JP3779910B2 - 排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法 - Google Patents
排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3779910B2 JP3779910B2 JP2001344590A JP2001344590A JP3779910B2 JP 3779910 B2 JP3779910 B2 JP 3779910B2 JP 2001344590 A JP2001344590 A JP 2001344590A JP 2001344590 A JP2001344590 A JP 2001344590A JP 3779910 B2 JP3779910 B2 JP 3779910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- exhaust
- tip tube
- tube
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル或いは断熱ガラスパネル等の排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマディスプレイパネル等のパネル内を真空排気処理する場合、図１５及び１６に示すように、複数のパネルＰを多段積状態で保持する排気カート１０が使用され、この排気カート１０は排気カート本体１１と排気ヘッド支持部１２とパネル収納マガジン１３とからなっている。
排気カート本体１１は図示しない真空ポンプ等を内蔵し、下部に車輪を有し、レールＲ上を走行する。また、排気ヘッド支持部１２は排気カート本体１１上に立設された排気ヘッド支柱２１と、この排気ヘッド支柱２１から上下に適宜間隔で横方向に張出した複数の排気ヘッド取付け部材２２とからなり、排気ヘッド２４が後述するように、この排気ヘッド取付け部材２２の一部をなすブラケットによりばねを介して支持されている。さらに、パネル収納マガジン１３は排気カート本体１１上に立設された４本のマガジン支柱２５と、このマガジン支柱２５とマガジン支柱２５間に介設された横架材２５ａとにより支持されたパネルサポート梁２６とを備え、このパネルサポート梁２６には、パネルＰを支持するパネルサポート２７を備えている。
【０００３】
排気ヘッド２４は、図１７に示すように、周囲を冷却水ジャケット３１により囲まれた環状かつ中空の弾性部材からなる真空シール部３２が設けられた排気ヘッド本体３３を備え、この排気ヘッド本体３３がばね３４を介してブラケット３５により支持される。なお、３１ａは冷却水供給管、３１ｂは冷却水配水管、３２ａは高圧空気給排気管、４４は真空排気管である。また、ブラケット３５と排気ヘッド本体３３との間には、筒状体３６とこの筒状体３６内に摺動可能に嵌入したロッド３７とからなる滑りガイド３８が介設されており、排気ヘッド本体３３はブラケット３５に対して、相対的に上下動可能となっている。なお、前述したように、ブラケット３５は排気ヘッド取付け部材２２の一部をなす。
【０００４】
チップ管２３は排気ヘッド２４の上端面中心部のチップ管挿入孔３９から真空シール部３２の中心部を貫いて挿入され、高圧空気給排気管３２ａから高圧空気が送り込まれることにより膨張する真空シール部３２により垂直な状態で気密に保持される。一方、パネルＰのコーナ部には通気孔４１が設けられており、チップ管２３の上面にフリットシール４２が配置され、パネルＰはチップ管２３の中心と通気孔４１の中心とが一致し、かつ通気孔４１にフリットシール４２が当接するようにパネルサポート２７上に載置される。
【０００５】
そして、パネルＰがパネルサポート２７上に載置されると、パネルＰとチップ管２３とを一体的に固定するチップ管クリップ４３が装着される。その後、排気カート１０は封着排気炉内に装入されるとともに炉内を移動し、チップ管２３がパネルＰに封着されるとともに、チップ管２３を介してパネルＰの排気処理がなされる。
さらに、排気カート１０は封着排気炉外に移動し、炉外にてチップ管クリップ４３の取外し処理、チップ管Ｐの封止・切断処理、排気処理済みのパネルＰのパネル収納マガジン１３からの取出し処理及びこのパネルＰのパネル払出し装置への移載処理が行われる。
【０００６】
ところで、排気カート１０の移動時における振動或いは炉内での封着・排気処理中におけるマガジン支柱２５或いはパネルサポート梁２６の熱変形およびパネルＰの加熱・冷却による膨張・収縮等の原因で、炉外に出た排気カート１０におけるチップ管クリップ４３が、図１８に示すように、当初の装着位置からずれることがある。
また、前述した原因で、パネルＰの封着・排気処理後のチップ管２３がパネルＰに対して平行移動した状態、即ち、チップ管２３の中心と通気孔４１の中心とがずれた状態、或いは図１９に示すように、傾いた状態になることがある。
さらに、前述した原因で、排気カート１０上のパネルＰが、図２０に示すように、積載当初の位置から移動していることがある。
これらの理由により、排気処理済みパネルＰの排気カート１０からの搬出に至る一連の作業を人手に頼っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の人手による一連の作業は、作業効率が悪く、また低生産性であるという問題がある。
そこで、自動化のためのロボットを採用し、ロボットハンドを使って排気処理済みパネルＰからチップ管クリップ４３を取外し、左右両側からチップ管Ｐを挟み込むヒータ装置によるチップ管２３の封止・切断作業、パネルＰのパネル収納マガジン１３からの取出し及びパネルＰのパネル払出し装置への移載を行うことが考えられる。
【０００８】
しかしながら、取外されるチップ管クリップ４３が装着当初の位置からずれていると、図１８に示すように、ロボットハンドＨの中心線に沿った作動方向とチップ管クリップ４３の中心線とが一致せず、ロボットハンドＨによりチップ管クリップ４３を把持することができなかったり、把持することができたとしても、チップ管クリップ４３によりチップ管２３が傷付けられたり、最悪の場合には、チップ管２３が壊されるという問題が生じる。
