KR20170029033A - 기판용 캐리어 및 기판 운반 방법 - Google Patents

기판용 캐리어 및 기판 운반 방법 Download PDF

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KR20170029033A
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Abstract

증착 챔버 내의 기판(210; 310)을 운반하기 위한 캐리어(200; 300; 400)가 설명된다. 캐리어는 기판(210; 310)을 수직으로 유지하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)을 갖는 실질적으로 직사각형 형상을 갖는 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470); 상기 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 단단하게 고정하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품(240; 340; 550)의 중심 영역에 위치되는 고정 수단(225; 325); 및 기판(210; 310)을 지지하지만 단단하게 고정하지는 않는 하나 또는 그 초과의 지지 부재(220; 230; 320)들을 포함한다. 또한, 증착 동안 기판을 운반하는 방법이 설명된다.

Description

기판용 캐리어 및 기판 운반 방법 {CARRIER FOR A SUBSTRATE AND METHOD FOR CARRYING A SUBSTRATE}
[0001] 실시예들은 코팅될 기판용 캐리어 및 코팅될 기판의 운반 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예들은 특히 기판 캐리어의 프레임, 구체적으로는 캐리어 내에 기판을 유지하기 위한 수단에 관한 것이다.
[0002] 기판에 재료를 증착하는 몇몇 방법들이 공지된다. 예컨대, 기판들은 물리 기상 증착(PVD) 프로세스, 화학 기상 증착(CVD) 프로세스, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 프로세스 등에 의해 코팅될 수 있다. 통상적으로, 프로세스는 프로세스 장치 또는 프로세스 챔버에서 수행되며, 여기에 코팅될 기판이 이를 통하여서 위치되거나 안내된다. 증착 재료가 장치에 제공된다. 복수의 재료들, 그들 중에는 산화물들, 질화물들, 카바이드들 또는 금속들이 기판의 증착을 위해 사용될 수 있다. 또한, 에칭, 구조화(structuring), 어닐링 등과 같은 다른 프로세싱 단계들이 프로세싱 챔버들에서 수행될 수 있다.
[0003] 코팅된 재료들은 몇몇 용례들 그리고 몇몇 기술 분야들에서 사용될 수 있다. 예컨대, 반도체 장치들의 생성과 같은 마이크로일렉트로닉스 분야에서의 용례가 있다. 또한, 디스플레이용 기판들이 종종 PVD 프로세스에 의해 코팅된다. 특히 코팅된 유리 기판들에 대한 다른 용례들은 컬러 필터(CF)들 및 액정(평판) 디스플레이들(LCD)용 터치 패널(TP)들이다. 또 다른 용례들은 절연 패널들, 유기 발광 다이오드(OLED) 패널들, TFT 를 갖춘 기판 등을 포함한다.
[0004] 최근 수년 내에, 사용되는 기판들의 크기가 증가되었다. 특히 코팅될 유리 기판들은 유리 파괴에 의한 처리량의 희생 없이 기판들의 취급, 지지 및 프로세싱에 대해 도전하게 하고 있다.
[0005] 통상적으로, 유리 기판들은 그의 프로세싱 동안 캐리어들에 지지될 수 있다. 캐리어는 유리 또는 기판을 프로세싱 기계를 통하여 구동한다. 캐리어들은 통상적으로 프레임을 형성하고, 프레임은 프레임의 둘레를 따라 기판의 표면을 지지한다. 특히, 프레임 형상 캐리어가 유리 기판을 가리기 위해(mask) 또한 사용될 수 있으며, 여기서 프레임에 의해 둘러싸이는 캐리어의 구멍은 노출된 기판 부분에 증착될 코팅 재료를 위한 구멍을 제공한다.
[0006] 에지 배제부가 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 그럼에도 불구하고 기존의 에지 배제부, 특히 기판의 정밀하고 균일한 코팅을 가능하게 하는 에지 배제부를 갖는 것이 바람직하다. 하지만, 에지 배제부에 의해 배제되는 기판의 구역은 그 중에서도, 기판 재료 및 캐리어 재료와 같은 모든 연관된 재료들의 열 팽창, 사용되는 온도들, 뿐만 아니라 자동화 로봇에 의한 캐리어 내측의 기판의 위치 지정 부정확도에 따른다.
[0007] 상기 관점에서, 본원에 설명된 실시예들의 목적은 최적화되고 신뢰할 수 있는 에지 배제부를 제공하는 동시에 캐리어를 운송하는 동안 기판의 파괴를 방지하는, 코팅될 기판을 위한 캐리어를 제공하는 것이다.
[0008] 위의 내용을 고려하여, 독립 청구항들에 따른 기판 운반용 캐리어 및 기판 운반 방법이 제공된다. 다른 양태들, 이점들 및 특징들은 종속 청구항들, 설명 및 첨부된 도면들로부터 자명하다.
[0009] 일 실시예에 따르면, 증착 챔버 내에 기판을 운반하기 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는 기판을 수직으로 유지하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품을 갖는 실질적으로 직사각형 형상을 가지는 프레임; 및 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 위치되는 고정 수단을 포함한다. 캐리어는 기판을 지지하지만 이를 단단히 고정하기 위한 것은 아닌 하나 또는 그 초과의 지지 부재들을 더 포함한다.
[0010] 다른 실시예에 따르면, 증착 챔버 내에 기판을 운반하기 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는 기판을 수직으로 유지하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품을 갖는 실질적으로 직사각형 형상을 가지는 프레임; 및 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 위치되는 하나의 단일 고정 수단을 포함한다. 캐리어는 기판을 지지하지만 이를 단단히 고정하기 위한 것은 아닌 하나 또는 그 초과의 지지 부재들을 더 포함한다.
[0011] 다른 양태에 따르면, 증착 챔버 내의 증착 프로세스 동안 기판을 캐리어에 의해 운반하는 방법이 제공된다. 캐리어는 기판을 수직으로 유지하기 위한 프레임을 포함한다. 프레임은 바닥 프레임 부품을 갖는 실질적으로 직사각형 형상을 갖는다. 이 방법은 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 있는 고정 수단에 의해 캐리어에 기판을 단단하게 고정하는 단계; 및 지지 부재들에 의해 기판을 단단하게 고정하지 않으면서 하나 또는 그 초과의 지지 부재들에 의해 캐리어에 기판을 지지하는 단계를 포함한다.
[0012] 실시예들은 또한 개시된 방법들을 실행하기 위한 장치들에 관한 것이며 각각의 설명된 방법 단계를 수행하기 위한 장치 부품들을 포함한다. 방법 단계들은 하드웨어 구성요소들, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터, 상기 2 개의 임의의 조합 또는 임의의 다른 방식에 의해 수행될 수 있다. 또한, 실시예들은 또한 설명된 장치를 작동하게 하는 방법들에 관한 것이다. 이는 장치의 모든 기능을 실행하기 위한 방법 단계들을 포함한다.
