KR20040012461A - 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트 - Google Patents

평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트 Download PDF

Info

Publication number
KR20040012461A
KR20040012461A KR1020030035860A KR20030035860A KR20040012461A KR 20040012461 A KR20040012461 A KR 20040012461A KR 1020030035860 A KR1020030035860 A KR 1020030035860A KR 20030035860 A KR20030035860 A KR 20030035860A KR 20040012461 A KR20040012461 A KR 20040012461A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
flat panel
exhaust
cart
flat
Prior art date
Application number
KR1020030035860A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100929747B1 (ko
Inventor
기소다긴야
Original Assignee
쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 filed Critical 쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20040012461A publication Critical patent/KR20040012461A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100929747B1 publication Critical patent/KR100929747B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/46—Machines having sequentially arranged operating stations
    • H01J9/48—Machines having sequentially arranged operating stations with automatic transfer of workpieces between operating stations
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Handcart (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

배기(排氣)·가스공급 가능하게 형성되어, 팁(tip) 관(24)을 보유 지지하는 배기 헤드(head)(25)와, 팁 관(24)이 밀봉 부착되고, 팁 관(24) 및 배기 헤드(25)를 통해서 배기되어, 가스 주입이 실행된 후, 팁 관(24)을 밀봉, 절단해서 밀폐되는 횡으로 놓은 상태의 평 패널 P를, 복수 개소에 배열 설치된 패널 서포트(panel support)(28A, 28B) 상에 지지하는 패널 수납 매거진(magazine)(13)을 구비한 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트(cart)(1)에 있어서, 팁 관(24)에 가까운 특정한 패널 서포트(28A)를 제외하고 다른 패널 서포트(28B)에 대해서는, 패널 서포트(28A)에 비해서, 평 패널 P에 대하여 횡 방향으로, 더욱 상대 이동하기 쉽게 형성되어 있다.