【０００９】
また、チップ管２３が平行移動していると、前記ヒータ装置によるチップ管Ｐの包囲が不完全となり、チップ管２３の封止・切断ができない場合が生じる。仮に、チップ管Ｐの包囲が完全であっても、ヒータの断線が生じて、チップ管２３の封止・切断がなされない。しかし、ロボットハンドＨは、チップ管２３の封止・切断がなされたものとしてパネルＰの排気カート１０からの搬出作業を始めるため、チップ管２３を破損させてしまうという問題が生じる。
さらに、チップ管２３が傾いていると、ヒータ装置により強い力で無理やりチップ管２３を包囲することになり、チップ管２３が破損するという問題が生じる。
【００１０】
さらにまた、排気処理済みパネルＰが積載当初の位置からずれていると、ロボットハンドＨの先端部に取付けたフォークＦによりパネルＰを位置ずれしたままの状態で移送することになり、パネルＰのパネル払出し装置への移載が適正になされないという問題もある。
本発明は、斯る従来の問題をなくすことを課題としてなされたもので、ロボットにより排気カートからパネルを搬出するに際し、チップ管の破損、パネルからのリークを生じるのを回避し、正常にチップ管の封止・切断作業が行われたパネルのみを定位置に移送することを可能とした排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法を提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第一発明は、複数の排気処理済みパネルを収納したパネル収納マガジンを有する排気カートからロボットを用いてパネルを搬出するに際し、チップ管クリップの位置を検出し、このチップ管クリップの位置情報に基づきロボットハンドとチップ管クリップの各中心線を一致させてチップ管クリップの取外し処理を実行した後、チップ管の位置を検出し、このチップ管の位置情報に基づきチップ管封止・切断用のヒータ装置のチップ管への装着の可否を判断し、装着が可能であれば、前記装着の後、チップ管の封止・切断処理を実行し、その後、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し、移載処理を実行する構成とした。
【００１２】
第二発明は、第一発明の構成に加えて、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行する構成とした。
【００１３】
第三発明は、第一発明または第二発明の構成に加えて、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持して排気カートからパネルを取出した後、当該パネルの移載にあたり、このパネルの位置を検出し、その位置情報に基づきロボットハンドの位置を修正する構成とした。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法が適用される設備は、後述するように、チップ管クリップ、ロボットハンドにカメラを備えたなロボットを用いた点を除き、図１５〜１７に示す設備と実質的に変わるところはない。従って、以下、共通部分に関する限り、図１５〜１７に基づき、かつ同一番号を用いて説明する。
【００１５】
前記搬出方法は、大別してチップ管クリップの取外し処理、チップ管の封止・切断処理及びパネルの取出し・移載処理の各プロセスからなっており、以下、最初に実行されるチップ管クリップの取外し処理について、図１を参照しつつ説明する。
まずＳ（ステップ）１.１で、炉外に位置する排気カート１０上の排気処理済みパネルＰとチップ管２３を固定しているチップ管クリップ１の位置検出が行われる。図２〜４は、本発明において採用されるチップ管クリップ１を示し、下面に切り欠き部２を有するとともに、上面に長手方向の中心線上の両端に突設されピンからなる二つの基準標識３を有している。
【００１６】
そして、図５及び６に示すように、チップ管クリップ１の位置検出は、ロボットハンドＨに設けられたカメラＣにより直交する２方向（例：直交するＸ軸、Ｙ軸方向）から、二つの基準標識３が検知され、それらの間の距離ＸおよびＹが計測されることにより行われる。
なお、基準標識３はピンに限定するものでなく、チップ管クリップ１の上面の中心線上に必ずしも位置する必要はなく、カメラＣによりチップ管クリップ１の両端部が検知できるものであればよい。また、基準標識３の数は必ずしも二つである必要はなく、それよりも多くてもよい。
【００１７】
Ｓ１.２で、前記計測による結果に基づき、チップ管クリップ１が正規位置にあるか否か、即ち、ロボットハンドＨの移動停止位置でチップ管クリップ１の取外し処理が実行できるか否かが判断され、ＹＥＳの場合にはＳ１.３に進み、ＮＯの場合にはＳ１.４に進む。
Ｓ１.３で、チップ管クリップ１が正規位置にあり、ロボットハンドＨが予め定められた移動停止位置でチップ管クリップ１を取外し得る状態にあるということで、ロボットハンドＨによりチップ管クリップ１の取外しが行われる。
【００１８】
一方、Ｓ１.４で、前記計測による結果に基づき、チップ管クリップ１の正規位置からの位置ずれ量が算出される。即ち、計測された距離Ｘ及びＹに基づいて、チップ管クリップ１の予め定められた値からのＸ軸方向及びＹ軸方向におけるずれ量が算出される。
続くＳ１.５で、ロボットハンドの移動停止位置について、予め定められた移動停止位置から前記ずれ量だけ修正がなされる。即ち、図７に示すように、ロボットハンドＨの中心位置をチップ管クリップ１の長手方向の中心線に一致させるように、ロボットハンドＨの作動修正が行われる。
そして、Ｓ１.３で、前記同様にしてチップ管クリップ１の取外しが行われ、チップ管クリップ１の取外し処理が終了する。
【００１９】
次に、チップ管クリップ１の取外し処理の後に実行されるチップ管の封止・切断処理について、図８を参照しつつ説明する。
チップ管２３の封止・切断にあたり、まずＳ２.１で、図９及び１０に示すように、カメラＣにより前記同様２方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）からチップ管２３の位置検出が行われ、本来垂直であるべきチップ管２３の傾斜角度と中心からのずれ量が算出される。
Ｓ２.２で、算出された前記傾斜角度及び中心からのずれ量が、ロボットハンドによりチップ管２３を把持した場合にチップ管２３を傷付けない許容範囲内にあるか否かの判断がなされ、ＹＥＳの場合にはＳ２.３に進み、ＮＯの場合にはＳ２.７に進む。
【００２０】
Ｓ２.３で、封止・切断用のヒータ装置６がチップ管２３に装着される。このヒータ装置６は、図１１に示すように、半円形の端面中心部に半円形の凹所４が設けられた二つの分割ヒータ部６Ａ，６Ｂからなり、それぞれがヒータエレメントを内蔵している。この分割ヒータ部６Ａ，６Ｂはチップ管２３に、その両側から挟み込むように装着され、その結果、チップ管２３の全周を包囲する。
Ｓ２.４で、ヒータ部６に所定時間だけ通電され。通常、この結果、前記ヒータエレメントの加熱によりチップ管２３が封止され、溶断される。
【００２１】
Ｓ２.５で、図１２に示すように、カメラＣによりチップ管２３が検知され、チップ管２３が封止・切断されているか否かの確認が行われ、封止・切断されていると判断された場合、即ち、ＹＥＳの場合にはＳ２.６に進み、そうでない場合、即ち、ＮＯの場合にはＳ２.８に進む。
Ｓ２.６で、チップ管２３が封止・切断されたということで、ロボットハンドＨを初期位置に戻し、チップ管２３の封止・切断処理を完了する。この結果、パネルＰは完成した状態となる。
一方、Ｓ２.７およびＳ２.８で、チップ管２３の封止・切断ができない異常な状態が発生しているということで、警報を発し、チップ管２３の封止・切断処理が中止される。
【００２２】
前記Ｓ２.６でチップ管２３の封止・切断処理が終了すると、続いて完成したパネルＰの排気カート１０からの取出し、移載処理が行われる。そこで、この処理について、図１３を参照しつつ説明する。
まず、Ｓ３.１で、ロボットハンドの先端部に取付けたフォークＦによりパネルＰが下方から支持されてパネル収納マガジン１３から所定のパネル置き場まで取出される。
Ｓ３.２で、図１４に示すように、このパネル置き場におけるパネルＰが固定カメラＣにより検知され、パネルＰの位置計測が行われる。即ち、パネルＰの一コーナ部が検知され、これによりパネルＰの水平面内での傾き角度θが求められる。
【００２３】
Ｓ３.３で、前記傾き角度θが許容範囲内にあるか否か、即ち、ロボットハンドＨの移動停止位置でパネルＰの取出し及び移載処理が実行できるか否かが判断され、ＹＥＳの場合には、Ｓ３.４に進み、ＮＯの場合にはＳ３.５に進む。
Ｓ３.４で、パネルＰが正規位置にあるということで、ロボットハンドの先端部に取付けたフォークＦによりパネルＰが下から支持されて、所定のパネル払出し装置に移載され、パネルＰの取出し、移載処理が終了する。
【００２４】
一方、Ｓ３.５で、前記傾き角度θが許容範囲を超えるということで、前記一コーナ部の位置計測に基づき、ロボットハンドの停止位置のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置のずれ量が算出される。
Ｓ３.６で、ロボットハンドの移動停止位置について、予め定められた移動停止位置が前記ずれ量だけ修正がなされる。
そして、前述したＳ３.４に進み、パネルＰの取出し、移載処理が終了する。また、全てのパネルについて、前記Ｓ３.４での終了と同時に排気処理済みパネルＰの排気カート１０からの搬出が完了する。
【００２５】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、第一発明によれば、排気カートのパネル収納マガジンに収納された排気処理済みパネルを排気カートから搬出するにあたり、ロボットを用いて、チップ管クリップの位置情報に基づきロボットハンドと中心線とチップ管クリップのそれぞれの中心線を一致させてチップ管クリップを取外し、チップ管の位置情報に基づきチップ管にヒータ装置を装着して、チップ管の封止・切断を行い、その後パネルの下面を実施することにより、パネルの排気カートからの取出し・移載するようにしてある。
このため、チップ管クリップによりチップ管を傷付けたり、壊し排気処理されたパネルにリークが生じるのを防止し、ヒータ装置によりチップ管を破損することなく、封止・切断し、適正に排気処理済みパネルを搬出することが可能になるという効果を奏する。
【００２６】
第二発明によれば、第一発明の構成に加えて、チップ管の封止・切断にあたり、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行するようにしてある。
このため、第一発明による効果に加えて、パネルにチップ管が封着されたままの状態で、パネル収納マガジンからパネルを取出すことによるチップ管の破損、パネルのリークという事態の発生を防止することが可能になるという効果を奏する。
【００２７】
第三発明によれば、第一発明または第二発明の構成に加えて、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理の後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断が確認された場合には、排気カート上のパネルの下面をロボットハンドにより支持して排気カートからパネルを取出した後、当該パネルの移載にあたり、このパネルの位置を検出し、その位置情報に基づきロボットハンドの位置を修正するようにしてある。
このため、前述した効果に加えて、パネルを排気カートから適正な状態で移載することが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法におけるチップ管クリップの取外し処理のフローチャートである。
【図２】 本発明に係る前記方法に適用されるチップ管クリップの断面図である。
【図３】 図２に示すチップ管クリップの平面図である。
【図４】 図２に示すチップ管クリップの底面図である。
【図５】 本発明における前記チップ管クリップの取外し処理の際に、カメラにより計測される排気ヘッドに装着されたチップ管およびパネルを固定するチップ管を示す断面図である。
【図６】 図５に示すカメラによるチップ管クリップに対する計測状態を示す平面図である。
【図７】 本発明における前記チップ管クリップの取外し処理の際のロホットハンドによるチップ管クリップの取外し状態を示す平面図である。
【図８】 本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法におけるチップ管の封止・切断処理のフローチャートである。
【図９】 本発明における前記チップ管の封止・切断処理の際に、カメラにより計測される排気ヘッドに装着されたチップ管およびこのチップ管が封着されたパネルを示す断面図である。
【図１０】 カメラにより計測される図９に示す部分の平面図である。
【図１１】 本発明における前記チップ管の封止・切断処理の際に使用されるヒータ装置の正面図である。
【図１２】 本発明における前記チップ管の封止・切断処理の際に、カメラにより計測される排気ヘッドに装着されたチップ管が切断され、パネルから分離した状態を示す断面図である。
【図１３】 本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法におけるパネルの取出し・移載処理のフローチャートである。
【図１４】 本発明における前記パネルの取出し・移載処理の際に計測されるパネルの傾き角度及びパネルを取出すフォークを示す平面図である。
【図１５】 従来の排気カートの正面図である。
【図１６】 図１５に示す排気カートの平面図である。
【図１７】 図１５に示す排気カートにおける排気ヘッド、この排気ヘッドに装着されたチップ管及びこのチップ管とパネルとを固定するチップ管クリップを示す断面図である。
【図１８】 図１７に示すチップ管クリップが位置ずれを起こし、このチップ管クリップがロボットハンドにより取外される状態を示す平面図である。
【図１９】 図１７に示す排気ヘッドに装着されたチップ管が傾いた状態を示す断面図である。
【図２０】 図１６に示す排気カート上のパネルが位置ずれを起こし、このパネルがフォークにより取出される状態を示す平面図である。
【符号の説明】
１ チップ管クリップ ２ 切り欠き部
３ 基準標識 ４ 凹所
１０ 排気カート ２３ チップ管
２４ 排気ヘッド Ｈ ロボットハンド
Ｐ パネル
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル或いは断熱ガラスパネル等の排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマディスプレイパネル等のパネル内を真空排気処理する場合、図１５及び１６に示すように、複数のパネルＰを多段積状態で保持する排気カート１０が使用され、この排気カート１０は排気カート本体１１と排気ヘッド支持部１２とパネル収納マガジン１３とからなっている。
排気カート本体１１は図示しない真空ポンプ等を内蔵し、下部に車輪を有し、レールＲ上を走行する。また、排気ヘッド支持部１２は排気カート本体１１上に立設された排気ヘッド支柱２１と、この排気ヘッド支柱２１から上下に適宜間隔で横方向に張出した複数の排気ヘッド取付け部材２２とからなり、排気ヘッド２４が後述するように、この排気ヘッド取付け部材２２の一部をなすブラケットによりばねを介して支持されている。さらに、パネル収納マガジン１３は排気カート本体１１上に立設された４本のマガジン支柱２５と、このマガジン支柱２５とマガジン支柱２５間に介設された横架材２５ａとにより支持されたパネルサポート梁２６とを備え、このパネルサポート梁２６には、パネルＰを支持するパネルサポート２７を備えている。
【０００３】
排気ヘッド２４は、図１７に示すように、周囲を冷却水ジャケット３１により囲まれた環状かつ中空の弾性部材からなる真空シール部３２が設けられた排気ヘッド本体３３を備え、この排気ヘッド本体３３がばね３４を介してブラケット３５により支持される。なお、３１ａは冷却水供給管、３１ｂは冷却水配水管、３２ａは高圧空気給排気管、４４は真空排気管である。また、ブラケット３５と排気ヘッド本体３３との間には、筒状体３６とこの筒状体３６内に摺動可能に嵌入したロッド３７とからなる滑りガイド３８が介設されており、排気ヘッド本体３３はブラケット３５に対して、相対的に上下動可能となっている。なお、前述したように、ブラケット３５は排気ヘッド取付け部材２２の一部をなす。
【０００４】
チップ管２３は排気ヘッド２４の上端面中心部のチップ管挿入孔３９から真空シール部３２の中心部を貫いて挿入され、高圧空気給排気管３２ａから高圧空気が送り込まれることにより膨張する真空シール部３２により垂直な状態で気密に保持される。一方、パネルＰのコーナ部には通気孔４１が設けられており、チップ管２３の上面にフリットシール４２が配置され、パネルＰはチップ管２３の中心と通気孔４１の中心とが一致し、かつ通気孔４１にフリットシール４２が当接するようにパネルサポート２７上に載置される。
【０００５】
そして、パネルＰがパネルサポート２７上に載置されると、パネルＰとチップ管２３とを一体的に固定するチップ管クリップ４３が装着される。その後、排気カート１０は封着排気炉内に装入されるとともに炉内を移動し、チップ管２３がパネルＰに封着されるとともに、チップ管２３を介してパネルＰの排気処理がなされる。
さらに、排気カート１０は封着排気炉外に移動し、炉外にてチップ管クリップ４３の取外し処理、チップ管Ｐの封止・切断処理、排気処理済みのパネルＰのパネル収納マガジン１３からの取出し処理及びこのパネルＰのパネル払出し装置への移載処理が行われる。
【０００６】
ところで、排気カート１０の移動時における振動或いは炉内での封着・排気処理中におけるマガジン支柱２５或いはパネルサポート梁２６の熱変形およびパネルＰの加熱・冷却による膨張・収縮等の原因で、炉外に出た排気カート１０におけるチップ管クリップ４３が、図１８に示すように、当初の装着位置からずれることがある。
また、前述した原因で、パネルＰの封着・排気処理後のチップ管２３がパネルＰに対して平行移動した状態、即ち、チップ管２３の中心と通気孔４１の中心とがずれた状態、或いは図１９に示すように、傾いた状態になることがある。
さらに、前述した原因で、排気カート１０上のパネルＰが、図２０に示すように、積載当初の位置から移動していることがある。
これらの理由により、排気処理済みパネルＰの排気カート１０からの搬出に至る一連の作業を人手に頼っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の人手による一連の作業は、作業効率が悪く、また低生産性であるという問題がある。
そこで、自動化のためのロボットを採用し、ロボットハンドを使って排気処理済みパネルＰからチップ管クリップ４３を取外し、左右両側からチップ管Ｐを挟み込むヒータ装置によるチップ管２３の封止・切断作業、パネルＰのパネル収納マガジン１３からの取出し及びパネルＰのパネル払出し装置への移載を行うことが考えられる。
【０００８】
しかしながら、取外されるチップ管クリップ４３が装着当初の位置からずれていると、図１８に示すように、ロボットハンドＨの中心線に沿った作動方向とチップ管クリップ４３の中心線とが一致せず、ロボットハンドＨによりチップ管クリップ４３を把持することができなかったり、把持することができたとしても、チップ管クリップ４３によりチップ管２３が傷付けられたり、最悪の場合には、チップ管２３が壊されるという問題が生じる。
【０００９】
また、チップ管２３が平行移動していると、前記ヒータ装置によるチップ管Ｐの包囲が不完全となり、チップ管２３の封止・切断ができない場合が生じる。仮に、チップ管Ｐの包囲が完全であっても、ヒータの断線が生じて、チップ管２３の封止・切断がなされない。しかし、ロボットハンドＨは、チップ管２３の封止・切断がなされたものとしてパネルＰの排気カート１０からの搬出作業を始めるため、チップ管２３を破損させてしまうという問題が生じる。
さらに、チップ管２３が傾いていると、ヒータ装置により強い力で無理やりチップ管２３を包囲することになり、チップ管２３が破損するという問題が生じる。
【００１０】
さらにまた、排気処理済みパネルＰが積載当初の位置からずれていると、ロボットハンドＨの先端部に取付けたフォークＦによりパネルＰを位置ずれしたままの状態で移送することになり、パネルＰのパネル払出し装置への移載が適正になされないという問題もある。
本発明は、斯る従来の問題をなくすことを課題としてなされたもので、ロボットにより排気カートからパネルを搬出するに際し、チップ管の破損、パネルからのリークを生じるのを回避し、正常にチップ管の封止・切断作業が行われたパネルのみを定位置に移送することを可能とした排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法を提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第一発明は、複数の排気処理済みパネルを収納したパネル収納マガジンを有する排気カートからロボットを用いてパネルを搬出するに際し、チップ管クリップの位置を検出し、このチップ管クリップの位置情報に基づきロボットハンドとチップ管クリップの各中心線を一致させてチップ管クリップの取外し処理を実行した後、チップ管の位置を検出し、このチップ管の位置情報に基づきチップ管封止・切断用のヒータ装置のチップ管への装着の可否を判断し、装着が可能であれば、前記装着の後、チップ管の封止・切断処理を実行し、その後、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し、移載処理を実行する構成とした。
【００１２】
第二発明は、第一発明の構成に加えて、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行する構成とした。
【００１３】
第三発明は、第一発明または第二発明の構成に加えて、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持して排気カートからパネルを取出した後、当該パネルの移載にあたり、このパネルの位置を検出し、その位置情報に基づきロボットハンドの位置を修正する構成とした。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法が適用される設備は、後述するように、チップ管クリップ、ロボットハンドにカメラを備えたなロボットを用いた点を除き、図１５〜１７に示す設備と実質的に変わるところはない。従って、以下、共通部分に関する限り、図１５〜１７に基づき、かつ同一番号を用いて説明する。
【００１５】
前記搬出方法は、大別してチップ管クリップの取外し処理、チップ管の封止・切断処理及びパネルの取出し・移載処理の各プロセスからなっており、以下、最初に実行されるチップ管クリップの取外し処理について、図１を参照しつつ説明する。
まずＳ（ステップ）１.１で、炉外に位置する排気カート１０上の排気処理済みパネルＰとチップ管２３を固定しているチップ管クリップ１の位置検出が行われる。図２〜４は、本発明において採用されるチップ管クリップ１を示し、下面に切り欠き部２を有するとともに、上面に長手方向の中心線上の両端に突設されピンからなる二つの基準標識３を有している。
【００１６】
そして、図５及び６に示すように、チップ管クリップ１の位置検出は、ロボットハンドＨに設けられたカメラＣにより直交する２方向（例：直交するＸ軸、Ｙ軸方向）から、二つの基準標識３が検知され、それらの間の距離ＸおよびＹが計測されることにより行われる。
なお、基準標識３はピンに限定するものでなく、チップ管クリップ１の上面の中心線上に必ずしも位置する必要はなく、カメラＣによりチップ管クリップ１の両端部が検知できるものであればよい。また、基準標識３の数は必ずしも二つである必要はなく、それよりも多くてもよい。
【００１７】
Ｓ１.２で、前記計測による結果に基づき、チップ管クリップ１が正規位置にあるか否か、即ち、ロボットハンドＨの移動停止位置でチップ管クリップ１の取外し処理が実行できるか否かが判断され、ＹＥＳの場合にはＳ１.３に進み、ＮＯの場合にはＳ１.４に進む。