[0013] 상기 언급된 특징들이 상세하게 이해될 수 있는 방식으로, 상기 간단하게 요약된 본 발명에 대한 더 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있다. 첨부된 도면들은 실시예들에 관한 것이고 이후에 설명된다,
도 1a는 최신 기술에 따른 캐리어 및 코팅될 기판의 측면도를 도시하고,
도 1b는 도 1a에 도시된 캐리어 및 기판의 단면의 세부도를 도시하고,
도 1c는 도 1a에 도시된 캐리어 및 기판의 라인 A-A을 따른 단면도를 도시하고,
도 2a는 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략 측면도를 도시하고,
도 2b는 도 2a에 도시된 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 라인 B-B을 따른 단면도를 도시하고,
도 3은 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 부품들의 개략 측면도를 도시하고,
도 4는 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략 측면도를 도시하고,
도 5는 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략 측면도를 도시하고,
도 6은 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 개략 측면도를 도시하고,
도 7은 본원에 설명된 실시예들에 따른 기판 운반 방법의 흐름도를 도시하고,
도 8은 본원에 설명된 실시예들에 따른 기판 운반 방법의 흐름도를 도시하고,
도 9는 본원에 설명된 실시예들에 따른 기판 운반 방법의 흐름도를 도시한다.
[0014] 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에 예시되는 다양한 실시예들에 대한 참조가 이제 상세하게 이루어질 것이다. 도면들의 이후의 설명에서, 동일한 참조 부호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 일반적으로, 단지 개별 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 설명의 예로서 제공되며 범주의 제한을 의미하지 않는다. 또한, 일 실시예의 일부로서 예시되거나 설명된 특징들은 또 다른 실시예를 얻기 위해 다른 실시예들에서 또는 그와 함께 사용될 수 있다. 이 설명은 이러한 수정들 및 변형들을 포함하고자 하는 것이다.
[0015] 도 1a는 기판(110)을 유지하기 위한 캐리어(100)의 측면도를 도시한다. 캐리어는 4 개의 부품들, 즉 바닥 부품(140), 제 1 측 부품(150), 정상 부품(160) 및 제 2 측 부품(170)을 갖는 프레임을 포함한다. 캐리어(100)는 기판(110)을 수직으로 운반하고 프레임 부품(150, 160 및 170)들에 클램프(120)들을 포함한다. 클램프들은 수직으로 배열된 기판이 캐리어로부터 떨어지는 것을 방지한다. 캐리어(100)의 바닥 프레임 부품(140)에, 기판 바닥 지지 수단(130)이 제공되며, 여기에 기판(110)의 바닥 측이 놓인다.
[0016] 일반적으로, 코팅될 기판들은 캐리어에 유지되고 캐리어는 진공 코팅 시스템과 같은 코팅 시스템을 통하여 이동된다. 기판들은 예컨대 PVD 마그네트론 스퍼터링 프로세스에 의해 코팅될 수 있다. 증착 프로세스를 위해 기판들을 운반할 때, 기판들 뿐만 아니라 캐리어는 높은 온도 변동성을 겪는다. 캐리어에 기판을 유지하는 클램프들은 기판과 캐리어 사이의 열 팽창을 위한 공간을 남길 수 있으며, 이 클램프들은 알루미늄 및/또는 티타늄과 같은 금속으로 만들어질 수 있다. 대안적으로, 클램프들은 기판에 닿을 수 있지만 열 팽창에 의해 야기되는 캐리어에 대한 기판의 상대 이동이 허용되는 그러한 낮은 클램핑 힘으로 기판에 닿을 수 있다.
[0017] 하지만, 캐리어는 종종 부가적인 기능, 즉 상기 언급된 에지 배제부를 갖는다. 캐리어는 기판을 안전하게 운반하고 동시에 코팅되지 않아야 할 외부 기판 림 구역을 위한 에지 배제 마스크로서 작용하도록 구성된다.
[0018] 일반적으로, 에지 배제부는 증착 재료가 없도록 기판의 에지가 유지되어야 할 때 바람직하다. 증착 재료가 없도록 기판의 구역 또는 에지를 유지하는 것은 코팅된 기판의 추후의 적용으로 인해 단지 기판의 규정된 구역만이 코팅되어야할 때의 경우일 수 있다. 예컨대, 디스플레이 부품으로서 사용될 기판은 미리 규정된 치수들을 가져야 한다. 통상적으로, 대면적의 기판들은 기판의 에지를 가리기 위해 및/또는 기판의 뒷면 코팅을 방지하기 위해 에지 배제 마스크를 사용하여 코팅된다. 에지 배제 마스크를 사용하는 것은 기판들의 신뢰할 수 있고 일정한 코팅을 가능하게 한다. 증착 재료가 없는 에지를 갖는 기판들은 더 프로세싱될 수 있다.
[0019] 정밀하고, 신뢰할 수 있고 균일한 에지 배제부가 바람직할 수 있으며, 이는 증착 동안 기판 및 캐리어의 열 팽창으로 인해 어렵다. 오늘날까지, 캐리어 내측의 기판의 이동을 최소화하기 위해 특별한 장치들 및/또는 티타늄과 같은 적은 열팽창을 갖는 (비싼)재료들이 사용된다. 예컨대, 공지된 시스템들에서, 티타늄 바들이 열 팽창으로 인한 캐리어에 대한 기판의 이동을 제한하기 위해 알루미늄 캐리어 프레임 내에서 사용된다.
[0020] 도 1b는 도 1a의 공지된 시스템들에서 사용되는 바와 같은 캐리어의 섹션(C)의 더 상세한 도면을 도시한다. 도 1b에서, 기판(110)을 운반하는 캐리어(100)의 바닥 프레임 부품(140) 및 제 2 측 프레임 부품(170)을 볼 수 있다. 클램프(120) 및 기판 바닥 지지 수단(130)이 또한 도 1b의 상세도에 도시된다. 기판(110)의 이동을 제한하기 위해, 티타늄 바(180)가 캐리어(100)의 프레임에 제공된다. 비용들을 최적화하기 위해, 캐리어(100)의 주요 부품들은 알루미늄으로 만들어지고 티타늄 인레이(inlay) - 상이한 열 팽창 계수로 인해 - 는 캐리어 프레임의 기판을 중심맞춤하는데 사용된다. 증착 동안, 캐리어 및 기판은 팽창하고, 부가적으로, 캐리어 프레임에 의해 유지되는 기판은 프레임이 팽창할 때 이동한다. 티타늄 인레이는 캐리어 프레임의 알루미늄 부품들의 팽창에 의해 야기되는 기판의 이동을 제한한다.
