JP6689965B2 - 成膜用マスク及び成膜装置 - Google Patents
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Description
上記一対の第1の板部は、一対の第1の内周縁部と、一対の第1の外周縁部とを有する。上記一対の第1の内周縁部は、第1の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第1の湾曲部をそれぞれ有する。上記一対の第1の外周縁部は、上記一対の第1の内周縁部と上記第1の軸方向にそれぞれ対向する。
上記一対の第2の板部は、一対の第2の内周縁部と、一対の第2の外周縁部とを有する。上記一対の第2の内周縁部は、上記第2の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第2の湾曲部をそれぞれ有する。上記一対の第2の外周縁部は、上記一対の第2の内周縁部と上記第2の軸方向にそれぞれ対向する。
これにより、上記内周縁部の熱変形に伴う外周縁部の変形が容易となり、これにより第1及び第2の板部の破損が防止される。
上記ステージは、上記真空チャンバの内部に配置され、基板を加熱可能に支持する。
上記成膜源は、上記ステージに対向して配置される。
上記マスクは、上記ステージの周囲に配置され、上記基板の周縁部を上記成膜源から被覆する。
上記マスクは、一対の第1の板部と、一対の第2の板部とを有する。
上記一対の第1の板部は、一対の第1の内周縁部と、一対の第1の外周縁部とを有する。上記一対の第1の内周縁部は、第1の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第1の湾曲部をそれぞれ有する。上記一対の第1の外周縁部は、上記一対の第1の内周縁部と上記第1の軸方向にそれぞれ対向する。
上記一対の第2の板部は、一対の第2の内周縁部と、一対の第2の外周縁部とを有する。上記一対の第2の内周縁部は、上記第2の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第2の湾曲部をそれぞれ有する。上記一対の第2の外周縁部は、上記一対の第2の内周縁部と上記第2の軸方向にそれぞれ対向する。
本実施形態に係る成膜装置100は、プラズマCVD装置として構成されている。成膜装置100は、真空チャンバ10と、ステージ20と、ガスヘッド30と、マスク40とを有する。
図3は、マスク40の構成を示す概略平面図である。
すなわち図1に示すように、ステージ20が上昇位置にあるときは、支持部53は断熱部材52の上に載置される。一方、図2に示すように、ステージ20が下降位置にあるときは、支持部53は断熱部材52から分離し、真空チャンバ10の内周面に設けられた第2のフランジ部14に支持される。
一方、短辺板部42A,42Bは、Y軸方向に平行な長軸を有する主貫通孔42h1(第2の主貫通孔)と、X軸方向に平行な長軸を有し主貫通孔42h1を挟んでX軸方向に相互に対向する一対の補助貫通孔42h2(第2の補助貫通孔)とをそれぞれ有する。
同様に、主貫通孔42h1は、各短辺板部42A,42Bの長さ方向中央部に設けられ、一対の補助貫通孔42h2は、各短辺板部42A,42Bの長さ方向両端部近傍にそれぞれ設けられる。主貫通孔42h1及び補助貫通孔42h2は、各短辺板部42A,42Bの外周縁部422側にそれぞれ配置される。
主貫通孔41h1,42h1及び補助貫通孔41h2,42h2は、典型的には、2つの円弧を直線で結んだ長円形状で形成されるが、楕円形状であってもよい。
続いて、以上のように構成される成膜装置100の典型的な動作について説明する。
11…成膜室
20…ステージ
30…ガスヘッド
40…マスク
40a…開口部
41A,41B…長辺板部
42A,42B…短辺板部
41h1,42h1…主貫通孔
41h2,42h2…補助貫通孔
50…マスク支持部材
54…位置決めピン
100…成膜装置
411,421…内周縁部
411w,421w…湾曲部
412,422…外周縁部
413,423…切欠き部
W…基板
Claims (10)
- 概略矩形の枠体で構成された成膜用マスクであって、
第1の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第1の湾曲部をそれぞれ有する一対の第1の内周縁部と、前記一対の第1の内周縁部と前記第1の軸方向にそれぞれ対向する一対の第1の外周縁部とを有する一対の第1の板部と、