Ｓ１.３で、チップ管クリップ１が正規位置にあり、ロボットハンドＨが予め定められた移動停止位置でチップ管クリップ１を取外し得る状態にあるということで、ロボットハンドＨによりチップ管クリップ１の取外しが行われる。
【００１８】
一方、Ｓ１.４で、前記計測による結果に基づき、チップ管クリップ１の正規位置からの位置ずれ量が算出される。即ち、計測された距離Ｘ及びＹに基づいて、チップ管クリップ１の予め定められた値からのＸ軸方向及びＹ軸方向におけるずれ量が算出される。
続くＳ１.５で、ロボットハンドの移動停止位置について、予め定められた移動停止位置から前記ずれ量だけ修正がなされる。即ち、図７に示すように、ロボットハンドＨの中心位置をチップ管クリップ１の長手方向の中心線に一致させるように、ロボットハンドＨの作動修正が行われる。
そして、Ｓ１.３で、前記同様にしてチップ管クリップ１の取外しが行われ、チップ管クリップ１の取外し処理が終了する。
【００１９】
次に、チップ管クリップ１の取外し処理の後に実行されるチップ管の封止・切断処理について、図８を参照しつつ説明する。
チップ管２３の封止・切断にあたり、まずＳ２.１で、図９及び１０に示すように、カメラＣにより前記同様２方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）からチップ管２３の位置検出が行われ、本来垂直であるべきチップ管２３の傾斜角度と中心からのずれ量が算出される。
Ｓ２.２で、算出された前記傾斜角度及び中心からのずれ量が、ロボットハンドによりチップ管２３を把持した場合にチップ管２３を傷付けない許容範囲内にあるか否かの判断がなされ、ＹＥＳの場合にはＳ２.３に進み、ＮＯの場合にはＳ２.７に進む。
【００２０】
Ｓ２.３で、封止・切断用のヒータ装置６がチップ管２３に装着される。このヒータ装置６は、図１１に示すように、半円形の端面中心部に半円形の凹所４が設けられた二つの分割ヒータ部６Ａ，６Ｂからなり、それぞれがヒータエレメントを内蔵している。この分割ヒータ部６Ａ，６Ｂはチップ管２３に、その両側から挟み込むように装着され、その結果、チップ管２３の全周を包囲する。
Ｓ２.４で、ヒータ部６に所定時間だけ通電され。通常、この結果、前記ヒータエレメントの加熱によりチップ管２３が封止され、溶断される。
【００２１】
Ｓ２.５で、図１２に示すように、カメラＣによりチップ管２３が検知され、チップ管２３が封止・切断されているか否かの確認が行われ、封止・切断されていると判断された場合、即ち、ＹＥＳの場合にはＳ２.６に進み、そうでない場合、即ち、ＮＯの場合にはＳ２.８に進む。
Ｓ２.６で、チップ管２３が封止・切断されたということで、ロボットハンドＨを初期位置に戻し、チップ管２３の封止・切断処理を完了する。この結果、パネルＰは完成した状態となる。
一方、Ｓ２.７およびＳ２.８で、チップ管２３の封止・切断ができない異常な状態が発生しているということで、警報を発し、チップ管２３の封止・切断処理が中止される。
【００２２】
前記Ｓ２.６でチップ管２３の封止・切断処理が終了すると、続いて完成したパネルＰの排気カート１０からの取出し、移載処理が行われる。そこで、この処理について、図１３を参照しつつ説明する。
まず、Ｓ３.１で、ロボットハンドの先端部に取付けたフォークＦによりパネルＰが下方から支持されてパネル収納マガジン１３から所定のパネル置き場まで取出される。
Ｓ３.２で、図１４に示すように、このパネル置き場におけるパネルＰが固定カメラＣにより検知され、パネルＰの位置計測が行われる。即ち、パネルＰの一コーナ部が検知され、これによりパネルＰの水平面内での傾き角度θが求められる。
【００２３】
Ｓ３.３で、前記傾き角度θが許容範囲内にあるか否か、即ち、ロボットハンドＨの移動停止位置でパネルＰの取出し及び移載処理が実行できるか否かが判断され、ＹＥＳの場合には、Ｓ３.４に進み、ＮＯの場合にはＳ３.５に進む。
Ｓ３.４で、パネルＰが正規位置にあるということで、ロボットハンドの先端部に取付けたフォークＦによりパネルＰが下から支持されて、所定のパネル払出し装置に移載され、パネルＰの取出し、移載処理が終了する。
【００２４】
一方、Ｓ３.５で、前記傾き角度θが許容範囲を超えるということで、前記一コーナ部の位置計測に基づき、ロボットハンドの停止位置のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置のずれ量が算出される。
Ｓ３.６で、ロボットハンドの移動停止位置について、予め定められた移動停止位置が前記ずれ量だけ修正がなされる。
そして、前述したＳ３.４に進み、パネルＰの取出し、移載処理が終了する。また、全てのパネルについて、前記Ｓ３.４での終了と同時に排気処理済みパネルＰの排気カート１０からの搬出が完了する。
【００２５】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、第一発明によれば、排気カートのパネル収納マガジンに収納された排気処理済みパネルを排気カートから搬出するにあたり、ロボットを用いて、チップ管クリップの位置情報に基づきロボットハンドと中心線とチップ管クリップのそれぞれの中心線を一致させてチップ管クリップを取外し、チップ管の位置情報に基づきチップ管にヒータ装置を装着して、チップ管の封止・切断を行い、その後パネルの下面を実施することにより、パネルの排気カートからの取出し・移載するようにしてある。
このため、チップ管クリップによりチップ管を傷付けたり、壊し排気処理されたパネルにリークが生じるのを防止し、ヒータ装置によりチップ管を破損することなく、封止・切断し、適正に排気処理済みパネルを搬出することが可能になるという効果を奏する。
【００２６】
第二発明によれば、第一発明の構成に加えて、チップ管の封止・切断にあたり、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行するようにしてある。
このため、第一発明による効果に加えて、パネルにチップ管が封着されたままの状態で、パネル収納マガジンからパネルを取出すことによるチップ管の破損、パネルのリークという事態の発生を防止することが可能になるという効果を奏する。
