WO2007043159A1 - プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム - Google Patents

Description

明 細 書

プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム

技術分野

[0001] 本発明は、プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造するこ とが可能なプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムに関する。

背景技術

[0002] 本願出願人はこれまで、プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムに関 し、部分的ながら、例えば特許文献 1〜5に開示されているような自動化技術を各種 出願している。

特許文献 1 :特開 2002— 175758号公報

特許文献 2：特開 2002— 324486号公報

特許文献 3 :特開 2003— 123648号公報

特許文献 4：特開 2003 - 141994号公報

特許文献 5 :特開 2003— 146409号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] 従来のプラズマディスプレイパネル等のパネルの製造システムにあっては、上記特 許文献 1〜5などに基づいて、部分的な自動化が達成されているけれども、組立材料 である基板や排気管の搬入から、カートへの搭載と搭載に伴う基板への排気管の配 置、その後の熱処理炉内での加熱処理および排気処理の後の、排気管の封止'切 断処理、そして製品化されたパネルの搬出等、これらの各種作業を一貫した自動制 御の下に一連に行うことが可能な製造システムの案出が望まれて 、た。

[0004] すなわち、従来は、基板等のカートへの搭載から、製品化されたパネルの搬出まで を一貫した自動制御にて連続的に製造することができるシステムは存在せず、通常 は手動によってセッティングを行うバッチ式システムであり、そして殊に、製造プロセス にお 、て基板がカート上で相対的な変位を生じることが多々あって、排気管と基板と の相対位置を固定維持することが困難であり、このために全自動化を達成することが できず、結局、歩留まりの改善や省力化、量産化の面において限界があった。

[0005] 本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、プラズマディスプレイ パネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することが可能なプラズマディスプレイパ ネル等のパネル製造システムを提供することを目的とする。 課題を解決するための手段

[0006] 本発明に力かるプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムは、閉ループ 状に形成された循環経路と、該循環経路上を、走行'停止を繰り返しつつ順次に移 動する複数のカートと、これらカートに設けられ、重ね合わされた少なくとも一組の一 対の基板が搭載される基板搭載部と、これらカートに設けられ、排気管が上記一対の 基板の一方に対面するようにして着脱自在に装着される排気管装着部と、これらカー トに設けられ、上記排気管装着部に接続されて上記排気管を介して排気処理を行う 排気装置と、上記循環経路に設備され、走行する上記カート上の少なくとも一組の上 記一対の基板相互の接合および上記排気管の該基板への接合のために熱処理を 行うとともに、該カートの上記排気装置により該基板間力もの排気処理が行われる熱 処理炉と、上記循環経路に、上記カートの走行方向に沿って上記熱処理炉と隣接さ せて設備された積み卸し部と、該積み卸し部に、重ね合わせた上記一対の基板や上 記排気管を搬入する搬入系と、上記積み卸し部に設けられ、制御情報に基づいて動 作されて、上記熱処理炉に装入される上記カートに対して、上記排気管装着部およ び上記基板搭載部への上記排気管および上記一対の基板の供給を行うとともに、該 熱処理炉から抽出された該カートに対して、該基板と接合されている該排気管の封 止'切断および切断後に残留する該排気管の撤去と、該排気管が切断されて完成さ れたパネルの荷下ろしを行う作業ロボットと、上記積み卸し部から上記パネルを搬出 する搬出系と、これらカート、排気装置、熱処理炉、搬入系、作業ロボット、並びに搬 出系を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。

[0007] 前記カートは、特にプラズマディスプレイパネルを製造する場合には、排気処理後 であって前記排気管の封止'切断の前に、前記排気管装着部の該排気管を介して、 前記一対の基板間に放電ガスを注入するための放電ガス供給装置を備えることを特 徴とする。 [0008] 前記排気装置は、排気ポンプと、排気すべく開閉自在に開放される排気バルブと、 前記一対の基板間圧力が設定圧力に達したことを検出して上記排気ノ レブを閉止 する排気バルブコントローラとを備えることを特徴とする。

[0009] 前記放電ガス供給装置は、放電ガス供給源と、該放電ガス供給源から前記排気管 へ放電ガスを供給すべく開閉自在に開放される供給バルブと、前記一対の基板間圧 力が設定圧力に達したことを検出して上記供給バルブを閉止する供給バルブコント ローラとを備えることを特徴とする。

[0010] 前記各カート毎に走行 ·停止操作を行うことが可能な駆動機構を備えるとともに、停 止した上記カートを前記循環経路に対して固定状態とするために、該カートに係脱 自在に係合するロック装置が備えられることを特徴とする。

[0011] 前記制御手段は、少なくとも一組の前記一対の基板の前記基板搭載部への搭載 操作と同時に一方の該基板に前記排気管を対面させる組み立てを完了するために 、該排気管を前記排気管装着部に装着した後に、上記一対の基板を上記基板搭載 部に搭載するように前記作業ロボットを制御することを特徴とする。

[0012] 前記制御手段は、自動制御で前記排気管を前記搬入系から前記カートの前記排 気管装着部に供給するために、該カートの実停止位置情報および該排気管装着部 の該排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報およ び実装着位置情報に基づき、前記作業ロボットによる排気管供給動作の制御情報を 出力する供給動作設定手段を備えることを特徴とする。

[0013] 前記供給動作設定手段は、予め設定されて!、る前記カートの基準停止位置情報 に基づき実停止位置情報を画像情報として取得し、基準停止位置に対する実停止 位置の偏差力 上記カートの停止位置を修正し、予め設定されて 、るカート停止位 置からの前記排気管装着部の基準設置位置情報に基づき実設置位置情報を画像 情報として取得し、基準設置位置に対する実設置位置の偏差カゝら上記排気管装着 部の設置位置を修正し、前記排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、予 め設定されている上記排気管の基準装着位置に対する実装着位置の偏差力 該排 気管の装着位置を修正し、修正した修正供給動作を前記作業ロボットによる排気管 供給動作の制御情報として出力することを特徴とする。 [0014] 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記搬入系か ら取り出すために、取り出し待機位置における該排気管の実待機状態情報を画像情 報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準待機状態情報に対する実待 機状態情報の偏差に基づ 、て取り出し動作を修正し、修正した修正取り出し動作を 制御情報として出力する排気管取り出し動作修正手段を備えることを特徴とする。

[0015] 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記排気管装 着部に装着するために、該作業ロボットによる該排気管の実把持状態情報を画像情 報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準把持状態情報に対する実把 持状態情報の偏差に基づ 、て装着動作を修正し、修正した修正装着動作を制御情 報として出力する排気管装着動作修正手段を備えることを特徴とする。

[0016] 前記排気管装着部は、前記排気装置に連通させて形成され、前記排気管を上向き に装着するための装着孔と、該装着孔に設けられ、上記排気管に接離可能に圧接さ れて該排気管の周囲を気密にシールする環状シールとを備えることを特徴とする。

[0017] 前記環状シールの状態変化にかかわらず常に、前記排気管を上方力 搭載される 前記一対の基板の一方に圧接させるために、前記排気管装着部を上下方向に移動 自在とする上下スライド機構を備えるとともに、上記排気管装着部を上方へ向力つて 付勢する付勢手段を備えたことを特徴とする。

[0018] 前記基板搭載部には、複数の仕切部によって、少なくとも一組の前記一対の基板 を個別に装入する基板装入用空間が形成されるとともに、前記制御手段は、自動制 御で前記作業ロボットにより上記各一対の基板を上記基板搭載部へ搭載するために 、上記基板装入用空間の寸法を画像情報として取得し、取得された寸法情報に基づ いて、上記一対の基板の上記基板装入用空間への装入の可否の制御情報を出力 する装入操作判定手段を備えることを特徴とする。

[0019] 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記搬入系から供給される少 なくとも一組の前記一対の基板の通気孔を前記カートの前記排気管装着部の前記 排気管に合致させるために、該排気管装着部に装着された該排気管の中心位置情 報および該一対の基板の搭載待機位置における該通気孔の中心位置情報を画像 情報として取得し、これら中心位置情報を用いて、予め上記作業ロボットに設定され ている上記一対の基板を搭載待機位置から上記基板搭載部へ供給する基準搭載動 作による上記排気管と上記通気孔との中心位置の誤差を算出し、誤差に基づいて修 正した修正搭載動作を制御情報として出力する搭載動作修正手段を備えることを特 徴とする。

[0020] 前記基板搭載部は少なくとも一組の前記一対の基板を複数箇所で個々に支持す る複数のサポートを備え、これら複数のサポートのうち、前記排気管に近接する少なく とも一つの近接位置サポートを除く他の遠隔位置サポートは、上記一対の基板を、該 近接位置サポートに比して相対移動し易く支持することを特徴とする。

[0021] 前記遠隔位置サポートは揺動可能であることを特徴とする。

[0022] 前記遠隔位置サポートは、転動軸心が前記排気管の中心位置方向と直交させて 配置され、その上に前記一対の基板を支持するローラ機構で構成されることを特徴と する。

[0023] 前記制御手段による自動制御で二つ割りに開閉自在に作動され、前記排気管の 封止 '切断を行うために閉じられて該排気管周囲を取り囲むヒータを備えたことを特 徴とする。

[0024] 前記制御手段による自動制御で作動され、前記排気管の封止，切断を行うために、 該排気管を溶融させるパーナおよび該排気管を延伸させるベく前記排気管装着部 を下降させる下降手段が備えられることを特徴とする。

[0025] 前記制御手段は、自動制御で前記パネルを前記カートの前記基板搭載部力 前 記搬出系に荷下ろしするために、該カートの実停止位置情報および該パネルの実搭 載位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実搭載位置情 報に基づき、前記作業ロボットによる上記パネルの荷下ろし動作の制御情報を出力 する荷下ろし動作設定手段を備えることを特徴とする。

発明の効果

[0026] 本発明に力かるプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムにあっては、 プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することができる。 発明を実施するための最良の形態

[0027] 以下に、本発明に係るプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムの好適 な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態に係るプラズマ ディスプレイパネル等のパネル製造システムは概略的には図 1〜図 4に示すように、 閉ループ状に形成された循環経路 1と、循環経路 1上を、走行 ·停止を繰り返しつつ 順次に移動する複数のカート 2と、これらカート 2に設けられ、重ね合わされた少なくと も一組の一対の基板 3, 3が搭載される基板搭載部 4と、これらカート 2に設けられ、排 気管 5がー対の基板 3の一方に対面するようにして着脱自在に装着される排気管装 着部 6と、これらカート 2に設けられ、排気管装着部 6に接続されて排気管 5を介して 排気処理を行う排気装置 7と、循環経路 1に設備され、走行するカート 2上の少なくと も一組の一対の基板 3相互の接合および排気管 5の基板 3への接合のために熱処理 を行うとともに、カート 2の排気装置 7により排気管 5を介して一対の基板 3間からの排 気処理が行われる熱処理炉 8と、循環経路 1に、カート 2の走行方向に沿って熱処理 炉 8と隣接させて設備された積み卸し部 9と、積み卸し部 9に、重ね合わせた一対の 基板 3や排気管 5を搬入する搬入系としての基板搬入用コンベア 10および排気管搬 入用コンベア 11と、積み卸し部 9に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、熱処 理炉 8に装入されるカート 2に対して、排気管装着部 6および基板搭載部 4への排気 管 5および一対の基板 3の供給を行うとともに、熱処理炉 8から抽出されたカート 2に 対して、基板 3と接合されている排気管 5の封止 ·切断および切断後に残留する排気 管 5の撤去と、排気管 5が切断されて完成されたパネルの荷下ろしを行う作業ロボット 12〜15と、積み卸し部 9からパネルを搬出する搬出系としてのパネル搬出用コンペ ァ 16と、これらカート 2、排気装置 7、熱処理炉 8、搬入系である基板搬入用コンベア 10、排気管搬入用コンベア 11、作業ロボット 12〜15、並びに搬出系であるパネル 搬出用コンベア 16を制御する制御手段 17〜20とを備えて構成される。

積み卸し部 9は、循環経路 1を移動するカート 2の走行方向に見ると、熱処理炉 8と 隣接する関係にあり、カート 2への基板 3や排気管 5の供給作業や、カート 2からの製 品化されたパネルの荷下ろし作業を行う場所として設けられる。積み卸し部 9には、 搬入系として、フリットシールを介して重ね合わせた状態の一対の基板 3を搬入する 基板搬入用コンベア 10や、フリットシール 21が上端に設けられた排気管 5を搬入す る排気管搬入コンベア 11と、搬出系として、完成されたパネルを搬出するパネル搬 出用コンベア 16が設けられる。カート 2は、熱処理炉 8から抽出されたパネルが搬出 された後、新たに基板 3と排気管 5とが供給され、再び熱処理炉 8へと装入される。

[0029] また積み卸し部 9には、各種作業を行う作業ロボット 12〜15が適宜配置される。具 体的には、熱処理炉 8の装入口 8a側には、当該熱処理炉 8へ向力 カート 2の走行 方向に沿って、カート 2への排気管 5や基板 3の組立順序に従い、排気管ハンドリン グロボット 12と、基板搭載ロボット 13が順次設けられる。排気管ハンドリングロボット 1 2は、排気管 5を排気管搬入用コンベア 11からカート 2の排気管装着部 6に供給し、 基板搭載ロボット 13は、互いに重ね合わされた一対の基板 3を基板用搬入コンベア 10からカート 2の基板搭載部 4に供給する。また熱処理炉 8の抽出口 8b側には、当 該熱処理炉 8から抽出されたカート 2の走行方向に沿って、排気管封止切断ロボット 14と、パネル荷下ろしロボット 15が順次設けられる。

[0030] 排気管封止切断ロボット 14は、基板 3に接合されて排気処理に用いられた排気管 5 を封止しかつ切断するとともに、切断された排気管 5を排気管装着部 6から撤去する 。またパネル荷下ろしロボット 15は、排気管 5が切断されることで完成されたパネルを カート 2から荷下ろしして、パネル搬出用コンベア 16に移載する。さらに、積み卸し部 9には、適宜箇所に、カート 2の走行や、排気装置 7などカート 2上の各種機器を制御 するカート制御盤 17、熱処理炉 8の運転を制御する炉制御盤 18、各種ロボットをそ れぞれ制御する複数のロボット制御盤 19、そして基板 3や排気管 5の搬入用コンベア 10, 11やパネル搬出用コンベア 16を含む設備全体をコントロールする主制御盤 20 が設けられる。

[0031] 循環経路 1は、工場設備内に設置される。この循環経路 1は、互いに平行に一対並 設され、例えば 8つの車輪 22を備えるカート 2がその上を走行するレール 23と、これ らレール 23の両端にそれぞれ設けられ、カート 2をレール 23相互間で乗り移りさせる 一対のカート'トラバーサ一 24, 25とから、全体として矩形状の閉ループ状に形成さ れる。一対のレール 23の一方には、これに沿って熱処理炉 8が設けられる。他方のレ ール 23は、熱処理炉 8に並設する配置で設定された積み卸し部 9に沿って設けられ る。

[0032] この循環経路 1には、順次に移動する複数のカート 2が設けられ、これらカート 2は、 積み卸し部 9に沿って他方のレール 23上を走行移動し、図中、レール 23の左端に 達すると、カート 2を熱処理炉 8へ装入するための装入用カート'トラバーサ一 24によ り、一方のレール 23へと乗り移り、その後、熱処理炉 8内を経過して走行移動し、図 中、レール 23の右端に達すると、カート 2を積み卸し部 9へと抽出するための抽出用 カート ·トラバーサ一 25により、他方のレール 23へと乗り移るように、循環経路 1を循 環移動するようになっている。これらカート 2は、走行と停止を繰り返す、いわゆるタク ト運転により、順次に積み卸し部 9と熱処理炉 8との間を循環経路 1に沿って走行され る。

[0033] 製造工程の自動制御化のために、本実施形態に係るパネル製造システムにあって は、各カート 2毎に走行 ·停止操作を行うことが可能な駆動機構を備えるとともに、停 止したカート 2を循環経路 1に対して固定状態とするために、図 5に示すように、カート 2に係脱自在に係合するロック装置 26が備えられる。まず、駆動機構について説明 すると、各レール 23には、複数のカート 2下に一連に配置して、レール方向に一定の ストロークで反復的に前後進駆動され、かつその軸周りに一定の回転角度で反復的 に正逆転駆動される駆動バー 27が設けられる。この駆動バー 27には、各カート 2下 に設けた係合部 28それぞれに係脱自在に係合する複数の突起 29が設けられる。

[0034] 駆動バー 27は、各カート 2の係合部 28それぞれに各突起 29が係合した状態で前 進方向へ駆動され、その後停止されることで、複数のカート 2個々を、同時に一定スト ロークで前進させ、その後正転方向へ回転駆動されることで係合部 28から突起 29が 離脱し、次いで、カート 2が停止している状態で、後進方向へ駆動されて停止され、 再度逆転方向へ回転駆動されることで各突起 29がカート 2の係合部 28にそれぞれ 係合し、この状態で再度前進方向へ駆動される動作が繰り返されて、複数のカート 2 個々を、走行'停止を繰り返しつつ一挙に一定ストロークで移動させるようになつてい る。また、カート 2の走行は図 2に示すように、その左右方向がサイドガイド 30にて案 内される。

[0035] そしてこのカート 2の停止時に、カート 2の静止状態を維持するために、これらカート 2の停止位置に配置して、カート 2の係合部 28に係脱自在に係合するロック装置 26 が設けられる。このロック装置 26は、例えばレール 23側に固定した図示しないシリン ダ機構と、このシリンダ機構によって係合部 28に向力つて進退駆動されるロック片 31 とから構成される。ロック片 31はシリンダ機構により、カート 2が停止して駆動バー 27 の突起 29が離脱したことに応じて係合部 28に係合し、また突起 29が係合することに 応じて係合部 28から離脱されるようになっていて、これにより、自動制御に便利なよう に、停止時のカート 2の静止状態を保持することができる。カート 2の走行機構は、ラ ックアンドピ-オンを用いた自走式とすることでも、ほぼ同様に構成することができる。

[0036] カート 2には図 2などに示すように、基板搭載部 4が設けられる。この基板搭載部 4に は、予め互いに重ね合わせた状態の一対の基板 3がこれを一組として、横向きに寝 かせて、あるいは縦向きに立てた状態で、複数組搭載される。図示例にあっては、複 数の基板 3を横置き状態で多段に搭載する形式の基板搭載部 4が示されて ヽて、こ の基板搭載部 4は、カート 2上に立設された 4本の支柱 32と、これら支柱 32により支 持された複数のサポート梁 33と、これらサポート梁 33に突設されて各基板 3を複数の 箇所で支持するサポート 34とから構成される。

[0037] 基板 3は、ガラス製や合成樹脂製、金属製などで形成される。一対の基板 3は、 Vヽ ずれか一方の基板 3の外周縁部にフリットシールを塗布した状態で他方の基板 3を重 ね合わせ、さらに図 6に示すように、これら基板 3をクリップ 35等の治具で挟み込んで 一体化した状態で取り扱われる。また、いずれか一方の基板 3には、コーナ部近傍に 位置させて、熱処理炉 8内でのこれら基板 3間からの排気処理のために、またプラズ マディスプレイパネルを製造する際には、排気処理後の放電ガスの注入などのため に、排気管 5が接合される通気孔 36が形成される。

[0038] カート 2にはまた、複数搭載される基板 3の組数に対応させて、複数の排気管装着 部 6が設けられる。カート 2上には、図 15などに示すように、基板搭載部 4の外側であ つて基板 3の通気孔 36位置に近接させて 1本の取り付け柱 37が設けられるとともに、 この取り付け柱 37の高さ方向に多段に張り出し部 38が設けられ、複数の排気管装 着部 6は、これら張り出し部 38それぞれに取り付けられる。そして各排気管装着部 6 に、排気管 5がそれぞれ着脱自在に装着される。排気管 5は、各サポート 34上に支 持される一対の基板 3のうち、通気孔 36を有する基板 3に下側力も対面するようにし て、その下方部分が排気管装着部 6に挿入されて取り付けられる。この排気管 5には 、当該基板 3に面する上端にフリットシール 21が塗布して設けられる。

[0039] 特に、排気管 5や一対の基板 3をカート 2に供給する排気管ハンドリングロボット 12 や基板搭載ロボット 13は、自動制御化に適合する供給動作として、少なくとも一組の 一対の基板 3の基板搭載部 4への搭載操作と同時に一方の基板 3に排気管 5を対面 させる組み立てを完了するために、排気管 5を排気管装着部 6に装着した後に、一対 の基板 3を基板搭載部 4に搭載するように、ロボット制御盤 19によって作動制御され る。

[0040] これら排気管装着部 6には、これに装着した排気管 5を利用して一対の基板 3間か ら排気処理を行うために、カート 2に搭載された排気装置 7が接続される。排気処理 は、熱処理炉 8内にてカート 2を走行させながら行われる。排気装置 7は図 4に示すよ うに、排気ポンプ 39と、排気すべく開閉自在に開放される排気バルブ 40と、一対の 基板 3間圧力が設定圧力に達したことを検出して排気バルブ 40を閉止するコント口 ーラ 41とを備え、排気処理の自動制御が達成される。

[0041] また、カート 2は必要に応じて、プラズマディスプレイパネルを製造する場合に必要 な放電ガスを基板 3間に注入するために、排気処理後であって排気管 5の封止'切 断の前に、排気管装着部 6の排気管 5を介して、一対の基板 3間に放電ガスを注入 する放電ガス供給装置 42を備える。放電ガス供給装置 42は、放電ガス供給源 43と 、放電ガス供給源 43から排気管 5へ放電ガスを供給すべく開閉自在に開放される供 給バルブ 44と、一対の基板 3間圧力が設定圧力に達したことを検出して供給バルブ 44を閉止するコントローラ 41とを備え、放電ガス注入作業の自動化が達成される。放 電ガスの注入を行わない場合には、排気処理によって中空のパネルが形成されるこ とになる。

[0042] 各排気管装着部 6には、それぞれ電磁式開閉弁 45を有する個別の配管 46を介し てヘッダ 47が接続され、このヘッダ 47には、排気バルブ 40を有する排気配管 48を 介して排気ポンプ 39が、また供給バルブ 44を有する給気配管 49を介してボンべ等 の放電ガス供給源 43が接続される。ヘッダ 47は、排気ポンプ 39や放電ガス供給源 4 3で、複数組の基板 3に対する排気処理や放電ガス封入処理を一括して連続的に行 うために設置される。コントローラ 41は、圧力計 50と制御器 51とから構成される。へッ ダ 47には、各組の基板 3間の圧力を検知するために圧力計 50が設けられる。圧力 計 50の検知出力は制御器 51に出力され、制御器 51は、各バルブ 40, 44の開閉や 、排気ポンプ 39の作動などを制御する。

[0043] 排気処理では、排気バルブ 40および個別配管 46の電磁式開閉弁 45がともに開放 されて各基板 3間が排気ポンプ 39と連通され、各基板 3間は 10—⁴〜： LO—⁷Torrまで排 気される。放電ガスの注入処理では、排気ポンプ 39が停止され、排気バルブ 40が閉 じられるとともに、供給バルブ 44が開放され、放電ガス供給源 43から、例えば、 Ne, Ar, Xe等の放電ガスが基板 3間に 400〜700Torrまで注入される。

[0044] 排気処理については、ヘッダ 47に、排気配管 48および給気配管 49に対して切り 換え可能に、図示しな!ヽ電磁式開閉弁を介してパージガス供給管を接続するように し、排気処理の初期に、基板 3間から排気し、ついでパージガスを基板 3間に供給し 、その後再度基板 3間から排気するパージ工程を設定するようにしても良い。

[0045] 熱処理炉 8は図 3に示すように、カート 2の移動方向に沿う装入口 8a側から抽出口 8 b側に向カゝつて順次に、それぞれ複数のゾーンからなる封着処理ブロック A、排気処 理ブロック B、および冷却処理ブロック Cに分けて構成され、各ブロック A〜Cは必要 な熱処理操作のために異なる炉内温度に設定され、熱処理炉 8内を走行するカート 2は各ブロック A〜Cで当該炉内温度の炉内雰囲気に晒される。熱処理炉 8の炉床に は、炉床下のレール 23でカート 2を走行させるために、全長にわたって開口部が形 成される一方で、カート 2には、当該開口部を封鎖する断熱部材が設けられ、レール 23上を複数のカート 2が互いに隣接した状態で連続的に走行されることで、当該炉 床の開口部はこれらカート 2の断熱部材によって封鎖された状態となる。

[0046] 順次封着温度まで炉内雰囲気が上昇される封着処理ブロック Aと、封着温度よりも 若干低い排気温度に一定に保たれる排気処理ブロック Bには、炉体内に設けた循環 ノ ッフルにより形成された循環通路に、ラジアントチューブパーナまたは電熱ヒータ等 の熱源が配置され、炉内雰囲気は、熱源により加熱されつつ循環ファンにより循環さ れて、基板 3等を加熱する。冷却処理ブロック Cは、封着処理ブロック Aや排気処理 ブロック Bにおける熱源にカ卩えて、外気導入開口あるいは冷却チューブ等の冷却源 が備えられる。封着処理ブロック Aでは、フリットシールの溶融により一対の基板 3同 士が接合され、また基板 3へ排気管 5が接合される封着処理が達成され、排気処理 ブロックでは、排気装置 7による排気管 5を介しての排気処理が行われる。また、熱処 理炉 8の抽出口 8bと抽出用カート'トラバーサ一 25との間に、基板 3間に放電ガスを 注入するための放電ガス注入エリア 52が設けられる。

[0047] 以下、おおよそパネルの製造工程に従って、自動制御化に好ま 、構成を順次説 明する。まず、自動制御で排気管 5を装着するのに好ましい排気管装着部 6、並びに 熱処理炉 8における熱処理の影響を考慮して、排気管 5を保持する排気管装着部 6 を好ましく取り付けることができる構造について説明する。

[0048] 図 6〜図 11に示すように、排気管装着部 6は、その中心部に、個別配管 46を介し て排気装置 7に連通させて形成され、排気管 5を上向きに装着するための装着孔 53 と、装着孔 53に設けられ、排気管 5に接離可能に圧接されて排気管 5を保持しつつ、 その周囲を気密にシールする弾性部材カもなる中空の環状シール 54とを備える。ま た、環状シール 54の状態変化にかかわらず常に、排気管 5を上方から搭載される一 対の基板 3の一方に圧接させるために、排気管装着部 6を上下方向に移動自在とす る上下スライド機構としての滑りガイド 56を備えるとともに、排気管装着部 6を上方へ 向力つて付勢する付勢手段としてのスプリング 55を備える。

[0049] 排気処理は、下方部が排気管装着部 6に装着されたガラス製などの排気管 5の上 端を基板 3に押圧した状態で、熱処理炉 8内で加熱することにより排気管 5を通気孔 36に接合した後、この排気管 5から排気管装着部 6を介して基板 3間力ゝらの排気を行 うようになっている。排気管 5を基板 3へ接合するに際しては、排気管 5の上端を基板 3に押圧した状態、すなわち、排気管 5に適度な圧縮応力が作用している状態でカロ 熱して融着させる。

[0050] 排気管装着部 6はさらに、熱処理時の熱に対してこの環状シール 54を冷却するた めにその周囲に配設された環状水冷ジャケット 57と、環状シール 54の内部空間に連 通されたエア供給'排気管 58と、これらを上下から挟持する上部端面部材 59および 下部端面部材 60とを備え、排気管装着部 6自体は、上部端面部材 59の下方に設け られたスプリング 55を介して、取り付け柱 37の張り出し部 38に上下動自在に支持さ れている。 61は冷却水供給管、 62は冷却水排出管である。排気管 5は接合側である 上端が漏斗形状に形成され、排気管 5の一定径の下方部は、上部端面部材 59の開 ロカも環状シール 54を貫いて装着孔 53内の所定位置に配置される。この状態で、 エア供給'排気管 58から供給された高圧エアにより膨張した環状シール 54により排 気管 5の外周部は気密に保持される。環状シール 54は機械的に膨張収縮させるよう にしても良い。

[0051] 排気管 5を排気管装着部 6へ装着するには、予めフリットシール 21を上端に塗布し ておき、この排気管 5の下方部を排気管装着部 6の装着孔 53内に挿入する。この場 合、排気管 5の上端は、基板 3がサポート 34上に水平に搭載された時の基板 3の下 面位置より 1〜 2mm程度上方に突出するように位置決めしたのち、エア供給 ·排気 管 58から高圧エアを環状シール 54の内部空間に供給して排気管 5の周面を当該環 状シール 54により締め付けて固定する。

[0052] その後、通気孔 36が排気管 5に合致するように基板 3をカート 2上に搭載する。排 気管 5の上端が基板 3の下面より若干突出して排気管装着部 6に固定されているた め、排気管装着部 6はスプリング 55の弹発力に杭して下降し、排気管 5の上端は基 板 3の下面に押圧された状態で密着する。これにより、排気管 5は、適度な圧縮応力 が加わっている状態で、排気管装着部 6に気密に保持され、この状態でカート 2が熱 処理炉 8内に装入され、封着 ·排気処理が行われる。排気管 5に適度な圧縮応力が 作用している状態で加熱して排気管 5を基板 3に融着させるため、リーク等が発生す ることのない確実な接合を形成できるとともに、また、封着'排気処理時に排気管 5が 変形することも無ぐその後の切断作業を効率よく行うことができ、したがって、排気管 5の封止 ·切断作業の自動制御化を円滑に導入することができる。

[0053] さらにまた、カート 2の走行時、また封着'排気処理等の間、排気管 5と基板 3の各 部が相対的に一定の位置関係を保つことが望ましいが、振動や衝撃により、或いは 熱膨張や収縮の差等によって排気管装着部 6と基板 3との間に相対的位置ずれを起 こす場合がある。この場合、例えば、環状シール 54から排気管 5に作用する力が過 大であると、この力が基板 3と排気管 5とを一体的に固定する力に打ち勝ち、排気管 5 が傾斜して破損したり、或いはフリットシール 21が基板 3の下面力も離れて封着処理 が不可能となる等の問題が生じるおそれがあり、これを考慮する必要がある。また、排 気管装着部 6と基板 3との間に水平方向での相対的位置ずれが発生した場合、排気 管装着部 6が平行移動せず、傾斜することがある。この場合、排気管 5に回転を生じ させる好ましくない力が作用し、排気管 5に過大な曲げモーメントが作用して、排気管 5が傾斜し、排気管 5の破損や、封着処理が不可能になるという事態も考慮する必要 がある。

[0054] 図示例にあっては、上部端面部材 59の下方に設けられたスプリング 55を介して排 気管装着部 6が張り出し部 38に支持されているが、この場合も前記同様の問題が生 じることが考免られる。

[0055] そこでさらに、張り出し部 38と下部端面部材 60との間に滑りガイド 56が介設されて いる。この滑りガイド 56は、摺動作用を円滑ィ匕するカーボン製などの内周面を有する 筒状体 63とこの筒状体 63内に摺動可能に嵌挿されたロッド部材 64とからなり、筒状 体 63は張り出し部 38の下面に固定され、ロッド部材 64は下部端面部材 60に立設さ れている。そして、この滑りガイド 56により張り出し部 38に対して、排気管装着部 6は 相対的に横方向の移動は規制され、上下方向にのみ移動可能となっている。

[0056] 基板 3を上から載置することで排気管装着部 6が基板 3の自重により押し下げられ て若干下降する際、滑りガイド 56により排気管装着部 6が案内されて、排気管 5は横 方向の力を受けることなぐ上下方向にのみ変位可能となっている。滑りガイド 56の 作用と相俟って、スプリング 55による排気管装着部 6、ひいては排気管 5の上端の基 板 3への押圧作用により、フリットシール 21と基板 3との間の摩擦力が大きく確保され るため、封着工程において、加熱される基板 3は排気管 5が押圧された通気孔 36を 基点として膨張するようになり、排気管 5と通気孔 36との間での位置ずれは生じない 。また、この封着工程において、基板 3に反りが生じたとしても、排気管 5は滑りガイド 56の作用によりスプリング 55によって確実に上向きに付勢されているため、基板 3と フリットシール 21との間に隙間が生じることもない。

[0057] 従って、クリップ 35で基板 3と排気管 5とを一体固定することなく封着処理することが 可能であるため、排気管 5とともに基板 3を熱処理炉 8内に装入する際の衝撃や振動 に伴い、或いは封着'排気処理時における各部の熱膨張や収縮の差力 生じる熱変 形に伴い排気管 5に過大な力、特に側方力 排気管 5を回転させようとする力が作用 するのを回避でき、さらに、クリップ 35による傷の発生、排気管 5の損傷を防止できる とともに、封着処理の準備作業が簡素化され、その信頼性も向上させることができる。 このように、排気管装着部 6をスプリング 55により支持するとともに、上下方向にのみ 変位可能としているため、基板 3に向けて押圧され、封着される排気管 5が垂直に保 たれ、排気管 5にこの垂直な方向以外の意図しない方向の力が作用せず、排気管 5 の押圧状態の維持が容易になる。

[0058] 付勢手段としては、スプリング 55に代えて、図 12に示すように、排気管装着部 6を 一端に取り付けた梃子 65の他端にカウンターウェイト 66を設ける形式としても良い。

[0059] 次に、排気管 5の排気管装着部 6への装着操作の自動制御化について説明する。

排気管ハンドリングロボット 12のロボット制御盤 19などの制御手段は、自動制御で排 気管 5を排気管搬入用コンベア 11からカート 2の排気管装着部 6に供給するために、 カート 2の実停止位置情報および排気管装着部 6の排気管 5の実装着位置情報を画 像情報として取得し、これら実停止位置情報および実装着位置情報に基づき、排気 管ハンドリングロボット 12による排気管供給動作の制御情報を出力する供給動作設 定手段を備える。

[0060] 供給動作設定手段は、予め設定されているカート 2の基準停止位置情報に基づき 実停止位置情報を画像情報として取得し、基準停止位置に対する実停止位置の偏 差力もカート 2の停止位置を修正し、予め設定されて!、るカート停止位置からの排気 管装着部 6の基準設置位置情報に基づき実設置位置情報を画像情報として取得し 、基準設置位置に対する実設置位置の偏差カゝら排気管装着部 6の設置位置を修正 し、排気管 5の実装着位置情報を画像情報として取得し、予め設定されている排気 管 5の基準装着位置に対する実装着位置の偏差から排気管 5の装着位置を修正し、 修正した修正供給動作を排気管ハンドリングロボット 12による排気管供給動作の制 御情報として出力するようになって!/、る。

[0061] 排気管ハンドリングロボット 12のロボット制御盤 19などの制御手段は、自動制御で 排気管ハンドリングロボット 12により排気管 5を搬入系の排気管搬入用コンベア 11か ら取り出すために、取り出し待機位置における排気管 5の実待機状態情報を画像情 報として取得し、予め設定されている排気管 5の基準待機状態情報に対する実待機 状態情報の偏差に基づ 、て取り出し動作を修正し、修正した修正取り出し動作を制 御情報として出力する排気管取り出し動作修正手段を備える。

[0062] 排気管ハンドリングロボット 12のロボット制御盤 19などの制御手段は、自動制御で 排気管ハンドリングロボット 12により排気管 5を排気管装着部 6に装着するために、排 気管ハンドリングロボット 12による排気管 5の実把持状態情報を画像情報として取得 し、予め設定されている排気管 5の基準把持状態情報に対する実把持状態情報の 偏差に基づいて装着動作を修正し、修正した修正装着動作を制御情報として出力 する排気管装着動作修正手段を備える。

[0063] 排気管搬入用コンベア 11で積み卸し部 9に搬入される排気管 5は排気管装着部 6 への供給にあたり、図 13に示すように、排気管 5だけの状態でトレイ 67に立てて準備 される力、図 14に示すように排気管 5の上端にフリットシール 21が配置された状態で トレイ 67に立てて準備される。そして、排気管 5は、排気管装着部 6の装着孔 53内に 挿入される。ところで、排気管 5はガラス製等で破損し易ぐまた図 13に示すように、 製作誤差のため、排気管 5の長さは、 AL1 (基準長さ ± lmm程度）のばらつきが生じ 一定でない。さらに、この排気管 5の上端にフリットシール 21が配置された状態にお いて、図 14に示すように排気管 5およびフリットシール 21を含めた寸法においても、 AL2のばらつきが生じる。一方、排気管装着部 6の上面と排気管 5の上端との間の 距離を一定の値に保つ必要がある。

[0064] これらの理由から、排気管 5の排気管装着部 6への装着は、人手により、以下の手 順により行われている。まず、トレイ 67から取り出された 1本の排気管 5が、作業者の 目視確認により排気管装着部 6の装着孔 53内に挿入される。続いて、排気管装着部 6の上面と排気管 5の上端との間の距離が一定の値になるように排気管 5の高さが調 整される。最後に、高さ調整された排気管 5が環状シール 54に高圧エアを送り込むこ とにより排気管装着部 6に気密に保持される。しカゝしながら、人手による排気管 5の排 気管装着部 6への装着は、作業効率が悪ぐ生産性が低い。自動化のための排気管 ハンドリングロボット 12を採用し、排気管 5を排気管装着部 6へ装着する一連の動作 を自動制御することが好ま 、。

[0065] この場合、定位置に固定設置された排気管ハンドリングロボット 12の前方にカート 2 が停止した後、一連の装着動作が開始されるが、カート 2は決められた基準停止位 置にて常に停止するとは限らず、その停止位置のばらつきは避けられない。また、力 ート 2上に取り付けて設けられる排気管装着部 6および基板搭載部 4それ自体が熱処 理炉 8内における封着 ·排気処理過程で熱変形するため、排気管装着部 6の装着孔 53の位置にもばらつきが生じる。さらに、装着孔 53内に排気管 5が挿入された場合 でも、排気管装着部 6の高さにばらつきがあるため、排気管 5を排気管装着部 6で正 常に保持させることが難しい。そこで、これらに対する対策を施すことが、自動制御下 には必要となる。

[0066] 図 24および図 25に示すように、カート 2のコーナ部に基準標識 IX、 1Yおよび 1Z が取付けられており、基準標識 IXはレール 23に沿った水平な X軸方向における力 ート 2の位置を示す基準となり、基準標識 1Yはレール 23に直交する水平な Y軸方向 におけるカート 2の位置を示す基準となり、基準標識 1Zは X軸および Y軸に直交する Z軸方向におけるカート 2の位置、即ち高さを示す基準となる。また、図 15および図 1 6に示すように、カート 2上に立設された取り付け柱 37の張り出し部 38の各々にも、そ の位置を示す基準となる基準標識 1Hが設けられている。基準標識 IX, 1Yおよび 1 Zは、カート 2そのものに形成したものでもよぐカート 2とは別個の部材により形成した ものでもよい。同様に、基準標識 1Hは張り出し部 38そのものに形成したものでもよく 、張り出し部 38とは別個の部材により形成したものでもよ 、。

[0067] 一方、積み卸し部 9の定位置に固定して設けられる排気管ハンドリングロボット 12は 、三次元的に直線運動および回転運動可能なロボットハンドを有する。このロボットハ ンドには、各種の制御情報を画像情報として取得するためにカメラ 68が取付けられ ており、このカメラ 68により図 17に示すように、排気管装着部 6の装着孔 53が検知さ れる。そして、ロボットハンドにより、装着孔 53の中心位置座標を算出するための第 一作動と、トレイ 67に収納された特定の排気管 5を把持して装着孔 53内に挿入する 第二作動とが行われる。第二作動においては、図 18および図 19に示すように、ロボ ットハンドのチャック部 69により把持される排気管 5の上端がカメラ 68により検知され 、チャック部 69から排気管 5の上端までの距離、或いは排気管 5にフリットシール 21 が設けられている場合には、チャック部 69からフリットシール 21の上端迄の距離が計 測される。