Description

평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트{CART FOR CARRYING AND EXHAUSTING PANEL IN FLAT-PANEL MANUFACTURING EQUIPMENT}
본 발명은, 플라즈마 디스플레이 패널 혹은 단열 유리 패널 등의 평 패널의 제조에 적합한 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트에 관한 것이다.
종래에는, 도 8에 나타내는 복수의 평 패널 P를 횡으로 놓은 상태로서, 또한 다단(多段) 적재 상태로서 보유 지지하는 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트(10)가 공지되어 있으며, 이 패널 반송 배기 카트(10)는 카트 본체(11)와 배기 헤드 지지부(12)와 패널 수납 매거진(13)으로서 이루어져 있다.
카트 본체(11)는 도시하지 않은 진공 펌프를 내장하고, 하부에 차륜을 갖추고, 밀봉 접착 배기로(排氣爐) 또는 배기로를 관통해서 연장되는 레일 R 위를 주행한다. 배기 헤드 지지부(12)는 카트 본체(11) 상에 세워 설치한 배기 헤드 지주 (21)와, 이 배기 헤드 지주(21)로부터 상하에 적당한 간격으로 횡 방향으로 뻗어나온 복수의 배기 헤드 부착 부재(22)와, 플렉시블 튜브(flexible tube)(23)를 통해서 배기 헤드 부착 부재(22)에 매달려 지지되고, 팁 관(24)이 장착된 배기 헤드(25)로서 이루어져 있다. 패널 수납 매거진(13)은 카트 본체(11) 상에 세워 설치한 4개의 매거진 지주(26)와, 이 매거진 지주(26)에서 뻗어나온 패널 서포트 빔(27)을 구비하고, 이 패널 서포트 빔(27) 위에는, 중공(中空)의 평 패널 P를 지지하는 패널 서포트(28)가 돌출 설치되어 있다.
또한, 팁 관(24) 및 평 패널 P에 관해서는, 패널 반송 배기 카트(10)가 상기 밀봉 접착 배기로 또는 배기로 내에 진입하기 전에, 배기 헤드(25), 패널 서포트 (28) 상에 각각 세팅(setting)되어서 도시하는 상태로 된다. 즉, 팁 관(24)이 배기 헤드(25)의 중심부에 수직으로 장입(裝入)되어, 기밀(氣密)로써 유지되는 동시에, 평 패널 P가 팁 관(24)과 패널 서포트(28)와의 사이의 정위치에 배치되며, 팁 관 (24)의 중심과, 평 패널 P의 상부 표면 코너(corner)부에 구멍을 뚫어 설치되어서 평 패널 P의 내부 공간에 연통되는 통기 구멍의 중심이 대략 일치되게 된다.
이 때, 패널 P를 구성하는 상하 2장의 기판 끼리의 단부(端部)에 있어서의 밀봉 접착 및 팁 관(24)과 패널 P와의 밀봉 접착은 이미 완료되어 있어도 좋다.
그리고, 패널 반송 배기 카트(10)가 상기 밀봉 접착 배기로 또는 배기로 내로 이동하고, 이 노 내에서 팁 관(24)이 상기 양쪽 중심을 대략 일치시킨 상태 하에서 평 패널 P에 밀봉 접착되는 동시에, 또는 팁 관(24)이 사전에 패널P에 밀봉 접착된 상태에서, 팁 관(24) 및 배기 헤드(25)를 통해서 평 패널 P의 배기 처리, 가스 주입 처리가 이루어진다. 그 후, 패널 반송 배기 카트(10)가 상기 밀봉 접착 배기로 또는 배기로 밖으로 이동하고, 팁 관(24)의 밀봉·절단 처리가 이루어지며,동시에 평 패널 P의 밀봉이 이루어져, 평 패널 P가 배기 카트(10)로부터 취출(取出)된다.
전술한 바와 같이, 패널 반송 배기 카트(10) 상의 평 패널 P는 상기 밀봉 접착 배기로 또는 배기로 내에서 배기 처리 등을 받고, 400℃∼ 500℃ 정도의 가열, 균열(均熱), 냉각의 열 처리를 거치기 때문에, 상기 밀봉 접착 배기로 또는 배기로 내에서 패널 반송 배기 카트(10)의 각각의 부분이나 평 패널 P에 대한 열팽창, 수축을 수반한다. 이 경우, 상기 각각의 부분 및 평 패널 P의 열팽창율이 반드시 동일하지는 않고, 각각의 열팽창, 수축에 의한 변화량의 차이나 각각의 부분의 온도에 기인해서 팁 관(24)과 평 패널 P와의 접합부나 팁 관(24) 자체에 외력(外力)이 작용하면, 팁 관(24)과 평 패널 P의 상기 통기 구멍과의 사이의 위치 변위나 팁 관(24)의 파손이라고 하는 사태를 초래하게 된다.
이 때문에, 패널 반송 배기 카트(10)에서는, 팁 관(24)을 보유 지지하는 배기 헤드(25)에 접속하는 배관류를 플렉시블 튜브(23)로 하고, 이 플렉시블 튜브(23)를 통해서 배기 헤드(25)를 배기 헤드 부착 부재(22)에 매달아 유지시킴으로써 배기 헤드(25)의 이동을 구속하지 않도록 하고 있다. 그리고, 이와 같은 구조를 채용함으로써, 배기 헤드(25)의 하중이나 외력이 팁 관(24)에 작용하는 것을 극력 회피하려고 하고 있지만, 이것이 자동화 등의 성력화(省力化)에 큰 장해가 되는 동시에, 팁 관(24)에 작용하는 외력을 완전하게는 배제할 수 없기 때문에, 전술한 위치 변위나 파손이 생길 경우가 있으며, 이것이 평 패널 제조상의 수율 저하의 원인으로 된다고 하는 문제가 있다.
또한, 패널 서포트(28)가 돌출 설치된 패널 서포트 빔(27)의 열팽창율과 평 패널 P의 열팽창율을 동일하게 하거나, 패널 서포트(28) 상에 패널 P와 동일한 팽창율을 갖는 베이스 플레이트(base plate)를 설치하고, 이것에 패널 서포트(28)를 돌출 설치하는 것도 생각되지만, 평 패널 P가 유리제이기 때문에, 이것과 동일한 재료의 패널 서포트 빔(27) 및 상기 베이스 플레이트의 파손이나 뒤틀림이 발생하기 쉽게 되는 동시에, 패널 반송 배기 카트(10) 전체의 중량이 증가되고, 열효율의 저하를 초래하는 등의 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 종래의 문제를 없애는 것을 과제로 하여 이루어진 것으로, 팁 관 및 평 패널 취급의 자동화를 가능하게 하고, 팁 관과 평 패널에 있어서의 팁 관 밀봉 접착부와의 사이의 위치 변위나 팁 관의 파손을 방지하여, 평 패널 제조 상의 수율 향상을 가능하게 한, 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트를 제공하려고 하는 것이다.
도 1은, 본 발명에 관한 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트의 정면도.
도 2는, 도 1에 나타내는 패널 반송 배기 카트의 평면도.
도 3은, 본 발명에 관한 다른 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트의 패널 서포트 및 그 주변부를 나타내는 부분 확대 정면도.
도 4는, 본 발명에 관한 더욱 다른 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트의 정면도.
도 5는, 도 4에 나타내는 패널 반송 배기 카트의 평면도.
도 6은, 도 4에 나타내는 패널 반송 배기 카트에 있어서의 팁 관으로부터 떨어져서 위치하는 패널 서포트의 정면도.
도 7은, 도 6에 나타내는 패널 서포트의 평면도.
도 8은, 종래의 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트의 정면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 2 : 패널 반송 배기 카트 11 : 카트 본체
12 : 배기 헤드 지지부 13 : 패널 수납 매거진
22 : 배기 헤드 부착 부재 22X, 22Y : 연장부
25 : 배기 헤드 26 : 매거진 지주(支柱)
27 : 패널 서포트 빔(beam) 28A, 28B, 28C : 패널 서포트
29 : 통기 구멍 31 : 상자체
32 : 롤러 33 : 지지면
P : 평 패널 R : 레일(rail)
상기 과제를 해결하기 위해서, 제1발명은, 배기·가스공급 가능하게 형성되어, 팁 관을 보유 지지하는 배기 헤드와, 상기 팁 관이 밀봉 접착되어, 상기 팁 관 및 배기 헤드를 통해서 배기되고, 가스 주입이 실행된 후, 상기 팁 관을 밀봉, 절단해서 밀폐되는 횡으로 놓은 상태의 평 패널을, 복수 개소에 배열 설치된 패널 서포트 상에 지지하는 패널 수납 매거진을 구비한 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트에 있어서, 상기 패널 서포트 내, 상기 팁 관에 가까운 적어도 1개의 특정한 패널 서포트를 제외하고 다른 패널 서포트에 대해서는, 상기 특정의 패널 서포트에 비해서, 상기 평 패널에 대하여 횡 방향으로, 더욱 상대 이동하기 쉽게 형성된 구성으로 하였다.
제2발명은, 제1발명의 구성에 추가해서, 상기 다른 패널 서포트가 요동(搖動) 가능하게 설치된 구성으로 하였다.
제3발명은, 제1발명의 구성에 추가해서, 상기 다른 패널 서포트가, 단면이 대략 Ⅴ자형의 경사면 상에 전동(轉動) 가능하게 탑재되고, 상기 평 패널을 지지하는 롤러를 가지며, 또한 이 롤러의 중심축이 이 중심축의 중점(中點)에서 상기 팁 관을 향하는 방향에 대하여 직교하도록 배치된 구성으로 하였다.
이어서, 본 발명의 실시형태를 도면에 따라서 설명한다.
도 1 및 도 2는, 본 발명에 관한 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트 (1)를 나타내며, 도 8에 나타내는 패널 반송 배기 카트(10)와 서로 공통되는 부분에 대해서는, 동일 번호를 부여해서 설명을 생략한다.
이 패널 반송 배기 카트(1)에서는, 매거진 지주(26)에 배기 헤드 부착 부재 (22)가 고정되고, 이 배기 헤드 부착 부재(22) 상에 배기 헤드(25)가 배치되어 있다. 또한, 팁 관(24)은 배기 헤드(25)의 상단면(上端面)의 개구부로부터 배기 헤드 (25) 내에 장입되어, 배기 헤드(25)에 대하여 상하 방향에 상대 이동 가능하게, 또한, 기밀로써 보유 지지되어 있다.
패널 서포트 빔(27)과는 분리되어 있는 배기 헤드 부착 부재(22)의 연장부 (22Ⅹ, 22Y)에는, 배기 헤드(25)로부터 돌출된 팁 관(24)에 가까이 위치하는 특정한 패널 서포트(28A)가 돌출 설치되고, 패널 서포트 빔(27)에는, 패널 서포트(28A) 보다도 팁 관(24)으로부터 떨어져서 위치하는 다른 패널 서포트(28B)의 2종류가 돌출 설치되어 있다. 그리고, 패널 서포트(28A)의 상단면과 평 패널 P와의 사이의 마찰계수는 패널 서포트(28B)의 상단면과 평 패널 P와의 사이의 마찰계수 보다도 크게 되어 있다. 예를 들면, 패널 서포트(28A)는 금속 섬유, 금속 망(網), 혹은, 세라믹 재(材)에 의해, 상단면이 거친 면으로 되도록 형성되고, 패널 서포트(28B)는 금속이나 세라믹에 의해, 상단면이 경면(鏡面) 다듬질되어서 형성되어 있다. 또한, 도시하는 패널 수납 매거진(13)에서는 각각의 단(段)에 2개씩, 팁 관(24)으로부터 대략 등거리의 위치에 상술한 특정한 패널 서포트(28A)를 구비하고 있다.
또한, 평 패널 P는, 프릿 실(frit seal)이 상단면에 배열 설치된 팁 관(24) 및 패널 서포트(28A, 28B)의 상단면 상에 배치되고, 또한, 팁 관(24)의 중심과 평 패널 P의 하면(下面) 코너부에 구멍을 뚫어 설치하어 평 패널 P의 내부 공간에 연통 되는 통기 구멍(29)(도 2에 있어서, 팁 관(24)과 중복해서 표시되어 있다.)의 중심이 대략 일치되게 된다.
그리고, 이와 같은 구성에 의해, 패널 반송 배기 카트(1)의 각각의 부분 및 평 패널 P가 열팽창 또는 수축하여, 각각 상이한 양의 상대적 치수 변화를 일으켜도, 패널 서포트(28A)의 상단면의 위치에서 평 패널 P는 상대 이동을 발생시키는 일 없이 지지되어, 패널 서포트(28B)의 상단면의 위치에서 평 패널 P가 횡 방향으로 상대 이동, 즉 미끄러짐을 일으키고, 팁 관(24)과 평 패널 P와의 접합부나 팁 관(24) 자체에 외력이 작용하는 일은 없으며, 팁 관(24)과 평 패널 P의 통기구멍(29)과의 사이의 위치 변위나 팁 관(24)의 파손이라고 하는 사태는 회피된다.
또한, 패널 서포트(28B)에 대해서는, 상단면에 전동 가능한 구(球) 형상이나 롤러 형상의 지지체를 배열 설치하고, 이 구 형상이나 롤러 형상의 지지체에 의해 평 패널 P를 지지하도록 해도 좋다.
도 3은, 본 발명에 관한 다른 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트의 패널 서포트(28B) 및 그 주변부를 나타낸 것으로, 이 패널 반송 배기 카트는, 이 패널 서포트(28B)를 제외하고, 기타는 전술한 패널 반송 배기 카트(1)와 실질적으로 동일하며, 서로 공통되는 부분에 대해서는 동일 번호를 부여해서 설명을 생략한다.
도 3에 나타내는 패널 서포트(28B)는, 상부 표면이 구면(球面) 또는 곡면 형상으로 형성된 두부(頭部) H와, 이 두부 H의 아래쪽으로 연장되는 각부(脚部) L과, 하면이 구면 또는 곡면 형상으로 형성되어, 이 하면의 중심부에 각부 L을 관통시킨 플랜지(flange)부 F를 구비하고, 각부 L은 패널 서포트 지지 빔(27)에 구멍을 뚫어 설치한 관통 구멍 TH 내에 헐겁게 끼워지고, 관통 구멍 TH의 상단(上端) 개구의 주변 가장자리부 상에 접동 가능하게 플랜지부 F가 탑재되어 있다. 그리고, 대략 관통 구멍 TH의 중심축과 플랜지부 F와의 교점을 중심으로 해서 각부 L은 요동 가능하게 되어 있다. 즉, 이 패널 서포트(28B)는, 평 패널 P에 대하여 횡 방향으로, 평 패널과 서포트 간의 위치의 변위에 대응해 상대 이동이 쉽게 설치되어 있다.
또한, 플랜지부 F의 하면의 곡률은, 각부 L이 요동해도 두부 H의 최상부의 높이가 일정하게 유지되게 되어 있는 것이 바람직하다.
도 4∼도 7은, 본 발명에 관한 다른 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트(2)를 나타내며, 도 1 및 도 2에 나타내는 패널 반송 배기 카트(1)와 서로 공통되는 부분에 대해서는, 동일 번호를 부여해서 설명을 생략한다.
이 패널 반송 배기 카트(2)는, 패널 반송 배기 카트(1)의 패널 서포트(28B)에 대신해서, 패널 서포트(28C)를 배열 설치해서 형성된 것이다. 도 6 및 7에 나타내는 바와 같이, 패널 서포트(28C)는 상부 표면이 개구된 상자체(31) 상에, 원주 형상의 롤러(32)의 양측에 돌출된 지축(33)을 탑재하고, 이 지축(33)을 중심으로 해서 롤러(32)가 자유롭게 회전할 수 있도록 형성된 것이다.
또한, 롤러(32)가 위치하는 상자체(31) 내의 지지면(33)은 중심부가 낮아지도록 경사되어 있어, 하등의 외력이 작용하지 않을 경우에는 롤러(32)는 중력의 작용으로 상기 지지면(33)의 중심에 멈추는 한편, 상자체(31)의 외주를 형성하는 각각의 측면의 상부 가장자리부는 대향하는 지지면(33) 보다도 상부 방향으로 돌출하도록 형성되어, 롤러(32)가 이 상자체(31)로부터 이탈하는 일이 없도록 되어 있다. 또한, 각각의 롤러(32)의 중심축이 팁 관(24)을 향하는 도면 중 일점 쇄선으로써 나타낸 방향에 대하여 직교하도록 패널 서포트(28C)는 배열 설치되어 있으며, 전술한 열팽창이나 수축의 때에 평 패널 P에 있어서, 패널 서포트(28A)의 부분에 대하여 다른 부분이 원활하게 횡 방향으로 상대 이동할 수 있고, 팁 관(24)과 평 패널 P와의 접합부나 팁 관(24) 자체에 외력이 작용하는 일은 없으며, 팁 관(24)과 평 패널 P의 통기 구멍(29)과의 사이의 위치 변위나 팁 관(24)의 파손이라고 하는 사태는 회피할 수 있도록 되어 있다.
또한, 본 발명은 상기 특정한 패널 서포트(28A)를 2개로 한정하는 것은 아니다.
또한, 본 발명은, 팁 관(24)이 하향(下向)으로 돌출한 평 패널 P에 한하지 않고, 도 8에 나타내는 바와 같이, 팁 관(24)이 상향(上向)으로 돌출한 평 패널 P에도 적용되는 것이다.
이상의 설명으로부터 명확한 바와 같이, 제1발명에 의하면, 패널 서포트 내, 팁 관에 가까운 적어도 1개의 특정한 패널 서포트를 제외하고 다른 패널 서포트에 대해서는, 상기 특정한 패널 서포트에 비해서, 평 패널에 대하여 횡 방향으로, 더욱 상대 이동하기 쉽게 형성된 구성으로 하고 있다.
이 때문에, 패널 반송 배기 카트의 각각의 부분이나 평 패널이 열팽창이나 수축해서, 각각 상이한 양의 체적 변화를 일으켜도, 상기 특정한 패널 서포트의 상단면의 위치에서 평 패널은 상대 이동을 발생시키는 일 없이 지지되어, 다른 패널 서포트의 상단면의 위치에서 평 패널이 횡 방향으로 상대 이동, 즉 미끄러짐을 일으키고, 팁 관과 평 패널과의 접합부나 팁 관 자체에 외력이 작용하는 일은 없으며, 팁 관과 평 패널의 통기 구멍과의 사이의 위치 변위나 팁 관의 파손이라고 하는 사태의 회피가 간단한 구성으로써 실현된다고 하는 효과를 나타낸다.
제2발명에 의하면, 상기 다른 패널 서포트가 요동 가능하게 설치되어 있어, 패널 서포트의 상단면과 평 패널의 하면과의 접촉 위치의 변위가 없는 상태에서 평 패널에 대하여 횡 방향으로, 평 패널과 서포트 간의 위치 변위에 대응해서 용이하게 상대 이동하는 것이 가능하게 되고, 전술한 제1발명에 의한 효과가 더한층 현저해진다고 하는 효과를 나타낸다.
제3발명에 의하면, 제1발명의 구성에 추가해서, 상기 다른 패널 서포트가, 단면이 대략 V자형의 경사면 상에 전동 가능하게 탑재되고, 상기 평 패널을 지지하는 롤러를 갖추며, 또한 이 롤러의 중심축이 이 중심축의 중점으로부터 상기 팁 관을 향하는 방향에 대하여 직교하도록 배치된 구성으로 하고 있다.
이 때문에, 제1발명에 의한 효과가 더한층 현저해진다고 하는 효과를 나타낸다.

Claims (3)

  1. 배기(排氣)·가스공급 가능하게 형성되고, 팁(tip) 관을 보유 지지하는 배기 헤드와, 상기 팁 관이 밀봉 접착되어, 상기 팁 관 및 배기 헤드를 통해서 배기되고, 가스 주입이 실행된 후, 상기 팁 관을 밀봉, 절단해서 밀폐되는 횡으로 놓은 상태의 평 패널을 복수 개소에 배열 설치된 패널 서포트 상에 지지하는 패널 수납 매거진(magazine)을 구비한 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트(cart)에 있어서, 상기 패널 서포트(panel support) 내, 상기 팁 관에 가까운 적어도 1개의 특정한 패널 서포트를 제외하고 다른 패널 서포트에 대해서는, 상기 특정한 패널 서포트에 비해서, 상기 평 패널에 대하여 횡 방향으로, 더욱 상대 이동하기 쉽게 형성된 것을 특징으로 하는 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다른 패널 서포트가 요동(搖動) 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다른 패널 서포트가, 단면이 대략 Ⅴ자형의 경사면 상에 전동(轉動) 가능하게 탑재되어, 상기 평 패널을 지지하는 롤러를 갖추고, 또한 이 롤러의 중심축이 이 중심축의 중점으로부터 상기 팁 관을 향하는 방향에 대하여 직교하도록 배치된 것을 특징으로 하는 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트.
KR1020030035860A 2002-08-02 2003-06-04 플랫 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트 KR100929747B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2002-00225879 2002-08-02
JP2002225879 2002-08-02
JPJP-P-2003-00030693 2003-02-07
JP2003030693A JP3920227B2 (ja) 2002-08-02 2003-02-07 フラットパネル製造設備用パネル搬送排気カート

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040012461A true KR20040012461A (ko) 2004-02-11
KR100929747B1 KR100929747B1 (ko) 2009-12-03

Family

ID=32095373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030035860A KR100929747B1 (ko) 2002-08-02 2003-06-04 플랫 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP3920227B2 (ko)
KR (1) KR100929747B1 (ko)
CN (1) CN100377275C (ko)
TW (1) TWI267109B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728802B1 (ko) * 2005-10-19 2007-06-19 한국기계연구원 합착 및 배기 단일 공정용 카트

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2007043159A1 (ja) * 2005-10-07 2009-04-16 中外炉工業株式会社 プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム
JP4632965B2 (ja) * 2006-02-14 2011-02-16 中外炉工業株式会社 パネル処理用排気カート
JP7027275B2 (ja) * 2018-07-20 2022-03-01 株式会社東芝 水素製造装置および水素製造システム

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3374210B2 (ja) * 1996-12-04 2003-02-04 光洋サーモシステム株式会社 オーブン用ラック装置
JP4174885B2 (ja) * 1998-12-09 2008-11-05 松下電器産業株式会社 排気装置
KR100532017B1 (ko) * 1999-02-24 2005-11-29 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 플라즈마·디스플레이·패널의 배기·봉입 방법
CN1153243C (zh) * 1999-03-01 2004-06-09 中外炉工业株式会社 等离子显示装置面板的排气密封方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728802B1 (ko) * 2005-10-19 2007-06-19 한국기계연구원 합착 및 배기 단일 공정용 카트

Also Published As

Publication number Publication date
TW200402753A (en) 2004-02-16
CN100377275C (zh) 2008-03-26
JP2004127900A (ja) 2004-04-22
CN1484269A (zh) 2004-03-24
TWI267109B (en) 2006-11-21
KR100929747B1 (ko) 2009-12-03
JP3920227B2 (ja) 2007-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8590902B2 (en) Seal member, depressurized chamber, depressurizing processing apparatus, seal mechanism of depressurized chamber, and method of manufacturing a depressurized chamber
US6506272B1 (en) Vacuum IG unit with seal for pump-out aperture
US20120237682A1 (en) In-situ mask alignment for deposition tools
CN105189811B (zh) 用于基板的运送器及运送基板的方法
US8943669B2 (en) Assembly method for vacuum processing apparatus
JP2002203884A (ja) 基板処理装置及び経由チャンバー
KR20060106544A (ko) 표시 패널용 글라스를 적재하기 위한 글라스 카세트
JP5232801B2 (ja) チャンバ及び成膜装置
KR20040012461A (ko) 평 패널 제조 설비용 패널 반송 배기 카트
KR20140123842A (ko) 박막 증착 시스템의 카메라 어셈블리
KR20080052645A (ko) 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템
JP2023074944A (ja) 連接処理容器及び基板処理方法。
JP4961957B2 (ja) 基板組立装置の搬送方法
JP2007333272A (ja) ラック、ラックシステム、熱処理装置、並びに、熱処理システム
KR20080108054A (ko) 기판반송장치
KR20200106811A (ko) 진공 챔버 내로의 유틸리티 라인 도입 기구, 성막 장치, 성막 시스템
JP4456974B2 (ja) 真空処理装置
WO2014030432A1 (ja) 基板搬送装置および基板処理システム
KR20200052810A (ko) 성막 장치, 제조 시스템, 유기 el 패널의 제조 시스템
KR100891614B1 (ko) 평면디스플레이용 화학기상 증착장치
JP5277572B2 (ja) 板状物の保管移送システムおよび板状物の保管移送方法
JP2001077172A (ja) 基板の処理装置、基板の搬送体、並びに電子部品の製造方法
KR20190046512A (ko) 필름을 이송하기 위한 로봇 핸드
JP6490523B2 (ja) スパッタ装置及びスパッタ装置の駆動方法
JPH11260891A (ja) ロボット非連結取付技術

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121004

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee