CN105189811B - 用于基板的运送器及运送基板的方法 - Google Patents
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Abstract
描述一种在沉积腔室中用以运送基板(210；310)的运送器(200；300；400)。运送器包括：用以垂直地保持基板(210；310)的框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)，其中框架具有实质上为矩形的形状，并具有底框架部(240；340；440)；用以稳固地将基板(210；310)固定至运送器(200；300；400)的固定装置(225；325)，其中固定装置(225；325)设置在底框架部(240；340；440)的中央区域中；及用以支撑但并非稳固地固定基板(210；310)的一个或多个支撑构件(220；230；320)。此外，描述一种在沉积期间用以运送基板的方法。
Description
技术领域
实施例是有关于一种用于待涂膜的基板的运送器，及一种运送待涂膜的基板的方法。本发明的实施例特别是有关于基板运送器的框架，特别是用于运送器中的基板的保持装置(holding means)。
背景技术
已知有数种用于沉积材料至基板上的方法。举例来说，基板可通过物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)工艺、化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)工艺、等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)工艺等工艺来进行涂膜。通常，工艺是在工艺仪器或工艺腔室中来执行，待涂膜的基板设置于或被引导而通过工艺仪器或工艺腔室。在仪器中提供沉积材料。多种材料可用于沉积至基板上，其中如氧化物、氮化物、碳化物或金属。此外，其它的工艺步骤，例如蚀刻、结构化、退火或类似的工艺步骤可在工艺腔室中来进行。
涂膜材料可用于数种应用中，且可用于数个技术领域中。举例来说，一种应用是在微电子领域，例如是生产半导体装置。并且，用在显示器的基板通常以物理气相沉积工艺来进行涂膜。更进一步的应用，特别是涂层玻璃基板的应用，为液晶(平板)显示器(LiquidCrystal(flat panel)Displays,LCD)中的彩色滤光片(Color Filters,CF)与触控面板(Touch Panels,TP)。再更进一步的应用包括绝缘面板、有机发光二极管(Organic LightEmitting Diode,OLED)面板、搭载有薄膜晶体管(TFT)的基板或其他类似的应用。
近年来，所使用的基板的尺寸增大。尤其是待涂膜的玻璃基板使得在不因玻璃破裂牺牲生产量的情况下搬运、支撑以及处理基板具有挑战性。
通常地，玻璃基板可在其处理期间被支撑在运送器(carrier)上。运送器驱动玻璃或基板通过处理机器。运送器通常形成一框架，框架沿着基板的周边支撑着基板的表面。特别是，框架形的运送器也可用以遮蔽玻璃基板，其中，运送器中被框架所围绕的开口(aperture)为待沉积至暴露的基板部分上的涂膜材料提供了开口。
尽管期望边缘排除(edge exclusion)能尽量地小，但仍期望具有一个存在的边缘排除，特别是允许基板精准并且均匀涂膜的边缘排除。然而，被边缘排除排除的基板的面积除了取决于所有涉及的材料(例如基板材料与运送器材料)在所使用的温度下的热膨胀，也取决于因自动化机器人而造成的运送器内的基板定位的不准确。
有鉴于上述情况，本文描述的实施例的一目标是提供一种用于待涂膜的基板的运送器，此运送器提供优化并且可靠的边缘排除，并且同时避免基板在运送期间在运送器破裂。
发明内容
有鉴于上述内容，提供根据独立权利要求的一种用以运送基板的运送器及一种用以运送基板的方法。通过从属权利要求、说明书及附图，将明了其他方面、优点与特征。
根据一实施例，提供一种在沉积腔室中用以运送基板的运送器。运送器包括：框架，用以垂直地保持(hold)基板，其中框架具有实质上为矩形的形状，并具有一底框架部；以及一固定装置(fixing means)，用以稳固地将基板固定至运送器，其中固定装置设置在底框架部的中央区域中。运送器进一步包括一个或多个支撑构件，用以支撑但并非稳固地固定基板。
