JP5232801B2 - チャンバ及び成膜装置 - Google Patents

Description

本発明はチャンバ及び成膜装置に関する。

フラットパネルディスプレイの製造には、配線用金属膜の成膜プロセスを行うスパッタリング装置など多くの真空処理装置が用いられ、これらの処理装置は、所定のプロセスを行うための真空チャンバを有している。

また、フラットパネルディスプレイの生産歩留まり向上のため、ディスプレイを構成するガラス基板は大型化を続けている。このガラス基板の大型化に伴い、基板の全面に亘って成膜プロセスなどを一括して行うことができるように、処理装置のチャンバ自体も大型化してきている。例えば２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍサイズのガラス基板を処理するとき、処理チャンバの高さ又は幅が５ｍを超えるようなサイズに及ぶ場合もある。このようなチャンバを組み立て後、設置場所まで輸送するとなると、大型のトレーラなどの大がかりな輸送手段が必要となる。

また、このような大型チャンバは、平面から構成されているため、必要な強度を保持すべく、チャンバの外壁面に補強部材を設ける必要がある。この補強部材は、主に溶接によってチャンバ面に接着されている。しかし、この補強部材の接着でさらにチャンバ全体が大型化してしまうことにより、そのサイズ及び重量において法令の制限を受け、輸送できないという問題が生じている。

このため、複数部品を溶接によって接合してなる側壁平面をもつチャンバが知られている（例えば、特許文献１参照）。このチャンバでは、分割した部品を設置場所まで輸送した後に溶接すれば、かかる大型チャンバをも比較的容易に輸送することができる。

特開平８−６４５４２号公報（図１及び請求項１）

上記処理装置によれば、大型の処理装置であっても一つのチャンバ壁の平面を分割した結果、大型の処理装置として輸送することはできる。しかしながら、チャンバ内で真空処理室を構成する面が、複数の部品の溶接によって形成されているため、リークが発生しやすいという問題がある。これは、一般的に、溶接部分にはピンホールが生じやすく、リークの原因となりやすいこと、また、溶接時に部材の熱歪みが生じることも多く、チャンバ内を真空状態とすると、大気圧による応力が熱歪みの生じた部分に集中し、リークの原因となりやすいことによる。

そこで、本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解消すべく、チャンバ部に溶接による接合部を備えておらず、かつ、大型であっても輸送が容易なチャンバを提供することにある。また、これを用いた成膜装置を提供することにある。

本発明のチャンバは、基板が搬入され、基板に対して所定の処理が行われるチャンバ部と、チャンバ部の外壁面に設けられた着脱可能な補強部材とを備え、前記補強部材が、前記外壁面に着脱可能に取り付けられたリブ部材であり、前記補強部材が、さらに前記外壁面に着脱可能に取り付けた板状の接合部材を備え、前記リブ部材が、接合部材を介して前記外壁面に設けられたことを特徴とする。

本発明のチャンバは、チャンバ部の外壁面に取り付けられる補強部材を着脱可能とすることで、輸送時には補強部材を外すことができるので、輸送時には装置全体を小型化でき、輸送が容易である。かつ、本発明のチャンバでは、チャンバ部外壁面に補強部材が着脱可能に設けられており、基板を処理するチャンバ部の内壁面には接合部を有していないので、チャンバ部内を真空状態とする場合のリークの発生を抑制できる。

また、本発明のチャンバは、前記補強部材が、前記リブ部材及び前記接合部材を備え、このリブ部材が、接合部材を介して前記外壁面に着脱可能に取り付けられている。このように構成することで、接合部材の厚さを厚くすることなく所定のチャンバの強度を十分に保つことができる。ここで、板状の接合部材は、平面からなるものも、曲面からなるものも含み、チャンバ部の外形に合わせて選択することが可能である。

前記補強部材は、チャンバ部の外壁面のうち、大気に接触する面に取り付けられることが好ましい。大気に接触する面とは、チャンバ部の外壁面のうち、真空状態となる真空処理室が備えられた別のチャンバと接続しない面をいう。このような大気に接触する面は、基板処理室が真空状態となると、大気と真空との圧力差によりチャンバ部が歪むことがある。そこで、本発明においては、補強部材を大気に接触する面に取り付けることで、基板処理室内を真空状態とした場合に、チャンバが歪むことを防止することができる。

前記接合部材が設けられている外壁面において、チャンバ部内で所定の処理を行うための機能部材が設けられていない全ての領域を覆うように構成されていることが好ましい。機能部材が設けられていない全ての領域を覆うように接合部材を構成することで、チャンバが十分な強度を得て、チャンバ部内部を真空状態とした場合の歪みを抑制することが可能である。

本発明のチャンバは、補強部材を着脱可能とすることで、大型化してもリークの発生を抑制し、かつ、輸送に便利であり、基板キャリアにより略垂直に保持された被処理基板に対し所定の処理を行うことができるように構成され、その処理装置の設置面積を減少できる、いわゆる縦型処理チャンバとして用いることが適している。なお、ここでいう略垂直とは、被処理基板を垂直な状態から４５°未満に傾けた状態をいい、垂直も含むものである。

また、前記チャンバ部の壁面の一部に開口を設け、この開口を介して前記補強部材に着脱自在にマグネットが取り付けられていることが好ましい。本発明の補強部材は着脱自在であり、このようにマグネットを備え付けることもでき、チャンバの用途や使用態様に応じて着脱して、状況に柔軟に対応することができる。また、このようにマグネットを設けることで、基板を保持する基板キャリアにもマグネットを設ければ、基板キャリアの搬送時のぐらつきを抑制できる。

前記リブ部材が、互いに交差する複数の縦リブ部材及び横リブ部材から構成され、この縦リブ部材及び横リブ部材により構成される空間にクレーンが設置され固定されていることが好ましい。本発明のリブ部材は着脱自在であり、このようにクレーンを備え付けることもできるので、チャンバの用途や使用態様に応じて着脱して、状況に柔軟に対応することができる。また、リブ部材でしっかりと支持し固定してクレーンを設置することができるので、クレーンを安全に保持することができる。このクレーンは、具体的には、前記縦リブ部材及び横リブ部材により構成される空間に設置され固定された設置部と、この設置部に接続されている支持部と、この支持部を軸中心として回動自在に接続されている腕部と、この腕部の先端部に、吊下部及び線部材を介して設けられた取り付け部とからなる。このように構成されていることで、簡易にリブ部材に設置することができ、このリブ部材毎に輸送することができる。

本発明の成膜装置は、複数の真空チャンバを備え、各真空チャンバのチャンバ部内で基板に対して所定の処理を行う成膜装置であって、各チャンバ部は、各チャンバ部の外壁面に着脱可能な補強部材を備え、前記補強部材が、前記外壁面に着脱可能に取り付けられたリブ部材であり、前記補強部材が、さらに前記外壁面に着脱可能に取り付けた板状の接合部材を備え、前記リブ部材が、接合部材を介して前記外壁面に設けられたことを特徴とする。チャンバ部の外壁面に取り付けられる補強部材を着脱可能とすることで、輸送時には補強部材を外すことができるので、輸送時には装置全体を小型化でき、輸送が容易である。前記チャンバ部の外壁面が、チャンバ部の天井面、底面、及び他の真空チャンバが接続されていない側面であることが好ましい。

本発明のチャンバによれば、輸送に便利で、かつ、リークの発生を抑制できるという優れた効果を奏し得る。本発明の成膜装置によれば、輸送に便利であるという優れた効果を奏する。

処理装置の構成を説明するための模式図である。 本発明のチャンバを説明するための模式図である。 本発明のチャンバを説明するための模式図である。 本発明の別のチャンバを説明するための模式図である。 加熱室の模式的断面図である。 着脱可能なリブ部材について説明するための模式図である。 別の着脱可能なリブ部材について説明するための模式図である。 さらに別の着脱可能なリブ部材について説明するための模式図である。