[0068] 排気管 5の排気管装着部 6への挿入にあたっては、まず、ステップ（1)で、移動して きたカート 2が排気管ハンドリングロボット 12の前方で停止すると、カメラ 68により検知 された基準標識 IX, 1Yおよび 1Zの位置に基づいて、カート 2の基準停止位置と実 停止位置との間の誤差量（Δ χΐ, Δγΐ, Δ ζΐ)が算出される。この算出された誤差量 ( Δ χΐ, Δγΐ, Δ ζΐ)に基づき、ロボットノヽンドの第一基準移動停止位置である第一 計測地点の修正が行われる。例えば、誤差量の X軸方向成分が + ΔΧであれば、口 ボットハンドのストロークの X軸方向成分を ΔΧだけ長くし、逆に誤差量の X軸方向成 分が ΔΧであれば、ストロークの X軸方向成分を ΔΧだけ短くする。 Υ軸方向、 Ζ軸 方向についても同様の修正が行われる。従って、カート 2の実停止位置に誤差が生 じても、ロボットハンドの第一計測地点は張り出し部 38上の基準標識 1Hをカメラ 68 により検知できる位置に修正される。

[0069] ステップ（2)で、ロボットハンドが修正された第一計測地点にて停止すると、カメラ 6 8によって張り出し部 38上の基準標識 1Hが検知され、排気管装着部 6の基準配置 位置、具体的には装着孔 53の中心位置と実配置位置との間の誤差量（Δ χ2, Δγ2 , Δ ζ2)が算出される。さらに、この算出された誤差量（Δ χ2, Δγ2, Δ ζ2)に基づき 、前記と同様にしてロボットハンドの第二基準移動停止位置である第二計測地点の 修正が行われる。従って、排気管装着部 6の基準配置位置に誤差が生じても、ロボッ トハンドの第二計測地点は、装着孔 53の中心位置をカメラ 68により検知できる位置 に修正される。

[0070] 続、て、ステップ（3)で、ロボットハンドが修正された第二計測地点にて移動停止し て、図 17に示すように装着孔 53の中心位置の上方にカメラ 68が移動し、このカメラ 6 8により装着孔 53の基準中心位置と実中心位置との間の誤差量（Δ χ3, Δγ3, Δ ζ3 )が算出される。ステップ（1)〜（3)により、排気管 5の装着作業時におけるロボットハ ンドの排気管装着部 6上における適正な停止位置 (X, Υ, Ζ)が決定される。

[0071] 一方、ロボットハンドの前記停止位置 (X, Υ, Ζ)からの下降停止位置 (X, Υ, Z1) は、 Ζ軸方向の排気管装着部 6の高さ情報と把持対象である排気管 5の実長さ情報 或いは排気管 5にフリットシール 21を加えた実長さ情報とに基づき決定される。例え ば、ロボットハンドのチャック部 69による排気管 5の把持位置、即ちロボットハンドの停 止位置を一定とすれば、図 18および図 19に示すように、チャック部 69から排気管 5 の上端までの距離 HI或いはチャック部 69からフリットシール 21の上端までの距離 H 2が計測され、排気管 5の基準長さと実長さとの間の誤差量（A L)が算出される。な お、図 18は排気管 5のみを装着孔 53内に挿入する場合を、図 19はフリットシール 21 が上端に配置された排気管 5を装着孔 53内に挿入する場合を示している。

[0072] そして、排気管装着部 6の Z軸方向の前記高さ情報と排気管 5に関する前記誤差量

( A L)とに基づき、排気管 5の実長さに対応したロボットハンドの下降停止位置 (X, Y , Z1)が決定される。例えば、排気管 5の実長さと基準長さとの間の誤差量（=実長さ 一基準長さ）が + A Lであれば、ロボットハンドの下降停止位置は誤差量が零である 場合を基準にして A Lだけ低い位置となり、常に排気管 5或いはフリットシール 21の 上端と排気管装着部 6の高さとの位置関係は一定となる。

[0073] ところで、前述した操業例では、チャック部 69により排気管 5を把持した後に排気管 5或いはフリットシール 21の上端位置を計測した力 これに限定することなぐチャック 部 69により排気管 5を把持する前に予め排気管 5或いはフリットシール 21の上端位 置を計測しておいてもよい。この場合、チャック部 69により排気管 5を把持する前に 予めカメラ 68等により排気管 5或いはフリットシール 21の上端位置を計測しておき、 この計測された上端位置情報に基づきチャック部 69による排気管 5の把持位置を修 正し、その後、排気管装着部 6の高さ情報に基づいてロボットハンドの下降停止位置 を補正すればよい。

[0074] 以上のような排気管ハンドリングロボット 12の制御を行うことで、カート 2の実際の停 止位置のばらつき、製作誤差或いは張り出し部 38等の熱変形による排気管装着部 6 における装着孔 53の中心位置のばらつき、さらに排気管 5の製作誤差による排気管 長さのばらつきが生じても、装着孔 53に合わせて、かつ排気管 5の長さに合わせて 適正な位置に排気管 5を装着孔 53内に装着することができる。また、ばらつきの大き いカート 2の停止位置を検知して、検知範囲を絞ったうえで、ばらつきの小さい装着 孔 53の中心位置を検知するようにしているため、カメラ 68の視野が狭くても、装着孔 53の中心位置が確実に検知され、排気管 5の装着孔 53内への装着がより円滑に行 われる。

[0075] 次に、排気管装着部 6に排気管 5が装着されているカート 2上に、基板 3を自動制 御で搭載するのに好適な構成について説明する。基板搭載部 4には、複数の仕切部 であるサポート梁 33によって、少なくとも一組の一対の基板 3を個別に装入する基板 装入用空間 Sが形成されるとともに、基板搭載ロボット 13のロボット制御盤 19などの 制御手段は、自動制御で基板搭載ロボット 13により各一対の基板 3を基板搭載部 4 へ搭載するために、基板装入用空間 Sの寸法を画像情報として取得し、取得された 寸法情報に基づいて、一対の基板 3の基板装入用空間 Sへの装入の可否の制御情 報を出力する装入操作判定手段を備える。

[0076] 基板搭載ロボット 13のロボット制御盤 19などの制御手段は、自動制御で基板搭載 ロボット 13により基板搬入用コンベア 10から供給される少なくとも一組の一対の基板 3の通気孔 36をカート 2の排気管装着部 6の排気管 5に合致させるために、排気管装 着部 6に装着された排気管 5の中心位置情報および一対の基板 3の搭載待機位置 における通気孔 36の中心位置情報を画像情報として取得し、これら中心位置情報を 用いて、予め基板搭載ロボット 13に設定されている一対の基板 3を搭載待機位置か ら基板搭載部 4へ供給する基準搭載動作による排気管 5と通気孔 36との中心位置の 誤差を算出し、誤差に基づいて修正した修正搭載動作を制御情報として出力する搭 載動作修正手段を備える。

[0077] サポート梁 33の配置間隔を D、サポート 34の高さを hとすると、一対の基板 3はサポ ート 34の上面とサポート梁 33の下面との間の縦方向に寸法 (D—h)の空間、即ち基 板装入用空間 Sに装入されることになる。また、基板 1のサポート 34上への載置は、 基板 1のコーナ部近傍に設けられた通気孔 36の中心と排気管 5の中心とを一致させ ることが必須条件となって 、る。

[0078] 一方、支柱 32及びサポート梁 33が、熱処理炉 8内での封着 '排気工程において熱 変形するため、サポート 34の上面とサポート梁 33の下面との間の間隔が前述した寸 法 (D— h)力も変化し、一定の値に保たれない。また、排気管装着部 6の装着孔 53 の位置、即ち排気管装着部 6に装着された排気管 5の中心位置は、カート 2の停止 位置のばらつきや前述した熱変形等により一定ではない。さらに、基板 3の通気孔 36 の位置は製作時の誤差によっても一定にはならない。これらの理由により基板 1の力 ート 2への積載は人手により行われて 、る。人手による基板 3のカート 2への積載は、 作業効率が悪ぐまた生産性が低い。そこで、自動制御化のための基板搭載ロボット 13を採用し、ロボットハンドにより基板 3を保持して、基板装入用空間 Sまで移送し、 サポート 34上に載置することが考えられる。

[0079] し力しながら、基板装入用空間 Sが前記寸法 (D—h)の状態から変化して、これより も小さくなり、十分な高さを有さない場合であっても、基板 3はロボットハンドにより基 板装入用空間 S内に装入され、基板 1とサポート 34或いはロボットハンドとサポート梁 33とが衝突し、これらを破損するおそれがあり、これを考慮に入れる必要がある。また 、ロボットノヽンドにより基板 3を常に同 Cf立置に移送するとしても、カート 2の停止位置 にばらつきがあり、基板 3の通気孔 36の中心と排気管 5の中心の各位置が必ずしも 一致するとは限らないことにも、留意する必要がある。

[0080] レール 23の側方の積み卸し部 9に基板搭載ロボット 13が配置されており、カート 2 上に配設された複数段のサポート梁 33の外側面の三箇所に、図 20に示すように、 基準標識 70が設けられて 、る。この基準標識 70はサポート梁 33自体に加工して形 成してもよぐ別部材により形成してもよい。また、カート 2上の各排気管装着部 6には 、排気管ハンドリングロボット 12により排気管 5が装着されている。そして、基板搭載口 ボット 13のロボットノヽンドに設けた図示しないカメラによりこの基準標識 70が検知され て、各段におけるサポート梁 33の実際の高さが計測され、以下の手順により基板 3の カート 2への積載が行われる。

