KR20060071490A - 카세트 세정장치 - Google Patents

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KR20060071490A
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김용철
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예에 의한 카세트 세정장치는, 도어를 통해 카세트가 수용되며, 상기 카세트의 세정영역이 정의된 챔버가 구비된 카세트 세정장치에 있어서, 상기 카세트를 자신의 상면에 안착시켜 지지하고, 이를 회전시키는 턴테이블 어셈블리와; 상기 카세트 정면을 통해 카세트 내외로 이동가능하고, 순수(DI) 및 청정건조공기(CDA)를 분사하는 제 1노즐장치와; 상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 상기 DI 및 CDA를 분사하는 제 2노즐장치와; 상기 제 2노즐 장치의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 위치하여 CDA를 분사하는 보조 노즐장치가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 보조 노즐장치를 구비하여, 상기 평탄면에 고여 있는 DI를 완전 제거토록 함으로써, 카세트 세정 완료 후 도어 오픈 시 잔존 DI가 스플래시 됨을 방지하여 카세트 세정 및 건조 효율을 최대화 할 수 있다는 장점이 있다.
또한, DI 세정 후 DI 고임 현상을 챔버의 개조 없이 또한, Tact Time이 증가됨 없이 극복할 수 있게 된다.

Description

카세트 세정장치{cleaning apparatus for cassette}
도 1은 일반적인 기판저장용 카세트의 사시도.
도 2는 종래의 카세트 세정장치의 개략적인 구성을 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 카세트 세정장치의 개략적인 구성을 도시한 단면도.
도 4는 도 3에 도시된 카세트 세정장치의 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
20 : 챔버 28 : 도어
29 : 평탄면 52 : 제 1 노즐장치
54 : 제 2 노즐장치 56 : 제 3 노즐장치
58 : 보조 노즐장치
본 발명은 카세트 세정장치에 관한 것으로, 특히 세정장치의 도어 내측부에 보조 노즐장치가 구비되는 카세트 세정장치에 관한 것이다.
근래에 들어 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 액정표시장치(liquid crystal display), 플라즈마표시장치(plasma display panel), 전계방출표시장치(field emission display), 전기발광표시장치(electro luminescence display : ELD)와 같은 다양한 종류의 평판표시장치가 개발되었다.
이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 보유하고 있어 기존의 음극선관(Cathode Ray Tube: CRT)을 대체하는 새로운 디스플레이 장치(display device)의 주류를 형성하고 있는데, 특히 현재에는 화상표현 기본단위인 화소(pixel)를 매트릭스(matrix) 형상으로 배열하고, 스위칭소자를 사용하여 이들 각 화소를 독립적으로 제어하는 능동행렬방식(Active Matrix type)이 널리 사용된다. 이러한 평판표시장치의 제조공정은 기판을 대상으로 진행된다.
한편, 평판표시장치의 제조에 있어서 각 공정 별 고온이나 고압 또는 진공 등의 고유한 환경을 요구하는 경우가 대부분이고, 특히 기판은 제조공정 중 매우 청결한 작업환경에 놓여져야 한다.
따라서 평판표시장치의 제조 시스템은 통상 무인화된 자동 방식으로 구축되는 것이 일반적이며, 기판의 직접적인 처리공정을 수행하는 프로세스모듈(process module)과, 이들 프로세스모듈 사이에서 기판을 운반하는 트랜스퍼모듈(transfer module)로 구분될 수 있다.
이때 기판은 수 내지 수십 장 단위로 적재되어 트랜스퍼모듈에 의해 각 프로세스모듈을 순회하게 되는데, 이와 같이 다수의 기판을 수납하는 장비가 카세트(cassette)이다.
도 1은 일반적인 기판저장용 카세트(10)의 사시도로서, 간단히 내부로 기판 을 수용할 수 있도록 일면이 개구된 박스 형상을 가진다.
좀더 자세히, 일반적인 기판저장용 카세트는 입방체 형상으로, 임의로 서로 대응되는 면을 정면(1)과 배면(2), 상면(3)과 하면(4), 그리고 양 옆면(5, 6)이라 지칭하면, 정면(1)은 개구되어 기판이 반입 반출될 수 있는 입구 역할을 하고, 양 옆면(5, 6)의 내측 서로 마주보는 방향으로는 높이를 달리하여 차례로 대응 돌출된 다수의 걸림단(12)이 형성되어 있다.
이에 정면(1)을 통해 카세트(10) 내로 인입된 기판은 한 쌍의 서로 대응되는 걸림단(12)에 의해 양 가장자리가 떠 받혀져 수평을 유지한 상태로 복층 수납된다.
상술한 구성의 카세트(10) 역시 기판의 청결을 유지하기 위해 세정될 필요가 있는데, 이를 위해 도 2에 도시한 바와 같은 카세트 세정장치가 사용되고 있다.