前記第1の軸方向と直交する第2の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第2の湾曲部をそれぞれ有する一対の第2の内周縁部と、前記一対の第2の内周縁部と前記第2の軸方向にそれぞれ対向する一対の第2の外周縁部とを有する一対の第2の板部と
を具備し、
前記一対の第1の板部と前記一対の第2の板部とにより成膜領域として概略矩形の開口部が画定される成膜用マスク。 - 請求項1に記載の成膜用マスクであって、
前記一対の第1の板部は、前記一対の第1の外周縁部にそれぞれ設けられ前記第2の軸方向に間隔をおいて配置された複数の第1の切欠き部をさらに有し、
前記一対の第2の板部は、前記一対の第2の外周縁部にそれぞれ設けられ前記第1の軸方向に間隔をおいて配置された複数の第2の切欠き部をさらに有する
成膜用マスク。 - 請求項1又は2に記載の成膜用マスクであって、
前記一対の第1の板部及び前記一対の第2の板部は、それぞれ単独の板部材で構成される
成膜用マスク。 - 請求項3に記載の成膜用マスクであって、
前記一対の第1の板部の両端部は、前記一対の第2の板部の両端部に重ね合わされる
成膜用マスク。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の成膜用マスクであって、
前記一対の第1の板部及び前記一対の第2の板部は、セラミックス材料で構成される
成膜用マスク。 - 真空チャンバと、
前記真空チャンバの内部に配置され、矩形の基板を加熱可能に支持するステージと、
前記ステージに対向して配置された成膜源と、
前記ステージの周囲に配置され、前記基板の周縁部を前記成膜源から被覆する概略矩形の枠体で構成されたマスクと
を具備し、
前記マスクは、
第1の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第1の湾曲部をそれぞれ有する一対の第1の内周縁部と、前記一対の第1の内周縁部と前記第1の軸方向にそれぞれ対向する一対の第1の外周縁部とを有する一対の第1の板部と、
前記第1の軸方向と直交する第2の軸方向に対向し、互いに離間する方向に向かって凸なる形状の第2の湾曲部をそれぞれ有する一対の第2の内周縁部と、前記一対の第2の内周縁部と前記第2の軸方向にそれぞれ対向する一対の第2の外周縁部とを有する一対の第2の板部と
を有し、前記一対の第1の板部と前記一対の第2の板部とにより成膜領域として概略矩形の開口部が画定される
成膜装置。 - 請求項6に記載の成膜装置であって、
前記一対の第1の板部は、前記一対の第1の外周縁部にそれぞれ設けられ前記第2の軸方向に間隔をおいて配置された複数の第1の切欠き部をさらに有し、
前記一対の第2の板部は、前記一対の第2の外周縁部にそれぞれ設けられ前記第1の軸方向に間隔をおいて配置された複数の第2の切欠き部をさらに有する
成膜装置。 - 請求項6又は7に記載の成膜装置であって、
前記マスクを支持可能なマスク支持部材をさらに具備し、
前記マスク支持部材は、前記ステージの周囲に設置され、前記第1及び第2の軸方向に平行な面内における前記マスクの熱伸びを許容する支持部を有する
成膜装置。 - 請求項8に記載の成膜装置であって、
前記一対の第1の板部は、前記第1の軸方向に平行な長軸を有する第1の主貫通孔と、前記第2の軸方向に平行な長軸を有し前記第1の主貫通孔を挟んで前記第2の軸方向に相互に対向する一対の第1の補助貫通孔とをそれぞれ有し、
前記支持部は、前記第1の主貫通孔及び前記一対の第1の補助貫通孔にそれぞれ挿通され、前記一対の第1の板部に対して相対移動可能な複数の第1の位置決めピンを含む
成膜装置。 - 請求項8又は9に記載の成膜装置であって、
前記一対の第2の板部は、前記第2の軸方向に平行な長軸を有する第2の主貫通孔と、前記第1の軸方向に平行な長軸を有し前記第2の主貫通孔を挟んで前記第1の軸方向に相互に対向する一対の第2の補助貫通孔とをそれぞれ有し、
前記支持部は、前記第2の主貫通孔及び前記一対の第2の補助貫通孔にそれぞれ挿通され、前記一対の第2の板部に対して相対移動可能な複数の第2の位置決めピンを含む
成膜装置。
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