根据另一实施例，提供一种在沉积工艺腔室中用以运送基板的运送器。运送器包括：框架，用以垂直地保持基板，其中框架具有实质上为矩形的形状，并具有一底框架部；以及一个单一固定装置，用以稳固地将基板固定至运送器，其中固定装置设置在底框架部的中央区域中。运送器进一步包括一个或多个支撑构件，用以支撑但并非稳固地固定基板。
根据另一方面，提供一种在沉积工艺期间于沉积腔室中以运送器运送基板的方法。运送器包括用以垂直地保持基板的框架。框架具有实质上为矩形的形状并具有一底框架部。所述方法包括以位于底框架部的中央区域的固定装置稳固地将基板固定至运送器；以及以一个或多个支撑构件在运送器中支撑基板，但并非以支撑构件稳固地固定基板。
实施例也涉及用以进行所揭露的方法的仪器，并包括用以执行各个所述方法步骤的仪器部。这些方法步骤可以硬件元件、由适当的软件编程的计算机、两者的任何组合，或任何其它的方法执行。此外，实施例也涉及所述仪器的操作方法。所述方法包括用以实现仪器的每一功能的方法步骤。
附图说明
为了让上述特征能被更加清楚地理解，于以上简要概括的更详细的叙述将参照实施例而提供。所附的附图有关于实施例，并在以下描述之：
图1a绘示根据现有技术的运送器及待涂膜的基板的侧视图；
图1b绘示图1a中所示的运送器及基板的局部细节图；
图1c绘示图1a中所示的运送器及基板沿着线A-A的剖面图；
图2a绘示根据本文所描述的实施例的运送器的侧视示意图；
图2b绘示根据图2a中所示的本文所描述的实施例的运送器沿着线B-B的剖面图；
图3绘示根据本文所描述的实施例的运送器的一部分的侧视示意图；
图4绘示根据本文所描述的实施例的运送器的侧视示意图；
图5绘示根据本文所描述的实施例的运送器的侧视示意图；
图6绘示根据本文所描述的实施例的运送器的侧视示意图；
图7绘示根据本文所描述的实施例的用以运送基板的方法的流程图；
图8绘示根据本文所描述的实施例的用以运送基板的方法的流程图；
图9绘示根据本文所描述的实施例的用以运送基板的方法的流程图。
具体实施方式
现将详细描述各种实施例，其一个或多个参考范例绘示于附图中。在以下对于附图的叙述中，相同的参考标号意指相同的元件。一般而言，仅针对个别的实施例的不同处作描述。各个范例的提供作为解释的一种手段，并不代表作为保护范围的限制。此外，所描绘或叙述为一个实施例的一部分的特征，可使用在其它实施例，或与其它实施例一同使用，以产生又一个实施例。本说明书中意在包括此类的修饰与变形。
图1a绘示保持着基板110的运送器100的侧视图。运送器包括具有四个部分的框架，此四个部分为底部140、第一侧部150、顶部160及第二侧部170。运送器100垂直地运送基板110，且运送器100包括在框架部150、160及170上的夹钳120。夹钳防止垂直设置的基板从运送器脱落。在运送器100的底框架部140，提供基板底支撑装置130，基板110的底侧停留在其上。
一般而言，待涂膜的基板保持在运送器中，运送器移动通过涂膜系统，例如真空涂膜系统。举例来说，基板可以物理气相沉积磁控溅镀工艺(PVD magnetron sputteringprocess)来进行涂膜。当运送基板以进行沉积工艺时，基板以及运送器承受高温度变化。将基板保持在运送器中的夹钳可在基板与运送器之间保留热膨胀的空间，基板与运送器可由金属所制成，例如是铝及/或钛。在替代性的一例中，夹钳碰触基板，但是以一低的夹持力碰触基板，此低的夹持力允许基板相对于运送器因热膨胀所导致的相对运动。
然而，运送器通常具有额外的功能，即上述所提及的边缘排除。运送器的构造使基板安全地运送，并且同时作为外部基板边缘区域的边缘排除遮罩，所述外部基板边缘区域不应被涂膜。
一般而言，当基板的边缘不应有沉积材料时，便期望一边缘排除。保持基板的一区域或边缘没有沉积材料可以是当由于涂膜基板之后的应用而只有基板的一定义区域应被涂膜时的情况。举例来说，即将作为显示部件的基板，应具有预定的尺寸。通常，为了遮蔽基板的边缘及/或防止基板背面涂膜，使用边缘排除遮罩来对大面积基板进行涂膜。使用边缘排除遮罩允许基板上可靠、一致的涂膜。边缘不具沉积材料的基板可被进一步地处理。
可能会期望有精确、可靠并且均匀的边缘排除，由于运送器及基板在沉积期间的热膨胀，这样的边缘排除是困难的。至今，使用具有低热膨胀的(昂贵)材料，例如钛及/或特殊的装置，以减少运送器内基板的移动。举例来说，在已知的系统中，为了限制基板因热膨胀而相对于运送器移动，钛棒(titanium bar)被用于铝运送器框架内。
图1b绘示如图1a的在已知的系统中所使用的运送器在区域C更详细的视图。在图1b中，可以看出运送基板110的运送器100的底框架部140及第二侧框架部170。图1b中也示出了夹钳120及基板底支撑装置130的详细视图。钛棒180被提供至运送器100的框架中，用以限制基板110的移动。为了优化成本，运送器100的主要部件由铝制成，且钛镶嵌(titanium inlay)由于不同的热膨胀系数而被用来将基板设置在运送器框架的中央。在沉积的过程中，运送器和基板膨胀，此外，通过运送器框架保持的基板随着框架的膨胀而移动。钛镶嵌限制了因运送器框架的铝部件的膨胀所导致的基板的移动。
基板在某些情形中可为一薄、易碎的玻璃基板，基板移动与膨胀的可能性防止了基板的破裂。基板在由钛镶嵌的限制的特定区域内可移动，形成一定义的边缘排除与基板的安全处理。
根据本文描述的运送器的实施例，通过提供用以稳固地使基板固定至运送器的固定装置，防止了基板相对于运送器的移动。本文所描述的实施例不论运送器所使用的材料而允许基板与运送器的热膨胀，但在一固定点稳固地使基板固定至运送器。已知系统中的运送器及基板的移动与膨胀导致排除于沉积之外的边缘区域大于期望用以补偿保持基板的运送器的膨胀。以本文所叙述的实施例，可实现一较小的边缘排除区域。此外，根据本文所描述的实施例的运送器，不会产生因运送器框架复杂的几何形状或材料镶嵌而造成的高成本。
图2a绘示根据本文所描述的实施例的运送器200。运送器200的框架可由铝或任何其它适合在沉积工艺中使用的材料所制成，沉积工艺例如是物理气相沉积(PVD)工艺。举例来说，运送器可包括或可实质上由不锈钢或钛所制成。运送器可包括其它材料，例如是聚醚醚酮(polyetheretherketone,PEEK)或聚酰亚胺(polyimide,PI，例如是Meldin或Torlon)，或是至少运送器的元件可由PEEK或PI制成。举例来说，与PEEK相比，PI材料在更高的温度下是可用的，且还可用于真空下。
运送器运送基板210。根据某些实施例，如本文所描述的基板可由任何适合材料沉积的材料所制成。举例来说，基板可由玻璃制成，例如是钠钙玻璃(soda-lime glass)、硼硅玻璃(borosilicate glass)等。此外，基板可由选自于由金属、聚合物、陶瓷、复合材料，或可以沉积工艺而被涂膜的任何其他材料或材料的组合所组成的群组中的材料制成。
运送器200的框架可包括数个框架部分，例如底框架部240、第一侧框架部250、顶框架部260及第二侧框架部270。运送器还包括用以支撑基板210的支撑构件220及用以在底部支撑基板210的底支撑构件230。在一范例中，例如图2a中所绘示的范例，支撑构件230可为简单的支撑构件，例如是基板底边缘的支撑座。举例来说，支撑构件可形成为在运送器框架部240中的一突出物，或可为固定至运送器的由PEEK或PI制成的阻挡物。
本文所描述的实施例中，至少在沉积的过程，基板是通过基板运送器垂直地保持住。在本文中，垂直地保持基板可意味着待涂膜的表面在沉积的过程中实质上是垂直的。当在图2a左侧看向座标系统时，可看出待涂膜的基板表面设置在x-y平面上，而基板的厚度在往z方向延伸。如此处所使用的，框架或基板的底部意指框架或基板的一部分，所述部分包括框架在y方向值的较小范围。举例来说，底框架部为包括运送器框架的最小的y值并在水平方向延伸的框架部分。相同的定义可被套用至基板底部。基板的底边缘可为位于基板底部的基板边缘，例如与基板其他的边缘相比之下具有最小的y方向值的水平延伸边缘。
此外，在下述内容中，本文所使用的用语“实质上”可代表其可能具有与”实质上”所指的特性偏离的某种程度的偏差。举例来说，用语”实质上垂直”意指可能具有从确切的垂直位置有某种程度的偏差的一位置，例如从确切的垂直位置有约1°至约15°的偏差。在某些实施例中，用语”实质上为矩形的形状”可意指实施例也包括由严格的矩形形状偏离至某种程度的形状。举例来说，以”实质上为矩形的形状”来表示的形状的角度可从90°角偏离约1°至约10°的角度。
根据本文所描述的实施例，运送器200包括固定装置225，用以稳固地将基板固定至运送器。在图2a所示的实施例中，提供了一个单一固定装置225，用以稳固地将基板210固定至运送器200。固定装置225设置于底框架部的一中央区域中，以下将详细描述之。固定装置225稳固地在基板底边缘的中央固定基板，有助于优化运送器的边缘排除。固定装置225可为基板提供一固定点。从所述固定点，基板仍然能够在相对于运送器框架的所有方向膨胀，避免基板由于移动限制所导致的应力而破裂。提供固定点节省了运送器携带部(carrier pouch)之内的空间。
根据本文描述的实施例的运送器有助于优化低温工艺(例如≤130℃的工艺)及高温工艺(高达360℃)下的边缘排除。在图2a所示的实施例中，由于是由一个单一固定装置提供的固定点，基板在底框架部的中央区域中的一个单一点上被耦接至运送器。如上所述，本文所描述的运送器的实施例包括一个单一固定装置，用以稳固地将基板固定至运送器，其应当理解为正好一个固定装置，用以稳固地固定基板，然而，可提供另外的支撑构件，其不会紧紧地把基板固定住，而是以允许基板移动的方式保持住基板。可通过在支撑构件中保留一空间，或选择支撑构件中的力(例如夹钳中的夹持力)使其低到仍能够使基板移动，实现允许基板在支撑构件中移动而不紧紧地把基板固定至运送器。
支撑构件220与固定装置225之间的差别可从图2b中看出。图2b绘示图2a所示的运送器200(稍微放大)的剖面图，特别是沿着图2a中所示线B-B的剖面图。图2a和图2b所示的实施例中的固定装置225可为夹钳，其稳固地将基板210固定至运送器，或至少固定至运送器底框架部240。与之相比，示例性地提供在运送器200的侧边250、260、270的支撑构件220在支撑构件220和基板210之间保留空间215，以允许基板210的移动。在替代性的一例中，支撑构件可以接触基板，但施加一低的力于基板上，使得在支撑构件内仍允许因热膨胀所导致的基板的相对移动。
与图1a的系统相比，图1a中沿着线A-A的剖面图绘示于图1c中。图1c中所示的运送器100的夹钳120在基板和运送器之间为以上所述移动保留空间。
在某些实施例中，形成为夹钳的已知支撑构件的可靠设计，可用来制造根据本文描述的实施例的固定装置。举例来说，为了提供稳固地固定基板的力，可在已知的夹钳中使用更强的弹簧与适合此更强的弹簧的几何形状。虽然充分地限制或防止了基板的移动，但使用更强的弹簧可节省成本，并且容易实现。
应了解的是，用语“稳固地固定”指的是防止基板相对于运送器框架至少在固定装置所提供的固定点的移动的功能。固定装置可描述为稳固地或紧固地将基板固定在固定点而固定至运送器框架。基板与运送器通过固定装置在固定点耦接。根据某些实施例，固定装置可为夹钳，例如是包括弹簧的夹钳，用以稳固地固定基板。举例来说，固定装置可适用在沉积期间用以稳固地将基板固定至运送器，且适用在沉积工艺完成之后用以释放基板。在某些实施例中，固定装置可采取数个位置，其中之一可提供以上所描述的基板稳固固定。可通过固定装置来提供其他位置，例如是一开放的位置，或允许基板移动的位置。
图3绘示运送器400的一实施例。图3所示的运送器400并未搭载基板，但绘示了环绕运送器400的内周的基板接收表面480。运送器包括框架部440、450、460及470。如上述参照图2a和图2b所描述的内容，固定装置提供于运送器底框架部的一中央区域，例如图3中的底框架部440。一般而言，基板接收表面480的底部应理解为位于运送器的底框架部上的基板接收表面480的一部分。
在可与本文所描述的其它实施例结合的某些实施例中，底框架部的中央区域对应至基板接收表面的底部的中央区域。举例来说，运送器的基板接收表面可为运送器运送基板时基板与之接触的表面。请往回参照图2b，在所述实施例中的基板接收表面被示为基板接收表面280。在图2b中，可看到基板与基板接收表面280接触。应了解的是，在图3中，当运送器400运送一基板时，阴影线区域480实质上与基板接触。
在一个范例中，基板接收表面可充当用以覆盖基板的周边的一边缘排除。基板与基板运送器400接触的部分在涂膜工艺的过程中并未被涂膜。在某些实施例中，边缘排除可覆盖约1‰至约5％的基板面积，通常介于约4‰至约4％，甚至更典型地介于约1％和约3％之间的基板面积。应了解(且可见于图3中)的是，由充当为边缘排除遮罩的运送器所覆盖的基板的面积位于基板的周边。
在图3中，基板接收表面480的底边的中心以481代表。基板接收表面480的底部的中心481可定义为基板接收表面480的底部的中间点。并且，基板接收表面480的底边的中心481可定义为具有分别到运送器侧框架部450及470的基板接收表面实质上相同距离的一点。举例来说，图3中所示的距离485及486可具有实质上相同的数值。