도 2는 종래의 카세트 세정장치의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2를 참조하면, 종래의 카세트 세정장치는 챔버(20)와, 상기 챔버(20) 내부의 상단에 구비된 노즐(22) 및 상기 노즐의 구동을 위한 구동 실린더(24), 상기 챔버(20) 내부 하단에 구비되어 세정되는 카세트(10)를 회전시키는 턴테이블(26)이 포함되어 구성되어 있다.
이 때, 세정되는 카세트(10)는 스토퍼(11)가 아래로 향하게 즉, 기판이 수납되는 입구(13)가 위로 향하게 하여 챔버(20) 내에 유입되고, 상기 세정장치의 턴테이블(26)은 카세트의 스토퍼(11) 부분과 체결되어 회전하여 상기 카세트(10)를 회전시키게 된다.
또한, 상기 노즐(22)에서는 카세트(10)를 세정하기 위한 순수(純水, deionizer water, 이하 DI)와, 세정 후에 잔존하는 DI를 제거하기 위한 청정건조공기(Clean Dry Air, 이하 CDA)가 분사되는데, 이러한 노즐(22)은 상기 구동 실린더(24)에 의해 up/ down 하고, 360도 회전하면서 상기 카세트(30)의 구석구석을 세정하게 된다.
그러나, 이와 같은 종래의 카세트 세정장치에 의해 카세트를 세정하는 경우는, 카세트의 스토퍼(32) 부분이 아래에 놓여 있기 때문에 스토퍼(32) 부분의 슬롯에 묻은 DI 워터는 쉽게 제거되지 않아, 이를 제거하게 위해 장시간 CDA를 분사해야만 하며, 이에 의해 전체 공정의 Tact Time 단축이 어려워 지는 단점이 있다.
또한, 종래의 카세트 세정장치의 경우 챔버(20) 하단부에 있어서, 도시된 바와 같이 각 면의 가장자리 부분(29)은 상기 챔버(20)를 받치고 있는 지지대(미도시)와 접촉되도록 평탄한 면을 이루며, 나머지 부분은 배수를 위해 지면으로 기울어지게 설계되어 있다.
이에 따라 카세트 세정이 끝나고 도어(28)가 오픈될 때, 상기 도어 주변의 챔버 하단부 즉, 가장자리 부분(29)의 평탄면에 고여있던 DI가 도어 오픈에 의한 압력 차로 상기 카세트(10)에 스플래쉬(splash)됨으로써, 불완전하게 건조된 카세트가 공정에 투입될 수 있게 되는 문제가 발생된다.
본 발명은 카세트 세정장치에 있어서, 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 보조 노즐장치를 구비하여, 상기 평탄면에 고여 있는 DI를 완전 제거토록 함으로써, 카세트 세정 완료 후 도어 오픈 시 잔존 DI가 스플래시 됨을 방지하여 카세트 세정 및 건조 효율을 최대화 할 수 있는 카세트 세정장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의한 카세트 세정장치는, 도어를 통해 카세트가 수용되며, 상기 카세트의 세정영역이 정의된 챔버가 구비된 카세트 세정장치에 있어서, 상기 카세트를 자신의 상면에 안착시켜 지지하고, 이를 회전시키는 턴테이블 어셈블리와; 상기 카세트 정면을 통해 카세트 내외로 이동가능하고, 순수(DI) 및 청정건조공기(CDA)를 분사하는 제 1노즐장치와; 상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 상기 DI 및 CDA를 분사하는 제 2노즐장치와; 상기 제 2노즐 장치의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 위치하여 CDA를 분사하는 보조 노즐장치가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
여기서, 상기 보조 노즐장치는 상기 챔버를 받치고 있는 지지대와 접촉되어 평탄면을 이루는 챔버 도어 내측 하단부의 평탄면에 CDA를 분사하여 잔존하는 DI를 완전히 제거함을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 의한 카세트 세정장치는, 도어를 통해 카세트가 수용되며, 상기 카세트의 세정영역이 정의된 챔버가 구비된 카세트 세정장치에 있어서, 상기 카세트를 자신의 상면에 안착시켜 지지하고, 이를 회전시키는 턴테이블 어셈블리와; 상기 카세트 정면을 통해 카세트 내외로 이동가능하고, 순수(DI) 및 청정건조공기(CDA)를 분사하는 제 1노즐장치와; 상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 상기 DI 및 CDA를 분사하는 제 2노즐장치와; 상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 열풍을 분사하는 제 3노즐장치와; 상기 제 3노 즐 장치의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 위치하여 열풍을 분사하는 보조 노즐장치가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
여기서, 상기 보조 노즐장치는 상기 챔버를 받치고 있는 지지대와 접촉되어 평탄면을 이루는 챔버 도어 내측 하단부의 평탄면에 고온 가열된 열풍을 분사하여 잔존하는 DI를 완전히 제거함을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 카세트 세정장치의 개략적인 구성을 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 카세트 세정장치의 사시도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 카세트 세정장치는, 도어를 통해 카세트(10)가 수용될 수 있는 세정영역(A)이 정의된 챔버(20)가 구비된다.