【００２７】
第三発明によれば、第一発明または第二発明の構成に加えて、前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理の後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断が確認された場合には、排気カート上のパネルの下面をロボットハンドにより支持して排気カートからパネルを取出した後、当該パネルの移載にあたり、このパネルの位置を検出し、その位置情報に基づきロボットハンドの位置を修正するようにしてある。
このため、前述した効果に加えて、パネルを排気カートから適正な状態で移載することが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法におけるチップ管クリップの取外し処理のフローチャートである。
【図２】 本発明に係る前記方法に適用されるチップ管クリップの断面図である。
【図３】 図２に示すチップ管クリップの平面図である。
【図４】 図２に示すチップ管クリップの底面図である。
【図５】 本発明における前記チップ管クリップの取外し処理の際に、カメラにより計測される排気ヘッドに装着されたチップ管およびパネルを固定するチップ管を示す断面図である。
【図６】 図５に示すカメラによるチップ管クリップに対する計測状態を示す平面図である。
【図７】 本発明における前記チップ管クリップの取外し処理の際のロホットハンドによるチップ管クリップの取外し状態を示す平面図である。
【図８】 本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法におけるチップ管の封止・切断処理のフローチャートである。
【図９】 本発明における前記チップ管の封止・切断処理の際に、カメラにより計測される排気ヘッドに装着されたチップ管およびこのチップ管が封着されたパネルを示す断面図である。
【図１０】 カメラにより計測される図９に示す部分の平面図である。
【図１１】 本発明における前記チップ管の封止・切断処理の際に使用されるヒータ装置の正面図である。
【図１２】 本発明における前記チップ管の封止・切断処理の際に、カメラにより計測される排気ヘッドに装着されたチップ管が切断され、パネルから分離した状態を示す断面図である。
【図１３】 本発明に係る排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法におけるパネルの取出し・移載処理のフローチャートである。
【図１４】 本発明における前記パネルの取出し・移載処理の際に計測されるパネルの傾き角度及びパネルを取出すフォークを示す平面図である。
【図１５】 従来の排気カートの正面図である。
【図１６】 図１５に示す排気カートの平面図である。
【図１７】 図１５に示す排気カートにおける排気ヘッド、この排気ヘッドに装着されたチップ管及びこのチップ管とパネルとを固定するチップ管クリップを示す断面図である。
【図１８】 図１７に示すチップ管クリップが位置ずれを起こし、このチップ管クリップがロボットハンドにより取外される状態を示す平面図である。
【図１９】 図１７に示す排気ヘッドに装着されたチップ管が傾いた状態を示す断面図である。
【図２０】 図１６に示す排気カート上のパネルが位置ずれを起こし、このパネルがフォークにより取出される状態を示す平面図である。
【符号の説明】
１ チップ管クリップ ２ 切り欠き部
３ 基準標識 ４ 凹所
１０ 排気カート ２３ チップ管
２４ 排気ヘッド Ｈ ロボットハンド
Ｐ パネル
Claims (3)
- 複数の排気処理済みパネルを収納したパネル収納マガジンを有する排気カートからロボットを用いてパネルを搬出するに際し、チップ管クリップの位置を検出し、このチップ管クリップの位置情報に基づきロボットハンドとチップ管クリップの各中心線を一致させてチップ管クリップの取外し処理を実行した後、チップ管の位置を検出し、このチップ管の位置情報に基づきチップ管封止・切断用のヒータ装置のチップ管への装着の可否を判断し、装着が可能であれば、前記装着の後、チップ管の封止・切断処理を実行し、その後、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行することを特徴とする排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法。
- 前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持してパネルの排気カートからの取出し・移載処理を実行することを特徴とする請求項１に記載の排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法。
- 前記ヒータ装置によるチップ管の封止・切断処理を実行した後、チップ管の切断がなされたか否を判断し、前記切断がなされている場合には、ロボットハンドによりパネルの下面を支持して排気カートからパネルを取出した後、当該パネルの移載にあたり、このパネルの位置を検出し、その位置情報に基づきロボットハンドの位置を修正することを特徴とする請求項１または２に記載の排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001344590A JP3779910B2 (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001344590A JP3779910B2 (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003145467A JP2003145467A (ja) | 2003-05-20 |
| JP3779910B2 true JP3779910B2 (ja) | 2006-05-31 |
Family
