KR102117353B1 - 약액공급유닛 및 이를 가지는 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 상에 약액을 공급하는 장치를 제공한다. 약액공급유닛은 약액이 채워진 약액저장부, 상기 약액저장부로부터 약액을 제공받아 약액을 분사하는 노즐, 상기 노즐 및 약액저장부를 연결하며, 내부에 공급유로가 형성되는 아암, 그리고 상기 노즐로 공급되는 약액을 가열하는 가열부재를 포함하되, 상기 가열부재는 내부에 버퍼공간을 제공하며, 상기 아암에 결합되는 몸체 및 상기 버퍼공간에 제공된 약액을 가열하도록 상기 몸체를 가열하는 히터를 포함하되, 상기 버퍼공간은 상기 공급유로와 통하도록 제공된다. 이로 인해 약액이 노즐로 제공되는 동안 온도를 유지할 수 있다.

Description

약액공급유닛 및 이를 가지는 기판처리장치{Unit for supplying chemical and Apparatus for treating substrate with the unit}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 상에 약액을 공급하는 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 또는 평판 표시 디스플레이 제조 공정에는 사진, 식각, 애싱, 박막 증착, 그리고 세정 등 다양한 공정들이 수행된다. 이들 각각의 공정의 진행 전 또는 후 단계에는 공정들이 수행되는 과정에서 발생되는 각종 오염물을 제거하기 위한 세정공정이 수행된다.
일반적으로 세정공정으로는 기판 상에 케미칼 또는 린스액과 같은 약액을 이용하여 기판 상에 잔류된 오염물을 제거한다. 도1은 세정공정을 수행하는 일반적인 약액공급유닛을 보여주는 단면도이다. 도1을 참조하면, 액 공급유닛(2)은 노즐(8) 및 이를 지지하는 아암(4)을 포함한다. 아암(4)의 내부에는 약액이 제공되는 공급유로(6)가 형성된다. 노즐(4)은 공급유로(6)로부터 약액을 제공받아 기판 상에 약액을 공급한다. 약액은 공급유로(6)로 공급되기 전에 기설정 온도로 가열되고, 그 가열된 상태로 공급유로(6) 및 노즐(8)로 공급된다.
그러나 약액은 공급유로(6) 및 노즐(8)로 이동되는 동안에 그 온도가 낮아진다. 이로 인해 공급유로(6)에 제공된 약액을 가열하는 가열부재(7)가 제공된다. 가열부재(7)는 아암(4)의 외측면을 감싸도록 제공되며, 아암(4)의 외측에 순환유로(5)가 형성되도록 제공된다. 순환유로(5)에는 가열된 순환수가 공급되어 약액이 노즐(4)에 도달할 때까지 그 온도를 유지시킨다. 그러나 순환수로부터 발생된 열을 약액으로 전달하기 위해서는 많은 시간이 필요하다. 또한 가열부재(7)는 아암(4)과 유사한 형상을 가져야 하며, 그 크기가 매우 커 구조가 복잡하다.
본 발명은 새로운 구조의 가열장치를 가지는 약액공급유닛 및 기판처리장치를 제공하고자 한다.
본 발명은 약액이 노즐로 제공되는 동안 온도를 유지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 약액을 빠르게 가열할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 기판 상에 약액을 공급하는 장치를 제공한다. 약액공그유닛은 약액이 채워진 약액저장부, 상기 약액저장부로부터 약액을 제공받아 약액을 분사하는 노즐, 상기 노즐 및 약액저장부를 연결하며, 내부에 공급유로가 형성되는 아암, 그리고 상기 노즐로 공급되는 약액을 가열하는 가열부재를 포함하되, 상기 가열부재는 내부에 버퍼공간을 제공하며, 상기 아암에 결합되는 몸체 및 상기 버퍼공간에 제공된 약액을 가열하도록 상기 몸체를 가열하는 히터를 포함하되, 상기 버퍼공간은 상기 공급유로와 통하도록 제공된다.
상기 가열부재는 상기 버퍼공간에 공급된 약액의 유로의 길이를 길게 하는 플레이트를 더 포함할 수 있다. 상기 플레이트는 상기 버퍼공간에서 상기 몸체에 고정결합될 수 있다. 상기 플레이트는 복수 개로 제공되며, 일부는 상기 몸체의 일측에 위치되고, 다른 일부는 상기 몸체의 타측에 위치될 수 있다. 상기 가열부재는 상기 아암에서 상기 노즐과 인접하게 위치될 수 있다. 상기 몸체는 그 길이방향의 수직 단면이 다각형인 통 형상으로 제공되며, 상기 히터는 상기 몸체의 일면들 각각에 위치될 수 있다. 선택적으로 상기 몸체는 원통 형상으로 제공되며, 상기 히터는 상기 몸체의 외측면을 감싸도록 제공될 수 있다.
상기 약액공급유닛을 가지는 기판처리장치는 내부에 처리공간을 제공하는 하우징, 상기 처리공간에서 기판을 지지하는 스핀헤드, 그리고 상기 스핀헤드에 지지된 기판 상에 약액을 공급하는 약액공급유닛을 포함하되, 상기 약액공급유닛은 내부에 약액이 공급되는 공급유로가 형성되는 아암, 상기 공급유로로부터 약액을 제공받도록 상기 아암에 결합되는 노즐, 그리고 상기 노즐로 공급되는 약액을 가열하는 가열부재를 포함하되, 상기 가열부재는 내부에 버퍼공간을 제공하며, 상기 아암에 결합되는 몸체 및 상기 버퍼공간에 제공된 약액을 가열하도록 상기 몸체를 가열하는 히터를 포함하되, 상기 버퍼공간은 상기 공급유로와 통하도록 제공된다.
상기 몸체는 그 길이방향의 수직 단면이 다각형인 통 형상으로 제공되며, 상기 히터는 상기 몸체의 일면들 각각에 위치될 수 있다. 선택적으로 상기 몸체는 원통 형상으로 제공되며, 상기 히터는 상기 몸체의 외측면을 감싸도록 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 가열부재는 아암에서 노즐과 인접하게 위치되므로, 약액이 노즐로 제공되는 동안 온도를 유지할 수 있다.
또한 본 발명은 가열부재는 버퍼공간에 위치된 약액을 직접 가열하므로, 약액을 빠르게 가열할 수 있다.
도1은 세정공정을 수행하는 일반적인 약액공급유닛을 보여주는 단면도이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다.
도3은 도2의 기판처리설비의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도4는 도3의 약액공급유닛을 보여주는 단면도이다.
도5는 도4의 가열부재의 몸체를 보여주는 사시도이다.
도6은 도5의 다른 실시예에 따른 가열부재의 몸체를 보여주는 사시도이다.
도7은 도5의 또 다른 실시예에 따른 가열부재의 몸체를 보여주는 사시도이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
이하, 도2 내지 도7을 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다. 도2를 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정처리모듈(20)을 가진다. 인덱스모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.
로드포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정처리모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송챔버(240)의 양측에는 각각 공정챔버(260)들이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정챔버(260)들은 이송챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정챔버(260)들이 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 마주보는 면 및 이송챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
공정챔버(260)는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판처리장치(300)가 제공된다. 기판처리장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정챔버(260) 내의 기판 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)들은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.
도3은 도2의 기판처리설비의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다. 도3을 참조하면, 기판처리장치(300)는 하우징(320), 스핀헤드(340), 승강유닛(360), 그리고 약액공급유닛(400)를 포함한다.
하우징(320)은 내부에 처리공간을 제공한다. 하우징(320)은 상부가 개방된 통 형상을 가진다. 하우징(320)은 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,326)은 공정에 사용된 약액들 중 서로 상이한 약액을 회수한다. 내부회수통(322)은 스핀헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부회수통(326)은 내부회수통(326)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a) 및 내부회수통(322)과 외부회수통(326)의 사이공간(326a)은 각각 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)으로 약액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 일 예에 의하면, 각각의 유입구는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다.
스핀헤드(340)는 공정 진행 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 스핀헤드(340)는 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 구동부(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다.
지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.
척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 스핀헤드(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기위치와 지지위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 스핀헤드(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀(346)은 지지위치에 위치된다. 지지위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.
승강유닛(360)은 하우징(320)을 상하 방향으로 직선이동시킨다. 하우징(320)이 상하로 이동됨에 따라 스핀헤드(340)에 대한 하우징(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 하우징(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 놓이거나, 스핀헤드(340)로부터 들어올려 질 때 스핀헤드(340)가 하우징(320)의 상부로 돌출되도록 하우징(320)은 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 약액의 종류에 따라 약액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 하우징(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강유닛(360)은 스핀헤드(340)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
약액공급유닛(400)은 기판(W) 상으로 약액들을 공급한다. 약액공급유닛(400)은 복수 개로 제공된다. 각각의 약액공급유닛(400)은 서로 상이한 약액을 공급한다. 예컨대, 약액은 케미칼, 린스액, 그리고 유기용제일 수 있다. 케미칼은 황산(H2SO4), 질산(HNO3), 그리고 암모니아(NH3) 등 강산의 액일 수 있다. 린스액은 탈이온수일 수 있다. 그리고 유기용제는 린스액에 비해 표면장력이 낮은 이소프로필 알코올(IPA)액일 수 있다. 약액공급유닛(400)은 기판(W) 상으로 약액들을 공급한다. 약액공급유닛(400)은 복수 개로 제공된다. 각각의 약액공급유닛(400)은 서로 상이한 약액을 공급한다. 예컨대, 약액은 케미칼, 린스액, 그리고 유기용제일 수 있다. 케미칼은 황산(H2SO4), 질산(HNO3), 그리고 암모니아(NH3) 등 강산의 액일 수 있다. 린스액은 탈이온수일 수 있다. 그리고 유기용제는 린스액에 비해 표면장력이 낮은 이소프로필 알코올(IPA)액일 수 있다.