[0081] 基板 3のカート 2への積載は図 21に示すように、まず、ステップ S1で、カメラにより検 知された基準標識 70の高さに基づき、各段のサポート梁 33の下面とその下方のサ ポート 34との間の隙間寸法の算出が行われる。具体的には、例えば 1段目と 2段目 に関して、図 20に示すように検知された各基準標識 1の高さから、各サポート 34の上 面の基準レベル LOからの高さ Zla, Zlb, Zlc, Z2a, Z2b, Z2cが算出され、 Zla, Zlb, Zlcの中で最大値、即ち Max (Zla, Zlb, Zlc)と Z2a, Z2b, Z2cの中で最 小値、即ち Min (Z2a, Z2b, Z2c)が求められる。さらに、隙間寸法として、 [Min(Z2 a, Z2b, Z2c)—Max (Zla, Zlb, Zlc)—D]の値が算出される。この値は、可能性 としてあり得る最も小さい隙間寸法の値である。

[0082] ステップ S2で、算出された隙間寸法の場合、ロボットノヽンドに保持された基板 3の 装入が可能力否かの判断がなされ、 YESの場合にはステップ S3に進み、 NOの場合 にはステップ S7に進む。ステップ S3で、図 22及び図 23に示すように、ロボットハンド により基板 3を固定カメラ 71の上方の定位置に移送して、この固定カメラ 71により装 入前の基板 3の通気孔 36が検知され、ロボットハンドの一定の動作によりこの基板 3 をサポート 34の上方に移送した場合におけるロボットハンドの移動停止位置での通 気孔 36の中心位置の計測が行われる。

[0083] ステップ S4で、既にロボットハンドのカメラにより検知され、求められている排気管 5 の中心位置とステップ S3で計測された通気孔 36の中心位置とがー致する力否かの 判断がなされ、 YESの場合にはステップ S5に進み、 NOの場合にはステップ S9に進 む。ステップ S5で、排気管 5の中心位置と通気孔 36の中心位置とがー致するというこ とで、ロボットハンドにより基板 3が上下のサポート梁 33間に移送され、排気管 5の上 方に位置させられた後、サポート 34上に載置され、基板 3の装入が完了する。

[0084] この装入の後、必要に応じて、ステップ S6で、ロボットハンドによりクリップ 35を用い て基板 3と排気管 5との固定が行われる。一方、ステップ S7で、上下のサポート梁 33 への基板 3の装入はできな 、と 、うことで、即ちサポート梁 33が異常に変形して 、る ということで警報を発し、続くステップ S8でカート 2への基板 3の積載作業を中止する 。また、ステップ S 9で、通気孔 36の中心位置が予め決められた正規の位置力 ずれ て、この正規の位置からの誤差を生じているということで、その誤差の算出が行われ る。

[0085] さらに、ステップ S10で、ステップ S9での算出結果に基づき、ロボットハンドの移動 停止位置の修正がなされ、その後ステップ S 5に進み、前述したように基板 3のサポー ト 34上への装入が行われる。以上のようにして、基板 3が排気管 5の上に載置され、 基板 3のカート 2への積載が完了する。そして、上述した作業がサポート梁 33の段数 だけ繰返される。

[0086] カート 2に基板搭載ロボット 13により基板 3を積載するに際し、基板装入用空間 Sの 高さを計測し、この基板装入用空間 Sへの基板 3の装入が可能力否かを判断し、可 能である場合に、基板 3の通気孔 36の中心位置情報と排気管装着部 6の排気管 5の 中心位置情報とに基づき、両中心位置が一致するように基板 3を保持したロボットノヽ ンドの移動停止位置を必要に応じて修正した後、サポート 34上に基板 3を移送する ようにしてあるため、基板搭載ロボット 13により基板 3を他の部分との衝突を起こすこ となく基板装入用空間 Sに装入し、適正位置に移送することが可能になり、自動制御 化によって作業効率を向上させることができる。

[0087] 次に、パネル製造作業の自動制御化にあたり、基板搭載部 4とこれに搭載した基板 3とが熱処理操作などによって位置ズレすることに対応できる機構について説明する 。基板搭載部 4は少なくとも一組の一対の基板 3を複数箇所で個々に支持する複数 のサポート 34を備え、これら複数のサポート 34のうち、排気管 5に近接する少なくとも 一つの近接位置サポート 34aを除く他の遠隔位置サポート 34bは、一対の基板 3を、 近接位置サポート 34aに比して相対移動し易く支持するようになっている。遠隔位置 サポート 34bは揺動可能に構成してもよい。またあるいは、遠隔位置サポート 34bは、 転動軸心 Tが排気管 5の中心位置方向と直交させて配置され、その上に一対の基板 3を支持するローラ機構で構成される。

[0088] 熱処理にあっては、カート 2の各部や基板 3の熱膨張、収縮を伴う。この場合、カー ト 2の各部及び基板 3の熱膨張率が必ずしも同一でなぐそれぞれの熱膨張、収縮に よる変化量の差異や各部温度に起因して排気管 5と基板 3との接合部や排気管 5自 体に外力が作用すると、排気管 5と基板 3の通気孔 36との間の位置ずれや排気管 5 の破損という事態を招くおそれがあることに留意する必要がある。

[0089] このため、カート 2では、排気管 5を保持する排気管装着部 6に接続する個別配管 4 6などの配管類をフレキシブルチューブとし、このフレキシブルチューブを介して排気 管装着部 6を張り出し部 38に取り付けることにより排気管装着部 6の移動を拘束しな いようにするなどの工夫がなされる。これにより、排気管装着部 6の荷重や外力が排 気管 5に作用するのを極力回避しょうとしているが、これが自動化等の省力化の大き な障害になるとともに、排気管 5に作用する外力を完全には排除できないため、上述 した位置ずれや破損が生じるおそれがあり、これがプラズマディスプレイパネル等の パネル製造上の歩留まり低下の原因になって 、る点を考慮することが望ま 、。 [0090] また、サポート 34が突設されたサポート梁 33の熱膨張率と基板 3の熱膨張率とを同 じにしたり、サポート 34上に基板 3と同じ膨張率を有するベースプレートを設置し、こ れにサポート 34を突設することも考えられるが、基板 3がガラス製などであるため、こ れと同材料としたサポート梁 33やベースプレートは破損やそりが生じ易ぐまたカート 2全体の重量が増し、熱効率の低下を招く等の問題も改善することが好ましい。

[0091] 図 24および図 25に示すように、カート 2上には、サポート梁 33とは別に、取り付け 柱 37で支持されている張り出し部 38の延長部 74に、排気管 5近傍に位置させて近 接位置サポート 34aが突設される一方で、支柱 32で支持されているサポート梁 33に は、近接位置サポート 34aよりも排気管 5から離れて位置する遠隔位置サポート 34b が突設されている。そして、近接位置サポート 34aの上端面と基板 3との間の摩擦係 数は遠隔位置サポート 34bの上端面と基板 3との間の摩擦係数よりも大きくなつてい る。例えば、近接位置サポート 34aは金属繊維、金属網、或いは、セラミック材により、 上端面が粗い面になるように形成され、遠隔位置サポート 34bは金属やセラミックに より、上端面が鏡面仕上げされて形成されている。図示例にあっては、各張り出し部 38に二つずつ、排気管 5から略等距離の位置に上述した近接位置サポート 34aを備 えている。

[0092] 基板 3は、フリットシール 21が配設された排気管 5の上端及びこれらサポート 34a, 34bの上端面上に配置され、排気管 5の中心と基板 3の通気孔 36の中心とが略一致 させられるが、この際、カート 2の各部や基板 3が熱膨張や収縮して、それぞれ異なる 量の相対寸法変化を起こしても、近接位置サポート 34aの上端面の位置にて基板 3 は相対移動を生じることなく支持され、遠隔位置サポート 34bの上端面の位置にて基 板 3が横方向に相対移動、即ち滑りを起こし、排気管 5と基板 3との接合部や排気管 5自体に外力が作用することはなぐ排気管 5と基板 3の通気孔 36との間の位置ずれ や排気管 5の破損という事態は回避される。遠隔位置サポート 34bについては、上端 面に転動可能な、一般的な球状やローラ状の支持体を配設し、この球状やローラ状 の支持体により基板 3を支持するようにしてもょ 、。

[0093] 図 26は、他の支持形態を示したもので、遠隔位置サポート 34bの構成のみが異な る。遠隔位置サポート 34bは、上面が球面または曲面状に形成された頭部 75と、この 頭部 75の下方に延びる脚部 76と、下面が球面または曲面状に形成され、この下面 の中心部に脚部 76を貫通させたフランジ部 77とを備え、脚部 76はサポート梁 33に 穿設された貫通孔 78内に遊嵌し、貫通孔 78の上端開口の周縁部上に摺動可能に フランジ部 77が載置されている。そして、ほぼ貫通孔 78の中心軸とフランジ部 77と の交点を中心として脚部 76は揺動可能となっている。即ち、この遠隔位置サポート 3 4bは、基板 3に対して横方向に、基板 3と遠隔位置サポート 34b間の位置のズレに対 応し相対移動し易く設けられている。なお、フランジ部 77の下面の曲率は、脚部 76 が揺動しても頭部 75の最上部の高さが一定に保たれるようになつているのが好まし い。

[0094] 図 27〜図 30には、ローラ機構力もなる、さらに他の支持形態が示されている。遠隔 位置サポート 34bでは、上面が開口した箱体 79に、円柱状のローラ 72を載置し、口 ーラ 72が自由に回転できるように形成されている。また、ローラ 72が位置する箱体 7 9内の支持面 73は中心部が低くなるように傾斜しており、何等外力が作用しない場 合にはローラ 72は重力の作用で支持面 73の中心に止まる一方、箱体 79の各側面 は支持面 73よりも上方に突出するように形成され、ローラ 72がこの箱体 79から離脱 することがな 、ようになって!/、る。

[0095] さらに、各ローラ 72の中心軸 T力排気管 5に向力う図中一点鎖線で示された方向に 対して直交するように遠隔位置サポート 34bは配設されており、前述した熱膨張ゃ収 縮の際に基板 3において、近接位置サポート 34aの部分に対して他の遠隔位置サボ ート 34bが円滑に横方向に相対移動でき、排気管 5と基板 3との接合部や排気管 5自 体に外力が作用することはなぐ排気管 5と基板 3の通気孔 36との間の位置ずれや 排気管 5の破損と 、う事態は回避されるようになって!/、る。

[0096] 近接位置サポート 34aの設置個数は二つに限定されない。また、排気管 5が上向き に突出される場合に限らず、下向きに突出した場合にも適用されるものである。

[0097] 次に、熱処理炉 8から抽出された基板 3の排気管 5を封止 ·切断する作業において 、自動制御化を円滑に導入しうる構成について説明する。排気管封止切断ロボット 1 4のロボット制御盤 19などの制御手段による自動制御で二つ割りに開閉自在に作動 され、排気管 5の封止 ·切断を行うために閉じられて排気管 5周囲を取り囲むヒータを 備える。

[0098] 基板 3には排気管 5が接合され、一対の基板 3間力ゝらの排気処理等の後、排気管 5 の封止'切断処理が行われる。この排気管 5の封止'切断処理は、以前はガスパーナ を用いて人手により排気管 5の特定部位を溶融させて、封止するとともに切断するこ とにより実施されて 、て、その自動制御化が望まれて 、る。

[0099] 排気管封止 ·切断装置 80は図 31および図 32に示すように、二つに分割可能な一 対のケーシング部材 81からなる断熱構造のケーシング 82と、ケーシング部材 81の各 々の内部に設けた排気管外周部加熱用のヒータ（図示せず)とを備えている。また、 一方のケーシング部材 81は取付け座 83上に、他方のケーシング部材 81は取付け 座 84上にそれぞれ配置されている。さらに、二つの取付け座 83, 84間には、伸縮シ リンダ 85が介設されており、例えば、一方の取付け座 84にシリンダボディ 86が結合さ れ、他方の取付け座 83にピストンロッド 87が結合され、これにより一方のケーシング 部材 81に対して他方のケーシング部材 81が移動し、ケーシング 82全体として開閉 可能となっている。

[0100] 各ケーシング部材 81は断面半円形の箱体状に形成され、その内部には断熱材が 充填され、また各ケーシング部材 81には、これらが閉じて合わせられることで略真円 となる半円形の溝 88が形成されている。ヒータはこの半円形の溝 88に沿って配設さ れる。そして、ケーシング 82が閉状態となったとき、ケーシング部材 81同士が当接し て、二つの溝 88により排気管収納用の貫通孔 89が形成される。取付け座 84には、 軸体 90が立設され、この軸体 90の上端に基板 3を挟持するクリップ 35が設けられて いる。

[0101] 排気管 5を介して基板 3内の真空排気処理の後、基板 3内への放電ガスの封入処 理が完了すると、図示するように、開状態にある排気管封止 ·切断装置 80を、排気管 封止切断ロボット 14により排気管 5の両側にケーシング部材 81が位置するようにタリ ップ 35で基板 3を挟持させて、基板 3に取り付ける。クリップ 35の装着は、ロボットノヽ ンドのカメラで基板 3の位置を画像情報として取得し、その位置に対してロボットハン ドが移動して装着動作が行われるようになつている。続いて、伸縮シリンダ 85を収縮 させてケーシング部材 81を一体ィ匕し、即ち、ケーシング 82を閉状態にして、貫通孔 8 9内に排気管 5を位置させる。このとき、排気管 5の略全周が二つのヒータにより包囲 される。その後、ヒータに通電し、このヒータにより排気管 5の外周を所定時間だけカロ 熱する。この加熱により排気管 5の全周が均一に加熱され、溶融して封止が完了する 。さらに、ヒータ 5の通電を続けると、この封止部が切断される。

[0102] 以上の構成の装置により、排気管 5の封止 ·切断作業を自動制御化することができ 、作業効率の向上が可能になるとともに、この装置 80を排気管封止切断ロボット 14 により順次クリップ 35で基板 3に付け替えていくことで、基板 3毎にチップ管封着 '切 断装置 80を設ける必要がなぐその台数を減らすことが可能になる。

[0103] ヒータに代えて、パーナにて排気管 5の封止切断処理を自動制御で行うこともでき る。排気管封止切断ロボット 14のロボット制御盤 19など制御手段による自動制御で 作動され、排気管 5の封止 ·切断を行うために、排気管 5を溶融させるパーナおよび 排気管 5を延伸させるベく排気管装着部 6を下降させる下降手段が備えられる。すな わち、上述したクリップ 35を各基板 3に装着する排気管封止切断ロボット 14のロボット ハンドにパーナを備えるとともに、排気管装着部 6を下降させる手段としては、例えば 排気管装着部 6を張り出し部 38に対し昇降駆動可能に取り付けるようにすればよい。 パーナの位置制御は、画像情報を利用する上述の基板装入用空間 Sへ基板 3を挿 入する自動制御や排気管 5を装着孔 53に挿入する自動制御に類似した方式にて行 えばよい。

[0104] 切断されて排気管装着部 6に残留する残排気管 5は、同様にしてカメラで取得され る画像情報を利用して、まず排気管封止切断ロボット 14により把持され、次いでエア 供給'排気管 58を介して高圧エアが抜かれることで排気管装着部 6の環状シール 54 による保持が解除され、これ〖こより撤去されること〖こなる。残留する残排気管 5は、新 たな排気管 5をカート 2に供給する排気管ハンドリングロボット 12で撤去させるようにし ても良い。このようにすれば、排気管装着部 6から排気ポンプ 39にわたる系路に大気 が流入することを極力防止できる。

[0105] さらに、排気管 5が封止切断されて完成されたパネルをカート 2から荷下ろしする作 業を自動制御化するようになって!/、る。パネル荷下ろしロボット 15のロボット制御盤 1 9などの制御手段は、自動制御でパネルをカート 2の基板搭載部 4からパネル搬出用 コンベア 16に荷下ろしするために、カート 2の実停止位置情報およびパネルの実搭 載位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実搭載位置情 報に基づき、パネル荷下ろしロボット 15によるパネルの荷下ろし動作の制御情報を 出力する荷下ろし動作設定手段を備える。この自動制御は、基板 3の搭載作業と同 様な制御によって達成することができる。

[0106] パネルのカート 2からの荷下ろしにあたっては、まず、移動してきたカート 2がパネル 荷下ろしロボット 15の前方で停止すると、カメラにより検知された基準標識 IX, 1Yお よび 1Zの位置に基づいて、カート 2の基準停止位置と実停止位置との間の誤差量が 算出される。この算出された誤差量に基づき、ロボットハンドの第一基準移動停止位 置である第一計測地点の修正が行われる。従って、カート 2の実停止位置に誤差が 生じても、ロボットハンドの第一計測地点は、パネル位置を特定できる張り出し部 38 上の基準標識 1Hをカメラにより検知できる位置に修正される。

[0107] ステップ 2で、ロボットハンドが修正された第一計測地点にて停止すると、カメラによ つて張り出し部 38上の基準標識 1Hが検知され、パネルの基準搭載位置と実搭載位 置との間の誤差量が算出される。さらに、この算出された誤差量に基づき、ロボットノ、 ンドの第二基準移動停止位置である第二計測地点の修正が行われる。ステップ 1お よび 2により、パネルの実搭載位置に対するロボットハンドの適正な停止位置が決定 される。

[0108] 以上のようなパネル荷下ろしロボット 15の制御を行うことで、カート 2の実際の停止 位置のばらつき、製作誤差或いは各部の熱変形があっても、適正な位置にロボットハ ンドを移動させてパネルをカート 2から自動制御により荷下ろしすることができる。 図面の簡単な説明

[0109] [図 1]本発明にカゝかるプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムの好適な 一実施形態の全体構成を示す概略平面図である。

[図 2]図 1のパネル製造システムに適用されるカートを説明する図である。

[図 3]図 1のパネル製造システムに適用される熱処理炉の温度カーブを示すグラフ図 である。

[図 4]図 2のカートに設けられる排気装置等を示す概略構成図である。 圆 5]図 2のカートの走行機構の概略構成を示す説明図である。

圆 6]図 1のパネル製造システムに適用される排気管装着部等を示す側断面図であ る。

[図 7]図 6中、 D— D線矢視概略断面図である。

圆 8]図 6の排気管装着部への排気管の装着操作の第 1段階を示す側断面図である 圆 9]図 6の排気管装着部への排気管の装着操作の第 2段階を示す側断面図である 圆 10]図 6の排気管装着部の排気管上へ基板を搭載操作する第 1段階を示す側断 面図である。

圆 11]図 6の排気管装着部の排気管上へ基板を搭載操作する第 2段階を示す側断 面図である。

[図 12]図 1のパネル製造システムに適用される排気管装着部等の他の例を示す概略 側面図である。

圆 13]排気管のトレイへの配列状態を示す概略側面図である。

圆 14]排気管のトレイへの配列状態の他の例を示す概略側面図である。

圆 15]図 6の排気管装着部等のカートへの取り付け状態を示す側面図である。

圆 16]図 15に示した排気管装着部等のカートへの取り付け状態の平面図である。 圆 17]図 6の排気管装着部の画像情報を取得している状態を示す側面図である。

[図 18]図 1のパネル製造システムに適用される排気管の画像情報を取得して!/、る状 態を示す側面図である。

[図 19]図 1のパネル製造システムに適用される他の排気管の画像情報を取得して ヽ る状態を示す側面図である。

圆 20]基板と基板搭載部の変形状態との関係を説明する説明図である。

圆 21]基板の基板搭載部への手順を説明するフローチャート図である。

[図 22]図 1のパネル製造システムに適用される基板の通気孔の画像情報を取得して

V、る状態を示す側面図である。

[図 23]図 22に示した基板の通気孔の画像情報を取得している状態の平面図である。 [図 24]図 1のパネル製造システムに適用される基板搭載部を示す側面図である。