[0021] 기판의 이동 및 팽창 가능성은, 일부 경우들에서 얇은 민감성 유리 기판일 수 있는 기판의 파괴를 방지한다. 티타늄 인레이에 의해 제한되는 특정 구역 내에서 이동 가능한 기판은 규정된 에지 배제부 및 기판의 안전한 취급을 초래한다.
[0022] 본원에 설명된 캐리어의 실시예들에 따르면, 캐리어에 대한 기판의 이동은 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위한 고정 수단을 제공함으로써 억제된다. 본원에 설명된 실시예들은 캐리어용으로 사용되는 재료와 관계없이 기판 및 캐리어의 열 팽창을 가능하게 하지만, 고정 지점에서 캐리어에 기판을 단단하게 고정한다. 공지된 시스템들의 기판 및 캐리어의 이동 및 팽창은 증착이 배제되는 에지 구역이 기판을 유지하는 캐리어의 팽창을 상쇄하기에 바람직한 것보다 더 크게 되는 것을 초래한다. 본원에 설명된 실시예들에 의해, 더 작은 에지 배제 구역이 실현될 수 있다. 또한, 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어들은 캐리어 프레임의 재료 인레이들 또는 복잡한 기하학적 형상에 대하여 높은 비용들을 초래하지 않는다.
[0023] 도 2a는 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어(200)를 도시한다. 캐리어(200)의 프레임은 알루미늄 또는 PVD 프로세스와 같은 증착 프로세스에 사용되기에 적절한 임의의 다른 재료로 만들어질 수 있다. 예컨대, 캐리어는 스테인리스 강 또는 티타늄을 포함할 수 있거나 실질적으로 이들로 만들어질 수 있다. 캐리어는 PEEK(폴리에테르에테르케톤) 또는 PI(Meldin 또는 Torlon 과 같은 폴리이미드) 같은 다른 재료들을 포함할 수 있거나, 적어도 캐리어의 구성요소들이 PEEK 또는 PI 로 만들어진다. PI 재료들은 예컨대 PEEK 보다 훨씬 더 높은 온도들에서 사용 가능하고 여전히 진공이 가능하다.
[0024] 캐리어는 기판(210)을 운반한다. 일부 실시예들에 따르면, 본원에 설명된 바와 같은 기판은 재료 증착을 위해 적절한 임의의 재료로 만들어질 수 있다. 예컨대, 기판은 유리, 예컨대 소다 석회 유리(soda-lime glass), 붕규산 유리(borosilicate glass) 등으로 만들어질 수 있다. 또한, 기판은 금속, 폴리머, 세라믹, 복합 재료들 또는 증착 프로세스에 의해 코팅될 수 있는 임의의 다른 재료 또는 재료들의 조합으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 재료로 만들어질 수 있다.
[0025] 캐리어(200)의 프레임은 바닥 프레임 부품(240), 제 1 측 프레임 부품(250), 정상 프레임 부품(260) 및 제 2 측 프레임 부품(270)과 같은 몇몇 프레임 부품들을 포함할 수 있다. 캐리어는 기판(210)을 지지하기 위한 지지 부재(220)들 뿐만 아니라 바닥 부품에서 기판(210)을 지지하기 위한 바닥 지지 부재(230)들을 또한 포함한다. 도 2a에 도시된 예에서와 같은 일 예에서, 지지 부재(230)들은 기판의 바닥 에지를 위한 받침대와 같은 간단한 지지 부재들일 수 있다. 예컨대, 지지 부재들은 캐리어 프레임 부품(240)의 돌기로서 또는 캐리어에 고정되는 PEEK 또는 PI 로 만들어진 블록으로서 형성될 수 있다.
[0026] 본원에 설명된 실시예들에 있어서, 기판은 적어도 증착 동안, 기판 캐리어에 의해 수직으로 유지된다. 기판을 수직으로 유지하는 것은, 이러한 내용에서 코팅될 표면이 증착 동안 실질적으로 수직인 것을 의미할 수 있다. 도 2a의 좌측에서 좌표계 시스템으로 볼 때, 코팅될 기판 표면은 x-y 평면에 배열되는 반면, 기판의 두께는 z 방향으로 연장하는 것을 볼 수 있다. 본원에 사용되는 바와 같은, 기판 또는 프레임의 바닥 부품은 프레임의 낮은 범위의 y 방향 값들을 포함하는 기판 또는 프레임의 일부를 나타낸다. 예컨대, 바닥 프레임 부품은 캐리어 프레임의 최저 y 값을 포함하고 수평 방향으로 연장하는 프레임 부품이다. 동일한 정의가 기판 바닥 부품에 적용될 수 있다. 따라서, 기판의 바닥 에지는 수평 연장 에지가 기판의 다른 에지들과 비교할 때 최소의 y 방향 값을 갖는 것과 같은 기판의 바닥 부품에 위치되는 기판의 에지일 수 있다.
[0027] 또한, 이후의 설명에서, 본원에 사용되는 바와 같은 용어 "실질적으로" 는 "실질적으로" 에 의해 나타낸 특징으로부터 특정 편차가 있을 수 있는 것을 의미할 수 있다. 예컨대, 용어 "실질적으로 수직" 은 정확한 수직 위치로부터 약 1°내지 약 15°의 편차와 같이, 정확한 수직 위치로부터의 특정 편차들을 가질 수 있는 위치를 나타낸다. 일부 실시예들에서, 용어 "실질적으로 직사각형" 은 실시예가 엄격한 사각형 형상으로부터 특정 정도로 벗어나는 형상들을 또한 포함하는 것을 의미할 수 있다. 예컨대, "실질적으로 직사각형" 에 의해 나타낸 형상의 각도들은 90°각도로부터 약 1°내지 약 10°만큼 벗어날 수 있다.
[0028] 본원에 설명된 실시예들에 따르면, 캐리어(200)는 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위한 고정 수단(225)을 포함한다. 도 2a에 도시된 실시예에서, 하나의 단일 고정 수단(225)이 캐리어(200)에 기판(210)을 단단하게 고정하기 위해 제공된다. 고정 수단(225)은 이하에 상세하게 설명될 바와 같이, 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 위치된다. 고정 수단(225)은 기판의 바닥 에지의 중심에 기판을 단단하게 고정하고, 캐리어의 에지 배제부를 최적화하는 것을 돕는다. 고정 수단(225)은 기판을 위한 고정 지점을 제공할 수 있다. 고정 지점으로부터, 기판은 여전히 캐리어 프레임에 대하여 모든 방향들로 팽창하는 것이 가능하고, 이동 제한들에 의해 야기되는 응력으로 인한 파괴가 방지된다. 고정 지점을 제공하는 것은 캐리어 파우치 내의 공간을 절약한다.
[0029] 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어들은 (130℃ 이하의 프로세스들과 같은)저온 프로세스들 뿐만 아니라 (최대 360℃)고온 프로세스들을 위한 에지 배제부를 최적화하는 것을 돕는다. 도 2a에 도시된 실시예에서, 기판은 하나의 단일 고정 수단에 의해 제공되는 고정 지점으로 인해 바닥 프레임 부품의 중심 영역의 하나의 단일 지점에서 캐리어에 커플링된다. 상기 설명된 바와 같이, 본원에 설명된 캐리어의 실시예들은, 기판을 단단하게 고정하기 위한 정확하게 하나의 고정 수단으로서 이해되어야 하는 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위한 하나의 단일 고정 수단을 포함하지만, 기판을 단단하게 고정하지는 않지만 이동을 가능하게 하는 방식으로 기판을 유지하는 다른 지지 부재들이 제공될 수 있다. 캐리어에 기판을 단단하게 고정하지 않는 지지 부재들에서의 이동을 가능하게 하는 것은 지지 부재에 공간을 남겨두는 것에 의해 또는 (클램프의 클램프 힘과 같은)지지 부재에서의 힘을 기판의 이동이 여전히 가능하도록 낮게 선택하는 것에 의해 달성될 수 있다.
[0030] 지지 부재(220)들과 고정 수단(225) 사이의 차이는 도 2b에서 볼 수 있다. 도 2b는 도 2a에 도시된 캐리어(200)의 (약간 확대된)단면도, 특히 도 2a에 나타낸 바와 같은 라인 B-B 을 따른 단면도를 도시한다. 도 2a 및 도 2b에 도시된 실시예의 고정 수단(225)은 캐리어에, 또는 적어도 캐리어 바닥 프레임 부품(240)에 기판(210)을 단단하게 고정하는 클램프일 수 있다. 이에 비교할 때, 캐리어(200)의 측(250, 260 및 270)들에 예시적으로 제공되는 지지 부재(220)들은 기판(210)의 이동을 가능하게 하기 위해 지지 부재(220)와 기판(210) 사이에 공간(215)을 남긴다. 대안 예에서, 지지 부재들은 기판에 닿을 수 있지만 열 팽창에 의해 야기되는 기판의 상대 이동이 지지 부재 내에서 여전히 허용 정도의, 기판에 가해지는 낮은 힘으로 닿을 수 있다.
[0031] 도 1a의 시스템과의 비교를 위해, 라인 A-A 를 따른 도 1a의 단면도가 도 1c에 도시된다. 도 1c에 도시된 캐리어(100)의 클램프(120)들은 기판과 캐리어 사이의 상기 설명된 이동을 위해 공간을 남긴다.
[0032] 일부 실시예들에서, 클램프로서 형성되는 공지된 지지 부재들로부터의 입증된 디자인이 본원에 설명된 실시예들에 따른 고정 수단을 제조하는데 사용될 수 있다. 예컨대, 더 강한 스프링 및 이 더 강한 스프링에 적응되는 기하학적 형상이 기판을 단단하게 고정하기 위한 힘을 제공하기 위해 공지된 클램프들에 사용될 수 있다. 더 강한 스프링들을 사용하는 것은 기판의 이동이 충분히 제한되거나 방지되지만, 비용들을 절약할 수 있고 구현하기 용이하다.
[0033] 용어 "단단하게 고정" 은 적어도 고정 수단에 의해 제공되는 고정 지점에서 캐리어 프레임에 대한 기판의 이동을 방지하는 기능을 나타내는 것으로 이해되어야 한다. 고정 수단은 캐리어 프레임에 대해 고정 지점에서 기판을 확실하고 견고하게 고정하는 것으로 설명될 수 있다. 기판 및 캐리어는 고정 수단에 의해 고정 지점에서 커플링된다. 일부 실시예들에 따르면, 고정 수단은 기판을 단단하게 고정하기 위한 스프링을 포함하는 클램프와 같은 클램프일 수 있다. 예컨대, 고정 수단은 증착 동안 캐리어에 기판을 단단하게 고정하도록, 그리고 증착 프로세스가 완료된 후에 기판을 해제하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예들에서, 고정 수단은 몇몇 위치들을 취하는 것이 가능할 수 있고, 이들 중 하나는 상기 설명된 기판의 단단한 고정을 제공할 수 있다. 개방 위치, 또는 기판의 이동을 가능하게 하는 위치와 같은 다른 위치들이 고정 수단에 의해 제공될 수 있다.
[0034] 도 3은 캐리어(400)의 실시예를 도시한다. 도 3에 도시된 캐리어(400)는 기판이 없이 예시되지만, 캐리어(400)의 내부 원주 주위로 뻗어있는 기판 수용 표면(480)을 갖는다. 캐리어는 프레임 부품(440, 450, 460 및 470)들을 포함한다. 도 2a 및 도 2b에 대하여 상기 설명된 바와 같이, 고정 수단은 도 3의 바닥 프레임 부품(440)과 같은 캐리어의 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 제공된다. 일반적으로, 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품은 캐리어의 바닥 프레임 부품에 위치되는 기판 수용 표면(480)의 일부로서 이해되어야 한다.
[0035] 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 바닥 프레임 부품의 중심 영역은 기판 수용 표면의 바닥 부품의 중심 영역에 대응한다. 예컨대, 캐리어의 기판 수용 표면은 기판이 캐리어에 의해 운반되는 동안 접촉하는 표면일 수 있다. 도 2b를 다시 참조하면, 기판 수용 표면은 기판 수용 표면(280)으로서 본 실시예에 도시된다. 도 2b에서, 기판이 기판 수용 표면(280)과 접촉하는 것을 볼 수 있다. 도 3에서, 해칭(hatching) 구역(480)은 기판이 캐리어(400)에 의해 운반될 때, 실질적으로 기판과 접촉되게 놓여진 것으로 이해되어야 한다.
[0036] 일 예에서, 기판 수용 표면은 기판의 원주를 커버하기 위한 에지 배제부로서 작용할 수 있다. 기판 캐리어(400)와 접촉하는 기판의 부분은 코팅 프로세스 동안 코팅되지 않는다. 일부 실시예들에서, 에지 배제부는 기판의 구역의 약 1‰ 내지 약 5%, 통상적으로 약 4‰ 내지 약 4% 그리고 더욱 통상적으로는 약 1% 내지 약 3% 에 이를 수 있다. 에지 배제 마스크로서 작용하는 캐리어에 의해 커버되는 기판의 구역은 기판의 둘레에 위치되는 것이 이해되어야 한다(그리고 도 3에서 볼 수 있음).
[0037] 도 3에서, 기판 수용 표면(480)의 바닥 측의 중심은 481 에 의해 나타낸다. 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심(481)은 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중간 지점으로서 정의될 수 있다. 또한, 기판 수용 표면(480)의 바닥 측의 중심(481)은 각각 캐리어 측 프레임 부품(450 및 470)들의 기판 수용 표면에 대하여 실질적으로 동일한 거리를 갖는 지점으로서 정의될 수 있다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같은 거리(485 및 486)들은 실질적으로 동일한 값들을 가질 수 있다.
[0038] 본원에 설명된 일부 실시예들에 따르면, 바닥 프레임 부품의 중심 영역은 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심 영역에 의해 정의될 수 있다.
[0039] 본원에 설명된 바와 같은 중심 영역은 기판 수용 표면(480)의 중심 영역이 중심(481)을 포함할 수 있는 것과 같이, 중심 지점을 포함하는 영역으로서 이해되어야 한다. 또한, 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심 영역은 중심(481) 주위의 특정 구역을 포함할 수 있다. 본원에 설명된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에서, 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심 영역은 캐리어(400)의 바닥 프레임 부품(440)에 있는 기판 수용 표면(480)의 중심(481) 그리고 각각의 방향으로 기판 수용 표면의 바닥 부품의 길이의 약 15% 만큼의 일탈 영역을 포함할 수 있다. 도 3에서, 거리(482 및 483)들은 중심 지점(481)으로부터 각각 바닥 프레임 부품(440)의 기판 수용 표면(480)의 전체 길이(487)의 약 15% 의 거리를 나타낸다. 거리(482 및 483)들은 함께 기판 수용 표면(480)의 중심 영역의 길이를 나타낸다.
[0040] 일부 실시예들에 따르면, 본원에 사용되는 것과 같은 바닥 프레임 부품(440)의 기판 수용 표면(480)의 전체 길이는 x 방향으로 바닥 프레임 부품(440)에서의 기판 수용 표면(480)의 연장부를 포함하는 것으로 정의될 수 있다.
[0041] 상기 설명된 바와 같이, 바닥 프레임 부품(440)의 중심 영역은 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심 영역에 대응할 수 있다. 하지만, 캐리어 프레임이 실질적으로 대칭 형상을 갖지 않는 경우에(바닥 프레임 부품(440)의 연장된 좌측을 갖는, 도 3에 도시된 형상과 같이), 바닥 프레임 부품의 중심 영역이 기판 수용 표면의 바닥 부품의 중심 영역에 의존할 수 있다는 것에 주의해야 한다. 하지만, 일부 실시예들에서, 기판은 바닥 프레임 부품(440)의 기판 수용 표면(480)의 중심 영역에서 캐리어(400)에 단단하게 고정될 수 있다.
[0042] 일부 실시예들에 따르면, 캐리어는 하나 초과의 기판을 운반하도록 구성될 수 있다. 캐리어가 하나 초과의 기판을 운반하도록 구성되는 경우에, 캐리어는 기판들 각각을 위한 기판 수용 표면 및 각각의 기판을 위한 상기 설명된 바와 같이 위치되는 고정 수단을 포함할 수 있다.
[0043] 일부 실시예들에서, 고정 수단에 의해 제공되는 고정 지점(도 3에 도시되지 않음)은 캐리어 프레임의 기판 수용 표면의 바닥 부품의 중심 지점(481)에 위치될 수 있다.
[0044] 도 4는 본원에 설명되는 실시예들에 따른 캐리어(800)를 도시한다. 캐리어는 바닥 프레임 부품(840), 제 1 측 프레임 부품(850), 정상 프레임 부품(860) 및 제 2 측 프레임 부품(870)을 포함한다. 캐리어(800)는 기판(810)을 수직으로 유지한다. 또한, 캐리어는 기판(810)의 지지를 위한, 그러나 단단하게 고정하지 않는 지지 부재(820)들을 포함한다. 지지 부재(820)들은 제 1 측 프레임 부품(850), 정상 프레임 부품(860) 및 제 2 측 프레임 부품(870)에 예시적으로 위치된다. 또한, 바닥 지지 부재(830)들은 기판(810)의 바닥 에지를 지지하도록 제공될 수 있다.
[0045] 도 4에 도시된 실시예에서, 2 개의 고정 수단(825, 826)이 바닥 프레임 부품(840)의 중심 영역(890)에 제공된다. 중심 영역은 도 3에 대하여 위에서 상세하게 논의된 바와 같은 중심 영역이다. 예컨대, 2 개의 고정 수단(825, 826)이 위치되는 중심 영역은 바닥 프레임 부품의 중심 지점으로부터 각각의 방향으로 바닥 프레임 부품의 길이의 약 15% 의 범위일 수 있다. 일부 실시예들에서, 고정 수단(825, 826)은 바닥 프레임 부품의 중심 지점으로부터 좌측 및 우측으로 배열된다.
[0046] 일부 실시예들에서, 바닥 프레임 부품(840)의 중심 영역(890)은 도 3에 대하여 위에서 설명된 바와 같이, 기판 수용 표면의 중심 영역에 의존할 수 있다. 고정 수단(825, 826)은 기판 수용 표면의 바닥 측의 중심 지점 및 각각의 방향으로 기판 수용 표면의 길이의 15% 를 포함하는 영역에 위치될 수 있다.
[0047] 도 5는 바닥 프레임 부품(940)의 중심 영역(990)에 3 개의 고정 수단(925, 926 및 927)을 포함하는 캐리어(900)의 실시예를 도시한다. 캐리어(900)는 바닥 프레임 부품(940), 제 1 측 프레임 부품(950), 정상 프레임 부품(960) 및 제 2 측 프레임 부품(970)을 더 포함한다. 캐리어(900)는 기판(910)을 수직으로 유지하고 지지 부재(920)들 및 바닥 지지 부재(930)들을 포함할 수 있다. 일반적으로, 도 3 및 도 4에 대하여 논의된 것이 동일하게 적용된다. 특히, 바닥 프레임 부품의 중심 영역의 상기 정의가 캐리어(900)의 바닥 프레임 부품(940)의 중심 영역(990)에 적용될 수 있다. 또한, 중심 영역(990)은 상기 논의된 바와 같이 기판 수용 표면의 바닥 부품의 중심 영역에 의존할 수 있다.
[0048] 일부 실시예들에 따르면, 3 개의 고정 수단(925. 926 및 927) 중 하나는 바닥 프레임 부품의 중심 지점 또는 기판 수용 표면의 바닥 부품의 중심 지점에 중간 고정 수단으로서 위치될 수 있다. 3 개의 고정 수단 중 두 개는 바닥 프레임 부품(940)의 중심 영역(990) 내의 또는 기판 수용 표면의 바닥 부품의 중심 영역 내의 중간 고정 수단 옆에 위치될 수 있다.