도4는 도3의 약액공급유닛을 보여주는 단면도이다. 도4를 참조하면, 각각의 약액공급유닛(400)은 지지축(410), 아암(430), 노즐(440), 그리고 가열부재(460)를 포함한다. 지지축(410)은 하우징(320)의 일측에 배치된다. 지지축(410)은 그 길이방향이 상하방향으로 제공되는 로드 형상을 가진다. 지지축(410)은 구동부재(420)에 의해 회전 및 승강운동이 가능하다. 지지축(410)의 회전에 의해 노즐(440)은 공정위치 및 대기위치로 이동된다. 여기서 공정위치는 노즐(440)이 하우징(320)의 상부에 위치되는 위치이고, 대기위치는 하우징(320)의 상부를 벗어난 위치이다. 선택적으로 지지축(410)은 구동부재(420)에 의해 수평방향으로 직선이동 및 승강운동할 수 있다.
아암(430)은 노즐(440)을 지지한다. 아암(430)은 지지축(410) 및 노즐(440)을 서로 간에 연결시킨다. 아암(430)은 그 길이방향이 수평방향을 향하도록 제공된다. 아암(430)의 일단은 지지축(410)에 결합되고, 타단 저면에는 노즐(440)이 고정 결합된다. 아암(430)의 내부에는 공급유로(431)가 형성된다. 약액저장부(미도시)에 저장된 약액은 공급유로(431)에 제공된다. 공급유로(431)에 제공된 약액은 노즐(440)로 공급된다. 노즐(440)은 공급유로(431)로부터 제공된 약액을 기판(W) 상에 분사한다. 노즐(440)의 저면에는 약액이 분사되는 분사구가 형성된다.
가열부재(460)는 공급유로(431)에 제공된 약액을 기설정 온도로 가열한다. 가열부재(460)는 약액의 온도가 기설정 온도 이하로 떨어지지 않도록 그 온도를 유지시킨다. 도시되지 않았지만, 약액은 약액저장부에서 기설정 온도 이상으로 1차 가열되고, 노즐(440)로 공급되기 전 가열부재(460)에 의해 2차 가열될 수 있다.
도5는 도4의 가열부재의 몸체를 보여주는 사시도이다. 도5를 참조하면, 가열부재(460)는 몸체(462), 히터(464), 그리고 플레이트(466)를 포함한다. 몸체(462)는 그 일단 및 타단이 개방된 통 형상을 가지도록 제공된다. 몸체(462)는 그 길이방향이 아암(430)과 평행한 방향을 향하도록 제공된다. 몸체(462)의 내부에는 버퍼공간(463)이 형성된다. 몸체(462)는 버퍼공간(463)과 공급유로(431)가 서로 통하도록 아암(430)에 결합된다. 몸체(462)는 아암(430)에서 노즐(440)에 인접하게 위치된다. 일 예에 의하면, 몸체(462)는 그 길이방향과 수직한 단면이 사각의 형상을 가지도록 제공될 수 있다. 몸체(462)는 쿼즈(Quartz) 재질로 제공될 수 있다.
히터(464)는 버퍼공간(463)에 제공된 약액이 가열되도록 몸체(462)를 가열한다. 히터(464)는 발열패턴(464)으로 제공될 수 있다. 발열패턴(464)은 몸체(462)의 외측면에 제공된다. 발열패턴(464)은 외부의 전원(468)으로부터 전력을 제공받아 몸체(462)를 가열할 수 있다. 일 예에 의하면, 발열패턴(464)은 몸체(462)의 4 면들 각각에 설치되어 몸체(462)를 가열할 수 있다. 발열패턴(464)은 지그재그 형상을 가지도록 제공될 수 있다.
