JPS61130481A - 蒸着用支持枠 - Google Patents
蒸着用支持枠Info
- Publication number
- JPS61130481A JPS61130481A JP25156984A JP25156984A JPS61130481A JP S61130481 A JPS61130481 A JP S61130481A JP 25156984 A JP25156984 A JP 25156984A JP 25156984 A JP25156984 A JP 25156984A JP S61130481 A JPS61130481 A JP S61130481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- mask
- pins
- deposition mask
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は被蒸着基板と蒸着マスクとを支持する蒸着用
支持枠に関するものである。
支持枠に関するものである。
第５図は従来の蒸着用支持枠゛を示す図、第６図は第５
図のＤ−Ｄ断面図である０図において、１は側板、２は
底板、３は底板２に設けられた開口部、４は被蒸着基板
、５は蒸着マスクで、被蒸着基板４と蒸着マスク５とは
蒸着用支持枠に支持されている。
図のＤ−Ｄ断面図である０図において、１は側板、２は
底板、３は底板２に設けられた開口部、４は被蒸着基板
、５は蒸着マスクで、被蒸着基板４と蒸着マスク５とは
蒸着用支持枠に支持されている。
この蒸着用支持枠においては、側板１と被蒸着基板４．
蒸着マスク５の端面との間の間隙を小さくしたときには
、蒸着時に蒸着マスク５の温度が高くなるため、蒸着マ
スク５が熱膨張して、蒸着マスク５の寸法が蒸着用支持
枠の側板１内面間の長さより大きくなるから、蒸着マス
ク５に反りが生じて、蒸着像にボケが生じ、またこれを
避けるために、側板１と被蒸着基板４．蒸着マスク５の
端面との間の間隙を大きくしたときには、正確なマスク
合わせを行なうことができないという欠点がある。
蒸着マスク５の端面との間の間隙を小さくしたときには
、蒸着時に蒸着マスク５の温度が高くなるため、蒸着マ
スク５が熱膨張して、蒸着マスク５の寸法が蒸着用支持
枠の側板１内面間の長さより大きくなるから、蒸着マス
ク５に反りが生じて、蒸着像にボケが生じ、またこれを
避けるために、側板１と被蒸着基板４．蒸着マスク５の
端面との間の間隙を大きくしたときには、正確なマスク
合わせを行なうことができないという欠点がある。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、蒸着像にボケが生ずることがなく、かつ正確なマス
ク合わせを行なうことができる蒸着用支持枠を提供する
ことを目的とする。
で、蒸着像にボケが生ずることがなく、かつ正確なマス
ク合わせを行なうことができる蒸着用支持枠を提供する
ことを目的とする。
この目的を達成するため、この発明においては１辺の底
板に２本のガイドピンを設け、他辺の底板に１本のガイ
ドピンを設け、上記ガイドピンが設けられていない辺に
被蒸着基板、蒸着マスクをそれぞれ上記ガイドピンに押
付けるバネなどの弾性体を個別に設けることにより、ガ
イドピンで被蒸着基板、蒸着マスクの位置を定めるとと
もに。
板に２本のガイドピンを設け、他辺の底板に１本のガイ
ドピンを設け、上記ガイドピンが設けられていない辺に
被蒸着基板、蒸着マスクをそれぞれ上記ガイドピンに押
付けるバネなどの弾性体を個別に設けることにより、ガ
イドピンで被蒸着基板、蒸着マスクの位置を定めるとと
もに。
弾性体で蒸着マスクの熱膨張を吸収する。
第１図はこの発明に係る蒸着用支持枠を示す図。
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−
Ｂ断面図、第４図は第１図のＣ−Ｃ断面図である１図に
おいて、６ａ、６ｂは１辺の底板２ａに設けられた円柱
状のガイドピン、６Ｃは他辺の底板２ｂに設けられた円
柱状のガイドピンで、ガイドピン６ａ〜６ｃは底板２に
対して直角である。
Ｂ断面図、第４図は第１図のＣ−Ｃ断面図である１図に
おいて、６ａ、６ｂは１辺の底板２ａに設けられた円柱
状のガイドピン、６Ｃは他辺の底板２ｂに設けられた円
柱状のガイドピンで、ガイドピン６ａ〜６ｃは底板２に
対して直角である。
７．８はそれぞれ側板１．ガイドピン６８〜６ｃが設け
られていない辺の底板２ｃ、２ｄに設けられた切欠き、
９ａ、９ｂは側板１に設けられた切欠き。
られていない辺の底板２ｃ、２ｄに設けられた切欠き、
９ａ、９ｂは側板１に設けられた切欠き。
１０、１１はガイドピン６ａ〜６ｃが設けられていない
辺の側板１に設けられたバネで、バネ１０．１１の先端
部は切欠き７，８内に位置しており、バネ１０゜１１は
蒸着マスク５をガイドピン６８〜６ｃに押付けている。
辺の側板１に設けられたバネで、バネ１０．１１の先端
部は切欠き７，８内に位置しており、バネ１０゜１１は
蒸着マスク５をガイドピン６８〜６ｃに押付けている。
１２はガイドピン６８〜６ｃが設けられていない辺の側
板１に設けられたバネで、バネ１２の先端部は切欠き９
ａ、９ｂ内に位置しており、バネ１２は被蒸着基板４を
ガイドピン６ａ〜６Ｃに押付けているｓ５ａは蒸着マス
ク５の角部に設けられた切欠きで、切欠き５ａはバネ１
２が蒸着マスク５と接触するのを防止するためのもので
ある。
板１に設けられたバネで、バネ１２の先端部は切欠き９
ａ、９ｂ内に位置しており、バネ１２は被蒸着基板４を
ガイドピン６ａ〜６Ｃに押付けているｓ５ａは蒸着マス
ク５の角部に設けられた切欠きで、切欠き５ａはバネ１
２が蒸着マスク５と接触するのを防止するためのもので
ある。
この蒸着用支持枠においては、バネｌＯ〜１２により、
被蒸着基板４．蒸着マスク５の一端面がガイドピン６ａ
、６ｂと接触し、被蒸着基板４．蒸着マスク５の他端面
がガイドピン６Ｃと接触していて。
被蒸着基板４．蒸着マスク５の一端面がガイドピン６ａ
、６ｂと接触し、被蒸着基板４．蒸着マスク５の他端面
がガイドピン６Ｃと接触していて。
ガイドピン６ｃの接触線はガイドピン６ａ、６ｂの接触
線を含む平面内に含まれないので、被蒸着基板４．蒸着
マスク５は常に一義的に定まる位置に置かれることにな
る。なお、ガイドピンを２本としたときには、被蒸着基
板４．蒸着マスク５の位置を一義的に定めることができ
ず、またガイドピンを４本としたときには、各ガイドピ
ンの位置を正確に定めないと、被蒸着基板４．蒸着マス
ク５の端面と３本のガイドピンとが接触し、残りの１本
のガイドピンが被蒸着基板４．蒸着マスク５の端面と接
触せず、しかも被蒸着基板４．蒸着マスク５に加わる力
の方向によって、被蒸着基板４゜蒸着マスク５の端面と
接触しないガイドピンが代わるから、被蒸着基板４．蒸