[0049] 하나 초과의 단일 고정 수단이 제공되는 경우에, 고정 수단에 의해 제공되는 고정 지점은 캐리어 프레임의 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 있는 2 또는 3 개의 고정 수단의 결과적인 힘 적용 지점으로서 이해될 수 있다. 다시 말하면, 고정 지점은 고정 수단에 의해 가해지는 힘들의 결과적인 작용 라인에 의존한다.
[0050] 도 6은 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 실시예를 도시한다. 도 2a 및 도 2b는 캐리어 프레임의 바닥 프레임 부품(240)에 있는 지지 부재(230)들을 도시하는 반면, 캐리어(300)는 바닥 프레임 부품(340)에 클램프(320)들을 포함한다. 캐리어(300)의 바닥 프레임 부품(340)에 있는 클램프(320)들은 기판(310)을 고정하지 않으면서, 상대 위치에 기판을 유지하는 것을 돕는다. 도 6에 도시된 실시예에서, 기판은 상기 설명된 바와 같은 고정 수단일 수 있는 고정 수단(325)에 의해 고정된다.
[0051] 도면들에 도시된 실시예들에서, 클램프들의 수는 단지 예시적이며 본원에 설명된 실시예들을 제한하는 것으로서 이해되어서는 안된다. 캐리어 당 지지 부재들의 수는 통상적으로 약 2 내지 약 10 개, 더 통상적으로는 약 3 내지 약 8 개, 그리고 더욱더 통상적으로는 약 3 내지 약 6 개일 수 있다.
[0052] 고정 수단에 의한 기판의 단단한 고정을 보장하기 위해, 고정 수단은 프레임에 적응되고 통상적으로 약 0.2 ㎜ 내지 약 6 ㎜, 더 통상적으로는 0.3 ㎜ 내지 약 2 ㎜, 그리고 더욱더 통상적으로는 약 0.3 ㎜ 내지 약 1.5 ㎜ 의 두께를 갖는 기판을 단단하게 고정하는 것을 가능하게 한다. 일 예에서, 두께는 최대 1.2 ㎜ 일 수 있다. 클램프 형태의 고정 수단에는 기판을 손상시키지 않으면서 기판을 확실하고 신뢰할 수 있게 고정하기 위한 댐핑 요소들이 또한 구비될 수 있다.
[0053] 일부 실시예들에서, 고정 수단은 스프링을 포함하는 클램프를 포함할 수 있다. 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위해 기판에 가해지는 스프링의 스프링 힘은 통상적으로 15 N 내지 약 25 N, 더 통상적으로는 약 16 N 내지 약 23 N, 그리고 더욱더 통상적으로는 약 17 N 내지 약 20 N 일 수 있다. 일 예에서, 본원에 설명된 실시예들에 따른 고정 수단에 가해지는 스프링 힘은 약 17 N 이다. 하나 초과의 고정 수단이 기판을 단단하게 고정하기 위해 제공되는(도 4 및 도 5에 도시된 실시예들과 같은) 실시예들에서, 각각의 고정 수단은 상기 설명된 범위의 스프링 힘을 가질 수 있다.
[0054] 일부 실시예들에 따르면, 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어들 및 방법들이 제공되는 기판들은 통상적으로 약 1.4 ㎡ 내지 약 8 ㎡, 더 통상적으로는 약 2 ㎡ 내지 약 9 ㎡ 또는 심지어 최대 12 ㎡ 의 크기를 가질 수 있다. 예컨대, 기판은 약 1.4 ㎡ 기판들(1.1 m x 1.25 m)에 대응하는 GEN 5, 약 4.29 ㎡ 기판들(1.95 m x 2.2 m)에 대응하는 GEN 7.5, 약 5.7 ㎡ 기판들(2.2 m x 2.5 m)에 대응하는 GEN 8.5, 심지어 약 8.7 ㎡ 기판들(2.85 x 3.05)에 대응하는 GEN 10 일 수 있다. GEN 11 및 GEN 12 및 대응하는 기판 면적들과 같은 훨씬 더 큰 세대들이 유사하게 실시될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 기판들은 약 300 ㎜ x 400 ㎜, 305 ㎜ x 356 ㎜, 320 ㎜ x 650 ㎜, 356 ㎜ x 356 ㎜, 356 ㎜ x 406 ㎜, 370 ㎜ x 470 ㎜, 400 ㎜ x 500 ㎜, 550 ㎜ x 650 ㎜, 550 ㎜ x 670 ㎜, 620 ㎜ x 750 ㎜, 650 ㎜ x 750 ㎜, 670 ㎜ x 830 ㎜, 680 ㎜ x 880 ㎜, 또는 730 ㎜ x 920 ㎜ 의 크기를 가질 수 있다.
[0055] 일부 실시예들에 따르면, 방법이 설명된다. 본원에 설명된 방법의 실시예는 도 7의 흐름도로서 도시된다. 증착 프로세스 동안 기판을 운반하는 방법(500)은, 블록(510)에서 기판을 수직으로 유지하기 위한 프레임을 포함하는 캐리어에 의해 기판을 운반하는 단계를 포함한다. 캐리어 프레임은 도 2 내지 도 6에 대하여 설명된 바와 같은 캐리어 프레임일 수 있다. 캐리어 프레임은 바닥 프레임 부품을 갖는 실질적으로 직사각형 형상을 가질 수 있다.
[0056] 이 방법(500)은 블록(520)에서 캐리어에 기판을 단단하게 고정하는 단계를 포함한다. 예컨대 고정 지점에서 일어날 수 있는 캐리어에 대한 기판의 단단한 고정, 또는 캐리어에 대한 기판의 커플링은 기판의 바닥 에지에서 수행될 수 있으며 바람직하게는 하나의 단일 고정 수단에 의해 수행될 수 있다. 일부 실시예들에 다르면, 고정 수단은 캐리어의 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 위치될 수 있다. 예컨대 위에서 상세하게 설명된 일부 실시예들에서, 하나의 단일 고정 수단은 캐리어의 기판 수용 표면의 중심 영역에서 캐리어에 기판을 고정시킬 수 있다.
[0057] 일부 실시예들에 따르면, 기판은 고정 수단에 의해 제공되는 정확하게 하나의 단일 고정 지점에서 캐리어에 단단하게 고정된다. 고정 지점으로부터, 기판은 여전히 확장할 수 있지만, 캐리어에 대한 기판의 이동은 방지된다.
[0058] 블록(530)에서, 본원에 설명된 방법(500)의 실시예들은 지지 부재들에 의해 기판을 단단하게 고정하지 않으면서 하나 또는 그 초과의 지지 부재들에 의해 캐리어에 기판을 지지하는 단계를 포함한다. 지지 부재들은 캐리어 및 클램프들에 의해 제공되는 규정된 공간 내에서 기판이 이동하는 것을 가능하게 하는 클램프들일 수 있다. 일부 실시예들에서, 지지 부재들은 캐리어 프레임의 각각의 측에 제공될 수 있다. 특히, 지지 부재들은, (도 2를 다시 참조하면)바닥 측 프레임 부품(240), 좌측 프레임 부품(250), 정상 측 프레임 부품(260) 및 우측 프레임 부품(270)과 같은, 캐리어의 모든 측에 위치될 수 있다.
