JP2008249964A - 表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法 - Google Patents
表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008249964A JP2008249964A JP2007090807A JP2007090807A JP2008249964A JP 2008249964 A JP2008249964 A JP 2008249964A JP 2007090807 A JP2007090807 A JP 2007090807A JP 2007090807 A JP2007090807 A JP 2007090807A JP 2008249964 A JP2008249964 A JP 2008249964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display substrate
- cleaning
- display
- carrier
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
【課題】表示基板の撓みによる表示基板同士の接触を効果的に防止する。
【解決手段】対向的に配置される左右一対の側板2を含み、各側板2の内面に表示基板PLの端部を保持する垂直方向に沿って延びる複数の凹溝2aが互いに平行として所定の間隔をもって形成されており、各側板2の対向する各凹溝2aにより複数枚の表示基板PLを多列状に保持して洗浄槽内に浸漬する表示基板洗浄用キャリア10において、側板2の少なくとも一方に、隣接して保持される表示基板PL間に向けて気体を噴出する気体噴出手段100を設ける。
【選択図】図2
【解決手段】対向的に配置される左右一対の側板2を含み、各側板2の内面に表示基板PLの端部を保持する垂直方向に沿って延びる複数の凹溝2aが互いに平行として所定の間隔をもって形成されており、各側板2の対向する各凹溝2aにより複数枚の表示基板PLを多列状に保持して洗浄槽内に浸漬する表示基板洗浄用キャリア10において、側板2の少なくとも一方に、隣接して保持される表示基板PL間に向けて気体を噴出する気体噴出手段100を設ける。
【選択図】図2
Description
本発明は、表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法に関し、さらに詳しく言えば、表示基板洗浄用キャリアに複数枚の表示基板を多列状に収納して同時に洗浄する際、その洗浄中から洗浄後にかけて隣接表示基板同士の密着を防止する技術に関するものである。
本明細書において、表示基板には、出発原材料としてのガラス基板から点灯表示可能な状態に組み立てられた表示パネル基板まで広く含まれる。さらに、表示パネル基板には、液晶表示パネル,有機ELパネル,プラズマディスプレイパネルなどが含まれる。
表示基板は多くの工程を経て製造されるが、その工程間搬送中や組立作業時に基板表面に異物が付着することがある。そこで、製造工程の適宜の工程で基板洗浄が行われるが、通常、その基板洗浄には、複数枚の表示基板を一括して洗浄するため、例えば特許文献1に記載されているような表示基板洗浄用キャリアが用いられる。その類例を図4により説明する。
洗浄される表示基板が液晶パネルPLであるとして、表示基板洗浄用キャリア1は、枠板3,3を介して対向的に配置される左右一対の側板2,2を備えている。各側板2の内面(対向面)には、液晶パネルPLの端部を保持する複数の凹溝2aが形成されている。
この例において、各凹溝2aは、等間隔配列として側板2の上端から下端近くにまで垂直に切り込まれている。
これにより、表示基板洗浄用キャリア1内に、複数枚の液晶パネルPLがそれぞれ一方の側板2の凹溝2aと他方の側板2の対向する凹溝2aとの間で互いに平行として多列状に保持され、図示しない洗浄槽内にキャリアごと浸漬されて一括洗浄が行われる。
ところで、液晶パネルPLを構成している基板が例えば0.1〜0.2mm程度にまで薄板化されている場合、洗浄中においても液晶パネルPLが容易に撓んで隣接するパネルと接触することがある。
そうすると、その接触部位に洗剤残りが発生し、洗浄槽からキャリアを引き上げる際に表示パネル同士が密着することがある。この密着状態は洗浄後においても維持されるため、これを強制的に剥離しようとすると、基板がきわめて薄いことからパネルが破損してしまう、という問題がある。
この問題は、凹溝2aの間隔を広げて液晶パネルPLが撓んでも隣接するパネルと接触しないようにすることにより回避することができる。
しかしながら、これによると、その分キャリアが大型になるため、例えば保管スペースなどの観点から好ましくない。これとは別に、キャリアの大きさを変えずに対応する場合には、その分パネルの収納枚数が少なくなるため、生産性の観点から好ましくない。
したがって、本発明の課題は、複数枚の表示基板をキャリア内に収納し一括洗浄を行うにあたって、キャリア内での表示基板の保持間隔を広げることなく、洗浄中および/または表示基板を洗浄槽から引き上げる際における表示基板の撓みによる表示基板同士の接触を効果的に防止することにある。
上記課題を解決するため、本発明には請求項1ないし3に記載の発明が含まれ、そのうちの請求項1に記載の発明は、対向的に配置される左右一対の側板を含み、上記各側板の内面に表示基板の端部を保持する垂直方向に沿って延びる複数の凹溝が互いに平行として所定の間隔をもって形成されており、上記各側板の対向する上記各凹溝により複数枚の上記表示基板を多列状に保持して洗浄槽内に浸漬する表示基板洗浄用キャリアにおいて、上記側板の少なくとも一方に、隣接して保持される上記表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段を備えていることを特徴としている。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1における上記気体噴出手段が上記各凹溝間に存在する縦リブ壁に設けられていることを特徴としている。
請求項3に記載の発明は、対向的に配置される左右一対の側板を含み、上記各側板の内面に表示基板の端部を保持する垂直方向に沿って延びる複数の凹溝が互いに平行として所定の間隔をもって形成されており、上記各側板の対向する上記各凹溝により複数枚の上記表示基板を多列状に保持して洗浄槽内に浸漬する表示基板洗浄用キャリアにおいて、上記左右一対の側板間には枠板が対向して配されており、該枠板の底部かつ枠板間には上記表示基板の下辺の中央部付近を支持する架橋部材が配されており、該架橋部材には上記表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段が設けられていることを特徴としている。
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の表示基板洗浄用キャリア内に、複数枚の上記表示基板を多列状に保持させ洗浄槽内に浸漬して上記各表示基板を同時に洗浄する表示基板洗浄方法において、上記表示基板の洗浄中および/または上記表示基板を上記洗浄槽から引き上げる際に、上記気体噴出手段を駆動し、隣接して保持されている上記表示基板間に向けて気体を噴出することを特徴としている。
本発明によれば、請求項1に記載されているように、表示基板洗浄用キャリアに含まれている側板の少なくとも一方に、隣接して保持される表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段が設けられ、また、請求項3に記載されているように、表示基板の下辺の中央部付近を支持する架橋部材に、隣接して保持される表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段が設けられ、その気体噴出手段が、請求項4に記載されているように、表示基板の洗浄中および/または表示基板を洗浄槽から引き上げる際に駆動されるようにしたことにより、表示基板洗浄用キャリア内での表示基板の保持間隔をことさら広げることなく、洗浄中および/または表示基板を洗浄槽から引き上げる際における表示基板の撓みによる表示基板同士の接触を効果的に防止することができる。
また、気体噴出手段を各凹溝間に存在する縦リブ壁に設けるようにした請求項2に記載の発明によれば、表示基板洗浄用キャリアの収納空間内に別途気体噴出用の配管を敷設することなく、隣接する表示基板間に向けて気体を噴出することができる。
次に、図1および図2により、本発明の実施形態について説明する。図1は本発明の表示基板洗浄用キャリア(単に「キャリア」ということがある。)の一例を示す図4と同様な斜視図,図2は本発明の要部を拡大して示す模式的な平面図,図3は図2のA−A線拡大断面図である。
なお、この実施形態の説明において、先の図3で説明した従来例と変更を要しない構成要素には同じ参照符号を用いる。また、被搬送物である表示基板を液晶パネルPLとしている。
図1に示すように、この表示基板洗浄用キャリア10においても、複数枚の液晶パネルPLを挿脱自在に保持するため、枠板3,3を介して対向的に配置される左右一対の側板2,2を備えている。
各側板2の内面(対向面)には、液晶パネルPLの端部を保持する複数の凹溝2aが等間隔配列で形成されている。
この例において、各凹溝2aは側板2の上端から下端近くにまで垂直に切り込まれ、凹溝2aの下端底部で液晶パネルPLを支持するようにしている。
別の例として、各凹溝2aを垂直方向に沿って側板2の上端から下端にかけて一連に形成し、側板2の下端側に液晶パネルPLの脱落を防止する図示しないストッパー板を添設してもよい。
各液晶パネルPLは、キャリア10内において、それぞれ一方の側板2の凹溝2aと他方の側板2の対向する凹溝2aとの間で垂直に立てられた状態で多列状に支持され、キャリア10ごと図示しない洗浄槽に浸漬されて洗浄されるが、本発明では、隣接して保持される液晶パネルPL間に向けて気体を噴出する気体噴出手段を備えている。
図2および図3を併せて参照して、気体噴出手段100の好ましい構成例について説明する。気体噴出手段100は、気体供給源側として、キャリア10に対して圧縮空気を供給するエアポンプPおよび電磁弁110と、その制御手段120とを備えている。キャリア10に供給する気体は、空気もしくは窒素ガスなどの不活性ガスが好ましい。
これに対して、キャリア10の各側板2側には、電磁弁110を介してエアポンプPと接続される幹配管130が設けられている。幹配管130は、各凹溝2aを横切る方向(水平方向)に延びている。
各凹溝2a間に存在する縦リブ壁2bには、図3に示すように、幹配管130から分岐された複数(この例では5本)の枝管140が縦方向に所定の間隔をもって配管されている。各枝管140の端部は気体噴出口としてキャリア10内に開口されている。
これにより、エアポンプPから送出される圧縮空気は、電磁弁110,幹配管130および枝配管140を介して各縦リブ壁2bから隣接して保持されている液晶パネルPL間に向けて噴出される。
制御手段120には、キャリア10を基板搬入・搬出位置から洗浄槽上に移動させる第1ステップ,洗浄槽内に浸漬する第2ステップ,洗浄槽から引き上げ液晶パネルPLを液切りして乾燥させる第3ステップ,乾燥後に基板搬入・搬出位置に戻す第4ステップを基本サイクルとするキャリア移動制御プログラムが書き込まれている。
制御手段120は、好ましくは上記第2ステップから上記第3ステップにかけて電磁弁110を開として、隣接配置されている液晶パネルPL間に圧縮空気を供給する。
これにより、液晶パネルPLの基板が薄板化され撓みやすい場合でも、洗浄中から引き上げ後の乾燥工程にかけて、その撓みが効果的に抑制され、液晶パネルPL同士の接触が防止される。
仮に、液晶パネルPL同士が接触したとしても洗剤残りが生じないため、液晶パネルPL同士が強固に密着することがく、容易に引きはがすことができる。
上記の実施形態では、左右両側の側板2から気体を噴出させるようにしているが、例えば液晶パネルPLのサイズが小さいような場合には、いずれか一方の側板2から気体を噴出させてもよい。
また、洗浄槽内に浸漬する第2ステップ時もしくは洗浄槽から引き上げ液晶パネルPLを液切りして乾燥させる第3ステップ時のいずれかのステップ時にのみ電磁弁110を開として気体を噴出させてもよい。
また、上記の実施形態では、側板2内に幹配管130を形成するとともに、縦リブ壁2b内に枝配管140を形成しているが、幹配管130を外付けパイプとし、その外付けパイプから気体噴出口を有するパイプを分岐させ、その分岐パイプを枝配管140として縦リブ壁2bに添わせてもよい。
また、図1に示す表示基板洗浄用キャリア10の両側板2,2間に配されている枠板3,3の底部かつ枠板間に、表示基板の下辺の中央部付近を支持する架橋部材を配してもよく、該架橋部材に上記表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段を設けておけば、表示基板の撓みによる表示基板同士の接触をより効果的に防止することができる。
10 表示基板洗浄用キャリア
2 側板
2a 凹溝
2b 縦リブ壁
3 枠板
100 気体噴出手段
110 電磁弁
120 制御手段
130 幹配管
140 枝配管
PL 液晶パネル
2 側板
2a 凹溝
2b 縦リブ壁
3 枠板
100 気体噴出手段
110 電磁弁
120 制御手段
130 幹配管
140 枝配管
PL 液晶パネル
Claims (4)
- 対向的に配置される左右一対の側板を含み、上記各側板の内面に表示基板の端部を保持する垂直方向に沿って延びる複数の凹溝が互いに平行として所定の間隔をもって形成されており、上記各側板の対向する上記各凹溝により複数枚の上記表示基板を多列状に保持して洗浄槽内に浸漬する表示基板洗浄用キャリアにおいて、
上記側板の少なくとも一方に、隣接して保持される上記表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段を備えていることを特徴とする表示基板洗浄用キャリア。 - 上記気体噴出手段が上記各凹溝間に存在する縦リブ壁に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の表示基板洗浄用キャリア。
- 対向的に配置される左右一対の側板を含み、上記各側板の内面に表示基板の端部を保持する垂直方向に沿って延びる複数の凹溝が互いに平行として所定の間隔をもって形成されており、上記各側板の対向する上記各凹溝により複数枚の上記表示基板を多列状に保持して洗浄槽内に浸漬する表示基板洗浄用キャリアにおいて、
上記左右一対の側板間には枠板が対向して配されており、該枠板の底部かつ枠板間には上記表示基板の下辺の中央部付近を支持する架橋部材が配されており、該架橋部材には上記表示基板間に向けて気体を噴出する気体噴出手段が設けられていることを特徴とする表示基板洗浄用キャリア。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の表示基板洗浄用キャリア内に、複数枚の上記表示基板を多列状に保持させ洗浄槽内に浸漬して上記各表示基板を同時に洗浄する表示基板洗浄方法において、
上記表示基板の洗浄中および/または上記表示基板を上記洗浄槽から引き上げる際に、上記気体噴出手段を駆動し、隣接して保持されている上記表示基板間に向けて気体を噴出することを特徴とする表示基板洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007090807A JP2008249964A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007090807A JP2008249964A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008249964A true JP2008249964A (ja) | 2008-10-16 |
Family
ID=39974987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007090807A Withdrawn JP2008249964A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008249964A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013053137A1 (zh) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板模组的包装体及液晶显示面板模组的包装方法 |
CN112993277A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-18 | 上海神力科技有限公司 | 用于石墨电极的挡板及包括该挡板的浸渍装置 |
CN114798544A (zh) * | 2022-03-21 | 2022-07-29 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 一种lcd-cog可调节式清洗篮具及使用方法 |
CN116000043A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-04-25 | 潍坊旭辉玻璃有限公司 | 玻璃清洗烘干机 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007090807A patent/JP2008249964A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013053137A1 (zh) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板模组的包装体及液晶显示面板模组的包装方法 |
CN112993277A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-18 | 上海神力科技有限公司 | 用于石墨电极的挡板及包括该挡板的浸渍装置 |
CN114798544A (zh) * | 2022-03-21 | 2022-07-29 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 一种lcd-cog可调节式清洗篮具及使用方法 |
CN114798544B (zh) * | 2022-03-21 | 2023-01-31 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 一种lcd-cog可调节式清洗篮具及使用方法 |
CN116000043A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-04-25 | 潍坊旭辉玻璃有限公司 | 玻璃清洗烘干机 |
CN116000043B (zh) * | 2023-03-23 | 2023-05-30 | 潍坊旭辉玻璃有限公司 | 玻璃清洗烘干机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8940101B2 (en) | Apparatus for cleaning substrate | |
KR101225312B1 (ko) | 프로세스 장치 | |
US9605797B2 (en) | Substrate loading device | |
KR20080008610A (ko) | 기판 처리장치 | |
KR102378350B1 (ko) | 기판 액 처리 장치 및 기판 액 처리 방법 | |
JP2008249964A (ja) | 表示基板洗浄用キャリアおよび表示基板洗浄方法 | |
US8308894B2 (en) | Substrate etching apparatus | |
JP5248455B2 (ja) | マスククリーニング装置 | |
US7730898B2 (en) | Semiconductor wafer lifter | |
JP2008098227A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007281342A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2013112880A (ja) | 陽極化成装置及びそれを備えた陽極化成システム並びに半導体ウエハ | |
WO2015163163A1 (ja) | ガラス板保持具、ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 | |
KR20060051344A (ko) | 기판의 처리 장치 | |
JP2008204996A (ja) | バッファ装置 | |
JP2007217276A (ja) | ガラス基板の薄板化装置 | |
JP2008093525A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP2008177460A (ja) | 基板の乾燥方法と乾燥装置 | |
KR101240959B1 (ko) | 에칭액 분사를 위한 노즐을 포함하는 에칭액 공급장치 및 유리기판 에칭 장치 | |
JP2006245486A (ja) | ストッカーの棚フレーム構造 | |
KR20080039367A (ko) | Tft-lcd용 글라스의 표면 식각장치 | |
KR101330319B1 (ko) | 분사유닛 및 이를 가지는 기판처리장치 | |
JP2013051267A (ja) | 槽キャリア及び基板処理装置 | |
KR20060071490A (ko) | 카세트 세정장치 | |
CN107564837A (zh) | 用于处理基板的装置和方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100601 |