배기관(5)의 상단 및 이들 서포트(34a, 34b)의 상단면상에 배치되어, 배기관(5)의 중심과 기판(3)의 통기 구멍(36)의 중심이 대략 일치되나, 이 때, 카트(2)의 각부나 기판(3)이 열팽창이나 수축하여, 각각 다른 양의 상대 치수 변화를 일으키더라도, 근접 위치 서포트(34a) 의 상단면의 위치에서 기판(3)은 상대 이동을 일으키지 않고 지지되어 원격 위치 서포트(34b)의 상단면의 위치에서 기판(3)이 가로 방향으로 상대 이동, 즉 미끄러짐을 일으켜, 배기관(5)과 기판(3)의 접합부나 배기관(5) 자체에 외력이 작용하는 일은 없으며, 배기관(5)과 기판(3)의 통기 구멍(36) 사이의 위치 엇갈림이나 배기관(5)의 파손이라고 하는 사태는 회피하게 된다. 원격 위치 서포트(34b)에 대해서는, 상단면에 전동 가능한, 일반적인 구상(球狀)이나 롤러 형상의 지지체를 배열 설치하고, 이 구상이나 롤러 형상의 지지체에 의해 기판(3)을 지지하도록 해도 된다.

도 26은 다른 지지 형태를 나타낸 것으로, 원격 위치 서포트(34b)의 구성만이 다르다. 원격 위치 서포트(34b)는, 상면이 구면(球面) 또는 곡면(曲面)형상으로 형성된 헤드부(75)와 이 헤드부(75)의 아래쪽으로 연장되는 레그부(76)와, 하면이 구면 또는 곡면 형상으로 형성되고, 이 하면의 중심부에 레그부(76)를 관통시킨 플랜지부(77)를 구비하며, 레그부(76)는 서포트 빔(33)에 뚫어 설치된 관통 구멍(78) 내에 유동 가능하게 끼워, 관통 구멍(78)의 상단 개구의 주연부상에 슬라이딩 가능하게 플랜지부(77)가 얹어져 있다. 그리고, 대략 관통 구멍(78)의 중심축과 플랜지부(77)의 교점을 중심으로 하여 레그부(76)는 요동 가능하게 되어 있다. 즉, 이 원격 위치 서포트(34b)는 기판(3)에 대해 가로 방향으로, 기판(3)과 원격 위치 서포트(34b)간의 위치의 어긋남에 대응하여 상대 이동하기 쉽게 설치되어 있다. 또한, 플랜지부(77)의 하면의 곡률은, 레그부(76)가 요동하더라도 헤드부(75)의 최상부의 높이가 일정하게 유지되도록 되어 있는 것이 바람직하다.

도 27~도 30에는, 롤러 기구로 이루어진, 또 다른 지지 형태가 개시되어 있다. 원격 위치 서포트(34b)에서는, 상면이 개구된 박스체(79)에 원기둥 형상의 롤러(72)를 얹어, 롤러(72)가 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되어 있다. 또, 롤러(72)가 위치하는 박스체(79) 내의 지지면(73)은 중심부가 낮아지도록 경사져 있어, 아무런 외력이 작용하지 않는 경우에는 롤러(72)는 중력의 작용으로 지지면(73)의 중심에 멈추는 한편, 박스체(79)의 각 측면은 지지면(73)보다 위쪽으로 돌출하도록 형성되어, 롤러(72)가 이 박스체(79)로부터 이탈하지 않도록 되어 있다.

또한, 각 롤러(72)의 중심축(T)이 배기관(5)을 향하는 도면 중 일점쇄선으로 나타난 방향에 대해 직교하도록 원격 위치 서포트(34b)는 배열 설치되어 있으며, 전술한 열팽창이나 수축시에 기판(3)에 있어서, 근접 위치 서포트(34a)의 부분에 대해 다른 원격 위치 서포트(34b)가 원활하게 가로 방향으로 상대 이동할 수 있어, 배기관(5)과 기판(3)의 접합부나 배기관(5) 자체에 외력이 작용하는 일은 없으며, 배기관(5)과 기판(3)의 통기 구멍(36) 사이의 위치 엇갈림이나 배기관(5)의 파손이라고 하는 사태는 회피되도록 되어 있다.

근접 위치 서포트(34a)의 설치 개수는 두 개로 한정되지 않는다. 또, 배기관(5)이 위쪽을 향하여 돌출 설치되는 경우에 한하지 않고, 아래쪽을 향하여 돌출 설치된 경우에도 적용되는 것이다.

다음으로, 열처리로(8)로부터 추출된 기판(3)의 배기관(5)을 밀봉·절단하는 작업에 있어서, 자동 제어화를 원활하게 도입할 수 있는 구성에 대하여 설명한다. 배기관 밀봉 절단 로봇(14)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단에 의한 자동 제어로 2 분할로 개폐가 자유롭게 작동되고, 배기관(5)의 밀봉·절단을 행하기 위해서 닫혀져 배기관(5) 주위를 둘러싸는 히터를 구비한다.

기판(3)에는 배기관(5)이 접합되고, 한 쌍의 기판(3) 사이로부터의 배기 처리 등의 후, 배기관(5)의 밀봉·절단 처리가 행해진다. 이 배기관(5)의 밀봉 · 절단 처리는, 이전에는 가스버너를 사용하여 수동으로 배기관(5)의 특정 부위를 용융시키고, 밀봉하는 동시에 절단하는 것에 의해 실시되고 있어, 그 자동 제어화가 요망되었다.

배기관 밀봉·절단 장치(80)는 도 31 및 도 32에 나타낸 바와 같이, 2개로 분할 가능한 한 쌍의 케이싱(casing) 부재(81)로 이루어진 단열 구조의 케이싱(82)과, 케이싱 부재(81)의 각각의 내부에 설치된 배기관 외주부 가열용의 히터(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 또, 한쪽의 케이싱 부재(81)는 장착 좌(座)(83)상에, 다른 쪽의 케이싱 부재(81)는 장착 좌(84)상에 각각 배치되어 있다. 또한, 두 개의 장착 좌(83, 84)간에는, 신축 실린더(85)가 개설되어 있으며, 예를 들어 한쪽 장착 좌(84)에 실린더 보디(86)가 결합되고, 다른 한쪽의 장착 좌(83)에 피스톤 로드(piston rod)(87)가 결합되며, 이에 의해 한쪽의 케이싱 부재(81)에 대해 다른 쪽의 케이싱 부재(81)가 이동하여, 케이싱(82) 전체로서 개폐 가능하게 되어 있다.

각 케이싱 부재(81)는 단면 반원형의 박스체 형상으로 형성되며, 그 내부에는 단열재가 충전되고, 또 각 케이싱 부재(81)에는 이들이 닫혀서 맞춰짐으로써 대략 원이 되는 반원형의 홈(88)이 형성되어 있다. 히터는 이 반원형의 홈(88)을 따 라서 배열 설치된다. 그리고, 케이싱(82)이 닫힌 상태로 되었을 때, 케이싱 부재(81)끼리가 맞닿아서, 두 개의 홈(88)에 의해 배기관 수납용의 관통 구멍(89)이 형성된다. 장착 좌(84)에는 축체(軸體)(90)가 세워 설치되고, 이 축체(90)의 상단에 기판(3)을 끼워 고정하는 클립(35)이 설치되어 있다.

배기관(5)을 통하여 기판(3) 내의 진공 배기 처리 후, 기판(3) 내에 대한 방전 가스의 봉입 처리가 완료되면, 도시하는 바와 같이, 열림 상태에 있는 배기관 밀봉·절단 장치(80)를 배기관 밀봉 절단 로봇(14)에 의해 배기관(5)의 양측에 케이싱 부재(81)가 위치하도록 클립(35)으로 기판(3)을 끼워 고정시키고, 기판(3)에 장착한다. 클립(35)의 장착은, 로봇 핸드의 카메라로 기판(3)의 위치를 화상 정보로서 취득하고, 그 위치에 대해 로봇 핸드가 이동하여 장착 동작이 행해지게 되어 있다. 계속하여, 신축 실린더(85)를 수축시켜 케이싱 부재(81)를 일체화하고, 즉, 케이싱(82)을 닫음 상태로 하여 관통 구멍(89) 내에 배기관(5)을 위치시킨다. 이 때, 배기관(5)의 대략 전체 둘레가 두 개의 히터에 의해 포위된다. 그 후, 히터에 전류를 통과시키고, 이 히터에 의해 배기관(5)의 외주를 소정 시간만큼 가열한다. 이 가열에 의해 배기관(5)의 전체 둘레가 균일하게 가열되고 용융하여 밀봉이 완료된다. 또한, 히터(5)의 전류의 통과를 계속하면, 이 밀봉부가 절단된다.

이상의 구성 장치에 의해, 배기관(5)의 밀봉·절단 작업을 자동 제어화 할 수 있어, 작업 효율의 향상이 가능해지는 동시에, 이 장치(80)를 배기관 밀봉 절단 로봇(14)에 의해 순차적으로 클립(35)으로 기판(3)에 갈아 끼워 감으로써, 기판(3)마다 칩관(chip tube) 밀봉·절단 장치(80)를 설치할 필요가 없어, 그 대수를 줄이 는 것이 가능해진다.

히터 대신에, 버너로 배기관(5)의 밀봉 절단 처리를 자동 제어로 행할 수도 있다. 배기관 밀봉 절단 로봇(14)의 로봇 제어반(19) 등 제어 수단에 의한 자동 제어로 작동되고, 배기관(5)의 밀봉·절단을 행하기 위해서, 배기관(5)을 용융시키는 버너 및 배기관(5)을 연장시키기 위해 배기관 장착부(6)를 하강시키는 하강 수단이 구비된다. 즉, 전술한 클립(35)을 각 기판(3)에 장착하는 배기관 밀봉 절단 로봇(14)의 로봇 핸드에 버너를 구비하는 동시에, 배기관 장착부(6)를 하강시키는 수단으로서는, 예를 들어 배기관 장착부(6)를 돌출부(38)에 대해 승강 구동 가능하게 장착하도록 하면 된다. 버너의 위치 제어는 화상 정보를 이용하는 전술의 기판 장입용 공간(S)에 기판(3)을 삽입하는 자동 제어나 배기관(5)을 장착 구멍(53)에 삽입하는 자동 제어에 유사한 방식으로 실시하면 된다.

절단되어 배기관 장착부(6)에 잔류하는 잔류 배기관(5)은, 마찬가지로 하여 카메라로 취득되는 화상 정보를 이용하여, 우선 배기관 밀봉 절단 로봇(14)에 의해 파지되고, 이어서 공급·배기관(58)을 통하여 고압 에어가 빠짐으로써 배기관 장착부(6)의 환상 실(54)에 의한 유지가 해제되며, 이에 의해 철거되게 된다. 잔류하는 잔(殘)배기관(5)은, 새로운 배기관(5)을 카트(2)에 공급하는 배기관 핸들링 로봇(12)으로 철거시키도록 해도 된다. 이와 같이 하면, 배기관 장착부(6)로부터 배기 펌프(39)에 이르는 계로(系路)로 대기가 유입하는 것을 가능한 한 방지할 수 있다.

또한, 배기관(5)이 밀봉 절단되어 완성된 패널을 카트(2)로부터 언로딩하는 작업을 자동 제어화하도록 되어 있다. 패널 언로딩 로봇(15)의 로봇 제어반(19) 등의 제어 수단은, 자동 제어로 패널을 카트(2)의 기판 탑재부(4)로부터 패널 반출용 컨베이어(16)에 언로딩하기 위해서, 카트(2)의 실 정지 위치 정보 및 패널의 실 탑재 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 탑재 위치 정보에 기초하여, 패널 언로딩 로봇(15)에 의한 패널의 언로딩 동작의 제어 정보를 출력하는 언로딩 동작 설정 수단을 구비한다. 이 자동 제어는 기판(3)의 탑재 작업과 마찬가지의 제어에 의해서 달성할 수 있다.

패널의 카트(2)로부터의 언로딩에 있어서는, 우선, 이동해 온 카트(2)가 패널 언로딩 로봇(15)의 전방에서 정지하면, 카메라에 의해 검지된 기준 표지 1X, 1Y 및 1Z의 위치에 기초하여, 카트(2)의 기준 정지 위치와 실 정지 위치 사이의 오차량이 산출된다. 이 산출된 오차량에 기초하여, 로봇 핸드의 제1 기준 이동 정지 위치인 제1 계측 지점의 수정이 행해진다. 따라서 카트(2)의 실 정지 위치에 오차가 생기더라도, 로봇 핸드의 제1 계측 지점은, 패널 위치를 특정할 수 있는 돌출부(38)상의 기준 표지 1H를 카메라에 의해 검지할 수 있는 위치로 수정된다.

스텝 2에서, 로봇 핸드가 수정된 제1 계측 지점에서 정지하면, 카메라에 의해서 돌출부(38)상의 기준 표지 1H가 검지되며, 패널의 기준 탑재 위치와 실 탑재 위치와의 사이의 오차량이 산출된다. 또한, 이 산출된 오차량에 기초하여, 로봇 핸드의 제2 기준 이동 정지 위치인 제2 계측 지점의 수정이 이루어진다. 스텝 1 및 2에 의해, 패널의 실 탑재 위치에 대한 로봇 핸드의 적정한 정지 위치가 결정된다.

이상과 같은 패널 언로딩 로봇(15)의 제어를 행함으로써, 카트(2)의 실제의 정지 위치의 편차, 제작 오차 혹은 각 부의 열변형이 있더라도, 적정한 위치에 로봇 핸드를 이동시켜 패널을 카트(2)로부터 자동 제어에 의해 언로딩할 수 있다.

Claims

폐쇄 루프(closed-loop) 형상으로 형성된 순환 경로와,

이 순환 경로상을 주행·정지를 반복하면서 순차적으로 이동하는 복수의 카트와,

이들 카트에 설치되고 서로 겹쳐진 적어도 1세트의 한 쌍의 기판이 탑재되는 기판 탑재부와,

이들 카트에 설치되고 배기관이 상기 한 쌍의 기판의 한쪽에 대면하도록 하여 착탈이 자유롭게 장착되는 배기관 장착부와,

이들 카트에 설치되고 상기 배기관 장착부에 접속되어 상기 배기관을 통하여 배기 처리를 행하는 배기 장치와,

상기 순환 경로에 마련되고 주행하는 상기 카트상의 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판 상호의 접합 및 상기 배기관의 이 기판에 대한 접합을 위해 열처리를 행하는 동시에, 이 카트의 상기 배기 장치에 의해 이 기판 사이로부터의 배기 처리가 이루어지는 열처리로(熱處理爐)와,

상기 순환 경로에, 상기 카트의 주행 방향을 따라서 상기 열처리로와 인접시켜 설비된 로더·언로더부와,

이 로더·언로더부에 서로 겹친 상기 한 쌍의 기판이나 상기 배기관을 반입하는 반입계와,

상기 로더·언로더부에 설치되고 제어 정보에 기초하여 동작되며, 상기 열처 리로에 장입(裝入)되는 상기 카트에 대해, 상기 배기관 장착부 및 상기 기판 탑재부에 대한 상기 배기관 및 상기 한 쌍의 기판의 공급을 행하는 동시에, 이 열처리로부터 추출된 이 카트에 대해, 이 기판과 접합되어 있는 이 배기관의 봉지(封止)·절단 및 절단 후에 잔류하는 이 배기관의 철거와, 이 배기관이 절단되어 완성된 패널의 언로딩을 행하는 작업 로봇과,

상기 로더·언로더부로부터 상기 패널을 반출하는 반출계와,

이들 카트, 배기 장치, 열처리로, 반입계, 작업 로봇 및 반출계를 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1에 있어서,

상기 카트는 배기 처리후이며 상기 배기관의 봉지·절단 전에, 상기 배기관 장착부의 이 배기관을 통하여, 상기 한 쌍의 기판 사이에 방전 가스를 주입하기 위한 방전 가스 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 배기 장치는 배기 펌프와, 배기되도록 개폐가 자유롭게 개방되는 배기 밸브와, 상기 한 쌍의 기판간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 상기 배기 밸브를 폐쇄하는 배기 밸브 컨트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디 스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 2에 있어서,

상기 방전 가스 공급 장치는 방전 가스 공급원과, 이 방전 가스 공급원으로부터 상기 배기관에 방전 가스를 공급하도록 개폐가 자유롭게 개방되는 공급 밸브와, 상기 한 쌍의 기판간 압력이 설정 압력에 도달한 것을 검출하여 상기 공급 밸브를 폐쇄하는 공급 밸브 컨트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 각 카트마다 주행·정지 조작을 행하는 것이 가능한 구동 기구를 구비하는 동시에, 정지한 상기 카트를 상기 순환 경로에 대해 고정 상태로 하기 위해서, 이 카트에 결합과 분리가 자유롭게 결합하는 록크 장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단은 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판의 상기 기판 탑재부에 대한 탑재 조작과 동시에 한쪽의 이 기판에 상기 배기관을 대면시키는 조립을 완료하기 위해서, 이 배기관을 상기 배기관 장착부에 장착한 후에, 상기 한 쌍의 기판을 상기 기판 탑재부에 탑재하도록 상기 작업 로봇을 제어하는 것을 특징으로 하는 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 배기관을 상기 반입계로부터 상기 카트의 상기 배기관 장착부에 공급하기 위해서, 이 카트의 실(實) 정지 위치 정보 및 이 배기관 장착부의 이 배기관의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 장착 위치 정보에 기초하여, 상기 작업 로봇에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보를 출력하는 공급 동작 설정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 7에 있어서,

상기 공급 동작 설정 수단은 미리 설정되어 있는 상기 카트의 기준 정지 위치 정보에 기초하여 실 정지 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 정지 위치에 대한 실 정지 위치의 편차로부터 상기 카트의 정지 위치를 수정하며, 미리 설정되어 있는 카트 정지 위치로부터의 상기 배기관 장착부의 기준 설치 위치 정보에 기초하여 실 설치 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 기준 설치 위치에 대한 실 설치 위치의 편차로부터 상기 배기관 장착부의 설치 위치를 수정하며, 상기 배기관의 실 장착 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 장착 위치에 대한 실 장착 위치의 편차로부터 이 배기관의 장착 위치를 수정하며, 수정한 수정 공급 동작을 상기 작업 로봇에 의한 배기관 공급 동작의 제어 정보로서 출력하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 배기관을 상기 반입계로부터 꺼내기 위해서, 꺼냄 대기 위치에 있어서의 이 배기관의 실 대기 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 대기 상태 정보에 대한 실 대기 상태 정보의 편차에 기초하여 꺼냄 동작을 수정하며, 수정한 수정 꺼냄 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 꺼냄 동작 수정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 배기관을 상기 배기관 장착부에 장착하기 위해서, 이 작업 로봇에 의한 이 배기관의 실 파지 상태 정보를 화상 정보로서 취득하고, 미리 설정되어 있는 상기 배기관의 기준 파지 상태 정보에 대한 실 파지 상태 정보의 편차에 기초하여 장착 동작을 수정하며, 수정한 수정 장착 동작을 제어 정보로서 출력하는 배기관 장착 동작 수정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 배기관 장착부는, 상기 배기 장치에 연통시켜 형성되며 상기 배기관을 위쪽을 향하게 하여 장착하기 위한 장착 구멍과, 이 장착 구멍에 설치되며 상기 배기관에 접리(接離) 가능하게 압접되어 이 배기관의 주위를 기밀하게 실링(sealing)하는 환상 실을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 11에 있어서,

상기 환상 실의 상태 변화에 관계없이 항상 상기 배기관을 위쪽으로부터 탑재되는 상기 한 쌍의 기판의 한쪽에 압접시키기 위해서, 상기 배기관 장착부를 상하 방향으로 이동이 자유롭게 하는 상하 슬라이드 기구를 구비하는 동시에, 상기 배기관 장착부를 위쪽을 향하여 부세(附勢)하는 부세 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 기판 탑재부에는, 복수의 칸막이부에 의해서 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판을 개별적으로 장입하는 기판 장입용 공간이 형성되는 동시에, 상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 각 한 쌍의 기판을 상기 기판 탑재부에 탑재하기 위해서, 상기 기판 장입용 공간의 치수를 화상 정보로서 취득하고, 취득된 치수 정보에 기초하여, 상기 한 쌍의 기판의 상기 기판 장입용 공간에 대한 장입 여부의 제어 정보를 출력하는 장입조작 판정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 작업 로봇에 의해 상기 반입계로부터 공급되는 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판의 통기 구멍을 상기 카트의 상기 배기관 장착부의 상기 배기관에 합치시키기 위해서, 이 배기관 장착부에 장착된 이 배기관의 중심 위치 정보 및 이 한 쌍의 기판의 탑재 대기 위치에 있어서의 이 통기 구멍의 중심 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 중심 위치 정보를 이용하여, 미리 상기 작업 로봇에 설정되어 있는 상기 한 쌍의 기판을 탑재 대기 위치로부터 상기 기판 탑재부에 공급하는 기준 탑재 동작에 의한 상기 배기관과 상기 통기 구멍의 중심 위치의 오차를 산출하고, 오차에 기초하여 수정한 수정 탑재 동작을 제어 정보로서 출력하는 탑재 동작 수정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 기판 탑재부는 적어도 1세트의 상기 한 쌍의 기판을 복수 개소에서 개개로 지지하는 복수의 서포트를 구비하고, 이들 복수의 서포트 가운데, 상기 배기관에 근접하는 적어도 하나의 근접 위치 서포트를 제외한 다른 원격 위치 서포트는 상기 한 쌍의 기판을 이 근접 위치 서포트에 비해서 상대 이동하기 쉽게 지지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 15에 있어서,

상기 원격 위치 서포트는 요동 가능한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 15에 있어서,

상기 원격 위치 서포트는 전동 축심이 상기 배기관의 중심 위치 방향과 직교시켜 배치되며, 그 위에 상기 한 쌍의 기판을 지지하는 롤러 기구로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라스마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단에 의한 자동 제어로 2 분할로 개폐가 자유롭게 작동되며, 상기 배기관의 봉지·절단을 행하기 위해 닫혀져 이 배기관 주위를 둘러싸는 히터를 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단에 의한 자동 제어로 작동되며, 상기 배기관의 봉지·절단을 행하기 위해서, 이 배기관을 용융시키는 버너 및 이 배기관을 연신시키도록 상기 배기관 장착부를 하강시키는 하강 수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기 제어 수단은 자동 제어로 상기 패널을 상기 카트의 상기 기판 탑재부로부터 상기 반출계에 언로딩하기 위해서, 이 카트의 실 정지 위치 정보 및 이 패널의 실 탑재 위치 정보를 화상 정보로서 취득하고, 이들 실 정지 위치 정보 및 실 탑재 위치 정보에 기초하여, 상기 작업 로봇에 의한 상기 패널의 언로딩 동작의 제어 정보를 출력하는 언로딩 동작 설정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템.