[0059] 일부 실시예들에 따르면, 고정 수단은 도 2 내지 도 6에 대하여 상세하게 위에서 설명된 바와 같은 고정 수단일 수 있다. 예컨대, 고정 수단은 캐리어에 기판을 단단하게 고정하도록 기판에 규정된 힘을 가하는 클램프일 수 있다. 일 예에서, 고정 수단은 캐리어 및 운반될 기판의 파라미터들에 적응될 스프링을 포함할 수 있다. 고정 수단은 기판에 힘을 가하도록 구성될 수 있으며, 이는 기판을 단단하게 고정하기에 충분히 크고, 기판을 손상시키지 않기에 충분히 작다. 일부 실시예들에서, 기판을 단단하게 고정하는데 사용되는 힘은 바닥 프레임 부품의 중심 영역에, 둘 또는 세 개의 고정 수단과 같이, 하나 초과의 고정 수단에 의해 제공될 수 있다.
[0060] 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 고정 수단에 각각 적응되는 스프링을 사용하는 것은, 높은 비용들을 야기하지 않는, 캐리어에 기판을 단단하게 고정하기 위해 힘을 제공하기 위한 간단한 수단이다. 예컨대 도 1b에 대하여 설명된 바와 같은 티타늄 인레이와 비교하면, 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어는 캐리어의 중량을 또한 낮게 유지하면서, 매우 비용 효율적인 방식으로 제조될 수 있다.
[0061] 방법(600)의 실시예가 도 8에 도시된다. 일부 실시예들에 따르면, 블록(610, 620 및 630)들은 각각 방법(500)의 블록(510, 520 및 530)들에 대응할 수 있다. 방법(600)은 캐리어 프레임으로 기판의 에지를 커버하는 단계를 포함하는 블록(640)을 더 포함한다. 캐리어 프레임으로 기판의 에지를 커버함으로써, 마스크가 상기 설명된 바와 같은 에지 배제부를 초래하는 프레임에 의해 제공될 수 있다. 예컨대, 캐리어 프레임의 에지 배제부 기능은 캐리어 프레임의 기판 수용 표면에 의존할 수 있다.
[0062] 도 9는 방법(700)의 실시예를 도시한다. 방법(700)은 각각 블록(510, 520, 530)들 또는 또한 블록(610, 620, 630)들에 대응할 수 있는 블록(710, 720 및 730)들을 포함한다. 방법(700)에서, 고정 지점에서 기판을 단단하게 고정하는 것은 블록(725)에서 증착 챔버에서의 작업 동안 캐리어에 대하여 고정 수단에 의해 제공되는 고정 지점에서 기판의 이동을 방지하는 단계를 포함한다. 캐리어에 기판을 단단하게 고정함으로써, 기판은 캐리어에 커플링되며 이에 의해 캐리어에 대한 기판의 상대 이동은 제한된다. 그럼에도 불구하고, 기판 뿐만 아니라 캐리어는 서로로부터 독립적으로 여전히 팽창 가능하다.
[0063] 본원에 설명된 일부 실시예들에 따르면, 본원에 설명된 방법에 사용되는 캐리어 프레임은 기판 수용 표면(480)으로서 예시적으로 도시된 바와 같은 기판 수용 표면을 포함한다. 일부 실시예들에서, 바닥 프레임 부품의 중심 영역은 바닥 프레임 부품의 기판 수용 표면의 중심 영역에 대응한다. 하지만, 일부 실시예들에서, 기판은 바닥 프레임 부품의 기판 수용 부분의 중심 영역에서 캐리어에 단단하게 고정될 수 있다.
[0064] 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어에 의해 달성되는 설명된 효과들과 별개로, 몇몇 다른 바람직한 효과들이 본원에 설명된 바와 같은 캐리어의 사용과 연관된다. 예컨대, 에지 배제부는 작고 한정된, 하지만 코팅으로부터 배제될 여전히 존재하는 구역을 제공함으로써 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어에 의해 최적화될 수 있다. 또한, 비용들 및 비싼 재료들은, 비싼 티타늄 인레이와 비교하여, 본 발명에 따른 캐리어의 고정 수단을 사용함으로써 절약될 수 있다.
[0065] 일부 실시예들에 따르면, 캐리어의 다른 효과는 기판이 캐리어 파우치 내측으로 이동하는 것에 대한 더 적은 가능성들로 인한 기판 림의 스크래치들의 감소이다. 하나의 고정 지점에서 기판을 단단하게 고정함으로써, 기판은 캐리어에 단단하게 유지되고 기판의 위치가 정확하게 한정될 수 있다. 캐리어 내의 기판의 위치를 정확하게 한정시키는 것은 제품 품질을 증가시키는 데 도움이 된다.
[0066] 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어의 다른 효과는 에지 배제부가(그 중에서도 증가된 정밀도로 인해) 더 작게 디자인될 수 있으며, 이는 전체적인 프로세스 효율을 증가시킨다는 것이다. 또한, 캐리어에 사용되는 부품들의 개수가 감소되는데, 이는 티타늄 인레이가 공지된 시스템들과 비교하여 생략될 수 있기 때문이다. 사용되는 부품들의 개수를 작게 유지하는 것은 고정 수단에 대한 실질적으로 공지된 클램프 디자인들을 사용하고 클램프 힘을 증가시킴으로써 더 뚜렷해질 수 있다.
[0067] 캐리어 내의 기판의 이동을 방지하면서, 동시에 고정 지점으로부터 각각의 방향으로 기판의 팽창을 가능하게 하여서, 기판 파괴의 위험은 본원에 설명된 실시예들에 따른 캐리어들에서 감소될 수 있다.
[0068] 전술한 내용이 일부 실시예들에 대한 것인 반면에, 다른 및 추가의 실시예들이 본 발명의 기본 범주로부터 이탈함이 없이 창안될 수 있고, 본 발명의 범주는 이후의 청구 범위들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 증착 챔버 내의 기판(210; 310) 운반용 캐리어(200; 300; 400)로서,
    상기 기판(210; 310)을 수직으로 유지하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)을 갖는 실질적으로 사각형 형상을 갖는 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470);
    상기 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 단단하게 고정하기 위한 것이며, 상기 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)의 중심 영역에 위치되는 고정 수단(225; 325); 및
    상기 기판(210; 310)을 지지하기 위한 하지만 단단히 고정하기 위한 것은 아닌 하나 또는 그 초과의 지지 부재(220; 230; 320)들을 포함하는,
    기판 운반용 캐리어.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어는 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 단단하게 고정하기 위해 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)의 중심 영역에 하나의 단일 고정 수단(225; 325)을 포함하는,
    기판 운반용 캐리어.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 지지 부재(220; 230; 320)들은 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)의 바닥 프레임 부품(240; 340)에 위치되는,
    기판 운반용 캐리어.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 수단(225; 325)은 클램프를 포함하는,
    기판 운반용 캐리어.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 클램프는 스프링을 포함하는,
    기판 운반용 캐리어.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임 (240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470) 및 고정 수단(225; 325)은 약 0.3 ㎜ 내지 약 1.5 ㎜ 범위의 두께를 갖는 기판(210; 310)을 단단하게 고정하도록 구성되는,
    기판 운반용 캐리어.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 수단(225; 325)은 증착 챔버 내의 작업 동안 캐리어(200; 300; 400)에 대하여 고정 수단(225; 325)에 의해 제공되는 고정 포인트(481)에서 기판(210' 310)의 이동을 방지하도록 구성되는,
    기판 운반용 캐리어.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)은 기판 수용 표면(480)을 포함하고, 상기 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)의 중심 영역은 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심 영역(481; 482)에 대응하는,
    기판 운반용 캐리어.
  9. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)은 기판 수용 표면(480)을 포함하고, 상기 바닥 프레임 부품(240; 340, 440)의 중심 영역은 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심(481) 및 각각의 방향으로 기판 수용 표면(480)의 길이(487)의 약 15% 의 편차를 포함하는 기판 수용 표면(480)의 바닥 부품의 중심 영역에 대응하는,
    기판 운반용 캐리어.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)은 기판(210; 310)을 위한 에지 배제부를 제공하도록 구성되는,
    기판 운반용 캐리어.
  11. 기판(210; 310)을 수직으로 유지하기 위한 것이며, 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)을 갖는 실질적으로 사각형 형상을 갖는 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)을 포함하는 캐리어(200; 300; 400)에 의한 증착 챔버 내의 증착 프로세스 동안의 기판(210; 310) 운반 방법으로서,
    상기 바닥 프레임 부품의 중심 영역에 고정 수단(225; 325)에 의해 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 단단하게 고정하는 단계; 및
    지지 부재들에 의해 기판을 단단하게 고정하지 않으면서 하나 또는 그 초과의 지지 부재(220; 230; 320)들에 의해 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 지지하는 단계를 포함하는,
    기판 운반 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 단단하게 고정하는 단계는 하나의 단일 고정 수단(225; 325)에 의해 캐리어(200; 300; 400)에 기판(210; 310)을 단단하게 고정하는 단계를 포함하는,
    기판 운반 방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 기판(210; 310)을 단단하게 고정하는 단계는 증착 챔버 내의 작업 동안 캐리어(200; 300; 400) 에 대하여 고정 수단(225; 325)에 의해 제공되는 고정 포인트에서 기판(210; 310)의 이동을 방지하는 단계를 포함하는,
    기판 운반 방법.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)에 의해 기판(210)의 에지를 커버하는 단계를 더 포함하는,
    기판 운반 방법.
  15. 제 11 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임(240; 250; 260; 270; 340; 350; 360; 370; 440; 450; 460; 470)은 기판 수용 표면(480)을 포함하고, 상기 바닥 프레임 부품(240; 340; 440)의 중심 영역은 기판 수용 표면(480)의 중심 영역에 대응하는,
    기판 운반 방법.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6591570B2 (ja) * 2015-07-01 2019-10-16 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 基板用セルフロックホルダ
CN108138314A (zh) * 2015-09-21 2018-06-08 应用材料公司 基板载体、以及溅射沉积设备和其使用方法
CN105600447B (zh) * 2016-01-26 2018-07-13 深圳市华星光电技术有限公司 基板移载装置
WO2017196638A2 (en) * 2016-05-13 2017-11-16 Electro Scientific Industries, Inc. Alignment system and method of using the same
JP6631838B2 (ja) * 2016-05-18 2020-01-15 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及びその製造装置、並びにガラス板の搬送装置
US20190376177A1 (en) * 2016-11-23 2019-12-12 Corning Incorporated Vertical substrate holder
JP2020505513A (ja) * 2017-01-23 2020-02-20 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 基板のためのホルダ
CN108594492A (zh) * 2018-06-08 2018-09-28 芜湖长信科技股份有限公司 一种TFT-LCD显示屏panel镀膜工装及其镀膜方法
KR20200025952A (ko) * 2018-08-31 2020-03-10 코닝 인코포레이티드 기능성 코팅막의 진공 증착 방법 및 장치
GB202012506D0 (en) 2020-08-11 2020-09-23 Gs Mr Glass And Stone Machinery And Robotics Uk & Ireland Ltd Sheet handling process
CN112876050A (zh) * 2021-03-26 2021-06-01 南京磊香落电子商务有限公司 一种防止退火应力大导致玻璃管炸裂的玻璃管加工设备

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5693326A (en) * 1979-12-26 1981-07-28 Fujitsu Ltd Holding structure of substrate and mask
JPS61130481A (ja) * 1984-11-30 1986-06-18 Hitachi Maxell Ltd 蒸着用支持枠
JPH06248451A (ja) * 1993-02-24 1994-09-06 Hitachi Ltd 基板保持装置
JPH1072668A (ja) * 1996-09-02 1998-03-17 Toray Ind Inc 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置
JP3259165B2 (ja) * 1997-04-28 2002-02-25 住友重機械工業株式会社 被処理基板のクランプ機構を備えた処理容器
JP3915311B2 (ja) * 1999-04-06 2007-05-16 セイコーエプソン株式会社 液晶装置の製造方法
KR100583522B1 (ko) * 2005-01-05 2006-05-25 삼성에스디아이 주식회사 기판 고정 트레이, 이를 이용한 기판 정렬 시스템 및 그방법
JP5028837B2 (ja) * 2006-03-29 2012-09-19 大日本印刷株式会社 基板ホルダー部および成膜装置
DE602007006772D1 (de) * 2007-04-27 2010-07-08 Applied Materials Inc Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Platzieren eines Substrats
JP4872784B2 (ja) * 2007-05-01 2012-02-08 株式会社Ｉｈｉ 基板搬送装置
CN102132414B (zh) * 2008-08-27 2013-05-22 出光兴产株式会社 场效应型晶体管、其制造方法和溅射靶
EP2423350B1 (en) * 2010-08-27 2013-07-31 Applied Materials, Inc. Carrier for a substrate and a method for assembling the same
CN202671421U (zh) * 2012-05-16 2013-01-16 深圳市正星光电技术有限公司 一种适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜设备

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