着マスク５を一義的に定まる位置に置くことができない
、また、被蒸着基板４．蒸着マスク５をそれぞれバネ１
２．バネ１０、１１で個別に押しているから、蒸着時の
加熱昇温による被蒸着基板４．蒸着マスク５の熱膨張を
バネ１２．／＜ネ１０．１１で別々に吸収することがで
きるから、蒸着マスク５に反りが生ずることがない。
線を含む平面内に含まれないので、被蒸着基板４．蒸着
マスク５は常に一義的に定まる位置に置かれることにな
る。なお、ガイドピンを２本としたときには、被蒸着基
板４．蒸着マスク５の位置を一義的に定めることができ
ず、またガイドピンを４本としたときには、各ガイドピ
ンの位置を正確に定めないと、被蒸着基板４．蒸着マス
ク５の端面と３本のガイドピンとが接触し、残りの１本
のガイドピンが被蒸着基板４．蒸着マスク５の端面と接
触せず、しかも被蒸着基板４．蒸着マスク５に加わる力
の方向によって、被蒸着基板４゜蒸着マスク５の端面と
接触しないガイドピンが代わるから、被蒸着基板４．蒸
着マスク５を一義的に定まる位置に置くことができない
、また、被蒸着基板４．蒸着マスク５をそれぞれバネ１
２．バネ１０、１１で個別に押しているから、蒸着時の
加熱昇温による被蒸着基板４．蒸着マスク５の熱膨張を
バネ１２．／＜ネ１０．１１で別々に吸収することがで
きるから、蒸着マスク５に反りが生ずることがない。
以上説明したように、この発明に係る蒸着用支持枠にお
いては、被蒸着基板と蒸着マスクと◆一義的に定まる位
置におくことができるから、正確なマスク合わせを行な
うことができ、しかも蒸着マスクに反りが生ずることが
ないので、蒸着像にボケが生ずることがない、このよう
に、この発明の効果は顕著である。
いては、被蒸着基板と蒸着マスクと◆一義的に定まる位
置におくことができるから、正確なマスク合わせを行な
うことができ、しかも蒸着マスクに反りが生ずることが
ないので、蒸着像にボケが生ずることがない、このよう
に、この発明の効果は顕著である。
第１図はこの発明に係る蒸着用支持枠を示す図、第２図
は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面
図、第４図は第１図のｃ−Ｃ断面図、第５図は従来の蒸
着用支持枠を示す図、第６図は第５図のＤ−Ｄ断面図で
ある。
は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面
図、第４図は第１図のｃ−Ｃ断面図、第５図は従来の蒸
着用支持枠を示す図、第６図は第５図のＤ−Ｄ断面図で
ある。
Claims (1)
- 被蒸着基板と蒸着マスクとを支持する蒸着用支持枠にお
いて、１辺の底板に２本のガイドピンを設け、他辺の底
板に１本のガイドピンを設け、上記ガイドピンが設けら
れていない辺に上記被蒸着基板、上記蒸着マスクをそれ
ぞれ上記ガイドピンに押付ける弾性体を個別に設けたこ
とを特徴とする蒸着用支持枠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25156984A JPS61130481A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 蒸着用支持枠 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25156984A JPS61130481A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 蒸着用支持枠 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130481A true JPS61130481A (ja) | 1986-06-18 |
Family
ID=17224763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25156984A Pending JPS61130481A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 蒸着用支持枠 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61130481A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001326075A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Tohoku Pioneer Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| JP2006045664A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-02-16 | Ulvac Japan Ltd | 複数枚の基板への蒸着被膜の同時形成方法および搬送トレイ |
| JP2016514369A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-05-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板用キャリア及び基板搬送方法 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25156984A patent/JPS61130481A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001326075A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Tohoku Pioneer Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| JP2006045664A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-02-16 | Ulvac Japan Ltd | 複数枚の基板への蒸着被膜の同時形成方法および搬送トレイ |
| JP4516870B2 (ja) * | 2004-07-06 | 2010-08-04 | 株式会社アルバック | 複数枚の基板への蒸着被膜の同時形成方法および搬送トレイ |
| JP2016514369A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-05-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板用キャリア及び基板搬送方法 |
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