符号の説明

１ 処理装置
２ チャンバ部
３ 補強部材
４ 基板キャリア
１１ ロードロック室
１２ 加熱室
１３ 第１成膜室
１４ 第２成膜室
３１ リブ部材
３２ 接合部材
Ｓ 基板

以下、本発明の実施の形態を図１〜図５を参照して説明する。なお、図中同じ構成要素については同一の参照番号を付してある。

図１は、処理装置の構成を説明するための模式図である。処理装置１は、略垂直に保持された基板に対して処理を行う縦型処理装置であり、ロードロック室１１と、加熱室１２と、第１成膜室１３と、第２成膜室１４とがこの順で接続されて構成されるインライン式のものである。処理装置１内には、基板を搬送するための往路１５及び復路１６がロードロック室１１から第２成膜室１４まで設けられている。

各室には、図示しない真空ポンプが設けられおり、さらに、各室で所定の処理を行うための処理手段が設けられている。具体的には、加熱室１２内部の一の側面には、加熱手段が設けられ、第１成膜室１３及び第２成膜室１４内部の一の側面には、成膜手段が設けられている。また、第２成膜室１４には、基板を保持する基板キャリア４（後述する）を往路１５及び復路１６間で移動させるための経路変更手段が設けられている。

基板キャリア４は、基板Ｓを略垂直に保持するものであり、往路１５及び復路１６上を搬送されるように構成されている。この基板キャリアに保持された基板は、基板キャリア４により往路１５上を移動して各室内で所定の処理がなされ、第２成膜室１４で経路変更手段により往路１５から復路１６に移動されて、復路１６を通って処理装置１外へ搬出される。即ち、ロードロック室１１に搬入された基板Ｓは、ロードロック室１１で真空状態に保持された後に、加熱室１２において所定の温度まで加熱される。次いで第１成膜室１３で所定の膜が形成された後に、第２成膜室１４において経路変更手段により復路１６側へ移動される。その後、基板Ｓは、復路１６上を移動して、第２成膜室１４から再度第１成膜室１３、加熱室１２及びロードロック室１１を通過して処理装置１から取り出される。

ここで、各室は、基板処理室を有するチャンバからなる。処理装置１に搬入される基板としては、例えば２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍの大型の基板が挙げられ、このような大型の基板を処理するためには、上記の基板を収納しうるサイズの基板処理室を有する大型のチャンバが必要である。また、上述したようなインライン式の縦型処理装置においては、チャンバ部の外側に補強部材を設ける必要がある。この場合に、大型の基板に対応した基板処理室を有するロードロック室１１等をチャンバ部と補強部材が一体となって構成されたチャンバを用いて作製すると、大きすぎて設置場所まで搬送できなくなることを防止する必要がある。

そこで、本実施の形態においては、各チャンバを構成するチャンバ部に設けられた補強部材を着脱自在に構成し、搬送時には補強部材を取り外し、設置後に取り付けることができるように構成している。このようなチャンバの構成について、加熱室１２を例に挙げて図２及び図３を用いて説明する。

図２及び図３は、本発明のチャンバを用いた加熱室１２の構成を説明するための模式図である。加熱室１２は、チャンバ部２を有する。チャンバ部２は、図３に示すように直方体状であり、略垂直に保持された大型の被処理基板をその内部で処理するために、奥行き（後述する基板搬入口２１の短手方向に一致する）は短く、縦及び横は大型基板（例えば２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍの基板）より大きくなるように構成されている。チャンバ部２は、矩形状の基板搬入口２１をロードロック室１１側側面２２に備えている。この基板搬入口２１は、図１に示したロードロック室１１の脱気室に連通されると共に、チャンバ部２内部に設けられた加熱処理室（図示せず）に連通され、第１成膜室１３側側面２３まで貫通している。加熱処理室には、図示しない真空ポンプ及び図示しない加熱手段が設けられて、加熱処理室内を所定の圧力とすることができると共に、加熱処理室内を所定の温度に昇温して保持できるように構成されている。

チャンバ部２の外壁面のうち、真空状態とした場合のチャンバ部の歪みを防止するために、大気に接する面、即ち天井面２４、底面２５、側面２６、２７には、この順で補強部材３Ａ、３Ｄ、３Ｂ、３Ｃが設けられている。ロードロック室１１に接する側面２２及び第１成膜室１３に接する側面２３には補強部材３は設けられていない。補強部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃは、リブ部材３１と、リブ部材３１が接合された板状の接合部材３２とからなる。チャンバ部２の底面２５に設けられた補強部材３Ｄは、板状の接合部材３２のみからなる。このように、設置場所等に鑑みて、補強部材３としては、リブ部材３１及び接合部材３２から選ばれた少なくとも１つを用いることが可能である。

接合部材３２は、チャンバ部２の取り付け面に、取り付け部材によって着脱自在に設置することができるように構成されている。図２中では、例として補強部材３Ａは、接合部材３２をボルト３２１でチャンバ部２に着脱自在で取り付けられている。この場合に、接合部材３２は、チャンバ部２の取り付け面の全面を覆うことが好ましいが、例えば上述したように処理装置において所定の処理を行うための機能部、即ち真空ポンプや加熱手段の設置部分がチャンバ部２に設けられている場合には、この機能部以外の部分（全領域）を覆うようにすればよい。図中では、補強部材３Ｂの接合部材３２は、図示しない真空ポンプの設置部分３２２以外の部分を覆うように、即ち、設置部分３２２に対応する位置に開口が設けられ、その他の部分は、側面２６を覆うことができるように構成されている。これにより、より強度を高く保持することが可能である。

補強部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃのリブ部材３１は、接合部材３２に例えば溶接で固定されている。なお、リブ部材３１を着脱自在となるように固定する場合については後述する。リブ部材３１は、縦リブ３１１及び横リブ３１２が格子状となるように構成されている。例えば、補強部材３Ａにおいては、リブ部材３１は一本の横リブ３１２に２本の縦リブ３１１が直角に交差するように構成され、補強部材３Ｂ及び３Ｃにおいては、リブ部材３１は、２本の縦リブ３１１と２本の横リブ３１２とが井桁状となるように構成されている。また、リブ部材３１の形状は、チャンバ内部が真空状態となった場合にチャンバがたわまないように設けてあればどのような形状でもよく、例えばストライプ状であっても、折れ線状であってもよい。さらにまた、リブ部材３１は、少なくとも一つ外壁面に設けられていればよい。少なくとも一つ設けていることで、チャンバの外壁面が歪むことを抑制できる。例えば、リブ部材３１を天井面の中央に一つ設けても良い。このように、チャンバの外壁面の歪みを抑制すべく外壁面の一つの端部から端部に亘って設ければよい。また、リブ部材３１は、縦リブ３１１のみでも横リブ３１２のみでもよく、さらに、斜めになるように設けられていてもよい。

このように、本チャンバにおいては、補強部材３Ａ〜３Ｄを設けることで加熱室１２が真空引きされた際の強度を確保できる。また、補強部材３Ａ〜３Ｄ（接合部材３２及びこれに固定されたリブ部材３１）が着脱自在であるで、輸送の際には補強部材３Ａ〜３Ｄを取り外してチャンバ全体のサイズを小さくすることができるので、輸送に便利である。

さらにまた、補強部材３Ａ〜３Ｄが着脱自在に構成されていることで、必要に応じてリブ部材３１を変更することができる。例えば、図４は、加熱室１２の別の構成を説明するための模式図であり、チャンバ部２の天井面に設けられた補強部材３Ａ'は、図２に示す補強部材３Ａとはリブ部材３１とは形状が異なるものである。即ち、この補強部材３Ａ'においては、補強部材３Ａとは４本の縦リブ３１１及び２本の横リブ３１２が格子状に組まれている点が異なる。

縦リブ３１１及び横リブ３１２とで区画されてなる中央部３１３にクレーン３３が設けられている。クレーン３３は、例えばメンテナンス時に交換を要するチャンバ内部に設置される防着板やヒータプレート等の交換部材等の運搬に用いられる。クレーン３３は、中央部３１３に設置され固定される設置部３３１と、設置部３３１に接続されている柱状の支持部３３２とを有する。縦リブ３１１と横リブ３１２とは、設置部３３１の形状に合う中央部３１３が区画されるように構成されており、この中央部３１３に設置部３３１が設置され、縦リブ３１１及び横リブ３１２で図示しない固定具によってしっかりと固定され支持されている。そして、柱状の支持部３３２には、支持部３３２を軸中心として回動自在に接続されている腕部３３３が設けられている。この腕部３３３の先端部には、吊下部３３４と、吊下部３３４に線部材３３５を介して設けられた取り付け部３３６とが設けられており、取り付け部３３６は線部材３３５の長さを変えることで上下動が自在であるように構成されている。本クレーン３３は、取り付け部３３６を上下動させて、交換部材に取り付け部３３６を取り付けて、交換部材をつり下げた状態で保持する。この場合に、腕部３３３は支持部３３２を軸中心として回動自在に接続されているので、取り付け部３３６に取り付けられた交換部材を左右方向にも自在に移動させることが可能である。本実施の形態では、設置部３３１の形状に合わせて縦リブ３１１及び横リブ３１２を設けてあるため、設置部３３１をこれらのリブでしっかりと支持し固定して設置することができるので、かかる構成のクレーン３３を安全に保持することができる。さらに、このような形状のリブ部材を有する補強部材３Ａ’を用いれば、縦リブ３１１がもう２本増えているため、より強度が高いので、上述したような重量物であるクレーン３３を支持するための支持部材としても用いることができる。このように、補強部材３Ａ〜３Ｄが着脱自在であることで、必要に応じて補強部材３Ａ〜３Ｄの１以上を別のリブ形状を有する補強部材に交換し、リブ部材３１を別の部材の支持部材として用いることができるので、汎用性が高い。

さらにまた、補強部材３が着脱自在に構成されていることで、必要に応じて加熱処理室内部の構造により接合部材３２に接続する内部構造物を取り替えることもできる。例えば、図５は、加熱処理室の構造を説明するための加熱室の模式的断面図である。加熱室１２内部には、底面に基板搬送路としての往路１５が設けられており、底面の往路１５上を、基板キャリア４が移動できるように構成されている。基板キャリア４には、基板Ｓが略垂直に保持されている。

ここで、基板が１ｍを超えるような大型の基板であると、基板Ｓを略垂直に保持するためには、基板キャリア４だけでは足りず、さらに保持部材を用いる場合がある。そこで、図５に示す形態では、マグネット４１を基板キャリア４の上部に設けると共に、チャンバ部２の上壁面の一部に開口を設けてマグネット４２をこの開口を介して接合部材３２に接続している。このマグネット４１及び４２の引力により、より往路１５及び復路１６において基板キャリア４が倒れないように保持できるので、安全に基板Ｓを搬送できる。このように保持部材の一方としてのマグネット４２を接合部材３２に接続することで、例えばマグネット４２にパーティクルが付着したのでメンテナンスが必要な場合などに、補強部材３Ａを取り外し、別のマグネット４２が設けられた別の補強部材を取り付けて成膜は続け、その間にマグネット４２のメンテナンスを行うことも可能である。従って、補強部材３が着脱自在に構成されていることで、装置の稼働率を下げずに必要に応じて接合部材３２に接続する内部構造物を取り替えることもできる。なお、接合部材３２を設けずリブ部材３１のみ設ける場合には、リブ部材３１にマグネット４２を設けてもよい。

ここで、リブ部材３１を着脱自在となるように固定する場合について図６〜８を用いて説明する。図６は、リブ部材３１をチャンバの天井面２４に設置した状態を示すための模式的斜視図である。図６に示すように、リブ部材３１は、リブ部５１とリブ部５１に設けられたフランジ部５２とを備える。そして、ボルト５３により、フランジ部５２をチャンバの天井面２４に固定する。このようにリブ部材３１にフランジ部５２を設けて複数のボルト５３によりリブ部材３１を着脱自在に簡易に固定することができる。そして、リブ部材３１が着脱自在であることで、大型であっても輸送が容易である。

図７に示す実施形態について説明する。図７は、図６とは別のリブ部材について説明するための模式図であり、（ａ）は設置前のリブ部材及び補強部材について説明するための斜視図であり、（ｂ）はリブ部材を補強部材に設置した状態を示すための斜視図である。図７に示す実施形態では、接合部材３２の設置面にはピン５４が離間して複数設けてある。リブ部材３１のリブ部５１に設けたフランジ部５２には、上面視においてだるま形状の、即ち径の小さい穴５２１と径の大きい穴５２２が連通したピン穴５２３が複数設けられている。この場合、径の小さい穴５２１の径はピン５４の胴部５４１に嵌合するように形成され、径の大きい穴５２２の径はピン５４の頭部５４２の径と同じか、大きくなるように形成されている。このリブ部材３１を接合部材３２上に設置するには、初めに、ピン５４の頭部５４２が各径の大きい穴５２２に臨んだ状態でリブ部材３１を接合部材３２に載置する。次いで、この状態でリブ部材３１をピン５４の胴部５４１が径の小さい穴５２１に嵌合するようにスライドさせて、リブ部材３１を接合部材３２に固定する。このように接合部材３２に複数のピン５４を設け、このピンをリブ部材３１のフランジ部５２に設けたピン穴５２３に挿入しスライドすることで、リブ部材３１を簡易に着脱自在に固定することができる。そして、リブ部材３１が着脱自在であることで、大型であっても輸送が容易である。

次いで、図８に示す実施形態について説明する。図８は、さらに別のリブ部材について説明するための模式図であり、（ａ）はリブ部材の上面図、（ｂ）はリブ部材のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）は補強部材の上面図、（ｄ）は補強部材のＢ−Ｂ’断面図であり、（ｅ）はリブ部材を補強部材に設置した状態を示すための斜視図である。図８（a）（ｂ）に示すように、リブ部材３１のリブ部５１は、不連続的に設けられたフランジ部５５を有する。図８（ｃ）に示すように、接合部材３２には、溝５６が設けられている。溝５６は、開口部の狭い第一溝部５６１とこの第一溝部５６１に連通した開口部の広い第二溝部５６２とからなり、第一溝部５６１と第二溝部５６２とが交互に繰り返されて構成されている。この第二溝部５６２の開口部は、リブ部材３１のフランジ部５５と同一か、やや大きく、底部までその幅は変わらない。また、図８（ｄ）に示すように、第一溝部５６１の幅は、開口部においてリブ部材３１のリブ部５１の幅とほぼ同一であり、内部において第二溝部５６２の幅と同一になっている。

リブ部材３１を溝５６に設置して固定するには、まず、リブ部材３１のフランジ部５５が溝５６の第二溝部５６２に臨ませて溝５６にリブ部材３１を挿入する。そして、その後リブ部材３１を、フランジ部５５が第一溝部５６１の内部に保持されるようにスライドさせて固定する。この場合にリブ部材３１と接合部材３２とをより強固に固定するために第一溝部５６１の周囲に図示しないボルト穴を設け、ボルト５３により固定してもよい。このようにリブ部材３１を接合部材３２にスライド挿入することができるように構成することで、リブ部材３１を簡易に着脱自在に固定することができる。そして、リブ部材３１が着脱自在であることで、大型であっても輸送が容易である。

なお、図７、図８の実施形態について、リブ部材３１は接合部材３２上に設けたがこれに限定されず、例えば、チャンバ部２の外壁面に直接設けてもよい。また図６の実施形態についても、リブ部材３１はチャンバ部２の天井面２４に設けたがこれに限定されない。また、これらのリブ部材３１の上面に上述したクレーン等を設けることももちろん可能である。

上記実施の形態においては加熱室１２を例にとって説明したが、ロードロック室１１、第１成膜室１３、第２成膜室１４においても同様のチャンバを用いて構成することができる。そして、それぞれにおいて、内部の構造や、外部に取り付ける部材に応じて補強部材を変化させることができる。また、これらの大型の基板に対して成膜する処理装置でなくても、同様の構成とすることができる。さらにまた、上記実施の形態では、補強部材３Ａ〜３Ｄは、全て着脱可能としたが、輸送時に問題とならなければ、全てを着脱可能としなくてもよい。例えば、補強部材３Ａのみ着脱可能としてもよい。もちろん、補強部材３Ａのうち、リブ部材３１のみ、又は接合部材３２のみを着脱可能としてもよい。

また、上述した実施形態では、チャンバ部の底面２５に設けられた補強部材３Ｄはリブ部材３１を有していなかったが、リブ部材３１を有していてもよい。この場合には、例えばチャンバ部２をリブ部材３１間から支持する載置台上にチャンバ部２を載置すればよい。

本発明のチャンバによれば、大型の基板にも成膜等の所定の処理を行うことができる。従って、半導体製造分野で利用可能である。

Claims (9)

1. 基板が搬入され、基板に対して所定の処理が行われるチャンバ部と、チャンバ部の外壁面に設けられた着脱可能な補強部材とを備え、
   前記補強部材が、前記外壁面に着脱可能に取り付けられたリブ部材であり、
   前記補強部材が、さらに前記外壁面に着脱可能に取り付けた板状の接合部材を備え、
   前記リブ部材が、接合部材を介して前記外壁面に設けられたことを特徴とする真空チャンバ。
2. 前記補強部材は、前記外壁面のうち、大気に接触する面に取り付けられたことを特徴とする請求項１に記載の真空チャンバ。
3. 前記接合部材は、接合部材が設けられている外壁面において、チャンバ部内で所定の処理を行うための機能部材が設けられていない全ての領域を覆うように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空チャンバ。
4. 前記チャンバ部は、基板キャリアにより略垂直に保持された被処理基板に対し所定の処理を行うことができるように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空チャンバ。
5. 前記チャンバ部の壁面の一部に開口を設け、この開口を介して前記補強部材に着脱自在にマグネットが取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空チャンバ。
6. 前記リブ部材が、互いに交差する複数の縦リブ部材及び横リブ部材から構成され、
   この縦リブ部材及び横リブ部材により構成される空間にクレーンが設置され固定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の真空チャンバ。
7. 前記クレーンは、前記縦リブ部材及び横リブ部材により構成される空間に設置され固定された設置部と、この設置部に接続されている支持部と、この支持部を軸中心として回動自在に接続されている腕部と、この腕部の先端部に、吊下部及び線部材を介して設けられた取り付け部とからなることを特徴とする請求項６に記載の真空チャンバ。
8. 複数の真空チャンバを備え、各真空チャンバのチャンバ部内で基板に対して所定の処理を行う成膜装置であって、
   各チャンバ部は、各チャンバ部の外壁面に着脱可能な補強部材を備え、
   前記補強部材が、前記外壁面に着脱可能に取り付けられたリブ部材であり、
   前記補強部材が、さらに前記外壁面に着脱可能に取り付けた板状の接合部材を備え、
   前記リブ部材が、接合部材を介して前記外壁面に設けられたことを特徴とする成膜装置。
9. 前記チャンバ部の外壁面が、チャンバ部の天井面、底面、及び他の真空チャンバが接続されていない側面であることを特徴とする請求項８に記載の成膜装置。

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