[図 25]図 24に示した基板搭載部の平面図である。

[図 26]図 24の基板搭載部に適用される遠隔位置サポートを示す拡大側面図である。

[図 27]図 1のパネル製造システムに適用される基板搭載部の他の例を示す側面図で ある。

[図 28]図 27に示した基板搭載部の平面図である。

[図 29]図 27に示した基板搭載部に適用される遠隔位置サポートの拡大側面図であ る。

[図 30]図 29に示した遠隔位置サポートの拡大平面図である。

[図 31]図 1のパネル製造システムに適用される排気管封止切断装置を示す側面図で ある。

[図 32]図 31に示した排気管封止切断装置の作動を説明する平面図である。

符号の説明

1 循環経路

2 カート

3 基板

4 基板搭載部

5 排気管

6 排気管装着部

7 排気装置

8 熱処理炉

9 積み卸し部

10 基板搬入用コンベア

11 排気管搬入用コンベア

12 排気管ハンドリングロボット

13 基板搭載ロボット

14 排気管封止切断ロボット

15 パネル荷下ろしロボット パネル搬出用コンベア カート制御盤 炉制御盤

ロボット制御盤 主制御盤

ロック装置

駆動バー

係合部

突起

サポート梁

サポート

a 近接位置サポートb 遠隔位置サポート 基板の通気孔 排気ポンプ

一気バ /レブ 放電ガス供給装置 放電ガス供給源 供給バルブ ノ ノレブコントローラ 装着孔

環状シール

スプリング

滑りガイド

梃子

ローラ

支持面

基板装入用空間 T 転動軸心

Claims

請求の範囲

[1] 閉ループ状に形成された循環経路と、

該循環経路上を、走行'停止を繰り返しつつ順次に移動する複数のカートと、 これらカートに設けられ、重ね合わされた少なくとも一組の一対の基板が搭載される 基板搭載部と、

これらカートに設けられ、排気管が上記一対の基板の一方に対面するようにして着 脱自在に装着される排気管装着部と、

これらカートに設けられ、上記排気管装着部に接続されて上記排気管を介して排 気処理を行う排気装置と、

上記循環経路に設備され、走行する上記カート上の少なくとも一組の上記一対の 基板相互の接合および上記排気管の該基板への接合のために熱処理を行うととも に、該カートの上記排気装置により該基板間からの排気処理が行われる熱処理炉と 上記循環経路に、上記カートの走行方向に沿って上記熱処理炉と隣接させて設備 された積み卸し部と、

該積み卸し部に、重ね合わせた上記一対の基板や上記排気管を搬入する搬入系 と、

上記積み卸し部に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、上記熱処理炉に装 入される上記カートに対して、上記排気管装着部および上記基板搭載部への上記 排気管および上記一対の基板の供給を行うとともに、該熱処理炉から抽出された該 カートに対して、該基板と接合されている該排気管の封止 ·切断および切断後に残 留する該排気管の撤去と、該排気管が切断されて完成されたパネルの荷下ろしを行 う作業ロボットと、

上記積み卸し部から上記パネルを搬出する搬出系と、

これらカート、排気装置、熱処理炉、搬入系、作業ロボット、並びに搬出系を制御す る制御手段と

を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[2] 前記カートは、排気処理後であって前記排気管の封止'切断の前に、前記排気管 装着部の該排気管を介して、前記一対の基板間に放電ガスを注入するための放電 ガス供給装置を備えることを特徴とする請求項 1に記載のプラズマディスプレイパネ ル等のパネル製造システム。

[3] 前記排気装置は、排気ポンプと、排気すべく開閉自在に開放される排気バルブと、 前記一対の基板間圧力が設定圧力に達したことを検出して上記排気ノ レブを閉止 する排気バルブコントローラとを備えることを特徴とする請求項 1または 2に記載のプ ラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[4] 前記放電ガス供給装置は、放電ガス供給源と、該放電ガス供給源から前記排気管 へ放電ガスを供給すべく開閉自在に開放される供給バルブと、前記一対の基板間圧 力が設定圧力に達したことを検出して上記供給バルブを閉止する供給バルブコント ローラとを備えることを特徴とする請求項 1〜3いずれかの項に記載のプラズマデイス プレイパネル等のパネル製造システム。

[5] 前記各カート毎に走行 ·停止操作を行うことが可能な駆動機構を備えるとともに、停 止した上記カートを前記循環経路に対して固定状態とするために、該カートに係脱 自在に係合するロック装置が備えられることを特徴とする請求項 1〜4いずれかの項 に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[6] 前記制御手段は、少なくとも一組の前記一対の基板の前記基板搭載部への搭載 操作と同時に一方の該基板に前記排気管を対面させる組み立てを完了するために 、該排気管を前記排気管装着部に装着した後に、上記一対の基板を上記基板搭載 部に搭載するように前記作業ロボットを制御することを特徴とする請求項 1〜5いずれ かの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[7] 前記制御手段は、自動制御で前記排気管を前記搬入系から前記カートの前記排 気管装着部に供給するために、該カートの実停止位置情報および該排気管装着部 の該排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報およ び実装着位置情報に基づき、前記作業ロボットによる排気管供給動作の制御情報を 出力する供給動作設定手段を備えることを特徴とする請求項 1〜6いずれかの項に 記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[8] 前記供給動作設定手段は、予め設定されて!、る前記カートの基準停止位置情報 に基づき実停止位置情報を画像情報として取得し、基準停止位置に対する実停止 位置の偏差力 上記カートの停止位置を修正し、予め設定されて 、るカート停止位 置からの前記排気管装着部の基準設置位置情報に基づき実設置位置情報を画像 情報として取得し、基準設置位置に対する実設置位置の偏差カゝら上記排気管装着 部の設置位置を修正し、前記排気管の実装着位置情報を画像情報として取得し、予 め設定されている上記排気管の基準装着位置に対する実装着位置の偏差力 該排 気管の装着位置を修正し、修正した修正供給動作を前記作業ロボットによる排気管 供給動作の制御情報として出力することを特徴とする請求項 7に記載のプラズマディ スプレイパネル等のパネル製造システム。

[9] 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記搬入系か ら取り出すために、取り出し待機位置における該排気管の実待機状態情報を画像情 報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準待機状態情報に対する実待 機状態情報の偏差に基づ 、て取り出し動作を修正し、修正した修正取り出し動作を 制御情報として出力する排気管取り出し動作修正手段を備えることを特徴とする請求 項 1〜8いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム

[10] 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記排気管を前記排気管装 着部に装着するために、該作業ロボットによる該排気管の実把持状態情報を画像情 報として取得し、予め設定されている上記排気管の基準把持状態情報に対する実把 持状態情報の偏差に基づ 、て装着動作を修正し、修正した修正装着動作を制御情 報として出力する排気管装着動作修正手段を備えることを特徴とする請求項 1〜9い ずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[11] 前記排気管装着部は、前記排気装置に連通させて形成され、前記排気管を上向き に装着するための装着孔と、該装着孔に設けられ、上記排気管に接離可能に圧接さ れて該排気管の周囲を気密にシールする環状シールとを備えることを特徴とする請 求項 1〜 10いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造シス テム。

[12] 前記環状シールの状態変化にかかわらず常に、前記排気管を上方力 搭載される 前記一対の基板の一方に圧接させるために、前記排気管装着部を上下方向に移動 自在とする上下スライド機構を備えるとともに、上記排気管装着部を上方へ向力つて 付勢する付勢手段を備えたことを特徴とする請求項 11に記載のプラズマディスプレ ィパネル等のパネル製造システム。

[13] 前記基板搭載部には、複数の仕切部によって、少なくとも一組の前記一対の基板 を個別に装入する基板装入用空間が形成されるとともに、前記制御手段は、自動制 御で前記作業ロボットにより上記各一対の基板を上記基板搭載部へ搭載するために 、上記基板装入用空間の寸法を画像情報として取得し、取得された寸法情報に基づ いて、上記一対の基板の上記基板装入用空間への装入の可否の制御情報を出力 する装入操作判定手段を備えることを特徴とする請求項 1〜12いずれかの項に記載 のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[14] 前記制御手段は、自動制御で前記作業ロボットにより前記搬入系から供給される少 なくとも一組の前記一対の基板の通気孔を前記カートの前記排気管装着部の前記 排気管に合致させるために、該排気管装着部に装着された該排気管の中心位置情 報および該一対の基板の搭載待機位置における該通気孔の中心位置情報を画像 情報として取得し、これら中心位置情報を用いて、予め上記作業ロボットに設定され ている上記一対の基板を搭載待機位置から上記基板搭載部へ供給する基準搭載動 作による上記排気管と上記通気孔との中心位置の誤差を算出し、誤差に基づいて修 正した修正搭載動作を制御情報として出力する搭載動作修正手段を備えることを特 徴とする請求項 1〜13いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネ ル製造システム。

[15] 前記基板搭載部は少なくとも一組の前記一対の基板を複数箇所で個々に支持す る複数のサポートを備え、これら複数のサポートのうち、前記排気管に近接する少なく とも一つの近接位置サポートを除く他の遠隔位置サポートは、上記一対の基板を、該 近接位置サポートに比して相対移動し易く支持することを特徴とする請求項 1〜14い ずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[16] 前記遠隔位置サポートは揺動可能であることを特徴とする請求項 15に記載のブラ ズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[17] 前記遠隔位置サポートは、転動軸心が前記排気管の中心位置方向と直交させて 配置され、その上に前記一対の基板を支持するローラ機構で構成されることを特徴と する請求項 15に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[18] 前記制御手段による自動制御で二つ割りに開閉自在に作動され、前記排気管の 封止 '切断を行うために閉じられて該排気管周囲を取り囲むヒータを備えたことを特 徴とする請求項 1〜17いずれかの項に記載のプラズマディスプレイパネル等のパネ ル製造システム。

[19] 前記制御手段による自動制御で作動され、前記排気管の封止，切断を行うために、 該排気管を溶融させるパーナおよび該排気管を延伸させるベく前記排気管装着部 を下降させる下降手段が備えられることを特徴とする請求項 1〜17いずれかの項に 記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。

[20] 前記制御手段は、自動制御で前記パネルを前記カートの前記基板搭載部力 前 記搬出系に荷下ろしするために、該カートの実停止位置情報および該パネルの実搭 載位置情報を画像情報として取得し、これら実停止位置情報および実搭載位置情 報に基づき、前記作業ロボットによる上記パネルの荷下ろし動作の制御情報を出力 する荷下ろし動作設定手段を備えることを特徴とする請求項 1〜19いずれかの項に 記載のプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム。