JP3920227B2 - フラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート - Google Patents
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル或いは断熱ガラスパネル等のフラットパネルの製造に好適なフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図８に示す複数のフラットパネルＰを横置き状態で、かつ多段積載状態で保持するフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート１０が公知であり、このパネル搬送排気カート１０はカート本体１１と排気ヘッド支持部１２とパネル収納マガジン１３とからなっている。
【０００３】
カート本体１１は図示しない真空ポンプを内蔵し、下部に車輪を有し、封着排気炉または排気炉を貫いて延びるレールＲ上を走行する。排気ヘッド支持部１２はカート本体１１上に立設された排気ヘッド支柱２１と、この排気ヘッド支柱２１から上下に適宜間隔で横方向に張出した複数の排気ヘッド取付け部材２２と、フレキシブルチューブ２３を介して排気ヘッド取付け部材２２に吊持され、チップ管２４が装着された排気ヘッド２５とからなっている。パネル収納マガジン１３はカート本体１１上に立設された４本のマガジン支柱２６と、このマガジン支柱２６から張出したパネルサポート梁２７とを備え、このパネルサポート梁２７上には、中空のフラットパネルＰを支持するパネルサポート２８が突設されている。
【０００４】
なお、チップ管２４及びフラットパネルＰについては、パネル搬送排気カート１０が前記封着排気炉または排気炉内に進入する前に、排気ヘッド２５、パネルサポート２８上にそれぞれセッティングされて図示する状態となる。即ち、チップ管２４が排気ヘッド２５の中心部に垂直に装入され、気密に保持されるとともに、フラットパネルＰがチップ管２４とパネルサポート２８との間の定位置に配置され、チップ管２４の中心とフラットパネルＰの上面コーナ部に穿設されフラットパネルＰの内部空間に連通する通気孔の中心とが略一致させられる。
この際、パネルＰを構成する上下２枚の基板同士の端部における封着及びチップ管２４とパネルＰとの封着は既に完了していてもよい。
【０００５】
そして、パネル搬送排気カート１０が前記封着排気炉または排気炉内に移動し、この炉内にてチップ管２４が前記両中心を略一致させた状態下でフラットパネルＰに封着されるとともに、またはチップ管２４が事前にパネルＰに封着された状態で、チップ管２４及び排気ヘッド２５を介してフラットパネルＰの排気処理、ガス注入処理がなされる。その後、パネル搬送排気カート１０が前記封着排気炉または排気炉外に移動し、チップ管Ｐの封止・切断処理がなされ、同時にフラットパネルＰの密封がなされ、フラットパネルＰが排気カート１０から取り出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、パネル搬送排気カート１０上のフラットパネルＰは前記封着排気炉または排気炉内で排気処理等を受け、４００℃〜５００℃程度の加熱、均熱、冷却の熱プロセスを経るため、前記封着排気炉または排気炉内でパネル搬送排気カート１０の各部やフラットパネルＰの熱膨張、収縮を伴う。この場合、前記各部及びフラットパネルＰの熱膨張率が必ずしも同一でなく、それぞれの熱膨張、収縮による変化量の差異や各部温度に起因してチップ管２４とフラットパネルＰとの接合部やチップ管２４自体に外力が作用すると、チップ管２４とフラットパネルＰの前記通気孔との間の位置ずれやチップ管２４の破損という事態を招くことになる。
【０００７】
このため、パネル搬送排気カート１０では、チップ管２４を保持する排気ヘッド２５に接続する配管類をフレキシブルチューブ２３とし、このフレキシブルチューブ２３を介して排気ヘッド２５を排気ヘッド取付け部材２２に吊持させることにより排気ヘッド２５の移動を拘束しないようにしてある。そして、斯かる構造を採用することにより、排気ヘッド２５の荷重や外力がチップ管２４に作用するのを極力回避しようとしているが、これが自動化等の省力化の大きな障害になるとともに、チップ管２４に作用する外力を完全には排除できないため、前述した位置ずれや破損が生じる場合があり、これがフラットパネル製造上の歩留まり低下の原因になるという問題がある。
【０００８】
また、パネルサポート２８が突設されたパネルサポート梁２７の熱膨張率とフラットパネルＰの熱膨張率とを同じにしたり、パネルサポート２８上にパネルＰと同じ膨張率を有するベースプレートを設置し、これにパネルサポート２８を突設することも考えられるが、フラットパネルＰがガラス製であるため、これと同材料のパネルサポート梁２７や前記ベースプレートの破損やそりが生じ易くなるとともに、パネル搬送排気カート１０全体の重量が増し、熱効率の低下を招く等の問題がある。
本発明は、斯る従来の問題をなくすことを課題としてなされたもので、チップ管及びフラットパネル取扱いの自動化を可能とし、チップ管とフラットパネルにおけるチップ管封着部との間の位置ずれやチップ管の破損を防止し、フラットパネル製造上の歩留まり向上を可能としたフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートを提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１発明は、
排気・ガス供給可能に形成され、チップ管を保持する排気ヘッドと、前記チップ管が封着され、前記チップ管及び排気ヘッドを介して排気され、ガス注入が行われた後、前記チップ管を封止、切断して密閉される横置き状態のフラットパネルを複数箇所に配設されたパネルサポート上に支持するパネル収納マガジンとを備えたフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートにおいて、
前記パネルサポートは、前記チップ管に近い少なくとも一つの特定のパネルサポートと、前記特定のパネルサポートよりもチップ管から離れて位置する他のパネルサポートとか らなり、
前記他のパネルサポートは、前記特定のパネルサポートに比して、前記フラットパネルに対して横方向に、より相対移動し易く形成された構成とした。
【００１０】
第２発明は、第１発明の構成に加えて、前記他のパネルサポートが揺動可能に設けられた構成とした。
【００１１】
第３発明は、第１発明の構成に加えて、前記他のパネルサポートが、前記フラットパネルを支持するローラを有し、かつこのローラの中心軸がローラの中心軸方向の中心から前記チップ管に向かう方向に対して直交するように配置された構成とした。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び２は、本発明に係るフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート１を示し、図８に示すパネル搬送排気カート１０と互いに共通する部分については、同一番号を付して説明を省略する。
このパネル搬送排気カート１では、マガジン支柱２６に排気ヘッド取付け部材２２が固定され、この排気ヘッド取付け部材２２上に排気ヘッド２５が配置されている。また、チップ管２４は排気ヘッド２５の上端面の開口部から排気ヘッド２５内に装入され、排気ヘッド２５に対して上下方向に相対移動可能に、かつ、気密に保持されている。
【００１３】
パネルサポート梁２７とは分離している排気ヘッド取付け部材２２の延長部２２Ｘ、２２Ｙには、排気ヘッド２５から突出したチップ管２４の近くに位置する特定のパネルサポート２８Ａが突設され、パネルサポート梁２７には、パネルサポート２８Ａよりもチップ管２４から離れて位置する他のパネルサポート２８Ｂの２種類が突設されている。そして、パネルサポート２８Ａの上端面とフラットパネルＰとの間の摩擦係数はパネルサポート２８Ｂの上端面とフラットパネルＰとの間の摩擦係数よりも大きくなっている。例えば、パネルサポート２８Ａは金属繊維、金属網、或いは、セラミック材により、上端面が粗い面になるように形成され、パネルサポート２８Ｂは金属やセラミックにより、上端面が鏡面仕上げされて形成されている。なお、図示するパネル収納マガジン１３では各段に二つずつ、チップ管２４から略等距離の位置に上述した特定のパネルサポート２８Ａを備えている。
【００１４】
また、フラットパネルＰは、フリットシールが上端面に配設されたチップ管２４及びパネルサポート２８Ａ、２８Ｂの上端面上に配置され、かつ、チップ管２４の中心とフラットパネルＰの下面コーナ部に穿設されフラットパネルＰの内部空間に連通する通気孔２９（図２において、チップ管２４と重複して表されている。）の中心とが略一致させられる。
【００１５】
そして、斯かる構成により、パネル搬送排気カート１の各部やフラットパネルＰが熱膨張や収縮して、それぞれ異なる量の相対寸法変化を起こしても、パネルサポート２８Ａの上端面の位置にてフラットパネルＰは相対移動を生じることなく支持され、パネルサポート２８Ｂの上端面の位置にてフラットパネルＰが横方向に相対移動、即ち滑りを起こし、チップ管２４とフラットパネルＰとの接合部やチップ管２４自体に外力が作用することはなく、チップ管２４とフラットパネルＰの通気孔２９との間の位置ずれやチップ管２４の破損という事態は回避される。
なお、パネルサポート２８Ｂについては、上端面に転動可能な球状やローラ状の支持体を配設し、この球状やローラ状の支持体によりフラットパネルＰを支持するようにしてもよい。
【００１６】
図３は、本発明に係る別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートのパネルサポート２８Ｂおよびその周辺部を示したもので、このパネル搬送排気カートは、このパネルサポート２８Ｂを除き、他は前述したパネル搬送排気カート１と実質的に同一であり、互いに共通する部分については同一番号を付して説明を省略する。
図３に示すパネルサポート２８Ｂは、上面が球面または曲面状に形成された頭部Ｈと、この頭部Ｈの下方に延びる脚部Ｌと、下面が球面または曲面状に形成され、この下面の中心部に脚部Ｌを貫通させたフランジ部Ｆとを備え、脚部Ｌはパネルサポート支持梁２７に穿設された貫通孔ＴＨ内に遊嵌し、貫通孔ＴＨの上端開口の周縁部上に摺動可能にフランジ部Ｆが載置されている。そして、ほぼ貫通孔ＴＨの中心軸とフランジ部Ｆとの交点を中心として脚部Ｌは揺動可能となっている。即ち、このパネルサポート２８Ｂは、フラットパネルＰに対して横方向に、フラットパネルとサポート間の位置のズレに対応し相対移動し易く設けられている。
なお、フランジ部Ｆの下面の曲率は、脚部Ｌが揺動しても頭部Ｈの最上部の高さが一定に保たれるようになっているのが好ましい。
【００１７】
図４〜７は、本発明に係る別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート２を示し、図１及び２に示すパネル搬送排気カート１と互いに共通する部分については、同一番号を付して説明を省略する。
このパネル搬送排気カート２は、パネル搬送排気カート１のパネルサポート２８Ｂに代えて、パネルサポート２８Ｃを配設して形成されたものである。図６及び７に示すように、パネルサポート２８Ｃは上面が開口した箱体３１上に、円柱状のローラ３２の両側に突出した支軸３３を載置し、この支軸３３を中心としてローラ３２が自由に回転できるように形成されたものである。
【００１８】
また、各ローラ３２の中心軸がチップ管２４に向かう図中一点鎖線で示された方向に対して直交するようにパネルサポート２８Ｃは配設されており、前述した熱膨張や収縮の際にフラットパネルＰにおいて、パネルサポート２８Ａの部分に対して他の部分が円滑に横方向に相対移動でき、チップ管２４とフラットパネルＰとの接合部やチップ管２４自体に外力が作用することはなく、チップ管２４とフラットパネルＰの通気孔２９との間の位置ずれやチップ管２４の破損という事態は回避されるようになっている。
【００１９】
なお、本発明は前記特定のパネルサポート２８Ａを二つに限定するものではない。
また、本発明は、チップ管２４が下向きに突出したフラットパネルＰに限らず、図８に示すように、チップ管２４が上向きに突出したフラットパネルＰにも適用されるものである。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、第１発明によれば、パネルサポートは、チップ管に近い少なくとも一つの特定のパネルサポートと、特定のパネルサポートよりもチップ管から離れて位置する他のパネルサポートとからなり、他のパネルサポートは、特定のパネルサポートに比して、前記フラットパネルに対して横方向に、より相対移動し易く形成された構成としてある。
このため、パネル搬送排気カートの各部やフラットパネルが熱膨張や収縮して、それぞれ異なる量の体積変化を起こしても、前記特定のパネルサポートの上端面の位置にてフラットパネルは相対移動を生じることなく支持され、他のパネルサポートの上端面の位置にてフラットパネルが横方向に相対移動、即ち滑りを起こし、チップ管とフラットパネルとの接合部やチップ管自体に外力が作用することはなく、チップ管とフラットパネルの通気孔との間の位置ずれやチップ管の破損という事態の回避が簡単な構成で実現されるという効果を奏する。
【００２１】
第２発明によれば、前記他のパネルサポートが揺動可能に設けられており、パネルサポートの上端面とフラットパネルの下面との接触位置のズレが無い状態でフラットパネルに対して横方向に、フラットパネルとサポート間の位置ズレに対応して容易に相対移動することが可能となり、前述した第１発明による効果がより一層顕著になるという効果を奏する。
【００２２】
第３発明によれば、第１発明の構成に加えて、他のパネルサポートが、フラットパネルを支持するローラを有し、かつこのローラの中心軸がローラの中心軸方向の中心からチップ管に向かう方向に対して直交するように配置された構成としてある。
このため、第１発明による効果がより一層顕著になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートの正面図である。
【図２】 図１に示すパネル搬送排気カートの平面図である。
【図３】 本発明に係る別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートのパネルサポートおよびその周辺部を示す部分拡大正面図である。
【図４】 本発明に係るさらに別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートの正面図である。
【図５】 図４に示すパネル搬送排気カートの平面図である。
【図６】 図４に示すパネル搬送排気カートにおけるチップ管から離れて位置するパネルサポートの正面図である。
【図７】 図６に示すパネルサポートの平面図である。
【図８】 従来のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートの正面図である。
【符号の説明】
１，２ パネル搬送排気カート １１ カート本体
１２ 排気ヘッド支持部 １３ パネル収納マガジン
２２ 排気ヘッド取付け部材 ２２Ｘ，２２Ｙ 延長部
２５ 排気ヘッド ２６ マガジン支柱
２７ パネルサポート梁 ２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ パネルサポート
２９ 通気孔 ３１ 箱体
３２ ローラ ３３ 支持面
Ｐ フラットパネル Ｒ レール
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル或いは断熱ガラスパネル等のフラットパネルの製造に好適なフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図８に示す複数のフラットパネルＰを横置き状態で、かつ多段積載状態で保持するフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート１０が公知であり、このパネル搬送排気カート１０はカート本体１１と排気ヘッド支持部１２とパネル収納マガジン１３とからなっている。
【０００３】
カート本体１１は図示しない真空ポンプを内蔵し、下部に車輪を有し、封着排気炉または排気炉を貫いて延びるレールＲ上を走行する。排気ヘッド支持部１２はカート本体１１上に立設された排気ヘッド支柱２１と、この排気ヘッド支柱２１から上下に適宜間隔で横方向に張出した複数の排気ヘッド取付け部材２２と、フレキシブルチューブ２３を介して排気ヘッド取付け部材２２に吊持され、チップ管２４が装着された排気ヘッド２５とからなっている。パネル収納マガジン１３はカート本体１１上に立設された４本のマガジン支柱２６と、このマガジン支柱２６から張出したパネルサポート梁２７とを備え、このパネルサポート梁２７上には、中空のフラットパネルＰを支持するパネルサポート２８が突設されている。
【０００４】
なお、チップ管２４及びフラットパネルＰについては、パネル搬送排気カート１０が前記封着排気炉または排気炉内に進入する前に、排気ヘッド２５、パネルサポート２８上にそれぞれセッティングされて図示する状態となる。即ち、チップ管２４が排気ヘッド２５の中心部に垂直に装入され、気密に保持されるとともに、フラットパネルＰがチップ管２４とパネルサポート２８との間の定位置に配置され、チップ管２４の中心とフラットパネルＰの上面コーナ部に穿設されフラットパネルＰの内部空間に連通する通気孔の中心とが略一致させられる。
この際、パネルＰを構成する上下２枚の基板同士の端部における封着及びチップ管２４とパネルＰとの封着は既に完了していてもよい。
【０００５】
そして、パネル搬送排気カート１０が前記封着排気炉または排気炉内に移動し、この炉内にてチップ管２４が前記両中心を略一致させた状態下でフラットパネルＰに封着されるとともに、またはチップ管２４が事前にパネルＰに封着された状態で、チップ管２４及び排気ヘッド２５を介してフラットパネルＰの排気処理、ガス注入処理がなされる。その後、パネル搬送排気カート１０が前記封着排気炉または排気炉外に移動し、チップ管Ｐの封止・切断処理がなされ、同時にフラットパネルＰの密封がなされ、フラットパネルＰが排気カート１０から取り出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、パネル搬送排気カート１０上のフラットパネルＰは前記封着排気炉または排気炉内で排気処理等を受け、４００℃〜５００℃程度の加熱、均熱、冷却の熱プロセスを経るため、前記封着排気炉または排気炉内でパネル搬送排気カート１０の各部やフラットパネルＰの熱膨張、収縮を伴う。この場合、前記各部及びフラットパネルＰの熱膨張率が必ずしも同一でなく、それぞれの熱膨張、収縮による変化量の差異や各部温度に起因してチップ管２４とフラットパネルＰとの接合部やチップ管２４自体に外力が作用すると、チップ管２４とフラットパネルＰの前記通気孔との間の位置ずれやチップ管２４の破損という事態を招くことになる。
【０００７】
このため、パネル搬送排気カート１０では、チップ管２４を保持する排気ヘッド２５に接続する配管類をフレキシブルチューブ２３とし、このフレキシブルチューブ２３を介して排気ヘッド２５を排気ヘッド取付け部材２２に吊持させることにより排気ヘッド２５の移動を拘束しないようにしてある。そして、斯かる構造を採用することにより、排気ヘッド２５の荷重や外力がチップ管２４に作用するのを極力回避しようとしているが、これが自動化等の省力化の大きな障害になるとともに、チップ管２４に作用する外力を完全には排除できないため、前述した位置ずれや破損が生じる場合があり、これがフラットパネル製造上の歩留まり低下の原因になるという問題がある。
【０００８】
また、パネルサポート２８が突設されたパネルサポート梁２７の熱膨張率とフラットパネルＰの熱膨張率とを同じにしたり、パネルサポート２８上にパネルＰと同じ膨張率を有するベースプレートを設置し、これにパネルサポート２８を突設することも考えられるが、フラットパネルＰがガラス製であるため、これと同材料のパネルサポート梁２７や前記ベースプレートの破損やそりが生じ易くなるとともに、パネル搬送排気カート１０全体の重量が増し、熱効率の低下を招く等の問題がある。
本発明は、斯る従来の問題をなくすことを課題としてなされたもので、チップ管及びフラットパネル取扱いの自動化を可能とし、チップ管とフラットパネルにおけるチップ管封着部との間の位置ずれやチップ管の破損を防止し、フラットパネル製造上の歩留まり向上を可能としたフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートを提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１発明は、
排気・ガス供給可能に形成され、チップ管を保持する排気ヘッドと、前記チップ管が封着され、前記チップ管及び排気ヘッドを介して排気され、ガス注入が行われた後、前記チップ管を封止、切断して密閉される横置き状態のフラットパネルを複数箇所に配設されたパネルサポート上に支持するパネル収納マガジンとを備えたフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートにおいて、
前記パネルサポートは、前記チップ管に近い少なくとも一つの特定のパネルサポートと、前記特定のパネルサポートよりもチップ管から離れて位置する他のパネルサポートとか らなり、
前記他のパネルサポートは、前記特定のパネルサポートに比して、前記フラットパネルに対して横方向に、より相対移動し易く形成された構成とした。
【００１０】
第２発明は、第１発明の構成に加えて、前記他のパネルサポートが揺動可能に設けられた構成とした。
【００１１】
第３発明は、第１発明の構成に加えて、前記他のパネルサポートが、前記フラットパネルを支持するローラを有し、かつこのローラの中心軸がローラの中心軸方向の中心から前記チップ管に向かう方向に対して直交するように配置された構成とした。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び２は、本発明に係るフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート１を示し、図８に示すパネル搬送排気カート１０と互いに共通する部分については、同一番号を付して説明を省略する。
このパネル搬送排気カート１では、マガジン支柱２６に排気ヘッド取付け部材２２が固定され、この排気ヘッド取付け部材２２上に排気ヘッド２５が配置されている。また、チップ管２４は排気ヘッド２５の上端面の開口部から排気ヘッド２５内に装入され、排気ヘッド２５に対して上下方向に相対移動可能に、かつ、気密に保持されている。
【００１３】
パネルサポート梁２７とは分離している排気ヘッド取付け部材２２の延長部２２Ｘ、２２Ｙには、排気ヘッド２５から突出したチップ管２４の近くに位置する特定のパネルサポート２８Ａが突設され、パネルサポート梁２７には、パネルサポート２８Ａよりもチップ管２４から離れて位置する他のパネルサポート２８Ｂの２種類が突設されている。そして、パネルサポート２８Ａの上端面とフラットパネルＰとの間の摩擦係数はパネルサポート２８Ｂの上端面とフラットパネルＰとの間の摩擦係数よりも大きくなっている。例えば、パネルサポート２８Ａは金属繊維、金属網、或いは、セラミック材により、上端面が粗い面になるように形成され、パネルサポート２８Ｂは金属やセラミックにより、上端面が鏡面仕上げされて形成されている。なお、図示するパネル収納マガジン１３では各段に二つずつ、チップ管２４から略等距離の位置に上述した特定のパネルサポート２８Ａを備えている。
【００１４】
また、フラットパネルＰは、フリットシールが上端面に配設されたチップ管２４及びパネルサポート２８Ａ、２８Ｂの上端面上に配置され、かつ、チップ管２４の中心とフラットパネルＰの下面コーナ部に穿設されフラットパネルＰの内部空間に連通する通気孔２９（図２において、チップ管２４と重複して表されている。）の中心とが略一致させられる。
【００１５】
そして、斯かる構成により、パネル搬送排気カート１の各部やフラットパネルＰが熱膨張や収縮して、それぞれ異なる量の相対寸法変化を起こしても、パネルサポート２８Ａの上端面の位置にてフラットパネルＰは相対移動を生じることなく支持され、パネルサポート２８Ｂの上端面の位置にてフラットパネルＰが横方向に相対移動、即ち滑りを起こし、チップ管２４とフラットパネルＰとの接合部やチップ管２４自体に外力が作用することはなく、チップ管２４とフラットパネルＰの通気孔２９との間の位置ずれやチップ管２４の破損という事態は回避される。
なお、パネルサポート２８Ｂについては、上端面に転動可能な球状やローラ状の支持体を配設し、この球状やローラ状の支持体によりフラットパネルＰを支持するようにしてもよい。
【００１６】
図３は、本発明に係る別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートのパネルサポート２８Ｂおよびその周辺部を示したもので、このパネル搬送排気カートは、このパネルサポート２８Ｂを除き、他は前述したパネル搬送排気カート１と実質的に同一であり、互いに共通する部分については同一番号を付して説明を省略する。
図３に示すパネルサポート２８Ｂは、上面が球面または曲面状に形成された頭部Ｈと、この頭部Ｈの下方に延びる脚部Ｌと、下面が球面または曲面状に形成され、この下面の中心部に脚部Ｌを貫通させたフランジ部Ｆとを備え、脚部Ｌはパネルサポート支持梁２７に穿設された貫通孔ＴＨ内に遊嵌し、貫通孔ＴＨの上端開口の周縁部上に摺動可能にフランジ部Ｆが載置されている。そして、ほぼ貫通孔ＴＨの中心軸とフランジ部Ｆとの交点を中心として脚部Ｌは揺動可能となっている。即ち、このパネルサポート２８Ｂは、フラットパネルＰに対して横方向に、フラットパネルとサポート間の位置のズレに対応し相対移動し易く設けられている。
なお、フランジ部Ｆの下面の曲率は、脚部Ｌが揺動しても頭部Ｈの最上部の高さが一定に保たれるようになっているのが好ましい。
【００１７】
図４〜７は、本発明に係る別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート２を示し、図１及び２に示すパネル搬送排気カート１と互いに共通する部分については、同一番号を付して説明を省略する。
このパネル搬送排気カート２は、パネル搬送排気カート１のパネルサポート２８Ｂに代えて、パネルサポート２８Ｃを配設して形成されたものである。図６及び７に示すように、パネルサポート２８Ｃは上面が開口した箱体３１上に、円柱状のローラ３２の両側に突出した支軸３３を載置し、この支軸３３を中心としてローラ３２が自由に回転できるように形成されたものである。
【００１８】
また、各ローラ３２の中心軸がチップ管２４に向かう図中一点鎖線で示された方向に対して直交するようにパネルサポート２８Ｃは配設されており、前述した熱膨張や収縮の際にフラットパネルＰにおいて、パネルサポート２８Ａの部分に対して他の部分が円滑に横方向に相対移動でき、チップ管２４とフラットパネルＰとの接合部やチップ管２４自体に外力が作用することはなく、チップ管２４とフラットパネルＰの通気孔２９との間の位置ずれやチップ管２４の破損という事態は回避されるようになっている。
【００１９】
なお、本発明は前記特定のパネルサポート２８Ａを二つに限定するものではない。
また、本発明は、チップ管２４が下向きに突出したフラットパネルＰに限らず、図８に示すように、チップ管２４が上向きに突出したフラットパネルＰにも適用されるものである。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、第１発明によれば、パネルサポートは、チップ管に近い少なくとも一つの特定のパネルサポートと、特定のパネルサポートよりもチップ管から離れて位置する他のパネルサポートとからなり、他のパネルサポートは、特定のパネルサポートに比して、前記フラットパネルに対して横方向に、より相対移動し易く形成された構成としてある。
このため、パネル搬送排気カートの各部やフラットパネルが熱膨張や収縮して、それぞれ異なる量の体積変化を起こしても、前記特定のパネルサポートの上端面の位置にてフラットパネルは相対移動を生じることなく支持され、他のパネルサポートの上端面の位置にてフラットパネルが横方向に相対移動、即ち滑りを起こし、チップ管とフラットパネルとの接合部やチップ管自体に外力が作用することはなく、チップ管とフラットパネルの通気孔との間の位置ずれやチップ管の破損という事態の回避が簡単な構成で実現されるという効果を奏する。
【００２１】
第２発明によれば、前記他のパネルサポートが揺動可能に設けられており、パネルサポートの上端面とフラットパネルの下面との接触位置のズレが無い状態でフラットパネルに対して横方向に、フラットパネルとサポート間の位置ズレに対応して容易に相対移動することが可能となり、前述した第１発明による効果がより一層顕著になるという効果を奏する。
【００２２】
第３発明によれば、第１発明の構成に加えて、他のパネルサポートが、フラットパネルを支持するローラを有し、かつこのローラの中心軸がローラの中心軸方向の中心からチップ管に向かう方向に対して直交するように配置された構成としてある。
このため、第１発明による効果がより一層顕著になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートの正面図である。
【図２】 図１に示すパネル搬送排気カートの平面図である。
【図３】 本発明に係る別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートのパネルサポートおよびその周辺部を示す部分拡大正面図である。
【図４】 本発明に係るさらに別のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートの正面図である。
【図５】 図４に示すパネル搬送排気カートの平面図である。
【図６】 図４に示すパネル搬送排気カートにおけるチップ管から離れて位置するパネルサポートの正面図である。
【図７】 図６に示すパネルサポートの平面図である。
【図８】 従来のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートの正面図である。
【符号の説明】
１，２ パネル搬送排気カート １１ カート本体
１２ 排気ヘッド支持部 １３ パネル収納マガジン
２２ 排気ヘッド取付け部材 ２２Ｘ，２２Ｙ 延長部
２５ 排気ヘッド ２６ マガジン支柱
２７ パネルサポート梁 ２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ パネルサポート
２９ 通気孔 ３１ 箱体
３２ ローラ ３３ 支持面
Ｐ フラットパネル Ｒ レール
Claims (3)
- 排気・ガス供給可能に形成され、チップ管を保持する排気ヘッドと、前記チップ管が封着され、前記チップ管及び排気ヘッドを介して排気され、ガス注入が行われた後、前記チップ管を封止、切断して密閉される横置き状態のフラットパネルを複数箇所に配設されたパネルサポート上に支持するパネル収納マガジンとを備えたフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カートにおいて、
前記パネルサポートは、前記チップ管に近い少なくとも一つの特定のパネルサポートと、前記特定のパネルサポートよりもチップ管から離れて位置する他のパネルサポートとからなり、
前記他のパネルサポートは、前記特定のパネルサポートに比して、前記フラットパネルに対して横方向に、より相対移動し易く形成されたことを特徴とするフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート。 - 前記他のパネルサポートが揺動可能に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート。
- 前記他のパネルサポートが、前記フラットパネルを支持するローラを有し、かつこのローラの中心軸がローラの中心軸方向の中心から前記チップ管に向かう方向に対して直交するように配置されたことを特徴とする請求項１に記載のフラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003030693A JP3920227B2 (ja) | 2002-08-02 | 2003-02-07 | フラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート |
| TW092113105A TWI267109B (en) | 2002-08-02 | 2003-05-14 | Cart for carrying and exhausting panel in flat-panel manufacturing equipment |
| KR1020030035860A KR100929747B1 (ko) | 2002-08-02 | 2003-06-04 | 플랫 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트 |
| CNB031522769A CN100377275C (zh) | 2002-08-02 | 2003-08-01 | 平面板制造设备用的板搬送排气台车 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002225879 | 2002-08-02 | ||
| JP2003030693A JP3920227B2 (ja) | 2002-08-02 | 2003-02-07 | フラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004127900A JP2004127900A (ja) | 2004-04-22 |
| JP3920227B2 true JP3920227B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=32095373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003030693A Expired - Fee Related JP3920227B2 (ja) | 2002-08-02 | 2003-02-07 | フラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3920227B2 (ja) |
| KR (1) | KR100929747B1 (ja) |
| CN (1) | CN100377275C (ja) |
| TW (1) | TWI267109B (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007043159A1 (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Chugai Ro Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム |
| KR100728802B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-06-19 | 한국기계연구원 | 합착 및 배기 단일 공정용 카트 |
| JP4632965B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2011-02-16 | 中外炉工業株式会社 | パネル処理用排気カート |
| JP7027275B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2022-03-01 | 株式会社東芝 | 水素製造装置および水素製造システム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3374210B2 (ja) * | 1996-12-04 | 2003-02-04 | 光洋サーモシステム株式会社 | オーブン用ラック装置 |
| JP4174885B2 (ja) * | 1998-12-09 | 2008-11-05 | 松下電器産業株式会社 | 排気装置 |
| KR100532017B1 (ko) * | 1999-02-24 | 2005-11-29 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 플라즈마·디스플레이·패널의 배기·봉입 방법 |
| CN1153243C (zh) * | 1999-03-01 | 2004-06-09 | 中外炉工业株式会社 | 等离子显示装置面板的排气密封方法 |
-
2003
- 2003-02-07 JP JP2003030693A patent/JP3920227B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-14 TW TW092113105A patent/TWI267109B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-06-04 KR KR1020030035860A patent/KR100929747B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-08-01 CN CNB031522769A patent/CN100377275C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI267109B (en) | 2006-11-21 |
| CN1484269A (zh) | 2004-03-24 |
| TW200402753A (en) | 2004-02-16 |
| JP2004127900A (ja) | 2004-04-22 |
| KR20040012461A (ko) | 2004-02-11 |
| CN100377275C (zh) | 2008-03-26 |
| KR100929747B1 (ko) | 2009-12-03 |
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Legal Events
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050323 |
|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070206 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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