다시 도4를 참조하면, 플레이트(466)는 버퍼공간(463) 내에 약액의 유로를 길게 한다. 플레이트(466)는 복수 개로 제공된다. 플레이트(466)는 몸체(462)에 비해 작은 직경을 가지도록 제공된다. 각각의 플레이트(466)는 버퍼공간(463)에서 몸체(462)에 고정결합된다. 일 예에 의하면, 제1플레이트(466)는 몸체(462)의 일측면에 설치되고, 제2플레이트(466)는 몸체(462)의 타측면에 설치될 수 있다. 일측면 및 타측면은 서로 대향되는 내측면으로 제공될 수 있다 이로 인해 약액은 제1플레이트(466)와 타측면의 틈 사이로 흐르고, 제2플레이트(466)와 일측면 사이로 흘러 그 유로를 길게될 수 있다.
상술한 실시예에서 몸체(462)는 그 수직 단면이 사각형을 가지는 통 형상으로 제공되는 것으로 설명하였다. 그러나 몸체(462)는 그 수직 단면이 원형을 가지는 통 형상으로 제공될 수 있다. 도 6을 참조하면, 몸체(462)는 원통 형상으로 제공되고, 발열패턴(464)은 몸체(462)를 감싸는 나선형 형상으로 제공될 수 있다.
또한 도7과 같이, 몸체(462)는 그 수직 단면이 삼각형을 가지는 통 형상으로 제공될 수 있다. 몸체(462)의 3 면 각각에는 발열패턴(464)이 위치될 수 있다.
상술한 실시예에는 몸체(462)의 수직 단면이 삼각, 사각, 그리고 원형을 가지는 것으로 설명하였으나, N각형(N은 5 이상의 자연수)으로 제공될 수 있다.
430: 아암 431: 공급유로
440: 노즐 460: 가열부재
462: 몸체 463: 버퍼공간
464: 히터

Claims (10)

  1. 약액이 채워진 약액저장부와;
    상기 약액저장부로부터 약액을 제공받아 약액을 분사하는 노즐과;
    상기 노즐 및 약액저장부를 연결하며, 내부에 공급유로가 형성되는 아암과;
    상기 노즐로 공급되는 약액을 가열하는 가열부재를 포함하되,
    상기 가열부재는,
    내부에 버퍼공간을 제공하며, 상기 아암에 결합되는 몸체와;
    상기 버퍼공간에 제공된 약액을 가열하도록 상기 몸체를 가열하는 히터와;
    상기 버퍼공간에 공급된 약액의 유로의 길이를 길게 하는 플레이트를 포함하되,
    상기 버퍼공간은 상기 공급유로와 통하도록 제공되는 약액공급유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트는 상기 버퍼공간에서 상기 몸체에 고정결합되는 약액공급유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 플레이트는 복수 개로 제공되며, 일부는 상기 몸체의 일측에 위치되고, 다른 일부는 상기 몸체의 타측에 위치되는 약액공급유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가열부재는 상기 아암에서 상기 노즐과 인접하게 위치되는 약액공급유닛.
  6. 제1항, 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 몸체는 그 길이방향의 수직 단면이 다각형인 통 형상으로 제공되며,
    상기 히터는 상기 몸체의 일면들 각각에 위치되는 약액공급유닛.
  7. 제1항, 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 몸체는 원통 형상으로 제공되며,
    상기 히터는 상기 몸체의 외측면을 감싸도록 제공되는 약액공급유닛.
  8. 내부에 처리공간을 제공하는 하우징과;
    상기 처리공간에서 기판을 지지하는 스핀헤드와;
    상기 스핀헤드에 지지된 기판 상에 약액을 공급하는 약액공급유닛을 포함하되,
    상기 약액공급유닛은,
    내부에 약액이 공급되는 공급유로가 형성되는 아암과;
    상기 공급유로로부터 약액을 제공받도록 상기 아암에 결합되는 노즐과;
    상기 노즐로 공급되는 약액을 가열하는 가열부재를 포함하되,
    상기 가열부재는,
    내부에 버퍼공간을 제공하며, 상기 아암에 결합되는 몸체와;
    상기 버퍼공간에 제공된 약액을 가열하도록 상기 몸체를 가열하는 히터와;
    상기 버퍼공간에 공급된 약액의 유로의 길이를 길게 하는 플레이트를 포함하되,
    상기 버퍼공간은 상기 공급유로와 통하도록 제공되는 기판처리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 몸체는 그 길이방향의 수직 단면이 다각형인 통 형상으로 제공되며,
    상기 히터는 상기 몸체의 일면들 각각에 위치되는 기판처리장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 몸체는 원통 형상으로 제공되며,
    상기 히터는 상기 몸체의 외측면을 감싸도록 제공되는 기판처리장치.
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