根据本文所描述的某些实施例，底框架部的中央区域可定义为基板接收表面480的底部的中央区域。
本文所描述的中央区域应理解为包括中心点的区域，例如基板接收表面480的中央区域可包括中心481。此外，基板接收表面480的底部的中央区域可包括围绕中心481的一特定区域。在可与本文所描述的其它实施例结合的一个实施例中，基板接收表面480的底部的中央区域可包括在运送器400的底框架部440的基板接收表面480的中心481，以及基板接收表面的底部在各个方向上的长度约15％的偏差。在图3中，距离482及483分别表示从中心点481起算的占底框架部440的基板接收表面480的总长度487约15％的一距离。距离482和483合起来表示基板接收表面480的中央区域的长度。
根据某些实施例，本文所使用的底框架部440的基板接收表面480的总长度可定义为包括在底框架部440的基板接收表面480在x方向上的延伸。
如上所述，底框架部440的中央区域可对应至基板接收表面480的底部的中央区域。然而，应注意的是，在运送器框架并不具有实质上对称的形状的情形下(例如图3中所示的具有底框架部440的一左侧延伸的形状)，底框架部件中央区域可依照基板接收表面的底部的中央区域而定。然而，在某些实施例中，基板可在底框架部440的基板接收表面480的中央区域被稳固地固定至运送器400。
根据某些实施例，运送器可适用于运送多于一个的基板。在运送器适用于运送多于一个基板的情形下，运送器可包括用于每一基板的基板接收表面，并可包括用于每一基板的如上述般设置的固定装置。
在某些实施例中，固定装置所提供的固定点(并未绘示于图3中)可位于运送器框架的基板接收表面的底部的中心点481。
图4绘示根据本文所描述的实施例的运送器800。运送器包括底框架部840、第一侧框架部850、顶框架部860以及第二侧框架部870。运送器800垂直地保持基板810。此外，运送器包括用以支撑但并不稳固地固定基板810的支撑构件820。支撑构件820示例性地设置于第一侧框架部850、顶框架部860以及第二侧框架部870。并且，可提供底支撑构件830，以支撑基板810的底边缘。
在图4所示的实施例中，在底框架部840的中央区域890中提供两个固定装置825、826。中央区域可为如以上参照图3所详细讨论的中央区域。举例来说，两个固定装置825、826所位于的中央区域可以是从底框架部的中心点至底框架部在各个方向上长度约15％的范围。在某些实施例中，固定装置825、826从底框架部的中心点往左及往右设置。
在某些实施例中，底框架部件840的中央区域890可依照基板接收表面的中央区域而定，如以上参照图3的解释。固定装置825、826可位于包含基板接收表面的底侧的中心点及基板接收表面在各个方向上的长度的15％的一区域。
图5绘示运送器900的实施例，运送器900包括在底框架部940的中央区域990中的三个固定装置925、926及927。运送器900进一步包括底框架部940、第一侧框架部950、顶框架部960及第二侧框架部970。运送器900垂直地保持基板910，并可包括支撑构件920及底支撑构件930。一般的情况下，有关于图3及图4的讨论同样适用。特别是，上述底框架部的中央区域的定义可适用于运送器900的底框架部940的中央区域990。并且，中央区域990可如上所述依照基板接收表面的底部的中央区域而定。
根据某些实施例，三个固定装置925、926及927其中之一可设置在底框架部的中心点或基板接收表面的底部的中心点作为中间固定装置。在底框架部940的中央区域990或在基板接收表面的底部的中央区域之内，三个固定装置中的两个可设置在中间固定装置的两旁。
在提供多于一个单一固定装置的情形下，固定装置所提供的固定点可理解为两个或三个固定装置在运送器框架的底框架部的中央区域中的合力施加点。换句话说，固定点依照固定装置所施加的力的合力作用线而定。
图6绘示根据本文所描述的实施例的运送器的一实施例。相对于图2a和图2b在运送器框架的底框架部240绘示支撑构件230，运送器300在底框架部件340包括夹钳320。在运送器300的底框架部340的夹钳320有助于保持基板在一相对的位置中，但不固定基板310。在图6所示的实施例中，基板是通过固定装置325所固定，固定装置325可为上述的固定装置。
在图中所示的实施例中，夹钳的数量仅为一范例，不应理解为本文所描述的实施例的限制。每一运送器的支撑构件的数量通常可介于约2个和约10个之间，更典型地介于约3个和约8个之间，甚至更典型地介于约3个和6个之间。
为了确保基板通过固定装置稳固固定，固定装置适用于框架，并允许稳固地将一基板固定住，此基板通常具有介于约0.2mm至约6mm的厚度，更典型地具有介于约0.3mm至约2mm的厚度，甚至更典型地具有介于约0.3mm至约1.5mm的厚度。在一范例中，厚度可以高达1.2mm。夹钳形式的固定装置也可配置有阻尼单元，以确保并可靠地固定住基板而不使其损坏。
在某些实施例中，固定装置可包括含有弹簧的夹钳。弹簧施加在基板用以稳固地将基板固定至运送器的弹簧力通常可介于15N和约25N之间，更典型地介于约16N和约23N之间，甚至更典型地介于约17N和约20N之间。在一范例中，施加在根据本文所描述的实施例的固定装置的弹簧力约17N。在提供多于一个固定装置用以稳固地固定住基板的实施例中(例如图4及图5所示的实施例)，每一固定装置可具有上述范围内的弹簧力。
根据某些实施例，提供根据本文所描述的实施例的运送器及方法所欲使用的基板可具有典型地约1.4m2至约8m2的大小，更典型地具有约2m2至约9m2，或甚至是高达12m2的大小。举例来说，基板可为第5代(GEN 5)、第7.5代(GEN7.5)、第8.5代(GEN8.5)，或甚至第10代(GEN 10)基板，第5代对应于约1.4m2的基板(1.1m×1.25m)，第7.5代对应于约4.29m2的基板(1.95m×2.2m)，第8.5代对应于约5.7m2的基板(2.2m×2.5m)，第10代对应于约8.7m2的基板(2.85m×3.05m)。甚至是可类似地实现如第11代(GEN 11)与第12代(GEN12)的更大的世代基板及所对应的基板面积。根据某些实施例，基板可具有约300mm×400mm、305mm×356mm、320mm×650mm、356mm×356mm、356mm×406mm、370mm×470mm、400mm×500mm、550mm×650mm、550mm×670mm、620mm×750mm、650mm×750mm、670mm×830mm、680mm×880mm，或是730mm×920mm的大小。
根据某些实施例，对方法进行说明。本文所描述的方法的实施例绘示如图7中的流程图。用于在沉积工艺期间运送基板的方法500包括：在方块510，以包括用以垂直地保持基板的框架的运送器运送基板。运送器框架可为参照图2至图6所描述的运送器框架。运送器的框架可具有实质上为矩形的形状，并具有底框架部。
方法500包括：在方块520，稳固地将基板固定至运送器。基板稳固固定至运送器，或基板耦接至运送器，例如可发生在一固定点上，可通过在基板的底边缘的固定装置来执行，较佳为通过一个单一固定装置来执行。根据某些实施例，固定装置可设置于运送器的底框架部的中央区域。在例如以上详细描述的实施例的某些实施例中，一个单一固定装置可在运送器的基板接收表面的中央区域将基板固定至运送器。
根据某些实施例，基板在通过固定装置所提供的恰好一个单一固定点稳固地固定至运送器。基板仍可从固定点膨胀，基板相对于运送器的移动被阻止。
在方块530中，本文所描述的方法500的实施例包括在运送器中以一个或多个支撑构件支撑基板，但并不以支撑构件稳固地固定住基板。支撑构件可为夹钳，夹钳可允许基板在由运送器及夹钳所提供的一定义的空间内移动。在某些实施例中，支撑构件可提供在运送器框架的各个侧边。特别是，支撑构件可设置于运送器的每一侧边上，例如(请往回参照图2)在底侧框架部240、左侧框架部250、顶侧框架部260及右侧框架部270上。
根据某些实施例，固定装置可为参照图2至图6所详细描述的固定装置。举例来说，固定装置可为施加一限定的力于基板上以稳固地将基板固定至运送器的夹钳。在一范例中，固定装置可包括适用于运送器及所运送的基板的参数的弹簧。固定装置可适用于施加力至基板，所述力足够大以稳固地将基板固定住，且足够小以避免破坏基板。在某些实施例中，稳固地固定基板所使用的力可通过在底框架部件的中央区域中的多于一个固定装置所提供，例如是二个或三个固定装置。
根据本文所描述的实施例在运送器的固定装置之中使用一可分别调整的弹簧，是用以表现出用于稳固地将基板固定至运送器的力的简单方法，而不会造成高的成本。与例如参照图1b所描述的钛镶嵌相比，根据本文所描述的实施例的运送器可以一在经济上非常高效的方式制造出来，同时维持运送器的重量也一样低。
图8绘示方法600的实施例。根据某些实施例，方块610、620及630可分别对应于方法500的方块510、520及530。方法600进一步包括方块640，方块640包括以运送器框架覆盖基板的边缘。通过以运送器框架覆盖基板的边缘，可由框架提供遮罩从而产生如上所述的边缘排除。举例来说，运送器框架的边缘排除功能可依照运送器框架的基板接收表面而定。
图9绘示方法700的实施例。方法700包括可分别对应至方块510、520及530或方块610、620及630的方块710、720及730。在方法700中，其中稳固地将基板固定在固定点包括：在方块725中，防止基板在沉积腔室中的操作期间在固定装置所提供的固定点相对于运送器移动。通过稳固地将基板固定至运送器，基板耦接至运送器，以限制基板对运送器的相对移动。然而，基板及运送器仍能彼此独立地膨胀。
根据本文所描述的某些实施例，本文所描述的方法中所使用的运送器框架包括基板接收表面，示例性地示为基板接收表面480。在某些实施例中，底框架部的中央区域对应于底框架部的基板接收表面的中央区域。然而，在某些实施例中，基板可在底框架部的基板接收表面的中央区域稳固地固定至运送器。
除了通过根据本文所描述的实施例的运送器所达到的上述效果外，几个进一步期望的效果与如本文所描述的运送器的使用联系在一块。举例来说，通过提供一小的、定义的但仍存在的排除涂膜之外的区域，边缘以排除可以根据本文所描述的实施例的运送器进行优化。此外，根据实施例，相较于昂贵的钛镶嵌，通过使用运送器中的固定装置，可节省成本与昂贵材料。
根据某些实施例，运送器的另一个效果是由于基板在运送器携带部内部移动的可能性较低，基板边缘上的刮痕减少。通过稳固地将基板固定在一固定点，基板稳固地保持在运送器之中，且基板的位置可准确地定义。准确地定义基板在运送器内的位置有助于提高产品的品质。
根据本文所描述的实施例，运送器的进一步效果是边缘排除可设计得较小(特别是由于精度的提升)，这增加了整体的工艺效率。并且，由于与已知的系统相比可省略钛镶嵌，使运送器中所使用的部件数量减少。通过使用实质上已知的夹钳的设计作为固定装置并增加夹持力，可进一步突显出使得所使用的部件数量少。
根据本文所描述的实施例，尽管防止基板在运送器之内移动，但同时允许基板由固定点在各个方向膨胀，可减低基板在运送器中破裂的风险。
虽然前述内容针对一些实施例，其它和进一步的实施例可在不脱离本发明的基本范围内而设计出来，本发明的范围当视后附的权利要求所界定者为准。
Claims (20)
1.一种在沉积腔室中用以运送基板(210；310)的运送器(200；300；400)，包括：
框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)，用以垂直地保持所述基板(210；310)，其中所述框架具有为矩形的形状，并具有底框架部(240；340；440)；
固定装置(225；325)，用以稳固地将所述基板(210；310)固定至所述运送器(200；300；400)，其中所述固定装置(225；325)设置在所述底框架部(240；340；440)的中央区域中；以及
一个或多个支撑构件(220；230；320)，用以支撑但并非稳固地固定所述基板(210；310)。
2.如权利要求1所述的运送器，其中所述运送器包括在所述底框架部(240；340；440)的中央区域中的一个所述固定装置(225；325)，以稳固地将所述基板(210；310)固定至所述运送器(200；300；400)。
3.如权利要求1所述的运送器，其中所述一个或多个支撑构件(220；230；320)设置在所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)的所述底框架部(240；340)。
4.如权利要求2所述的运送器，其中所述一个或多个支撑构件(220；230；320)设置在所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)的所述底框架部(240；340)。
5.如权利要求1所述的运送器，其中所述固定装置(225；325)包括夹钳。
6.如权利要求2至4中任一项所述的运送器，其中所述固定装置(225；325)包括夹钳。
7.如权利要求5所述的运送器，其中所述夹钳包括弹簧。
8.如权利要求1所述的运送器，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)及所述固定装置(225；325)适用于稳固地固定所述基板(210；310)，所述基板具有在0.3mm至1.5mm的范围内的厚度。
9.如权利要求2至5、7和8中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)及所述固定装置(225；325) 适用于稳固地固定所述基板(210；310)，所述基板具有在0.3mm至1.5mm的范围内的厚度。
10.如权利要求1至5、7和8中任一项所述的运送器，其中所述固定装置(225；325)适用于在所述沉积腔室中的操作期间，防止所述基板(210；310)在所述固定装置(225；325)所提供的固定点(481)相对于所述运送器(200；300；400)的移动。
11.如权利要求1所述的运送器，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240；340；440)的所述中央区域对应于所述基板接收表面(480)的底部的中央区域(481；482)。
12.如权利要求2至5、7和8中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240；340；440)的所述中央区域对应于所述基板接收表面(480)的底部的中央区域(481；482)。
13.如权利要求1至5、7、8和11中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240；340；440)的所述中央区域对应至所述基板接收表面(480)的底部的中央区域，所述基板接收表面的底部的所述中央区域包括所述基板接收表面(480)的底部的中心(481)以及所述基板接收表面(480)在各个方向上长度(487)15％的偏差。
14.如权利要求1至5、7、8和11中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)适用于提供所述基板(210；310)的边缘排除。
15.一种在沉积工艺期间于沉积腔室中以运送器(200；300；400)运送基板(210；310)的方法，所述运送器包括用以垂直地保持所述基板(210；310)的框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)，其中所述框架具有为矩形的形状并具有底框架部(240；340；440)，所述方法包括：
以位于所述底框架部的中央区域的固定装置(225；325)稳固地将所述基板(210；310)固定至所述运送器(200；300；400)；以及
以一个或多个支撑构件(220；230；320)在所述运送器(200；300；400)中支撑所述基板(210；310)，但并非以所述支撑构件稳固地固定所述基板。
16.如权利要求15所述的方法，其中稳固地将所述基板(210；310)固定至所述运送器(200；300；400)包括以一个所述固定装置(225；325)稳固地将所述基板(210；310)固定至所述运送器(200；300；400)。
17.如权利要求15所述的方法，其中稳固地固定所述基板(210；310)包括在所述沉积腔室中的操作期间，防止所述基板(210；310)在所述固定装置(225；325)所提供的固定点相对于所述运送器(200；300；400)的移动。
18.如权利要求16所述的方法，其中稳固地固定所述基板(210；310)包括在所述沉积腔室中的操作期间，防止所述基板(210；310)在所述固定装置(225；325)所提供的固定点相对于所述运送器（200；300；400)的移动。
19.如权利要求15至18中任一项所述的方法，更包括以所述运送器框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)覆盖所述基板(210)的边缘。
20.如权利要求15至18中任一项所述的方法，其中所述框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240；340；440)的所述中央区域对应至所述基板接收表面(480)的底部的中央区域。
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