JP2006049220A - プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム - Google Patents

Abstract

【課題】プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することが可能なプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムを提供する。
【解決手段】閉ループ状の循環経路１と、循環経路上を移動する複数のカート２と、カートに設けられた基板搭載部と、カートに設けられ、排気管が装着される排気管装着部と、カートに設けられ、排気管装着部に接続された排気装置と、循環経路に設備され、封着処理および排気処理が行われる熱処理炉８と、循環経路に設備された積み卸し部９と、積み卸し部に基板や排気管を搬入するコンベア１０，１１と、積み卸し部に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、パネル製造作業を行うロボット１２〜１５と、積み卸し部からパネルを搬出するコンベア１６と、これらロボット等を制御する制御盤１７〜２０とを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することが可能なプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムに関する。

本願出願人はこれまで、プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムに関し、部分的ながら、例えば特許文献１〜５に開示されているような自動化技術を各種出願している。
特開２００２−１７５７５８号公報 特開２００２−３２４４８６号公報 特開２００３−１２３６４８号公報 特開２００３−１４１９９４号公報 特開２００３−１４６４０９号公報

従来のプラズマディスプレイパネル等のパネルの製造システムにあっては、上記特許文献１〜５などに基づいて、部分的な自動化が達成されているけれども、組立材料である基板や排気管の搬入から、カートへの搭載と搭載に伴う基板への排気管の配置、その後の熱処理炉内での加熱処理および排気処理の後の、排気管の封止・切断処理、そして製品化されたパネルの搬出等、これらの各種作業を一貫した自動制御の下に一連に行うことが可能な製造システムの案出が望まれていた。

すなわち、従来は、基板等のカートへの搭載から、製品化されたパネルの搬出までを一貫した自動制御にて連続的に製造することができるシステムは存在せず、通常は手動によってセッティングを行うバッチ式システムであり、そして殊に、製造プロセスにおいて基板がカート上で相対的な変位を生じることが多々あって、排気管と基板との相対位置を固定維持することが困難であり、このために全自動化を達成することができず、結局、歩留まりの改善や省力化、量産化の面において限界があった。

本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することが可能なプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムを提供することを目的とする。

本発明にかかるプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムは、閉ループ状に形成された循環経路と、該循環経路上を、走行・停止を繰り返しつつ順次に移動する複数のカートと、これらカートに設けられ、重ね合わされた少なくとも一組の一対の基板が搭載される基板搭載部と、これらカートに設けられ、排気管が上記一対の基板の一方に対面するようにして着脱自在に装着される排気管装着部と、これらカートに設けられ、上記排気管装着部に接続されて上記排気管を介して排気処理を行う排気装置と、上記循環経路に設備され、走行する上記カート上の少なくとも一組の上記一対の基板相互の接合および上記排気管の該基板への接合のために熱処理を行うとともに、該カートの上記排気装置により該基板間からの排気処理が行われる熱処理炉と、上記循環経路に、上記カートの走行方向に沿って上記熱処理炉と隣接させて設備された積み卸し部と、該積み卸し部に、重ね合わせた上記一対の基板や上記排気管を搬入する搬入系と、上記積み卸し部に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、上記熱処理炉に装入される上記カートに対して、上記排気管装着部および上記基板搭載部への上記排気管および上記一対の基板の供給を行うとともに、該熱処理炉から抽出された該カートに対して、該基板と接合されている該排気管の封止・切断および切断後に残留する該排気管の撤去と、該排気管が切断されて完成されたパネルの荷下ろしを行う作業ロボットと、上記積み卸し部から上記パネルを搬出する搬出系と、これらカート、排気装置、熱処理炉、搬入系、作業ロボット、並びに搬出系を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。

前記カートは、特にプラズマディスプレイパネルを製造する場合には、排気処理後であって前記排気管の封止・切断の前に、前記排気管装着部の該排気管を介して、前記一対の基板間に放電ガスを注入するための放電ガス供給装置を備えることを特徴とする。

前記排気装置は、排気ポンプと、排気すべく開閉自在に開放される排気バルブと、前記一対の基板間圧力が設定圧力に達したことを検出して上記排気バルブを閉止する排気バルブコントローラとを備えることを特徴とする。

前記放電ガス供給装置は、放電ガス供給源と、該放電ガス供給源から前記排気管へ放電ガスを供給すべく開閉自在に開放される供給バルブと、前記一対の基板間圧力が設定圧力に達したことを検出して上記供給バルブを閉止する供給バルブコントローラとを備えることを特徴とする。

前記各カート毎に走行・停止操作を行うことが可能な駆動機構を備えるとともに、停止した上記カートを前記循環経路に対して固定状態とするために、該カートに係脱自在に係合するロック装置が備えられることを特徴とする。

前記制御手段は、少なくとも一組の前記一対の基板の前記基板搭載部への搭載操作と同時に一方の該基板に前記排気管を対面させる組み立てを完了するために、該排気管を前記排気管装着部に装着した後に、上記一対の基板を上記基板搭載部に搭載するように前記作業ロボットを制御することを特徴とする。

前記制御手段は、自動制御で前記排気管を前記搬入系から前記カートの前記排気管装着部に供給するために、該カートの実停止位置情報および該排気管装着部の該排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実装着位置情報に基づき、前記作業ロボットによる排気管供給動作の制御情報を出力する供給動作設定手段を備えることを特徴とする。

前記供給動作設定手段は、予め設定されている前記カートの基準停止位置情報に基づき実停止位置情報を画像情報として取得し、基準停止位置に対する実停止位置の偏差から上記カートの停止位置を修正し、予め設定されているカート停止位置からの前記排気管装着部の基準設置位置情報に基づき実設置位置情報を画像情報として取得し、基準設置位置に対する実設置位置の偏差から上記排気管装着部の設置位置を修正し、前記排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準装着位置に対する実装着位置の偏差から該排気管の装着位置を修正し、修正した修正供給動作を前記作業ロボットによる排気管供給動作の制御情報として出力することを特徴とする。

前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記搬入系から取り出すために、取り出し待機位置における該排気管の実待機状態情報を画像情報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準待機状態情報に対する実待機状態情報の偏差に基づいて取り出し動作を修正し、修正した修正取り出し動作を制御情報として出力する排気管取り出し動作修正手段を備えることを特徴とする。

前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記排気管装着部に装着するために、該作業ロボットによる該排気管の実把持状態情報を画像情報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準把持状態情報に対する実把持状態情報の偏差に基づいて装着動作を修正し、修正した修正装着動作を制御情報として出力する排気管装着動作修正手段を備えることを特徴とする。

前記排気管装着部は、前記排気装置に連通させて形成され、前記排気管を上向きに装着するための装着孔と、該装着孔に設けられ、上記排気管に接離可能に圧接されて該排気管の周囲を気密にシールする環状シールとを備えることを特徴とする。

前記環状シールの状態変化にかかわらず常に、前記排気管を上方から搭載される前記一対の基板の一方に圧接させるために、前記排気管装着部を上下方向に移動自在とする上下スライド機構を備えるとともに、上記排気管装着部を上方へ向かって付勢する付勢手段を備えたことを特徴とする。

前記基板搭載部には、複数の仕切部によって、少なくとも一組の前記一対の基板を個別に装入する基板装入用空間が形成されるとともに、前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより上記各一対の基板を上記基板搭載部へ搭載するために、上記基板装入用空間の寸法を画像情報として取得し、取得された寸法情報に基づいて、上記一対の基板の上記基板装入用空間への装入の可否の制御情報を出力する装入操作判定手段を備えることを特徴とする。

前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記搬入系から供給される少なくとも一組の前記一対の基板の通気孔を前記カートの前記排気管装着部の前記排気管に合致させるために、該排気管装着部に装着された該排気管の中心位置情報および該一対の基板の搭載待機位置における該通気孔の中心位置情報を画像情報として取得し、これら中心位置情報を用いて、予め上記作業ロボットに設定されている上記一対の基板を搭載待機位置から上記基板搭載部へ供給する基準搭載動作による上記排気管と上記通気孔との中心位置の誤差を算出し、誤差に基づいて修正した修正搭載動作を制御情報として出力する搭載動作修正手段を備えることを特徴とする。

前記基板搭載部は少なくとも一組の前記一対の基板を複数箇所で個々に支持する複数のサポートを備え、これら複数のサポートのうち、前記排気管に近接する少なくとも一つの近接位置サポートを除く他の遠隔位置サポートは、上記一対の基板を、該近接位置サポートに比して相対移動し易く支持することを特徴とする。

前記遠隔位置サポートは揺動可能であることを特徴とする。

前記遠隔位置サポートは、転動軸心が前記排気管の中心位置方向と直交させて配置され、その上に前記一対の基板を支持するローラ機構で構成されることを特徴とする。

前記制御手段による自動制御で二つ割りに開閉自在に作動され、前記排気管の封止・切断を行うために閉じられて該排気管周囲を取り囲むヒータを備えたことを特徴とする。

前記制御手段による自動制御で作動され、前記排気管の封止・切断を行うために、該排気管を溶融させるバーナおよび該排気管を延伸させるべく前記排気管装着部を下降させる下降手段が備えられることを特徴とする。

前記制御手段は、自動制御で前記パネルを前記カートの前記基板搭載部から前記搬出系に荷下ろしするために、該カートの実停止位置情報および該パネルの実搭載位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実搭載位置情報に基づき、前記作業ロボットによる上記パネルの荷下ろし動作の制御情報を出力する荷下ろし動作設定手段を備えることを特徴とする。

本発明にかかるプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムにあっては、プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することができる。

以下に、本発明に係るプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムの好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムは概略的には図１〜図４に示すように、閉ループ状に形成された循環経路１と、循環経路１上を、走行・停止を繰り返しつつ順次に移動する複数のカート２と、これらカート２に設けられ、重ね合わされた少なくとも一組の一対の基板３，３が搭載される基板搭載部４と、これらカート２に設けられ、排気管５が一対の基板３の一方に対面するようにして着脱自在に装着される排気管装着部６と、これらカート２に設けられ、排気管装着部６に接続されて排気管５を介して排気処理を行う排気装置７と、循環経路１に設備され、走行するカート２上の少なくとも一組の一対の基板３相互の接合および排気管５の基板３への接合のために熱処理を行うとともに、カート２の排気装置７により排気管５を介して一対の基板３間からの排気処理が行われる熱処理炉８と、循環経路１に、カート２の走行方向に沿って熱処理炉８と隣接させて設備された積み卸し部９と、積み卸し部９に、重ね合わせた一対の基板３や排気管５を搬入する搬入系としての基板搬入用コンベア１０および排気管搬入用コンベア１１と、積み卸し部９に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、熱処理炉８に装入されるカート２に対して、排気管装着部６および基板搭載部４への排気管５および一対の基板３の供給を行うとともに、熱処理炉８から抽出されたカート２に対して、基板３と接合されている排気管５の封止・切断および切断後に残留する排気管５の撤去と、排気管５が切断されて完成されたパネルの荷下ろしを行う作業ロボット１２〜１５と、積み卸し部９からパネルを搬出する搬出系としてのパネル搬出用コンベア１６と、これらカート２、排気装置７、熱処理炉８、搬入系である基板搬入用コンベア１０、排気管搬入用コンベア１１、作業ロボット１２〜１５、並びに搬出系であるパネル搬出用コンベア１６を制御する制御手段１７〜２０とを備えて構成される。

積み卸し部９は、循環経路１を移動するカート２の走行方向に見ると、熱処理炉８と隣接する関係にあり、カート２への基板３や排気管５の供給作業や、カート２からの製品化されたパネルの荷下ろし作業を行う場所として設けられる。積み卸し部９には、搬入系として、フリットシールを介して重ね合わせた状態の一対の基板３を搬入する基板搬入用コンベア１０や、フリットシール２１が上端に設けられた排気管５を搬入する排気管搬入コンベア１１と、搬出系として、完成されたパネルを搬出するパネル搬出用コンベア１６が設けられる。カート２は、熱処理炉８から抽出されたパネルが搬出された後、新たに基板３と排気管５とが供給され、再び熱処理炉８へと装入される。

また積み卸し部９には、各種作業を行う作業ロボット１２〜１５が適宜配置される。具体的には、熱処理炉８の装入口８ａ側には、当該熱処理炉８へ向かうカート２の走行方向に沿って、カート２への排気管５や基板３の組立順序に従い、排気管ハンドリングロボット１２と、基板搭載ロボット１３が順次設けられる。排気管ハンドリングロボット１２は、排気管５を排気管搬入用コンベア１１からカート２の排気管装着部６に供給し、基板搭載ロボット１３は、互いに重ね合わされた一対の基板３を基板用搬入コンベア１０からカート２の基板搭載部４に供給する。また熱処理炉８の抽出口８ｂ側には、当該熱処理炉８から抽出されたカート２の走行方向に沿って、排気管封止切断ロボット１４と、パネル荷下ろしロボット１５が順次設けられる。

排気管封止切断ロボット１４は、基板３に接合されて排気処理に用いられた排気管５を封止しかつ切断するとともに、切断された排気管５を排気管装着部６から撤去する。またパネル荷下ろしロボット１５は、排気管５が切断されることで完成されたパネルをカート２から荷下ろしして、パネル搬出用コンベア１６に移載する。さらに、積み卸し部９には、適宜箇所に、カート２の走行や、排気装置７などカート２上の各種機器を制御するカート制御盤１７、熱処理炉８の運転を制御する炉制御盤１８、各種ロボットをそれぞれ制御する複数のロボット制御盤１９、そして基板３や排気管５の搬入用コンベア１０，１１やパネル搬出用コンベア１６を含む設備全体をコントロールする主制御盤２０が設けられる。

循環経路１は、工場設備内に設置される。この循環経路１は、互いに平行に一対並設され、例えば８つの車輪２２を備えるカート２がその上を走行するレール２３と、これらレール２３の両端にそれぞれ設けられ、カート２をレール２３相互間で乗り移りさせる一対のカート・トラバーサー２４，２５とから、全体として矩形状の閉ループ状に形成される。一対のレール２３の一方には、これに沿って熱処理炉８が設けられる。他方のレール２３は、熱処理炉８に並設する配置で設定された積み卸し部９に沿って設けられる。

この循環経路１には、順次に移動する複数のカート２が設けられ、これらカート２は、積み卸し部９に沿って他方のレール２３上を走行移動し、図中、レール２３の左端に達すると、カート２を熱処理炉８へ装入するための装入用カート・トラバーサー２４により、一方のレール２３へと乗り移り、その後、熱処理炉８内を経過して走行移動し、図中、レール２３の右端に達すると、カート２を積み卸し部９へと抽出するための抽出用カート・トラバーサー２５により、他方のレール２３へと乗り移るように、循環経路１を循環移動するようになっている。これらカート２は、走行と停止を繰り返す、いわゆるタクト運転により、順次に積み卸し部９と熱処理炉８との間を循環経路１に沿って走行される。

製造工程の自動制御化のために、本実施形態に係るパネル製造システムにあっては、各カート２毎に走行・停止操作を行うことが可能な駆動機構を備えるとともに、停止したカート２を循環経路１に対して固定状態とするために、図５に示すように、カート２に係脱自在に係合するロック装置２６が備えられる。まず、駆動機構について説明すると、各レール２３には、複数のカート２下に一連に配置して、レール方向に一定のストロークで反復的に前後進駆動され、かつその軸周りに一定の回転角度で反復的に正逆転駆動される駆動バー２７が設けられる。この駆動バー２７には、各カート２下に設けた係合部２８それぞれに係脱自在に係合する複数の突起２９が設けられる。

駆動バー２７は、各カート２の係合部２８それぞれに各突起２９が係合した状態で前進方向へ駆動され、その後停止されることで、複数のカート２個々を、同時に一定ストロークで前進させ、その後正転方向へ回転駆動されることで係合部２８から突起２９が離脱し、次いで、カート２が停止している状態で、後進方向へ駆動されて停止され、再度逆転方向へ回転駆動されることで各突起２９がカート２の係合部２８にそれぞれ係合し、この状態で再度前進方向へ駆動される動作が繰り返されて、複数のカート２個々を、走行・停止を繰り返しつつ一挙に一定ストロークで移動させるようになっている。また、カート２の走行は図２に示すように、その左右方向がサイドガイド３０にて案内される。

そしてこのカート２の停止時に、カート２の静止状態を維持するために、これらカート２の停止位置に配置して、カート２の係合部２８に係脱自在に係合するロック装置２６が設けられる。このロック装置２６は、例えばレール２３側に固定した図示しないシリンダ機構と、このシリンダ機構によって係合部２８に向かって進退駆動されるロック片３１とから構成される。ロック片３１はシリンダ機構により、カート２が停止して駆動バー２７の突起２９が離脱したことに応じて係合部２８に係合し、また突起２９が係合することに応じて係合部２８から離脱されるようになっていて、これにより、自動制御に便利なように、停止時のカート２の静止状態を保持することができる。カート２の走行機構は、ラックアンドピニオンを用いた自走式とすることでも、ほぼ同様に構成することができる。

カート２には図２などに示すように、基板搭載部４が設けられる。この基板搭載部４には、予め互いに重ね合わせた状態の一対の基板３がこれを一組として、横向きに寝かせて、あるいは縦向きに立てた状態で、複数組搭載される。図示例にあっては、複数の基板３を横置き状態で多段に搭載する形式の基板搭載部４が示されていて、この基板搭載部４は、カート２上に立設された４本の支柱３２と、これら支柱３２により支持された複数のサポート梁３３と、これらサポート梁３３に突設されて各基板３を複数の箇所で支持するサポート３４とから構成される。

基板３は、ガラス製や合成樹脂製、金属製などで形成される。一対の基板３は、いずれか一方の基板３の外周縁部にフリットシールを塗布した状態で他方の基板３を重ね合わせ、さらに図６に示すように、これら基板３をクリップ３５等の治具で挟み込んで一体化した状態で取り扱われる。また、いずれか一方の基板３には、コーナ部近傍に位置させて、熱処理炉８内でのこれら基板３間からの排気処理のために、またプラズマディスプレイパネルを製造する際には、排気処理後の放電ガスの注入などのために、排気管５が接合される通気孔３６が形成される。

カート２にはまた、複数搭載される基板３の組数に対応させて、複数の排気管装着部６が設けられる。カート２上には、図１５などに示すように、基板搭載部４の外側であって基板３の通気孔３６位置に近接させて１本の取り付け柱３７が設けられるとともに、この取り付け柱３７の高さ方向に多段に張り出し部３８が設けられ、複数の排気管装着部６は、これら張り出し部３８それぞれに取り付けられる。そして各排気管装着部６に、排気管５がそれぞれ着脱自在に装着される。排気管５は、各サポート３４上に支持される一対の基板３のうち、通気孔３６を有する基板３に下側から対面するようにして、その下方部分が排気管装着部６に挿入されて取り付けられる。この排気管５には、当該基板３に面する上端にフリットシール２１が塗布して設けられる。

特に、排気管５や一対の基板３をカート２に供給する排気管ハンドリングロボット１２や基板搭載ロボット１３は、自動制御化に適合する供給動作として、少なくとも一組の一対の基板３の基板搭載部４への搭載操作と同時に一方の基板３に排気管５を対面させる組み立てを完了するために、排気管５を排気管装着部６に装着した後に、一対の基板３を基板搭載部４に搭載するように、ロボット制御盤１９によって作動制御される。

これら排気管装着部６には、これに装着した排気管５を利用して一対の基板３間から排気処理を行うために、カート２に搭載された排気装置７が接続される。排気処理は、熱処理炉８内にてカート２を走行させながら行われる。排気装置７は図４に示すように、排気ポンプ３９と、排気すべく開閉自在に開放される排気バルブ４０と、一対の基板３間圧力が設定圧力に達したことを検出して排気バルブ４０を閉止するコントローラ４１とを備え、排気処理の自動制御が達成される。

また、カート２は必要に応じて、プラズマディスプレイパネルを製造する場合に必要な放電ガスを基板３間に注入するために、排気処理後であって排気管５の封止・切断の前に、排気管装着部６の排気管５を介して、一対の基板３間に放電ガスを注入する放電ガス供給装置４２を備える。放電ガス供給装置４２は、放電ガス供給源４３と、放電ガス供給源４３から排気管５へ放電ガスを供給すべく開閉自在に開放される供給バルブ４４と、一対の基板３間圧力が設定圧力に達したことを検出して供給バルブ４４を閉止するコントローラ４１とを備え、放電ガス注入作業の自動化が達成される。放電ガスの注入を行わない場合には、排気処理によって中空のパネルが形成されることになる。

各排気管装着部６には、それぞれ電磁式開閉弁４５を有する個別の配管４６を介してヘッダ４７が接続され、このヘッダ４７には、排気バルブ４０を有する排気配管４８を介して排気ポンプ３９が、また供給バルブ４４を有する給気配管４９を介してボンベ等の放電ガス供給源４３が接続される。ヘッダ４７は、排気ポンプ３９や放電ガス供給源４３で、複数組の基板３に対する排気処理や放電ガス封入処理を一括して連続的に行うために設置される。コントローラ４１は、圧力計５０と制御器５１とから構成される。ヘッダ４７には、各組の基板３間の圧力を検知するために圧力計５０が設けられる。圧力計５０の検知出力は制御器５１に出力され、制御器５１は、各バルブ４０，４４の開閉や、排気ポンプ３９の作動などを制御する。

排気処理では、排気バルブ４０および個別配管４６の電磁式開閉弁４５がともに開放されて各基板３間が排気ポンプ３９と連通され、各基板３間は１０^-4〜１０^-7Ｔｏｒｒまで排気される。放電ガスの注入処理では、排気ポンプ３９が停止され、排気バルブ４０が閉じられるとともに、供給バルブ４４が開放され、放電ガス供給源４３から、例えば、Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ等の放電ガスが基板３間に４００〜７００Ｔｏｒｒまで注入される。

排気処理については、ヘッダ４７に、排気配管４８および給気配管４９に対して切り換え可能に、図示しない電磁式開閉弁を介してパージガス供給管を接続するようにし、排気処理の初期に、基板３間から排気し、ついでパージガスを基板３間に供給し、その後再度基板３間から排気するパージ工程を設定するようにしても良い。

熱処理炉８は図３に示すように、カート２の移動方向に沿う装入口８ａ側から抽出口８ｂ側に向かって順次に、それぞれ複数のゾーンからなる封着処理ブロックＡ、排気処理ブロックＢ、および冷却処理ブロックＣに分けて構成され、各ブロックＡ〜Ｃは必要な熱処理操作のために異なる炉内温度に設定され、熱処理炉８内を走行するカート２は各ブロックＡ〜Ｃで当該炉内温度の炉内雰囲気に晒される。熱処理炉８の炉床には、炉床下のレール２３でカート２を走行させるために、全長にわたって開口部が形成される一方で、カート２には、当該開口部を封鎖する断熱部材が設けられ、レール２３上を複数のカート２が互いに隣接した状態で連続的に走行されることで、当該炉床の開口部はこれらカート２の断熱部材によって封鎖された状態となる。

順次封着温度まで炉内雰囲気が上昇される封着処理ブロックＡと、封着温度よりも若干低い排気温度に一定に保たれる排気処理ブロックＢには、炉体内に設けた循環バッフルにより形成された循環通路に、ラジアントチューブバーナまたは電熱ヒータ等の熱源が配置され、炉内雰囲気は、熱源により加熱されつつ循環ファンにより循環されて、基板３等を加熱する。冷却処理ブロックＣは、封着処理ブロックＡや排気処理ブロックＢにおける熱源に加えて、外気導入開口あるいは冷却チューブ等の冷却源が備えられる。封着処理ブロックＡでは、フリットシールの溶融により一対の基板３同士が接合され、また基板３へ排気管５が接合される封着処理が達成され、排気処理ブロックでは、排気装置７による排気管５を介しての排気処理が行われる。また、熱処理炉８の抽出口８ｂと抽出用カート・トラバーサー２５との間に、基板３間に放電ガスを注入するための放電ガス注入エリア５２が設けられる。

以下、おおよそパネルの製造工程に従って、自動制御化に好ましい構成を順次説明する。まず、自動制御で排気管５を装着するのに好ましい排気管装着部６、並びに熱処理炉８における熱処理の影響を考慮して、排気管５を保持する排気管装着部６を好ましく取り付けることができる構造について説明する。

図６〜図１１に示すように、排気管装着部６は、その中心部に、個別配管４６を介して排気装置７に連通させて形成され、排気管５を上向きに装着するための装着孔５３と、装着孔５３に設けられ、排気管５に接離可能に圧接されて排気管５を保持しつつ、その周囲を気密にシールする弾性部材からなる中空の環状シール５４とを備える。また、環状シール５４の状態変化にかかわらず常に、排気管５を上方から搭載される一対の基板３の一方に圧接させるために、排気管装着部６を上下方向に移動自在とする上下スライド機構としての滑りガイド５６を備えるとともに、排気管装着部６を上方へ向かって付勢する付勢手段としてのスプリング５５を備える。

排気処理は、下方部が排気管装着部６に装着されたガラス製などの排気管５の上端を基板３に押圧した状態で、熱処理炉８内で加熱することにより排気管５を通気孔３６に接合した後、この排気管５から排気管装着部６を介して基板３間からの排気を行うようになっている。排気管５を基板３へ接合するに際しては、排気管５の上端を基板３に押圧した状態、すなわち、排気管５に適度な圧縮応力が作用している状態で加熱して融着させる。

排気管装着部６はさらに、熱処理時の熱に対してこの環状シール５４を冷却するためにその周囲に配設された環状水冷ジャケット５７と、環状シール５４の内部空間に連通されたエア供給・排気管５８と、これらを上下から挟持する上部端面部材５９および下部端面部材６０とを備え、排気管装着部６自体は、上部端面部材５９の下方に設けられたスプリング５５を介して、取り付け柱３７の張り出し部３８に上下動自在に支持されている。６１は冷却水供給管、６２は冷却水排出管である。排気管５は接合側である上端が漏斗形状に形成され、排気管５の一定径の下方部は、上部端面部材５９の開口から環状シール５４を貫いて装着孔５３内の所定位置に配置される。この状態で、エア供給・排気管５８から供給された高圧エアにより膨張した環状シール５４により排気管５の外周部は気密に保持される。環状シール５４は機械的に膨張収縮させるようにしても良い。

排気管５を排気管装着部６へ装着するには、予めフリットシール２１を上端に塗布しておき、この排気管５の下方部を排気管装着部６の装着孔５３内に挿入する。この場合、排気管５の上端は、基板３がサポート３４上に水平に搭載された時の基板３の下面位置より１〜２ｍｍ程度上方に突出するように位置決めしたのち、エア供給・排気管５８から高圧エアを環状シール５４の内部空間に供給して排気管５の周面を当該環状シール５４により締め付けて固定する。

その後、通気孔３６が排気管５に合致するように基板３をカート２上に搭載する。排気管５の上端が基板３の下面より若干突出して排気管装着部６に固定されているため、排気管装着部６はスプリング５５の弾発力に抗して下降し、排気管５の上端は基板３の下面に押圧された状態で密着する。これにより、排気管５は、適度な圧縮応力が加わっている状態で、排気管装着部６に気密に保持され、この状態でカート２が熱処理炉８内に装入され、封着・排気処理が行われる。排気管５に適度な圧縮応力が作用している状態で加熱して排気管５を基板３に融着させるため、リーク等が発生することのない確実な接合を形成できるとともに、また、封着・排気処理時に排気管５が変形することも無く、その後の切断作業を効率よく行うことができ、したがって、排気管５の封止・切断作業の自動制御化を円滑に導入することができる。

さらにまた、カート２の走行時、また封着・排気処理等の間、排気管５と基板３の各部が相対的に一定の位置関係を保つことが望ましいが、振動や衝撃により、或いは熱膨張や収縮の差等によって排気管装着部６と基板３との間に相対的位置ずれを起こす場合がある。この場合、例えば、環状シール５４から排気管５に作用する力が過大であると、この力が基板３と排気管５とを一体的に固定する力に打ち勝ち、排気管５が傾斜して破損したり、或いはフリットシール２１が基板３の下面から離れて封着処理が不可能となる等の問題が生じるおそれがあり、これを考慮する必要がある。また、排気管装着部６と基板３との間に水平方向での相対的位置ずれが発生した場合、排気管装着部６が平行移動せず、傾斜することがある。この場合、排気管５に回転を生じさせる好ましくない力が作用し、排気管５に過大な曲げモーメントが作用して、排気管５が傾斜し、排気管５の破損や、封着処理が不可能になるという事態も考慮する必要がある。

図示例にあっては、上部端面部材５９の下方に設けられたスプリング５５を介して排気管装着部６が張り出し部３８に支持されているが、この場合も前記同様の問題が生じることが考えられる。

そこでさらに、張り出し部３８と下部端面部材６０との間に滑りガイド５６が介設されている。この滑りガイド５６は、摺動作用を円滑化するカーボン製などの内周面を有する筒状体６３とこの筒状体６３内に摺動可能に嵌挿されたロッド部材６４とからなり、筒状体６３は張り出し部３８の下面に固定され、ロッド部材６４は下部端面部材６０に立設されている。そして、この滑りガイド５６により張り出し部３８に対して、排気管装着部６は相対的に横方向の移動は規制され、上下方向にのみ移動可能となっている。

基板３を上から載置することで排気管装着部６が基板３の自重により押し下げられて若干下降する際、滑りガイド５６により排気管装着部６が案内されて、排気管５は横方向の力を受けることなく、上下方向にのみ変位可能となっている。滑りガイド５６の作用と相俟って、スプリング５５による排気管装着部６、ひいては排気管５の上端の基板３への押圧作用により、フリットシール２１と基板３との間の摩擦力が大きく確保されるため、封着工程において、加熱される基板３は排気管５が押圧された通気孔３６を基点として膨張するようになり、排気管５と通気孔３６との間での位置ずれは生じない。また、この封着工程において、基板３に反りが生じたとしても、排気管５は滑りガイド５６の作用によりスプリング５５によって確実に上向きに付勢されているため、基板３とフリットシール２１との間に隙間が生じることもない。

従って、クリップ３５で基板３と排気管５とを一体固定することなく封着処理することが可能であるため、排気管５とともに基板３を熱処理炉８内に装入する際の衝撃や振動に伴い、或いは封着・排気処理時における各部の熱膨張や収縮の差から生じる熱変形に伴い排気管５に過大な力、特に側方から排気管５を回転させようとする力が作用するのを回避でき、さらに、クリップ３５による傷の発生、排気管５の損傷を防止できるとともに、封着処理の準備作業が簡素化され、その信頼性も向上させることができる。このように、排気管装着部６をスプリング５５により支持するとともに、上下方向にのみ変位可能としているため、基板３に向けて押圧され、封着される排気管５が垂直に保たれ、排気管５にこの垂直な方向以外の意図しない方向の力が作用せず、排気管５の押圧状態の維持が容易になる。

付勢手段としては、スプリング５５に代えて、図１２に示すように、排気管装着部６を一端に取り付けた梃子６５の他端にカウンターウエイト６６を設ける形式としても良い。

次に、排気管５の排気管装着部６への装着操作の自動制御化について説明する。排気管ハンドリングロボット１２のロボット制御盤１９などの制御手段は、自動制御で排気管５を排気管搬入用コンベア１１からカート２の排気管装着部６に供給するために、カート２の実停止位置情報および排気管装着部６の排気管５の実装着位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実装着位置情報に基づき、排気管ハンドリングロボット１２による排気管供給動作の制御情報を出力する供給動作設定手段を備える。

供給動作設定手段は、予め設定されているカート２の基準停止位置情報に基づき実停止位置情報を画像情報として取得し、基準停止位置に対する実停止位置の偏差からカート２の停止位置を修正し、予め設定されているカート停止位置からの排気管装着部６の基準設置位置情報に基づき実設置位置情報を画像情報として取得し、基準設置位置に対する実設置位置の偏差から排気管装着部６の設置位置を修正し、排気管５の実装着位置情報を画像情報として取得し、予め設定されている排気管５の基準装着位置に対する実装着位置の偏差から排気管５の装着位置を修正し、修正した修正供給動作を排気管ハンドリングロボット１２による排気管供給動作の制御情報として出力するようになっている。

排気管ハンドリングロボット１２のロボット制御盤１９などの制御手段は、自動制御で排気管ハンドリングロボット１２により排気管５を搬入系の排気管搬入用コンベア１１から取り出すために、取り出し待機位置における排気管５の実待機状態情報を画像情報として取得し、予め設定されている排気管５の基準待機状態情報に対する実待機状態情報の偏差に基づいて取り出し動作を修正し、修正した修正取り出し動作を制御情報として出力する排気管取り出し動作修正手段を備える。

排気管ハンドリングロボット１２のロボット制御盤１９などの制御手段は、自動制御で排気管ハンドリングロボット１２により排気管５を排気管装着部６に装着するために、排気管ハンドリングロボット１２による排気管５の実把持状態情報を画像情報として取得し、予め設定されている排気管５の基準把持状態情報に対する実把持状態情報の偏差に基づいて装着動作を修正し、修正した修正装着動作を制御情報として出力する排気管装着動作修正手段を備える。

排気管搬入用コンベア１１で積み卸し部９に搬入される排気管５は排気管装着部６への供給にあたり、図１３に示すように、排気管５だけの状態でトレイ６７に立てて準備されるか、図１４に示すように排気管５の上端にフリットシール２１が配置された状態でトレイ６７に立てて準備される。そして、排気管５は、排気管装着部６の装着孔５３内に挿入される。ところで、排気管５はガラス製等で破損し易く、また図１３に示すように、製作誤差のため、排気管５の長さは、ΔＬ１（基準長さ±１mm程度）のばらつきが生じ一定でない。さらに、この排気管５の上端にフリットシール２１が配置された状態において、図１４に示すように排気管５およびフリットシール２１を含めた寸法においても、ΔＬ２のばらつきが生じる。一方、排気管装着部６の上面と排気管５の上端との間の距離を一定の値に保つ必要がある。

これらの理由から、排気管５の排気管装着部６への装着は、人手により、以下の手順により行われている。まず、トレイ６７から取り出された１本の排気管５が、作業者の目視確認により排気管装着部６の装着孔５３内に挿入される。続いて、排気管装着部６の上面と排気管５の上端との間の距離が一定の値になるように排気管５の高さが調整される。最後に、高さ調整された排気管５が環状シール５４に高圧エアを送り込むことにより排気管装着部６に気密に保持される。しかしながら、人手による排気管５の排気管装着部６への装着は、作業効率が悪く、生産性が低い。自動化のための排気管ハンドリングロボット１２を採用し、排気管５を排気管装着部６へ装着する一連の動作を自動制御することが好ましい。

この場合、定位置に固定設置された排気管ハンドリングロボット１２の前方にカート２が停止した後、一連の装着動作が開始されるが、カート２は決められた基準停止位置にて常に停止するとは限らず、その停止位置のばらつきは避けられない。また、カート２上に取り付けて設けられる排気管装着部６および基板搭載部４それ自体が熱処理炉８内における封着・排気処理過程で熱変形するため、排気管装着部６の装着孔５３の位置にもばらつきが生じる。さらに、装着孔５３内に排気管５が挿入された場合でも、排気管装着部６の高さにばらつきがあるため、排気管５を排気管装着部６で正常に保持させることが難しい。そこで、これらに対する対策を施すことが、自動制御下には必要となる。

図２４および図２５に示すように、カート２のコーナ部に基準標識１Ｘ、１Ｙおよび１Ｚが取付けられており、基準標識１Ｘはレール２３に沿った水平なＸ軸方向におけるカート２の位置を示す基準となり、基準標識１Ｙはレール２３に直交する水平なＹ軸方向におけるカート２の位置を示す基準となり、基準標識１ＺはＸ軸およびＹ軸に直交するＺ軸方向におけるカート２の位置、即ち高さを示す基準となる。また、図１５および図１６に示すように、カート２上に立設された取り付け柱３７の張り出し部３８の各々にも、その位置を示す基準となる基準標識１Ｈが設けられている。基準標識１Ｘ，１Ｙおよび１Ｚは、カート２そのものに形成したものでもよく、カート２とは別個の部材により形成したものでもよい。同様に、基準標識１Ｈは張り出し部３８そのものに形成したものでもよく、張り出し部３８とは別個の部材により形成したものでもよい。

一方、積み卸し部９の定位置に固定して設けられる排気管ハンドリングロボット１２は、三次元的に直線運動および回転運動可能なロボットハンドを有する。このロボットハンドには、各種の制御情報を画像情報として取得するためにカメラ６８が取付けられており、このカメラ６８により図１７に示すように、排気管装着部６の装着孔５３が検知される。そして、ロボットハンドにより、装着孔５３の中心位置座標を算出するための第一作動と、トレイ６７に収納された特定の排気管５を把持して装着孔５３内に挿入する第二作動とが行われる。第二作動においては、図１８および図１９に示すように、ロボットハンドのチャック部６９により把持される排気管５の上端がカメラ６８により検知され、チャック部６９から排気管５の上端までの距離、或いは排気管５にフリットシール２１が設けられている場合には、チャック部６９からフリットシール２１の上端迄の距離が計測される。

排気管５の排気管装着部６への挿入にあたっては、まず、ステップ（１）で、移動してきたカート２が排気管ハンドリングロボット１２の前方で停止すると、カメラ６８により検知された基準標識１Ｘ，１Ｙおよび１Ｚの位置に基づいて、カート２の基準停止位置と実停止位置との間の誤差量（Δｘ１，Δｙ１，Δｚ１）が算出される。この算出された誤差量（Δｘ１，Δｙ１，Δｚ１）に基づき、ロボットハンドの第一基準移動停止位置である第一計測地点の修正が行われる。例えば、誤差量のＸ軸方向成分が＋ΔＸであれば、ロボットハンドのストロークのＸ軸方向成分をΔＸだけ長くし、逆に誤差量のＸ軸方向成分が−ΔＸであれば、ストロークのＸ軸方向成分をΔＸだけ短くする。Ｙ軸方向、Ｚ軸方向についても同様の修正が行われる。従って、カート２の実停止位置に誤差が生じても、ロボットハンドの第一計測地点は張り出し部３８上の基準標識１Ｈをカメラ６８により検知できる位置に修正される。

ステップ（２）で、ロボットハンドが修正された第一計測地点にて停止すると、カメラ６８によって張り出し部３８上の基準標識１Ｈが検知され、排気管装着部６の基準配置位置、具体的には装着孔５３の中心位置と実配置位置との間の誤差量（Δｘ２，Δｙ２，Δｚ２）が算出される。さらに、この算出された誤差量（Δｘ２，Δｙ２，Δｚ２）に基づき、前記と同様にしてロボットハンドの第二基準移動停止位置である第二計測地点の修正が行われる。従って、排気管装着部６の基準配置位置に誤差が生じても、ロボットハンドの第二計測地点は、装着孔５３の中心位置をカメラ６８により検知できる位置に修正される。

続いて、ステップ（３）で、ロボットハンドが修正された第二計測地点にて移動停止して、図１７に示すように装着孔５３の中心位置の上方にカメラ６８が移動し、このカメラ６８により装着孔５３の基準中心位置と実中心位置との間の誤差量（Δｘ３，Δｙ３，Δｚ３）が算出される。ステップ（１）〜（３）により、排気管５の装着作業時におけるロボットハンドの排気管装着部６上における適正な停止位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が決定される。

一方、ロボットハンドの前記停止位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）からの下降停止位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ１）は、Ｚ軸方向の排気管装着部６の高さ情報と把持対象である排気管５の実長さ情報或いは排気管５にフリットシール２１を加えた実長さ情報とに基づき決定される。例えば、ロボットハンドのチャック部６９による排気管５の把持位置、即ちロボットハンドの停止位置を一定とすれば、図１８および図１９に示すように、チャック部６９から排気管５の上端までの距離Ｈ１或いはチャック部６９からフリットシール２１の上端までの距離Ｈ２が計測され、排気管５の基準長さと実長さとの間の誤差量（ΔＬ）が算出される。なお、図１８は排気管５のみを装着孔５３内に挿入する場合を、図１９はフリットシール２１が上端に配置された排気管５を装着孔５３内に挿入する場合を示している。

そして、排気管装着部６のＺ軸方向の前記高さ情報と排気管５に関する前記誤差量（ΔＬ）とに基づき、排気管５の実長さに対応したロボットハンドの下降停止位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ１）が決定される。例えば、排気管５の実長さと基準長さとの間の誤差量（＝実長さ−基準長さ）が＋ΔＬであれば、ロボットハンドの下降停止位置は誤差量が零である場合を基準にしてΔＬだけ低い位置となり、常に排気管５或いはフリットシール２１の上端と排気管装着部６の高さとの位置関係は一定となる。

ところで、前述した操業例では、チャック部６９により排気管５を把持した後に排気管５或いはフリットシール２１の上端位置を計測したが、これに限定することなく、チャック部６９により排気管５を把持する前に予め排気管５或いはフリットシール２１の上端位置を計測しておいてもよい。この場合、チャック部６９により排気管５を把持する前に予めカメラ６８等により排気管５或いはフリットシール２１の上端位置を計測しておき、この計測された上端位置情報に基づきチャック部６９による排気管５の把持位置を修正し、その後、排気管装着部６の高さ情報に基づいてロボットハンドの下降停止位置を補正すればよい。

以上のような排気管ハンドリングロボット１２の制御を行うことで、カート２の実際の停止位置のばらつき、製作誤差或いは張り出し部３８等の熱変形による排気管装着部６における装着孔５３の中心位置のばらつき、さらに排気管５の製作誤差による排気管長さのばらつきが生じても、装着孔５３に合わせて、かつ排気管５の長さに合わせて適正な位置に排気管５を装着孔５３内に装着することができる。また、ばらつきの大きいカート２の停止位置を検知して、検知範囲を絞ったうえで、ばらつきの小さい装着孔５３の中心位置を検知するようにしているため、カメラ６８の視野が狭くても、装着孔５３の中心位置が確実に検知され、排気管５の装着孔５３内への装着がより円滑に行われる。

次に、排気管装着部６に排気管５が装着されているカート２上に、基板３を自動制御で搭載するのに好適な構成について説明する。基板搭載部４には、複数の仕切部であるサポート梁３３によって、少なくとも一組の一対の基板３を個別に装入する基板装入用空間Ｓが形成されるとともに、基板搭載ロボット１３のロボット制御盤１９などの制御手段は、自動制御で基板搭載ロボット１３により各一対の基板３を基板搭載部４へ搭載するために、基板装入用空間Ｓの寸法を画像情報として取得し、取得された寸法情報に基づいて、一対の基板３の基板装入用空間Ｓへの装入の可否の制御情報を出力する装入操作判定手段を備える。

基板搭載ロボット１３のロボット制御盤１９などの制御手段は、自動制御で基板搭載ロボット１３により基板搬入用コンベア１０から供給される少なくとも一組の一対の基板３の通気孔３６をカート２の排気管装着部６の排気管５に合致させるために、排気管装着部６に装着された排気管５の中心位置情報および一対の基板３の搭載待機位置における通気孔３６の中心位置情報を画像情報として取得し、これら中心位置情報を用いて、予め基板搭載ロボット１３に設定されている一対の基板３を搭載待機位置から基板搭載部４へ供給する基準搭載動作による排気管５と通気孔３６との中心位置の誤差を算出し、誤差に基づいて修正した修正搭載動作を制御情報として出力する搭載動作修正手段を備える。

サポート梁３３の配置間隔をＤ、サポート３４の高さをｈとすると、一対の基板３はサポート３４の上面とサポート梁３３の下面との間の縦方向に寸法（Ｄ−ｈ）の空間、即ち基板装入用空間Ｓに装入されることになる。また、基板１のサポート３４上への載置は、基板１のコーナ部近傍に設けられた通気孔３６の中心と排気管５の中心とを一致させることが必須条件となっている。

一方、支柱３２及びサポート梁３３が、熱処理炉８内での封着・排気工程において熱変形するため、サポート３４の上面とサポート梁３３の下面との間の間隔が前述した寸法（Ｄ−ｈ）から変化し、一定の値に保たれない。また、排気管装着部６の装着孔５３の位置、即ち排気管装着部６に装着された排気管５の中心位置は、カート２の停止位置のばらつきや前述した熱変形等により一定ではない。さらに、基板３の通気孔３６の位置は製作時の誤差によっても一定にはならない。これらの理由により基板１のカート２への積載は人手により行われている。人手による基板３のカート２への積載は、作業効率が悪く、また生産性が低い。そこで、自動制御化のための基板搭載ロボット１３を採用し、ロボットハンドにより基板３を保持して、基板装入用空間Ｓまで移送し、サポート３４上に載置することが考えられる。

しかしながら、基板装入用空間Ｓが前記寸法（Ｄ−ｈ）の状態から変化して、これよりも小さくなり、十分な高さを有さない場合であっても、基板３はロボットハンドにより基板装入用空間Ｓ内に装入され、基板１とサポート３４或いはロボットハンドとサポート梁３３とが衝突し、これらを破損するおそれがあり、これを考慮に入れる必要がある。また、ロボットハンドにより基板３を常に同じ位置に移送するとしても、カート２の停止位置にばらつきがあり、基板３の通気孔３６の中心と排気管５の中心の各位置が必ずしも一致するとは限らないことにも、留意する必要がある。

レール２３の側方の積み卸し部９に基板搭載ロボット１３が配置されており、カート２上に配設された複数段のサポート梁３３の外側面の三箇所に、図２０に示すように、基準標識７０が設けられている。この基準標識７０はサポート梁３３自体に加工して形成してもよく、別部材により形成してもよい。また、カート２上の各排気管装着部６には、排気管ハンドリングロボット１２により排気管５が装着されている。そして、基板搭載ロボット１３のロボットハンドに設けた図示しないカメラによりこの基準標識７０が検知されて、各段におけるサポート梁３３の実際の高さが計測され、以下の手順により基板３のカート２への積載が行われる。

基板３のカート２への積載は図２１に示すように、まず、ステップＳ１で、カメラにより検知された基準標識７０の高さに基づき、各段のサポート梁３３の下面とその下方のサポート３４との間の隙間寸法の算出が行われる。具体的には、例えば１段目と２段目に関して、図２０に示すように検知された各基準標識１の高さから、各サポート３４の上面の基準レベルＬ０からの高さＺ１ａ，Ｚ１ｂ，Ｚ１ｃ，Ｚ２ａ，Ｚ２ｂ，Ｚ２ｃが算出され、Ｚ１ａ，Ｚ１ｂ，Ｚ１ｃの中で最大値、即ちＭａｘ（Ｚ１ａ，Ｚ１ｂ，Ｚ１ｃ）とＺ２ａ，Ｚ２ｂ，Ｚ２ｃの中で最小値、即ちＭｉｎ（Ｚ２ａ，Ｚ２ｂ，Ｚ２ｃ）が求められる。さらに、隙間寸法として、[Ｍｉｎ（Ｚ２ａ，Ｚ２ｂ，Ｚ２ｃ）−Ｍａｘ（Ｚ１ａ，Ｚ１ｂ，Ｚ１ｃ）−Ｄ]の値が算出される。この値は、可能性としてあり得る最も小さい隙間寸法の値である。

ステップＳ２で、算出された隙間寸法の場合、ロボットハンドに保持された基板３の装入が可能か否かの判断がなされ、YESの場合にはステップＳ３に進み、NOの場合にはステップＳ７に進む。ステップＳ３で、図２２及び図２３に示すように、ロボットハンドにより基板３を固定カメラ７１の上方の定位置に移送して、この固定カメラ７１により装入前の基板３の通気孔３６が検知され、ロボットハンドの一定の動作によりこの基板３をサポート３４の上方に移送した場合におけるロボットハンドの移動停止位置での通気孔３６の中心位置の計測が行われる。

ステップＳ４で、既にロボットハンドのカメラにより検知され、求められている排気管５の中心位置とステップＳ３で計測された通気孔３６の中心位置とが一致するか否かの判断がなされ、YESの場合にはステップＳ５に進み、NOの場合にはステップＳ９に進む。ステップＳ５で、排気管５の中心位置と通気孔３６の中心位置とが一致するということで、ロボットハンドにより基板３が上下のサポート梁３３間に移送され、排気管５の上方に位置させられた後、サポート３４上に載置され、基板３の装入が完了する。

この装入の後、必要に応じて、ステップＳ６で、ロボットハンドによりクリップ３５を用いて基板３と排気管５との固定が行われる。一方、ステップＳ７で、上下のサポート梁３３への基板３の装入はできないということで、即ちサポート梁３３が異常に変形しているということで警報を発し、続くステップＳ８でカート２への基板３の積載作業を中止する。また、ステップＳ９で、通気孔３６の中心位置が予め決められた正規の位置からずれて、この正規の位置からの誤差を生じているということで、その誤差の算出が行われる。

さらに、ステップＳ１０で、ステップＳ９での算出結果に基づき、ロボットハンドの移動停止位置の修正がなされ、その後ステップＳ５に進み、前述したように基板３のサポート３４上への装入が行われる。以上のようにして、基板３が排気管５の上に載置され、基板３のカート２への積載が完了する。そして、上述した作業がサポート梁３３の段数だけ繰返される。

カート２に基板搭載ロボット１３により基板３を積載するに際し、基板装入用空間Ｓの高さを計測し、この基板装入用空間Ｓへの基板３の装入が可能か否かを判断し、可能である場合に、基板３の通気孔３６の中心位置情報と排気管装着部６の排気管５の中心位置情報とに基づき、両中心位置が一致するように基板３を保持したロボットハンドの移動停止位置を必要に応じて修正した後、サポート３４上に基板３を移送するようにしてあるため、基板搭載ロボット１３により基板３を他の部分との衝突を起こすことなく基板装入用空間Ｓに装入し、適正位置に移送することが可能になり、自動制御化によって作業効率を向上させることができる。

次に、パネル製造作業の自動制御化にあたり、基板搭載部４とこれに搭載した基板３とが熱処理操作などによって位置ズレすることに対応できる機構について説明する。基板搭載部４は少なくとも一組の一対の基板３を複数箇所で個々に支持する複数のサポート３４を備え、これら複数のサポート３４のうち、排気管５に近接する少なくとも一つの近接位置サポート３４ａを除く他の遠隔位置サポート３４ｂは、一対の基板３を、近接位置サポート３４ａに比して相対移動し易く支持するようになっている。遠隔位置サポート３４ｂは揺動可能に構成してもよい。またあるいは、遠隔位置サポート３４ｂは、転動軸心Ｔが排気管５の中心位置方向と直交させて配置され、その上に一対の基板３を支持するローラ機構で構成される。

熱処理にあっては、カート２の各部や基板３の熱膨張、収縮を伴う。この場合、カート２の各部及び基板３の熱膨張率が必ずしも同一でなく、それぞれの熱膨張、収縮による変化量の差異や各部温度に起因して排気管５と基板３との接合部や排気管５自体に外力が作用すると、排気管５と基板３の通気孔３６との間の位置ずれや排気管５の破損という事態を招くおそれがあることに留意する必要がある。

このため、カート２では、排気管５を保持する排気管装着部６に接続する個別配管４６などの配管類をフレキシブルチューブとし、このフレキシブルチューブを介して排気管装着部６を張り出し部３８に取り付けることにより排気管装着部６の移動を拘束しないようにするなどの工夫がなされる。これにより、排気管装着部６の荷重や外力が排気管５に作用するのを極力回避しようとしているが、これが自動化等の省力化の大きな障害になるとともに、排気管５に作用する外力を完全には排除できないため、上述した位置ずれや破損が生じるおそれがあり、これがプラズマディスプレイパネル等のパネル製造上の歩留まり低下の原因になっている点を考慮することが望ましい。

また、サポート３４が突設されたサポート梁３３の熱膨張率と基板３の熱膨張率とを同じにしたり、サポート３４上に基板３と同じ膨張率を有するベースプレートを設置し、これにサポート３４を突設することも考えられるが、基板３がガラス製などであるため、これと同材料としたサポート梁３３やベースプレートは破損やそりが生じ易く、またカート２全体の重量が増し、熱効率の低下を招く等の問題も改善することが好ましい。

図２４および図２５に示すように、カート２上には、サポート梁３３とは別に、取り付け柱３７で支持されている張り出し部３８の延長部７４に、排気管５近傍に位置させて近接位置サポート３４ａが突設される一方で、支柱３２で支持されているサポート梁３３には、近接位置サポート３４ａよりも排気管５から離れて位置する遠隔位置サポート３４ｂが突設されている。そして、近接位置サポート３４ａの上端面と基板３との間の摩擦係数は遠隔位置サポート３４ｂの上端面と基板３との間の摩擦係数よりも大きくなっている。例えば、近接位置サポート３４ａは金属繊維、金属網、或いは、セラミック材により、上端面が粗い面になるように形成され、遠隔位置サポート３４ｂは金属やセラミックにより、上端面が鏡面仕上げされて形成されている。図示例にあっては、各張り出し部３８に二つずつ、排気管５から略等距離の位置に上述した近接位置サポート３４ａを備えている。

基板３は、フリットシール２１が配設された排気管５の上端及びこれらサポート３４ａ，３４ｂの上端面上に配置され、排気管５の中心と基板３の通気孔３６の中心とが略一致させられるが、この際、カート２の各部や基板３が熱膨張や収縮して、それぞれ異なる量の相対寸法変化を起こしても、近接位置サポート３４ａの上端面の位置にて基板３は相対移動を生じることなく支持され、遠隔位置サポート３４ｂの上端面の位置にて基板３が横方向に相対移動、即ち滑りを起こし、排気管５と基板３との接合部や排気管５自体に外力が作用することはなく、排気管５と基板３の通気孔３６との間の位置ずれや排気管５の破損という事態は回避される。遠隔位置サポート３４ｂについては、上端面に転動可能な、一般的な球状やローラ状の支持体を配設し、この球状やローラ状の支持体により基板３を支持するようにしてもよい。

図２６は、他の支持形態を示したもので、遠隔位置サポート３４ｂの構成のみが異なる。遠隔位置サポート３４ｂは、上面が球面または曲面状に形成された頭部７５と、この頭部７５の下方に延びる脚部７６と、下面が球面または曲面状に形成され、この下面の中心部に脚部７６を貫通させたフランジ部７７とを備え、脚部７６はサポート梁３３に穿設された貫通孔７８内に遊嵌し、貫通孔７８の上端開口の周縁部上に摺動可能にフランジ部７７が載置されている。そして、ほぼ貫通孔７８の中心軸とフランジ部７７との交点を中心として脚部７６は揺動可能となっている。即ち、この遠隔位置サポート３４ｂは、基板３に対して横方向に、基板３と遠隔位置サポート３４ｂ間の位置のズレに対応し相対移動し易く設けられている。なお、フランジ部７７の下面の曲率は、脚部７６が揺動しても頭部７５の最上部の高さが一定に保たれるようになっているのが好ましい。

図２７〜図３０には、ローラ機構からなる、さらに他の支持形態が示されている。遠隔位置サポート３４ｂでは、上面が開口した箱体７９に、円柱状のローラ７２を載置し、ローラ７２が自由に回転できるように形成されている。また、ローラ７２が位置する箱体７９内の支持面７３は中心部が低くなるように傾斜しており、何等外力が作用しない場合にはローラ７２は重力の作用で支持面７３の中心に止まる一方、箱体７９の各側面は支持面７３よりも上方に突出するように形成され、ローラ７２がこの箱体７９から離脱することがないようになっている。

さらに、各ローラ７２の中心軸Ｔが排気管５に向かう図中一点鎖線で示された方向に対して直交するように遠隔位置サポート３４ｂは配設されており、前述した熱膨張や収縮の際に基板３において、近接位置サポート３４ａの部分に対して他の遠隔位置サポート３４ｂが円滑に横方向に相対移動でき、排気管５と基板３との接合部や排気管５自体に外力が作用することはなく、排気管５と基板３の通気孔３６との間の位置ずれや排気管５の破損という事態は回避されるようになっている。

近接位置サポート３４ａの設置個数は二つに限定されない。また、排気管５が上向きに突出される場合に限らず、下向きに突出した場合にも適用されるものである。

次に、熱処理炉８から抽出された基板３の排気管５を封止・切断する作業において、自動制御化を円滑に導入しうる構成について説明する。排気管封止切断ロボット１４のロボット制御盤１９などの制御手段による自動制御で二つ割りに開閉自在に作動され、排気管５の封止・切断を行うために閉じられて排気管５周囲を取り囲むヒータを備える。

基板３には排気管５が接合され、一対の基板３間からの排気処理等の後、排気管５の封止・切断処理が行われる。この排気管５の封止・切断処理は、以前はガスバーナを用いて人手により排気管５の特定部位を溶融させて、封止するとともに切断することにより実施されていて、その自動制御化が望まれている。

排気管封止・切断装置８０は図３１および図３２に示すように、二つに分割可能な一対のケーシング部材８１からなる断熱構造のケーシング８２と、ケーシング部材８１の各々の内部に設けた排気管外周部加熱用のヒータ（図示せず）とを備えている。また、一方のケーシング部材８１は取付け座８３上に、他方のケーシング部材８１は取付け座８４上にそれぞれ配置されている。さらに、二つの取付け座８３，８４間には、伸縮シリンダ８５が介設されており、例えば、一方の取付け座８４にシリンダボディ８６が結合され、他方の取付け座８３にピストンロッド８７が結合され、これにより一方のケーシング部材８１に対して他方のケーシング部材８１が移動し、ケーシング８２全体として開閉可能となっている。

各ケーシング部材８１は断面半円形の箱体状に形成され、その内部には断熱材が充填され、また各ケーシング部材８１には、これらが閉じて合わせられることで略真円となる半円形の溝８８が形成されている。ヒータはこの半円形の溝８８に沿って配設される。そして、ケーシング８２が閉状態となったとき、ケーシング部材８１同士が当接して、二つの溝８８により排気管収納用の貫通孔８９が形成される。取付け座８４には、軸体９０が立設され、この軸体９０の上端に基板３を挟持するクリップ３５が設けられている。

排気管５を介して基板３内の真空排気処理の後、基板３内への放電ガスの封入処理が完了すると、図示するように、開状態にある排気管封止・切断装置８０を、排気管封止切断ロボット１４により排気管５の両側にケーシング部材８１が位置するようにクリップ３５で基板３を挟持させて、基板３に取り付ける。クリップ３５の装着は、ロボットハンドのカメラで基板３の位置を画像情報として取得し、その位置に対してロボットハンドが移動して装着動作が行われるようになっている。続いて、伸縮シリンダ８５を収縮させてケーシング部材８１を一体化し、即ち、ケーシング８２を閉状態にして、貫通孔８９内に排気管５を位置させる。このとき、排気管５の略全周が二つのヒータにより包囲される。その後、ヒータに通電し、このヒータにより排気管５の外周を所定時間だけ加熱する。この加熱により排気管５の全周が均一に加熱され、溶融して封止が完了する。さらに、ヒータ５の通電を続けると、この封止部が切断される。

以上の構成の装置により、排気管５の封止・切断作業を自動制御化することができ、作業効率の向上が可能になるとともに、この装置８０を排気管封止切断ロボット１４により順次クリップ３５で基板３に付け替えていくことで、基板３毎にチップ管封着・切断装置８０を設ける必要がなく、その台数を減らすことが可能になる。

ヒータに代えて、バーナにて排気管５の封止切断処理を自動制御で行うこともできる。排気管封止切断ロボット１４のロボット制御盤１９など制御手段による自動制御で作動され、排気管５の封止・切断を行うために、排気管５を溶融させるバーナおよび排気管５を延伸させるべく排気管装着部６を下降させる下降手段が備えられる。すなわち、上述したクリップ３５を各基板３に装着する排気管封止切断ロボット１４のロボットハンドにバーナを備えるとともに、排気管装着部６を下降させる手段としては、例えば排気管装着部６を張り出し部３８に対し昇降駆動可能に取り付けるようにすればよい。バーナの位置制御は、画像情報を利用する上述の基板装入用空間Ｓへ基板３を挿入する自動制御や排気管５を装着孔５３に挿入する自動制御に類似した方式にて行えばよい。

切断されて排気管装着部６に残留する残排気管５は、同様にしてカメラで取得される画像情報を利用して、まず排気管封止切断ロボット１４により把持され、次いでエア供給・排気管５８を介して高圧エアが抜かれることで排気管装着部６の環状シール５４による保持が解除され、これにより撤去されることになる。残留する残排気管５は、新たな排気管５をカート２に供給する排気管ハンドリングロボット１２で撤去させるようにしても良い。このようにすれば、排気管装着部６から排気ポンプ３９にわたる系路に大気が流入することを極力防止できる。

さらに、排気管５が封止切断されて完成されたパネルをカート２から荷下ろしする作業を自動制御化するようになっている。パネル荷下ろしロボット１５のロボット制御盤１９などの制御手段は、自動制御でパネルをカート２の基板搭載部４からパネル搬出用コンベア１６に荷下ろしするために、カート２の実停止位置情報およびパネルの実搭載位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実搭載位置情報に基づき、パネル荷下ろしロボット１５によるパネルの荷下ろし動作の制御情報を出力する荷下ろし動作設定手段を備える。この自動制御は、基板３の搭載作業と同様な制御によって達成することができる。

パネルのカート２からの荷下ろしにあたっては、まず、移動してきたカート２がパネル荷下ろしロボット１５の前方で停止すると、カメラにより検知された基準標識１Ｘ，１Ｙおよび１Ｚの位置に基づいて、カート２の基準停止位置と実停止位置との間の誤差量が算出される。この算出された誤差量に基づき、ロボットハンドの第一基準移動停止位置である第一計測地点の修正が行われる。従って、カート２の実停止位置に誤差が生じても、ロボットハンドの第一計測地点は、パネル位置を特定できる張り出し部３８上の基準標識１Ｈをカメラにより検知できる位置に修正される。

ステップ２で、ロボットハンドが修正された第一計測地点にて停止すると、カメラによって張り出し部３８上の基準標識１Ｈが検知され、パネルの基準搭載位置と実搭載位置との間の誤差量が算出される。さらに、この算出された誤差量に基づき、ロボットハンドの第二基準移動停止位置である第二計測地点の修正が行われる。ステップ１および２により、パネルの実搭載位置に対するロボットハンドの適正な停止位置が決定される。

以上のようなパネル荷下ろしロボット１５の制御を行うことで、カート２の実際の停止位置のばらつき、製作誤差或いは各部の熱変形があっても、適正な位置にロボットハンドを移動させてパネルをカート２から自動制御により荷下ろしすることができる。

本発明にかかるプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムの好適な一実施形態の全体構成を示す概略平面図である。 図１のパネル製造システムに適用されるカートを説明する図である。 図１のパネル製造システムに適用される熱処理炉の温度カーブを示すグラフ図である。 図２のカートに設けられる排気装置等を示す概略構成図である。 図２のカートの走行機構の概略構成を示す説明図である。 図１のパネル製造システムに適用される排気管装着部等を示す側断面図である。 図６中、Ｄ−Ｄ線矢視概略断面図である。 図６の排気管装着部への排気管の装着操作の第１段階を示す側断面図である。 図６の排気管装着部への排気管の装着操作の第２段階を示す側断面図である。 図６の排気管装着部の排気管上へ基板を搭載操作する第１段階を示す側断面図である。 図６の排気管装着部の排気管上へ基板を搭載操作する第２段階を示す側断面図である。 図１のパネル製造システムに適用される排気管装着部等の他の例を示す概略側面図である。 排気管のトレイへの配列状態を示す概略側面図である。 排気管のトレイへの配列状態の他の例を示す概略側面図である。 図６の排気管装着部等のカートへの取り付け状態を示す側面図である。 図１５に示した排気管装着部等のカートへの取り付け状態の平面図である。 図６の排気管装着部の画像情報を取得している状態を示す側面図である。 図１のパネル製造システムに適用される排気管の画像情報を取得している状態を示す側面図である。 図１のパネル製造システムに適用される他の排気管の画像情報を取得している状態を示す側面図である。 基板と基板搭載部の変形状態との関係を説明する説明図である。 基板の基板搭載部への手順を説明するフローチャート図である。 図１のパネル製造システムに適用される基板の通気孔の画像情報を取得している状態を示す側面図である。 図２２に示した基板の通気孔の画像情報を取得している状態の平面図である。 図１のパネル製造システムに適用される基板搭載部を示す側面図である。 図２４に示した基板搭載部の平面図である。 図２４の基板搭載部に適用される遠隔位置サポートを示す拡大側面図である。 図１のパネル製造システムに適用される基板搭載部の他の例を示す側面図である。 図２７に示した基板搭載部の平面図である。 図２７に示した基板搭載部に適用される遠隔位置サポートの拡大側面図である。 図２９に示した遠隔位置サポートの拡大平面図である。 図１のパネル製造システムに適用される排気管封止切断装置を示す側面図である。 図３１に示した排気管封止切断装置の作動を説明する平面図である。

符号の説明

１ 循環経路
２ カート
３ 基板
４ 基板搭載部
５ 排気管
６ 排気管装着部
７ 排気装置
８ 熱処理炉
９ 積み卸し部
１０ 基板搬入用コンベア
１１ 排気管搬入用コンベア
１２ 排気管ハンドリングロボット
１３ 基板搭載ロボット
１４ 排気管封止切断ロボット
１５ パネル荷下ろしロボット
１６ パネル搬出用コンベア
１７ カート制御盤
１８ 炉制御盤
１９ ロボット制御盤
２０ 主制御盤
２６ ロック装置
２７ 駆動バー
２８ 係合部
２９ 突起
３３ サポート梁
３４ サポート
３４ａ 近接位置サポート
３４ｂ 遠隔位置サポート
３６ 基板の通気孔
３９ 排気ポンプ
４０ 排気バルブ
４２ 放電ガス供給装置
４３ 放電ガス供給源
４４ 供給バルブ
５０ バルブコントローラ
５３ 装着孔
５４ 環状シール
５５ スプリング
５６ 滑りガイド
６５ 梃子
７２ ローラ
７３ 支持面
Ｓ 基板装入用空間
Ｔ 転動軸心

Claims (20)

1. 閉ループ状に形成された循環経路と、
   該循環経路上を、走行・停止を繰り返しつつ順次に移動する複数のカートと、
   これらカートに設けられ、重ね合わされた少なくとも一組の一対の基板が搭載される基板搭載部と、
   これらカートに設けられ、排気管が上記一対の基板の一方に対面するようにして着脱自在に装着される排気管装着部と、
   これらカートに設けられ、上記排気管装着部に接続されて上記排気管を介して排気処理を行う排気装置と、
   上記循環経路に設備され、走行する上記カート上の少なくとも一組の上記一対の基板相互の接合および上記排気管の該基板への接合のために熱処理を行うとともに、該カートの上記排気装置により該基板間からの排気処理が行われる熱処理炉と、
   上記循環経路に、上記カートの走行方向に沿って上記熱処理炉と隣接させて設備された積み卸し部と、
   該積み卸し部に、重ね合わせた上記一対の基板や上記排気管を搬入する搬入系と、
   上記積み卸し部に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、上記熱処理炉に装入される上記カートに対して、上記排気管装着部および上記基板搭載部への上記排気管および上記一対の基板の供給を行うとともに、該熱処理炉から抽出された該カートに対して、該基板と接合されている該排気管の封止・切断および切断後に残留する該排気管の撤去と、該排気管が切断されて完成されたパネルの荷下ろしを行う作業ロボットと、
   上記積み卸し部から上記パネルを搬出する搬出系と、
   これらカート、排気装置、熱処理炉、搬入系、作業ロボット、並びに搬出系を制御する制御手段と
   を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
2. 前記カートは、排気処理後であって前記排気管の封止・切断の前に、前記排気管装着部の該排気管を介して、前記一対の基板間に放電ガスを注入するための放電ガス供給装置を備えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
3. 前記排気装置は、排気ポンプと、排気すべく開閉自在に開放される排気バルブと、前記一対の基板間圧力が設定圧力に達したことを検出して上記排気バルブを閉止する排気バルブコントローラとを備えることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
4. 前記放電ガス供給装置は、放電ガス供給源と、該放電ガス供給源から前記排気管へ放電ガスを供給すべく開閉自在に開放される供給バルブと、前記一対の基板間圧力が設定圧力に達したことを検出して上記供給バルブを閉止する供給バルブコントローラとを備えることを特徴とする請求項１〜３いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
5. 前記各カート毎に走行・停止操作を行うことが可能な駆動機構を備えるとともに、停止した上記カートを前記循環経路に対して固定状態とするために、該カートに係脱自在に係合するロック装置が備えられることを特徴とする請求項１〜４いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
6. 前記制御手段は、少なくとも一組の前記一対の基板の前記基板搭載部への搭載操作と同時に一方の該基板に前記排気管を対面させる組み立てを完了するために、該排気管を前記排気管装着部に装着した後に、上記一対の基板を上記基板搭載部に搭載するように前記作業ロボットを制御することを特徴とする請求項１〜５いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
7. 前記制御手段は、自動制御で前記排気管を前記搬入系から前記カートの前記排気管装着部に供給するために、該カートの実停止位置情報および該排気管装着部の該排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実装着位置情報に基づき、前記作業ロボットによる排気管供給動作の制御情報を出力する供給動作設定手段を備えることを特徴とする請求項１〜６いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
8. 前記供給動作設定手段は、予め設定されている前記カートの基準停止位置情報に基づき実停止位置情報を画像情報として取得し、基準停止位置に対する実停止位置の偏差から上記カートの停止位置を修正し、予め設定されているカート停止位置からの前記排気管装着部の基準設置位置情報に基づき実設置位置情報を画像情報として取得し、基準設置位置に対する実設置位置の偏差から上記排気管装着部の設置位置を修正し、前記排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準装着位置に対する実装着位置の偏差から該排気管の装着位置を修正し、修正した修正供給動作を前記作業ロボットによる排気管供給動作の制御情報として出力することを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
9. 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記搬入系から取り出すために、取り出し待機位置における該排気管の実待機状態情報を画像情報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準待機状態情報に対する実待機状態情報の偏差に基づいて取り出し動作を修正し、修正した修正取り出し動作を制御情報として出力する排気管取り出し動作修正手段を備えることを特徴とする請求項１〜８いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
10. 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記排気管装着部に装着するために、該作業ロボットによる該排気管の実把持状態情報を画像情報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準把持状態情報に対する実把持状態情報の偏差に基づいて装着動作を修正し、修正した修正装着動作を制御情報として出力する排気管装着動作修正手段を備えることを特徴とする請求項１〜９いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
11. 前記排気管装着部は、前記排気装置に連通させて形成され、前記排気管を上向きに装着するための装着孔と、該装着孔に設けられ、上記排気管に接離可能に圧接されて該排気管の周囲を気密にシールする環状シールとを備えることを特徴とする請求項１〜１０いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
12. 前記環状シールの状態変化にかかわらず常に、前記排気管を上方から搭載される前記一対の基板の一方に圧接させるために、前記排気管装着部を上下方向に移動自在とする上下スライド機構を備えるとともに、上記排気管装着部を上方へ向かって付勢する付勢手段を備えたことを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
13. 前記基板搭載部には、複数の仕切部によって、少なくとも一組の前記一対の基板を個別に装入する基板装入用空間が形成されるとともに、前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより上記各一対の基板を上記基板搭載部へ搭載するために、上記基板装入用空間の寸法を画像情報として取得し、取得された寸法情報に基づいて、上記一対の基板の上記基板装入用空間への装入の可否の制御情報を出力する装入操作判定手段を備えることを特徴とする請求項１〜１２いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
14. 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記搬入系から供給される少なくとも一組の前記一対の基板の通気孔を前記カートの前記排気管装着部の前記排気管に合致させるために、該排気管装着部に装着された該排気管の中心位置情報および該一対の基板の搭載待機位置における該通気孔の中心位置情報を画像情報として取得し、これら中心位置情報を用いて、予め上記作業ロボットに設定されている上記一対の基板を搭載待機位置から上記基板搭載部へ供給する基準搭載動作による上記排気管と上記通気孔との中心位置の誤差を算出し、誤差に基づいて修正した修正搭載動作を制御情報として出力する搭載動作修正手段を備えることを特徴とする請求項１〜１３いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
15. 前記基板搭載部は少なくとも一組の前記一対の基板を複数箇所で個々に支持する複数のサポートを備え、これら複数のサポートのうち、前記排気管に近接する少なくとも一つの近接位置サポートを除く他の遠隔位置サポートは、上記一対の基板を、該近接位置サポートに比して相対移動し易く支持することを特徴とする請求項１〜１４いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
16. 前記遠隔位置サポートは揺動可能であることを特徴とする請求項１５に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
17. 前記遠隔位置サポートは、転動軸心が前記排気管の中心位置方向と直交させて配置され、その上に前記一対の基板を支持するローラ機構で構成されることを特徴とする請求項１５に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
18. 前記制御手段による自動制御で二つ割りに開閉自在に作動され、前記排気管の封止・切断を行うために閉じられて該排気管周囲を取り囲むヒータを備えたことを特徴とする請求項１〜１７いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
19. 前記制御手段による自動制御で作動され、前記排気管の封止・切断を行うために、該排気管を溶融させるバーナおよび該排気管を延伸させるべく前記排気管装着部を下降させる下降手段が備えられることを特徴とする請求項１〜１７いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。
20. 前記制御手段は、自動制御で前記パネルを前記カートの前記基板搭載部から前記搬出系に荷下ろしするために、該カートの実停止位置情報および該パネルの実搭載位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実搭載位置情報に基づき、前記作業ロボットによる上記パネルの荷下ろし動作の制御情報を出力する荷下ろし動作設定手段を備えることを特徴とする請求項１〜１９いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

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