이 때, 상기 카세트(10)는 정면(1)을 위로 한 채 세정영역(A) 내로 수용되는데, 상기 세정영역(A)에는 카세트(10)를 자신의 상면에 안착시켜 지지하며, 특히 회전이 가능한 턴테이블 어셈블리(30)와, 카세트(10) 정면(1)을 통해 카세트(10) 내외로 이동가능하고, 순수(純水, deionizer water, 이하 DI) 및 청정건조공기(Clean Dry Air, 이하 CDA)를 분사할 수 있는 제 1 노즐장치(52)와, 측방에서 카세트(10) 외면을 향해 DI 및 CDA를 분사하는 제 2 노즐장치(54), 그리고 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 3 노즐장치(56)를 포함한다.
상기 제 2노즐장치(54)는 챔버(20) 내의 모서리 영역에 하나 이상 구비되어 있으며, 상기 제 3 노즐장치(56)는 고온 가열된 열풍 대신 상기 제 1, 2 노즐장치와 같이 DI 및 CDA를 분사하는 구조로 이루어질 수도 있다.
본 발명은 측면에서 CDA를 분사하는 상기 제 2노즐 장치(54)의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어(28) 내측 가장지리 부분(29)의 평탄면의 일측에 위치하는 보조 노즐장치(58)를 구비하여, 상기 가장자리 부분(29) 평탄면에 고여 있는 DI를 완전 제거토록 함을 그 특징으로 한다.
단, 도 4에서는 제 1노즐장치(52)가 도시되지 않았으나, 이는 단순히 설명의 편의를 위함으로써 상기 제 1노즐장치는 챔버의 상측에 구비되어 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 카세트 세정장치의 챔버(20) 하단부에 있어서, 각 면의 가장자리 부분(29)은 상기 챔버(20)를 받치고 있는 지지대(51)와 접촉되도록 평탄한 면을 이루며, 나머지 부분은 배수를 위해 지면으로 기울어지게 설계되어 있다.
이에 의해 종래의 경우에는 앞서 설명한 바와 같이 카세트 세정이 끝나고 도어(28)가 오픈될 때, 상기 도어 주변의 챔버 하단부 즉, 평탄면(29)에 고여있던 DI가 도어 오픈에 의한 압력 차로 상기 카세트(10)에 스플래쉬(splash)됨으로써, 불완전하게 건조된 카세트가 공정에 투입되는 문제가 발생되었다.
본 발명은 이러한 문제를 극복하기 위하여 상기 챔버 도어(28) 내측 평탄면(29)의 일측에 보조 노즐장치(58)를 구비하여, 상기 평탄면(29)에 고여 있는 DI를 완전 제거토록 함으로써, 카세트 세정 완료 후 도어 오픈 시 잔존 DI가 스플래시 됨을 방지할 수 있으며, 이를 통해 상기 카세트 세정 및 건조 효율을 최대화 할 수 있게 되는 것이다.
상기 보조 노즐장치(58)는 상기 챔버 측면에서 CDA를 분사하는 상기 제 2노즐 장치(54)의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어(28) 내측 평탄면의 일측에 구비되는 것으로, 상기 제 1, 2 노즐장치(52, 54)에 의해 CDA가 분사될 때 동작하게 된다.
즉, 상기 보조 노즐장치(58)가 동작됨에 의해 상기 챔버(20)를 받치고 있는 지지대(미도시)와 접촉되어 평탄면을 이루는 챔버 도어 내측 하단부의 가장자리 부분에 잔존하는 DI를 완전히 제거할 수 있게 되는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 실시예로서 상기 보조 노즐장치(58)가 상기 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 3 노즐장치(56)의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 구비될 수 있으며, 상기 제 3 노즐장치(56)에 의해 고온 가열된 열풍이 분사될 때 동작하게 된다.
즉, 상기 보조 노즐장치(58)가 동작되어 상기 챔버(20)를 받치고 있는 지지대(미도시)와 접촉되어 평탄면을 이루는 챔버 도어 내측 하단부의 가장자리 부분에 고온 가열된 열풍을 분사하여 상기 면에 잔존하는 DI를 완전히 제거할 수도 있는 것이다.
이하, 본 발명의 실시예에 의한 카세트 세정장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저 세정영역(A) 내로 카세트(10)가 인입되어 턴테이블 어셈블리(30) 상에 안착되면 제 1 노즐장치(52)는 카세트(10) 내부로 인입되고, 제 1 및 제 2 노즐장 치(52, 54)는 각각 DI를 분사하여 워싱(washing)한 후 CDA를 분사하여 건조시킨다.
단, 본 발명의 실시예의 경우 상기 보조 노즐장치(58)가 제 2 노즐장치의 메인 배관과 연결되어 구성된 경우 상기 보조 노즐장치(58)를 통해 CDA가 분사됨으로써, 챔버 도어 내측 하단부의 가장자리 부분(29)에 잔존하는 DI를 완전히 제거할 수 있다.
이와 같은 과정에 있어서 턴테이블 어셈블리(30)는 회전하여 카세트(10)가 구석구석 세정될 수 있도록 하고, 제 1 노즐장치(52)는 상, 하로 승강되면서 DI 및 CDA를 분사하며, 특히 제 1 및 제 2 노즐장치(52, 54)가 CDA를 분사할 때 제 3 노즐장치(56)는 열풍을 분사하여 건조효율을 향상시킨다.
단, 본 발명의 다른 실시예의 경우 상기 보조 노즐장치(58)가 상기 제 3 노즐장치(56)의 메인 배관과 연결되어 구성된 경우 상기 보조 노즐장치를 통해 열풍이 분사됨으로써, 챔버 도어 내측 하단부의 가장자리(29) 부분에 잔존하는 DI를 완전히 제거할 수 있다.
이때 제 1 노즐장치(52)의 이동거리(L1)는 카세트(10) 정면(1) 상방에서부터 배면(2)에 근접한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 보조 노즐장치를 구비하여, 상기 평탄면에 고여 있는 DI를 완전 제거토록 함으로써, 카세트 세정 완료 후 도어 오픈 시 잔존 DI가 스플래시 됨을 방지하여 카세트 세정 및 건조 효율을 최대화 할 수 있다는 장점이 있다.
또한, DI 세정 후 DI 고임 현상을 챔버의 개조 없이 또한, Tact Time이 증가됨 없이 극복할 수 있게 된다.

Claims (8)

  1. 도어를 통해 카세트가 수용되며, 상기 카세트의 세정영역이 정의된 챔버가 구비된 카세트 세정장치에 있어서,
    상기 카세트를 자신의 상면에 안착시켜 지지하고, 이를 회전시키는 턴테이블 어셈블리와;
    상기 카세트 정면을 통해 카세트 내외로 이동가능하고, 순수(DI) 및 청정건조공기(CDA)를 분사하는 제 1노즐장치와;
    상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 상기 DI 및 CDA를 분사하는 제 2노즐장치와;
    상기 제 2노즐 장치의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 위치하여 CDA를 분사하는 보조 노즐장치가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2노즐장치는 챔버 내의 모서리 영역에 하나 이상 구비됨을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버의 하단부는 그 가장자리 영역이 상기 챔버를 받치고 있는 지지대 와 접촉되도록 평탄한 면을 이루고, 나머지 부분은 배수를 위해 지면으로 기울어져 있음을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 보조 노즐장치는 상기 챔버를 받치고 있는 지지대와 접촉되어 평탄면을 이루는 챔버 도어 내측 하단부의 평탄면에 CDA를 분사하여 잔존하는 DI를 완전히 제거함을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 고온 가열된 열풍을 분사하는 제 3노즐장치가 더 구비됨을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  6. 도어를 통해 카세트가 수용되며, 상기 카세트의 세정영역이 정의된 챔버가 구비된 카세트 세정장치에 있어서,
    상기 카세트를 자신의 상면에 안착시켜 지지하고, 이를 회전시키는 턴테이블 어셈블리와;
    상기 카세트 정면을 통해 카세트 내외로 이동가능하고, 순수(DI) 및 청정건조공기(CDA)를 분사하는 제 1노즐장치와;
    상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 상기 DI 및 CDA를 분사하는 제 2노즐장치와;
    상기 챔버 내 측부에서 상기 카세트 외면으로 열풍을 분사하는 제 3노즐장치와,
    상기 제 3노즐 장치의 메인 배관과 연결되고, 상기 챔버 도어 내측 평탄면의 일측에 위치하여 열풍을 분사하는 보조 노즐장치가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 챔버의 하단부는 그 가장자리 영역이 상기 챔버를 받치고 있는 지지대와 접촉되도록 평탄한 면을 이루고, 나머지 부분은 배수를 위해 지면으로 기울어져 있음을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 보조 노즐장치는 상기 챔버를 받치고 있는 지지대와 접촉되어 평탄면을 이루는 챔버 도어 내측 하단부의 평탄면에 고온 가열된 열풍을 분사하여 잔존하는 DI를 완전히 제거함을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
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