ID=19158089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001344590A Expired - Fee Related JP3779910B2 (ja) | 2001-11-09 | 2001-11-09 | 排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3779910B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4166128B2 (ja) * | 2003-08-11 | 2008-10-15 | 中外炉工業株式会社 | ガラスチップ管の封止切断方法 |
-
2001
- 2001-11-09 JP JP2001344590A patent/JP3779910B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003145467A (ja) | 2003-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20080071408A1 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, computer program, and storage medium | |
| KR100723119B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 그 반송 위치 설정 방법 | |
| JP7296303B2 (ja) | アライメントシステム、成膜装置、成膜方法、電子デバイスの製造方法、および、アライメント装置 | |
| JPH1086085A (ja) | 基板吸着装置および基板吸着方法 | |
| TW200834792A (en) | Substrate treatment equipment, substrate transfer method, and computer program | |
| KR20120051592A (ko) | 진공 처리 장치의 조립 방법 및 진공 처리 장치 | |
| US8532818B2 (en) | Vacuum chamber | |
| KR101074620B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 등의 패널 제조 시스템 | |
| JP3779910B2 (ja) | 排気処理済みパネルの排気カートからの搬出方法 | |
| JP2009081267A (ja) | 基板搬送位置の位置合わせ方法、基板処理システムおよびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
| JP2004203604A (ja) | 方形板状ワークの移載方法及び移載装置 | |
| JP5171230B2 (ja) | アライメントマークの検出装置及び方法 | |
| US10600754B2 (en) | Bonding method | |
| JP3641452B2 (ja) | チップ管の排気ヘッドへの装着方法 | |
| KR20230032035A (ko) | 카세트 반송 시스템 및 카세트 위치 자동 티칭 방법 | |
| EP1655756B1 (en) | Glass chip tube seal-cutting method | |
| JP3950328B2 (ja) | チップ管封止・切断装置 | |
| TWI391979B (zh) | 電漿顯示面板等之面板製造系統 | |
| JP3670997B2 (ja) | チップ管の封着方法およびそれに使用する排気ヘッド | |
| JP3866085B2 (ja) | パネルの排気カートへの積載方法 | |
| JP6700124B2 (ja) | 搬送対象物を搬送する搬送方法 | |
| JP2006049220A (ja) | プラズマディスプレイパネル等のパネル製造システム | |
| JP2001358208A (ja) | ウェハ処理装置、そのウェハ位置ずれ検出装置およびウェハ位置ずれ検出方法 | |
| JP2002324486A (ja) | 排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法 | |
| KR20040013195A (ko) | 카세트의 직각도 자동 감지장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040527 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060220 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060228 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060303 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090310 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090310 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100310 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100310 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120310 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130310 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130310 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |