TWI391979B

TWI391979B - 電漿顯示面板等之面板製造系統

Info

Publication number: TWI391979B
Application number: TW94135142A
Authority: TW
Inventors: Kisoda Kinya
Original assignee: Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd
Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2005-10-07
Publication date: 2013-04-01

Description

電漿顯示面板等之面板製造系統

本發明有關於可以大致全自動化製造電漿顯示面板等之面板之電漿顯示面板等之面板製造系統。

本案申請人至目前對於電漿顯示面板等之面板製造系統，申請有例如下列專利文獻1~5所揭示之自動化技術。

[專利文獻1]日本專利特開2002－175758號公報[專利文獻2]日本專利特開2002－324486號公報[專利文獻3]日本專利特開2003－123648號公報[專利文獻4]日本專利特開2003－141994號公報[專利文獻5]日本專利特開2003－146409號公報

在先前技術之電漿顯示面板等之面板之製造系統中，希望提案一種製造系統，可以根據上述專利文獻1~5等，達成部份之自動化，和搬入作為組裝材料之基板或排氣管，裝載到運搬車(cart)，隨著該裝載將排氣管配置到基板，然後在熱處理爐內進行加熱處理和排氣處理之後，進行排氣管之密封/切斷處理，然後搬出製品化後之面板，可以在一貫之自動控制之下，一連貫地進行該等之各種作業。

亦即，在先前技術中，從基板等之裝載到運搬車起，到製品化後之面板之搬出為止，可以以一連貫之自動控制連續製造之系統尚未存在，通常是成批式系統，利用手動進行設定，另外特別是在製造過程中基板在運搬車上大多會產生相對之變位，排氣管和基板之相對位置之固定和維持會有困難，因此不能達成全自動化，其結果是良率之改善或省力化，大量生產化方面具有一定之限度。

本發明針對上述之問題而提案，其目的是提供可以大致全自動化製造電漿顯示面板等之面板之電漿顯示面板等之面板製造系統。

本發明之電漿顯示面板等之面板製造系統，其特徵在於具備有：循環路徑，形成閉環狀；多個運搬車，在該循環路徑上，一面重複行走/停止，而一面順序地進行移動；基板裝載部，被設在該等運搬車上，用來裝載重疊之至少一組之一對基板；排氣管裝著部，設在該等運搬車上，以可自由裝卸之方式裝著排氣管成為面對上述一對之基板一方；排氣裝置，設在該等運搬車上，連接到上述排氣管裝著部，經由上述排氣管進行排氣處理；熱處理爐，被設置在上述循環路徑，用來進行熱處理藉以使所行走之上述運搬車上之至少一組之上述一對基板進行互相接合和上述排氣管對該基板之接合，同時利用該運搬車之上述排氣裝置進行來自該基板間之排氣處理；裝卸部，被設置在上述循環路徑上，沿著上述運搬車之行走方向形成與上述熱處理爐鄰接；搬入系統，用來將重疊之上述一對基板或上述排氣管搬入到該裝卸部；作業機器人，被設在上述裝卸部，根據控制資訊進行動作，對於裝入在上述熱處理爐之上述運搬車，進行將上述排氣管和上述一對基板供給到上述排氣管裝著部和上述基板裝載部，同時對於從該熱處理爐抽出之該運搬車，進行與該基板接合之該排氣管之密封/切斷和切斷後殘留之該排氣管的撤去，和進行完成該排氣管被切斷之面板的下載；搬出系統，用來從上述裝卸部搬出上述面板；和控制手段，用來控制該等運搬車、排氣裝置、熱處理爐、搬入系統、作業機器人和搬出系統。

上述運搬車其特徵在於具備放電氣體供給裝置，特別是在製造電漿顯示面板之情況時，在排氣處理後，上述排氣管之密封/切斷之前，經由上述排氣管裝著部之該排氣管，用來將放電氣體注入到上述一對基板間。

上述排氣裝置其特徵在於具備有：排氣泵；排氣閥，其為了欲排氣而自由開閉地開放；和排氣閥控制器，其在檢測到上述一對基板間之壓力達到設定壓力時，使上述排氣閥閉合。

上述放電氣體供給裝置其特徵在於具備有：放電氣體供給源；供給閥，其為了從該放電氣體供給源對上述排氣管供給放電氣體而自由開閉地開放；和供給閥控制器，其在檢測到上述一對基板間之壓力達到設定壓力時，使上述供給閥閉合。

上述面板製造系統其特徵在於更具備有可以對上述每一個運搬車進行行走/停止操作的驅動機構，同時具備有鎖定裝置，其可自由裝卸地接合在該運搬車，用來使停止之上述運搬車對上述循環路徑成為固定狀態。

上述控制手段其特徵在於要進行至少一組之上述一對基板裝載到上述基板裝載部之裝載操作的同時，使上述排氣管面對一方之該基板藉以完成組裝時，而在將該排氣管裝著在上述排氣管裝著部之後，控制上述作業機器人成為將上述一對基板裝載在上述基板裝載部。

上述控制手段其特徵在於具備有供給動作設定手段，其為了以自動控制將上述排氣管從上述搬入系統供給到上述運搬車之上述排氣管裝著部，而取得該運搬車之實際停止位置資訊和該排氣管裝著部之該排氣管之實際裝著位置資訊作為影像資訊，根據該等實際停止位置資訊和實際裝著位置資訊，利用上述作業機器人輸出排氣管供給動作之控制資訊。

上述供給動作設定手段其特徵在於根據預先設定之上述運搬車的基準停止位置資訊，取得實際停止位置資訊作為影像資訊，依照實際停止位置對基準停止位置之偏差修正上述運搬車之停止位置，根據來自預先設定之運搬車停止位置的上述排氣管裝著部之基準設置位置資訊，取得實際設置位置資訊作為影像資訊，依照實際設置位置對基準設置位置之偏差，修正上述排氣管裝著部之設置位置，取得上述排氣管之實際裝著位置資訊作為影像資訊，依照實際裝著位置對預定之上述排氣管之基準裝著位置之偏差，修正該排氣管之裝著位置，利用上述作業機器人輸出修正後之修正供給動作，作為排氣管供給動作之控制資訊。

上述控制手段其特徵在於具備有排氣管取出動作修正手段，其為了利用自動控制使用上述作業機器人，從上述搬入系統取出上述排氣管，而取得要取出之待機位置的該排氣管之實際待機狀態資訊作為影像資訊，根據實際待機狀態資訊對預先設定之上述排氣管之基準待機狀態資訊之偏差，修正取出動作，且輸出修正後之修正取出動作作為控制資訊。

上述控制手段其特徵在於具備有排氣管裝著動作修正手段，其為了利用自動控制使用上述作業機器人，將上述排氣管裝著在上述排氣管裝著部，而利用該作業機器人取得該排氣管之實際保持狀態資訊作為影像資訊，根據實際保持狀態資訊對預先設定之上述排氣管之基準保持狀態資訊之偏差，修正裝著動作，輸出修正後之修正裝著動作作為控制資訊。

上述排氣管裝著部其特徵在於具備有：裝著孔，其形成與上述排氣裝置連通，用來裝著上述排氣管成為向上；和環狀密封件，其設在該裝著孔，可接離地壓接在上述排氣管，用來氣密式地密封該排氣管之周圍。

上述面板製造系統其特徵在於與上述環狀密封件之狀態變化無關，為了經常從上方裝載上述排氣管使其壓接在上述一對基板之一方，而具備有上下滑動機構以使上述排氣管裝著部在上下方向自由移動，同時具備有激勵手段以使上述排氣管裝著部朝向上方激勵。

上述面板製造系統其特徵在於在上述基板裝載部利用多個之分隔部形成有基板裝入用空間，用來個別地裝入至少一組之上述一對基板，同時上述控制手段具備有裝入操作判定手段，其為了利用自動控制使用上述作業機器人，將上述各一對基板裝載在上述基板裝載部，而取得上述基板裝入用空間之尺寸作為影像資訊，且根據所取得之尺寸資訊，輸出上述一對基板可否裝入到上述基板裝入用空間之控制資訊。

上述控制手段其特徵在於具備有裝載動作修正手段，其為了利用自動控制使用上述作業機器人使從上述搬入系統供給之至少一組之上述一對基板之通氣孔，與上述運搬車之上述排氣管裝著部之上述排氣管一致，而取得被裝著在該排氣管裝著部之該排氣管之中心位置資訊和該一對基板之裝載待機位置之該通氣孔的中心位置資訊，作為影像資訊，使用該等中心位置資訊，依將預先設定於上述作業機器人之上述一對基板從裝載待機位置供給到上述基板裝載部之基準裝載動作算出上述排氣管和上述通氣孔之中心位置之誤差，根據誤差輸出修正後之修正裝載動作作為控制資訊。

上述基板裝載部其特徵在於具備有在多個位置分別支持至少一組之上述一對基板的多個支持器，在該等之多個支持器中，除了接近上述排氣管之至少一個接近位置支持器外，其他之遠離位置支持器，以比該接近位置支持器易於相對移動之方式，支持上述一對基板。

上述遠離位置支持器其特徵在於可以搖動。

上述遠離位置支持器其特徵在於被配置成使其轉動軸心與上述排氣管之中心位置方向正交，由將上述一對基板支持在其上之滾輪機構構成。

上述面板製造系統其特徵在於更具備有加熱器，其利用上述控制手段之自動控制分成二個可自由開閉地動作，且為了用來進行上述排氣管之密封/切斷而被封閉以包圍該排氣管周圍。

上述面板製造系統其特徵在於更具備有：為了利用上述控制手段之自動控制而動作，且進行上述排氣管之密封/切斷，而使該排氣管熔融之燃燒器，和為了使該排氣管延伸而使上述排氣管裝著部下降的下降手段。

上述控制手段其特徵在於更具備有下載動作設定手段，其為了利用自動控制將上述面板從上述運搬車之上述基板裝載部下載到上述搬出系統，而取得該運搬車之實際停止位置資訊和該面板之實際裝載位置資訊作為影像資訊，且根據該等之實際停止位置資訊和實際裝載位置資訊，利用上述作業機器人輸出上述面板之下載動作之控制資訊。

本發明之電漿顯示面板等之面板製造系統，可以以大致全自動化製造電漿顯示面板等之面板。

下面參照附圖用來詳細地說明本發明之電漿顯示面板等之面板製造系統之較佳實施形態。本實施形態之電漿顯示面板等之面板製造系統之概略如圖1~圖4所示，其構成具備有：循環路徑1，形成閉環狀；多個運搬車2，在循環路徑1上，重複地行走/停止，順序地進行移動；基板裝載部4，被設在該等之運搬車2，裝載有重疊之至少一組之一對之基板3、3；排氣管裝著部6，被設在該等之運搬車2，可自由裝卸地裝著排氣管5成為對面一對之基板3之一方；排氣裝置7，被設在該等運搬車2，經由排氣管5連接到排氣管裝著部6，用來進行排氣處理；熱處理爐8，被設在循環路徑1，要使行走之運搬車2上之至少一組之一對基板3互相接合和使排氣管5對基板3接合時，進行熱處理，利用運搬車2之排氣裝置7經由排氣管5，進行從一對之基板3間之排氣處理；裝卸部9，被設置在循環路徑1，沿著運搬車2之行走方向鄰接熱處理爐8；基板搬入用輸送帶10和排氣管搬入用輸送帶11，成為搬入系統，用來搬入重疊之一對之基板3或排氣管5；作業機器人12~15，被設在裝卸部9，根據控制資訊進行動作，對被裝入熱處理爐8之運搬車2，進行對排氣管裝著部6和基板裝載部4供給排氣管5和一對之基板3，和對從熱處理爐8抽出之運搬車2，進行與基板3接合之排氣管5之密封/切斷，和切斷後殘留之排氣管5之撤去，排氣管5被切斷完成之面板之下載；作為搬出系統之面板搬出用輸送帶16，用來從裝卸部9搬出面板；和控制手段17~20，用來控制該等之運搬車2，排氣裝置7，熱處理爐8，作為搬入系統之基板搬入用輸送帶10，排氣管搬入用輸送帶11，作業機器人12~15，和作為搬出系統之面板輸出用輸送帶16。

裝卸部9從在循環路徑1移動之運搬車2之行走方向看時，具有與熱處理爐8鄰接之關係，被設在進行對運搬車2供給基板3或排氣管5之供給作業，或進行從運搬車2下載製品化之面板之作業之場所。在裝卸部9設有作為搬入系統用來搬入經由玻璃料密封件重疊之狀態之一對基板3之基板搬入用輸送帶10，和用來搬入上端設有玻璃料密封件21之排氣管5之排氣管搬入輸送帶11，和作為搬出系統之用來搬出完成之面板之面板搬出用輸送帶16。運搬車2在搬出從熱處理爐8抽出之面板之後，供給新的基板3和排氣管5，再度裝入到熱處理爐8。

另外，在裝卸部9適當地配置有用來進行各種作業之作業機器人12~15。實質上在熱處理爐8之裝入口8a側，沿著朝向該熱處理爐8之運搬車2之行走方向，依照對運搬車2之排氣管5或基板3之建立順序，順序地設置排氣管處置機器人12，和基板裝載機器人13。排氣管處置機器人12將排氣管5從排氣管搬入用輸送帶11供給到運搬車2之排氣管裝著部6，基板裝載機器人13將互相重疊之一對之基板3，從基板用搬入輸送帶10供給到運搬車2之基板裝載部4。另外，在熱處理爐8之抽出口8b側，沿著從該熱處理爐8抽出之運搬車2之行走方向，順序地設置排氣管密封切斷機器人14和面板下載機器人15。

排氣管密封切斷機器人14用來密封和切斷接合在基板3之用在排氣處理之排氣管5，和將切斷之排氣管5從排氣管裝著部6撤去。另外，面板下載機器人15用來將完成切斷排氣管5之面板，從運搬車2下載，移載到面板搬出用輸送帶16。另外，在裝卸部9之適當之位置設置：運搬車控制盤17，用來控制運搬車2之行走，或排氣裝置7等之運搬車2上之各種機器；爐控制盤18，用來控制熱處理爐8之運轉；多個之機器人控制盤19，分別對各種之機器人進行控制；和主控制盤20，用來控制包含基板3或排氣管5之搬入用輸送帶10、11或面板搬出用輸送帶16之設備全體。

循環路徑1被設置在工廠設備內。該循環路徑1之構成包含有：軌道23，並排地設置成互相平行之一對，例如使具備有8個之車輪22之運搬車2在其上行走；和一對之運搬車轉移器24、25，分別設在該等軌道23之兩端，使運搬車2在軌道23之相互間換乘；全體形成短矩形之閉環狀。在一對之軌道23之一方設有沿著其之熱處理爐。另外一方之軌道23被設置成沿著與熱處理爐8並排配置之裝卸部9。

在該循環路徑1設有順序移動之多個運搬車2，該等之運搬車2沿著裝卸部9在另外一方之軌道23上行走移動，當到達圖中之軌道23之左端時，經由將運搬車2裝入到熱處理爐8之裝入用運搬車轉移器24，換乘到一方之軌道23，然後，經過熱處理爐8內進行行走移動，當到達圖中之軌道23之右端時，經由將運搬車2抽出到裝卸部9之抽出用運搬車轉移器25，換乘到另外一方之軌道23，以此方式在循環路徑1循環移動。該等之運搬車2重複行走和停止，利用所謂之節拍式運轉，順序地沿著裝卸部9和熱處理爐8之間之循環路徑1行走。

為著使製造步驟自動控制化，本實施形態之面板製造系統具備有驅動機構可以用來進行各個運搬車2之行走/停止操作，和具備有鎖定裝置26，如圖5所示，以可自由裝卸之方式接合在運搬車2，用來固定停止之運搬車2使其對循環路徑1成為固定狀態。首先說明驅動機構，在各個軌道23，於多個運搬車2之下配置一連貫之驅動棒27，在軌道方向以一定之行程驅動成反覆地前後前進，和圍繞其軸以一定之旋轉角度驅動成反覆地正逆旋轉。在該驅動棒27設有多個突起部29，可以分別接合在被設於各個運搬車2下之接合部28成為可自由裝卸。

驅動棒27在各個運搬車2之接合部28分別接合有各個突起部29之狀態，被驅動向前進方向，然後停止，使多個運搬車之各2個，同時以一定行程前進，然後驅動成朝向正轉方向旋轉用來使突起部29脫離接合部28，其次，在運搬車2停止之狀態，停止朝向後進方向之驅動，再度驅動成朝向逆轉方向旋轉，用來使各個突起部29分別接合在運搬車2之接合部28，在此種狀態再度朝向前進方向驅動，重複進行此種動作，使多個運搬車2之各2個重複行走/停止，成為以一定之行程移動。另外，運搬車2之行走如圖2所示，其左右方向被側面導引器30導引。

另外，在該運搬車2之停止時，為著維持運搬車2之靜止狀態，需要設置鎖定裝置26，配置在該等運搬車2之停止位置，接合在運搬車2之接合部28成為可自由裝卸。該鎖定裝置26例如由被固定在軌道23側之圖中未顯示之汽缸機構，和利用該汽缸機構被驅動成朝向接合部28進退之鎖定片31構成。鎖定片31利用汽缸機構，在回應運搬車2之停止，脫離驅動棒27之突起部29時，接合在接合部28，和在回應接合在突起部29時，從接合部28脫離，利用此種方式以便利自動控制之形式，可以保持停止時之運搬車2之靜止狀態。運搬車2之行走機構即使成為使用齒條和副齒輪之自走式，亦可以以大致同樣之方式構成。

運搬車2如圖2等所示，設有基板裝載部4。在該基板裝載部4具有與其成為一組之預先成為互相重疊狀態之一對之基板3，以橫向臥倒或縱向直立之狀態，裝載多組。在圖中所示之實例，所示之基板裝載部4以橫放之狀態將多個基板3裝載成為多段之形式，該基板裝載部4之構成包含有：4根之支柱32，設立在運搬車2上；多個支持樑33，被該等之支柱32支持；和支持器34，在多個位置支持被設在該等之支持樑33之各個基板3。

基板3由玻璃製或合成樹脂製，金屬製等形成。一對之基板3，在任一方之基板3之外周緣部塗布玻璃料密封件，以此狀態重疊在另外一方之基板3，然後如圖6所示，利用夾子35等之夾具包夾該等基板3，以成為一體之狀態進行處理。另外，在任一方之基板3，形成有與排氣管5接合之通氣孔36，位於角落部之近旁，用來進行在熱處理爐8內從該等基板3間排氣之排氣處理，或在製造電漿顯示面板時，用來注入排氣處理後之放電氣體。

在運搬車2更設有與被裝載之多個基板3之組數對應之多個排氣管裝著部6。在運搬車2上，如圖15等所示，設有1根之安裝柱37，其位置接近基板裝載部4之外側之基板3之通氣孔36，和設有在該安裝柱37之高度方向成為多段之突出部38，多個之排氣管裝著部6分別被安裝在該等之突出部38。另外，在各個排氣管裝著部6裝著有排氣管5分別成為可以自由裝卸。排氣管5被安裝成使其下方部份插入到排氣管裝著部6，從下側面對被支持在各個支持器34上之一對基板3中之具有通氣孔36之基板3。在該排氣管5，於面對該基板3之上端，塗布有玻璃料密封件21。

特別是用來將排氣管5或一對之基板3供給到運搬車2之排氣管處置機器人12或基板裝載機器人13，為著進行適於自動控制化之供給動作，在至少一組之一對之基板3之對基板裝載部4之裝載操作之同時，使排氣管5面對一方之基板3，為著完成此種組裝，在將排氣管5裝著在排氣管裝著部6之後，將一對之基板3裝載在基板裝載部4，以此方式利用機器人控制盤19進行動作控制。

在該等排氣管裝著部6，為著利用裝著在其之排氣管5從一對之基板3間進行排氣處理，所以連接被裝載在運搬車2之排氣裝置7。當運搬車2在熱處理爐8內行走時，同時進行排氣處理。排氣裝置7如圖4所示，具備有：排氣泵39；排氣閥40，欲排氣時可自由開閉地開放；和控制器41，當檢測到一對之基板3間之壓力達到設定壓力時，使排氣閥40閉合；用來達成排氣處理之自動控制。

另外，運搬車2依照需要，在製造電漿顯示面板之情況時，為著將需要之放電氣體注入到基板3間，所以具備有放電氣體供給裝置42，在排氣處理後，排氣管5密封/切斷之前，經由排氣管裝著部6之排氣管5，將放電氣體注入到一對之基板3間。放電氣體供給裝置42具備有：放電氣體供給源43；供給閥44，在欲從放電氣體供給源43將放電氣體供給到排氣管5時，可自由開閉地開放；和控制器41，當檢測到一對之基板3間之壓力達到設定壓力時，使供給閥44閉合；用來達成放電氣體注入作業之自動化。在不進行放電氣體之注入之情況時，利用排氣處理形成中空之面板。

在各個排氣管裝著部6，分別經由具有電磁式開閉閥45之個別之配管46，連接有集管47，在該集管47，經由具有排氣閥40之排氣配管48連接有排氣泵39，經由具有供給閥44之供氣配管49連接到高壓罐等之放電氣體供給源43。集管47之設置是利用排氣泵39或放電氣體供給源43，對多組之基板3一起連續地進行排氣處理或放電氣體封入處理。控制器41由壓力計50和控制器51構成。在集管47設有壓力計50用來檢測各組之基板3間之壓力。壓力計50之檢測輸出，被輸出到控制器51，控制器51用來控制各個閥40、44之開閉，或排氣泵39之動作等。

在排氣處理時，排氣閥40和個別配管46之電磁式開閉閥45均開放，各基板3間與排氣泵39連通，各個基板3間排氣至10^－ ⁴ ~10^－ ⁷ Torr為止。在放電氣體之注入處理時，排氣泵39停止，排氣閥40閉合，和供給閥44開放，來自放電氣體供給源43之例如Ne、Ar、Xe等之放電氣體，注入到基板3間至400~700Torr為止。

對於排氣處理，在集管47，經由圖中未顯示之電磁式開閉閥，連接可以對排氣配管48和供給配管49進行轉換之純化氣體供給管，在排氣之初期，從基板3間排氣，然後將純化氣體供給到基板3間，然後再度從基板3間進行排氣，在排氣處理亦可以設定此種方式之純化步驟。

熱處理爐8如圖3所示，被構建成沿著運搬車2之移動方向，從裝入口8a側朝向抽出口8b側，順序地分成分別由多個區域構成之密封處理塊A，排氣處理塊B，和冷卻處理塊C，各個塊A~C為著必要之熱處理操作，被設定在不同之爐內溫度，在熱處理爐8內行走之運搬車2於各個塊A~C，曝露在該爐內溫度之爐內環境。在熱處理爐8之爐床，要利用爐床下之軌道23使運搬車2行走時，形成涵蓋全長之開口部，另外一方面在運搬車2設置用以封鎖該開口部之隔熱構件，使軌道23上之多個運搬車2以互相鄰接之狀態連續地行走，該爐床之開口部成為被該等運搬車2之隔熱構件封鎖之狀態。

在順序使爐內環境上升到密封溫度之密封處理塊A，和保持在比密封溫度稍低之排氣溫度之一定溫度之排氣處理塊B，在利用被設於爐體內之循環閥所形成之循環通路，配置有輻射管燃燒器或電熱加熱器等之熱源，在爐內環境氣體利用熱源加熱和利用循環風扇進行循環，用來對基板3等進行加熱。冷卻處理塊C，除了密封處理塊A或排氣處理塊B之熱源外，更具備有外氣導入開口或冷卻管等之冷卻源。在密封處理塊A，利用玻璃料密封件之熔融用來使一對之基板3互相接合，和達成使排氣管5接合到基板3之密封處理，在排氣處理塊利用排氣裝置7經由排氣管5進行排氣處理。另外，在熱處理爐8之抽出口8b和抽出用運搬車轉移器25之間設有放電氣體注入區域52，用來將放電氣體注入在基板3間。

下面大致依照面板之製造步驟順序地說明自動控制化之較佳構造。首先，說明考慮利用自動控制裝著排氣管5之較佳之排氣管裝著部6，和熱處理爐8之熱處理之影響，可以較佳地安裝用以保持排氣管5之排氣管裝著部6之構造。

如圖6~圖11所示，排氣管裝著部6具備有：裝著孔53，位於其中心部，經由個別配管46形成與排氣裝置7相通，用來裝著排氣管5使其向上；和中空之環狀密封件54，由彈性構件構成，被設在裝著孔53，以可接離之方式壓接在排氣管5，用來保持排氣管5，藉以氣密式地密封其周圍。另外，具備有作為上下滑動機構之滑動導引器56，與環狀密封件54之狀態變化無關地，因為經常壓接在從上方裝載排氣管5之一對基板3之一方，所以使排氣管裝著部6在上下方向自由移動，和具備有作為激勵手段之彈簧55，用來將排氣管裝著部6激勵向上方。

排氣處理是在將下方部裝著於排氣管裝著部6之玻璃製等之排氣管5之上端，按壓在基板3之狀態，經由在熱處理爐8內加熱使排氣管5接合在通氣孔36之後，從該排氣管5經由排氣管裝著部6，自基板3間進行排氣。當使排氣管5接合到基板3時，在排氣管5之上端按壓在基板3之狀態，亦即，在對排氣管5施加適當之壓縮應力之狀態，進行加熱使其融著。

排氣管裝著部6更具備有：環狀水冷套筒57，對於熱處理時之熱，用來冷卻該環狀密封件54，被設置在其周圍；空氣供給/排氣管58，成為與環狀密封件54之內部空間相通；和上部端面構件59和下部端面構件60，從上下包夾該等；排氣管裝著部6本身經由被設在上部端面構件59之下方之彈簧55，被支持在安裝柱37之突出部38成為可以自由上下移動。符號61是冷卻水供給管，62是冷卻水排出管。排氣管5之接合側之上端形成漏斗形狀，排氣管5之一定直徑之下方部，從上部端面構件59之開口貫穿環狀密封件54，被配置在裝著孔53內之指定位置。在此種狀態，利用由於從空氣供給/排氣管58供給之高壓空氣而產生膨脹之環狀密封件54，用來氣密式地保持排氣管5之外周部。環狀密封件54亦可以機械式地膨脹收縮。

要將排氣管5裝著到排氣管裝著部6時，預先在上端塗布玻璃料密封件21，使該排氣管5之下方部插入到排氣管裝著部6之裝著孔53內。在此種情況，排氣管5之上端被定位成為當將基板3水平地裝載在支持器34上時，比基板3之下面位置更朝向上方突出1~2mm程度，然後將來自空氣供給/排氣管58之高壓空氣供給到環狀密封件54之內部空間，利用該環狀密封件54牢固地固定排氣管5之周圍面。

然後，以使通氣孔36和排氣管5成為一致之方式，將基板3裝載在運搬車2上。將排氣管5之上端固定在排氣管裝著部6，成為比基板3之下面稍微突出，排氣管裝著部6抵抗彈簧55之彈力進行下降，排氣管5之上端以按壓在基板3之下面之狀態進行密著。利用此種方式，排氣管5以被施加適當之壓縮應力之狀態，被氣密式地保持在排氣管裝著部6，以此種狀態將運搬車2裝入到熱處理爐8內，進行密封/排氣處理。在排氣管5被施加適當之壓縮應力之狀態進行加熱，用來使排氣管5融著在基板3，藉以形成不會發生洩漏等之確實之接合，和在密封/排氣處理時排氣管5不會變形，可以有效地進行其後之切斷作業，因此，可以圓滑地導入排氣管5之密封/切斷作業之自動控制化。

另外，在運搬車2之行走時，或密封/排氣處理等之期間，最好使排氣管5和基板3之各個部份相對地保持一定之位置關係，但是由於振動或衝擊，或熱膨脹或收縮之差等，在排氣管裝著部6和基板3之間會發生相對位置偏移。在此種情況，例如，當從環狀密封件54對排氣管5施加之作用力過大時，該力克服使基板3和排氣管5固定成一體之力，會有排氣管5成為傾斜和破損，或玻璃料密封件21離開基板3之下面成為不能進行密封處理等之問題發生，需要考慮該等問題。另外，當在排氣管裝著部6和基板3之間發生水平方向之相對位置偏移之情況時，排氣管裝著部6不能平行移動而是成為傾斜。在此種情況，需要考慮排氣管5產生旋轉受到不希望有之力之作用，在排氣管5被施加過大之彎曲轉矩之作用，排氣管5進行傾斜時，會有排氣管5之破損或不能進行密封處理之問題。

在圖示之實例中，經由被設在上部端面構件59之下方之彈簧55將排氣管裝著部6支持在突出部38，但是在此種情況亦會發生與上述者同樣之問題。

因此更在突出部38和下部端面構件60之間設置滑動導引器56。該滑動導引器56之構成包含有：筒狀體63，具有碳製等之內周面用來使滑動作用圓滑化；和桿構件64，可滑動地嵌合和插入在該筒狀體63內；筒狀體63被固定在突出部38之下面，桿構件64設立在下部端面構件60。另外，利用該滑動導引器56限制排氣管裝著部6對突出部38之橫方向之相對移動，只可以在上下方向移動。

當從上方裝載基板3，利用基板3之本身重量壓下排氣管裝著部6進行稍微下降時，利用滑動導引器56導引排氣管裝著部6，排氣管5不會受到橫方向之力，成為只可以在上下方向變位。與滑動導引器56之作用合作，利用彈簧55按壓排氣管裝著部6，和利用將排氣管5之上端按壓到基板3之按壓作用，用來確保在玻璃料密封件21和基板3之間具有大的摩擦力，在密封步驟，被加熱之基板3以排氣管5被按壓之通氣孔36作為基點進行膨脹，在排氣管5和通氣孔36之間不會產生位置偏移。另外，在該密封步驟，即使基板3產生彎曲，排氣管5利用滑動導引器56之作用，被彈簧55確實地激勵向上，所以在基板3和玻璃料密封件21之間不會產生間隙。

因此，不需要利用夾子35將基板3和排氣管5固定成一體就可以進行密封處理，可以避免由於將排氣管5和基板3一起裝入到熱處理爐8內時之衝擊或振動，或密封/排氣處理時之各個部份之熱膨脹或收縮之差產生之熱變形，造成對排氣管5施加過大之力，特別是從側方施加使排氣管5旋轉之力，另外，可以防止由於夾子35而發生受傷，和排氣管5之損傷，和可以使密封處理之準備作業簡化，藉以提高其可靠度。依照此種方式，利用彈簧55支持排氣管裝著部6，因為只可以在上下方向變位，所以朝向基板3按壓時，被密封之排氣管5保持垂直，排氣管5不會受到該垂直方向以外之意外方向之力之作用，可以容易地維持排氣管5之按壓狀態。

激勵手段亦可以如圖12所示之形式，在槓桿65之一端安裝排氣管裝著部6，在另外一端設置配重66，用以代替彈簧55。

下面說明將排氣管5裝著到排氣管裝著部6之裝著操作之自動控制化。排氣管處置機器人12之機器人控制盤19等之控制手段具備有供給動作設定手段，要以自動控制將排氣管5從排氣管搬入用輸送帶11供給到運搬車2之排氣管裝著部6時，取得運搬車2之實際停止位置資訊和排氣管裝著部6之排氣管5之實際裝著位置資訊作為影像資訊，根據該等之實際停止位置資訊和實際裝著位置資訊，利用排氣管處置機器人12輸出排氣管供給動作之控制資訊。

供給動作設定手段根據預先設定之運搬車2之基準停止位置資訊，取得實際停止位置資訊作為影像資訊，利用實際停止位置對基準停止位置之偏差，修正運搬車2之停止位置，根據排氣管裝著部6之基準設置位置資訊，從預先設定之運搬車停止位置，取得實際設置位置資訊作為影像資訊，利用實際設置位置對基準設置位置之偏差，修正排氣管裝著部6之設置位置，取得排氣管5之實際裝著位置資訊作為影像資訊，利用實際裝著位置對預先設定之排氣管5之基準裝著位置之偏差，修正排氣管5之裝著位置，利用排氣管處置機器人12輸出修正後之修正供給動作，作為排氣管供給動作之控制資訊。

排氣管處置機器人12之機器人控制盤19等之控制手段具備有排氣管取出動作修正手段，要以自動控制利用排氣管處置機器人12從搬入系統之排氣管搬入用輸送帶11，取出排氣管5時，取得在該取出待機位置之排氣管5之實際待機狀態資訊作為影像資訊，根據實際待機狀態資訊對預先設定之排氣管5基準待機狀態資訊之偏差，修正取出動作，輸出修正後之修正取出動作作為控制資訊。

排氣管處置機器人12之機器人控制盤19等之控制手段具備有排氣管裝著動作修正手段，要以自動控制利用排氣管處置機器人12將排氣管5裝著在排氣管裝著部6時，利用排氣管處置機器人12取得排氣管5之實際保持狀態資訊作為影像資訊，根據實際保持狀態資訊對預先設定之排氣管5之基準保持狀態資訊之偏差，修正裝著動作，輸出修正後之修正裝著動作為控制資訊。

利用排氣搬入用輸送帶11搬入到裝卸部9之排氣管，供給到排氣管裝著部6，或是如圖13所示，在只有排氣管5之狀態準備立在托架67，或是如圖14所示，以在排氣管5之上端配置有玻璃料密封件21之狀態準備立在托架67。然後，使排氣管5插入到排氣管裝著部6之裝著孔53內。但是，排氣管5為玻璃製等，容易破損，另外，如圖13所示，由於製作誤差，排氣管5之長度會產生△L1(基準長度±1mm程度)之參差不齊，而不是成為一定。另外，當在該排氣管5之上端配置玻璃料密封件21之狀態，如圖14所示，包含排氣管5和玻璃料密封件21之尺寸亦會產生△L2之參差不齊。另外一方面，排氣管裝著部6之上面和排氣管5之上端之間之距離需要保持為一定之值。

由於該等之理由，利用手工，以以下之步驟進行將排氣管5裝著到排氣管裝著部6。首先，從托架67取出之1根之排氣管5，利用作業者之目視確認，插入到排氣管裝著部6之裝著孔53內。然後，調整排氣管5之高度，使排氣管裝著部6之上面和排氣管5之上端之間之距離成為一定之值。最後，利用高壓空氣將高度調整後之排氣管5送入到環狀密封件54，藉以被氣密式地保持在排氣管裝著部6。但是，利用手工將排氣管5裝著到排氣管裝著部6之裝著，其作業效率不良，生產效率低。所以最好採用自動化用之排氣管處置機器人12，自動控制將排氣管5裝著到排氣管裝著部6之一連貫之動作。

在此種情況，當使運搬車2停止在被固定設置於一定位置之排氣管處置機器人12之前方之後，開始一連貫之裝著動作，但是運搬車2並不一定會經常停止在被決定之基準停止位置，不可避免地其停止位置會有參差不齊。另外，被安裝和設置在運搬車2上之排氣管裝著部6和基板裝載部4其本身，由於在熱處理爐8內之密封/排氣處理過程會產生熱變形，所以排氣管裝著部6之裝著孔53之位置亦會產生參差不齊。另外，即使在將排氣管5插入到裝著孔53內之情況時，因為排氣管裝著部6之高度成為參差不齊，所以要以排氣管裝著部6正常保持排氣管5會有困難。因此，對該等施加對策，成為自動控制必要者。

如圖24和圖25所示，在運搬車2之角落部位安裝基準標識1X、1Y和1Z，基準標識1X是表示沿著軌道23之水平之X軸方向之運搬車2之位置之基準，基準標識1Y是表示在與軌道23正交之水平之Y軸方向之運搬車2之位置之基準，基準標識1Z是表示在與X軸和Y軸正交之Z軸方向之運搬車2之位置，亦即表示高度之基準。另外，如圖15和圖16所示，在設立於運搬車2上之安裝柱37之突出部38之各個亦設有表示其位置之基準之基準標識1H。另外，基準標識1X、1Y和1Z可以是形成在運搬車2者，亦可以是形成在與運搬車2不同之構件者。同樣地，基準標識1H可以是形成在突出部38者，亦可以是形成在與突出部38不同之構件者。

另外一方面，被固定設置在裝卸部9之一定位置之排氣管處置機器人12，具有可以進行三次元式之直線運動和旋轉運動之機器人手臂。在該機器人手臂安裝有攝影機68用來取得各種之控制資訊作為影像資訊，利用該攝影機68如圖17所示，用來檢測排氣管裝著部6之裝著孔53。然後，利用機器人手臂進行：第1動作，算出裝著孔53之中心位置座標；和第2動作，保持被收納在托架67之特定之排氣管5，將其插入到裝著孔53內。在第2動作時，如圖18和圖19所示，利用攝影機68檢測被機器人手臂之夾頭部69保持之排氣管5之上端，計測從夾頭部69到排氣管5之上端之距離，或是當在排氣管5設有玻璃料密封件21之情況時，計測從夾頭部69到玻璃料密封件21之上端之距離。

在將排氣管5插入到排氣管裝著部6之後，首先，在步驟(1)，當移動來之運搬車2停止在排氣管處置機器人12之前方時，根據利用攝影機68所檢測到之基準標識1X、1Y和1Z之位置，算出運搬車2之基準停止位置和實際停止位置之間之誤差量(△x1、△y1、△z1)。根據該算出之誤差量(△x1、△y1、△z1)，進行機器人手臂之第一基準移動停止位置之第一計測地點之修正。例如，假如誤差量之X軸方向成分為＋△X時，機器人手臂之行程之X軸方向成分變長△X，相反地假如誤差量之X軸方向成分為一△X時，行程之X軸方向成分變短△X。Y軸方向，Z軸方向亦進行同樣之修正。因此，即使運搬車2之實際停止位置產生誤差時，亦可以將機器人手臂之第一計測點修正成為可以利用攝影機68檢測突出部38上之基準標識1H之位置。

在步驟(2)，當機器人手臂停止在修正後之第一計測地點時，利用攝影機68檢測突出部38上之基準標識1H，算出排氣管裝著部6之基準配置位置(實質上為裝著孔53之中心位置)與實際配置位置之間之誤差量(△x2、△y2、△z2)。然後，根據該算出之誤差量(△x2、△y2、△z2)，與上述者同樣地，進行機器人手臂之第二基準移動停止位置之第二計測地點之修正。因此，即使排氣管裝著部6之基準配置位置產生誤差時，亦可以將機器人手臂之第二計測地點修正成為可以利用攝影機68檢測裝著孔53之中心位置之位置。

然後，在步驟(3)，機器人手臂移動和停止在修正後之第二計測地點，如圖17所示，攝影機68移動到裝著孔53之中心位置之上方，利用該攝影機68算出裝著孔53之基準中心位置和實際中心位置之間之誤差量(△x3、△y3、△z3)。利用步驟(1)~(3)用來決定排氣管5之裝著作業時之機器人手臂在排氣管裝著部6上之適當之停止位置(X、Y、Z)。

另外一方面，從機器人手臂之上述停止位置(X、Y、Z)下降之下降停止位置(X、Y、Z1)之決定是根據：Z軸方向之排氣管裝著部6之高度資訊；保持對象之排氣管5之實際長度資訊；或排氣管5加上玻璃料密封件21之實際長度資訊。例如，假如利用機器人手臂之夾頭部69保持排氣管5之保持位置(亦即機器人手臂之停止位置)成為一定時，如圖18和圖19所示，計測從夾頭部69到排氣管5之上端之距離H1，或從夾頭部69到玻璃料密封件21之上端之距離H2，算出排氣管5之基準長度和實際長度之間之誤差量(△L)。另外，圖18表示只將排氣管5插入到裝著孔53內之情況，圖19表示將在上端配置有玻璃料密封件21之排氣管5插入到裝著孔53內之情況。

然後，根據排氣管裝著部6之Z軸方向之上述高度資訊，和與排氣管5有關之上述誤差量(△L)，用來決定與排氣管5之實際長度對應之機器人手臂之下降停止位置(X、Y、Z1)。例如，假如排氣管5之實際長度與基準長度之間之誤差量(＝實際長度－基準長度)為＋△L時，機器人手臂之下降停止位置在以誤差量為零之情況作為基準時，成為低△L之位置，通常使排氣管5或玻璃料密封件21之上端與排氣管裝著部6之高度之位置關係成為一定。

然而，在上述之操作例中是在利用夾頭部69保持排氣管5之後，計測排氣管5或玻璃料密封件21之上端位置，但是並不只限於此種方式，亦可以在夾頭部69保持排氣管5之前，預先計測排氣管5或玻璃料密封件21之上端位置。在此種情況，亦可以在利用夾頭部69保持排氣管5之前，利用攝影機68等預先計測排氣管5或玻璃料密封件21之上端位置，根據該計測到之上端位置資訊，修正利用夾頭部69保持排氣管5之保持位置，然後，根據排氣管裝著部6之高度資訊，校正機器人手臂之下降停止位置。

進行上述方式之排氣管處置機器人12之控制，即使產生有運搬車2之實際之停止位置之參差不齊，由於製作誤差或突出部38等之熱變形在排氣管裝著部6之裝著孔53之中心位置產生參差不齊，和由於排氣管5之製作誤差產生排氣管長度之參差不齊，亦可以對準裝著孔53，和配合排氣管5之長度，將排氣管5裝著在裝著孔53內之適當之位置。另外，因為檢測參差不齊較大之運搬車2之停止位置，縮小檢測範圍，再檢測參差不齊較小之裝著孔53之中心位置，所以即使攝影機68之視野狹窄，亦可以確實地檢測裝著孔53之中心位置，可以更圓滑地進行將排氣管5裝著在裝著孔53內。

下面說明以自動控制將基板3裝載在運搬車2(其中在排氣管裝著部6已裝著有排氣管5)上之較佳之構造。在基板裝載部4形成有基板裝入用空間S，利用成為多個分隔部之支持樑33形成，用來個別地裝入至少為一組之一對之基板3，和基板裝載機器人13之機器人控制盤19等之控制手段具備有裝入操作判定手段，要以自動控制利用基板裝載機器人13將各一對之基板3裝載到基板裝載部4時，取得基板裝入用空間S之尺寸作為影像資訊，根據所取得之尺寸資訊，輸出將一對之基板3裝入到基板裝入用空間S之控制資訊。

基板裝載機器人13之機器人控制盤19等之控制手段具備有裝載動作修正手段，要使以自動控制利用基板裝載機器人13從基板搬入用輸送帶10供給之至少一組之一對之基板3之通氣孔36，與運搬車2之排氣管裝著部6之排氣管5一致時，取得被裝著在排氣管裝著部6之排氣管5之中心位置資訊和在一對之基板3之裝載待機位置之通氣孔36之中心位置資訊作為影像資訊，使用該等之中心位置資訊，算出將預先設定在基板裝載機器人13之一對之基板3從裝載待機位置供給到基板裝載部4之基準裝載動作所造成之排氣管5和通氣孔36之中心位置之誤差，輸出根據該誤差修正後之修正裝載動作作為控制資訊。

當支持樑33之配置間隔為D，支持器34之高度為h時，一致之基板3被裝入到支持器34之上面和支持樑33之下面之間之在縱方向為尺寸(D－h)之空間，亦即被裝入在基板裝入用空間S。另外，將基板1裝載到支持器34上之必須條件是使設在基板1之角落近旁之通氣孔36之中心排氣管5之中心一致。

另外一方面，支柱32和支持樑33因為在熱處理爐8內之密封/排氣步驟會產生熱變形，所以支持器34之上面和支持樑33之下面之間之間隔會從上述之尺寸(D－h)進行變化，不能保持為一定之值。另外，排氣管裝著部6之裝著孔53之位置，亦即被裝著在排氣管接著部6之排氣管5之中心位置，由於運搬車2之停止位置之參差不齊或上述之熱變形等，成為不在一定位置。另外，基板3之通氣孔36之位置由於製作時之誤差亦成為不在一定位置。由於該等之理由基板1之裝載到運搬車2以人工進行。利用人工將基板3裝載到運搬車2時，作業效率不良，而且生產效率很低。因此，考慮採用自動控制化用之基板裝載機器人13，利用機器人手臂保持基板3，移送到基板裝入用空間S，將其裝載在支持器34上。

但是，基板裝入用空間S從上述尺寸(D－h)之狀態產生變化，成為較小，在未具有充分高度之情況，利用機器人手臂將基板3裝入到基板裝入用空間S內，基板1和支持器34或機器人手臂和支持樑33會互相衝突，會有使該等破損之問題，此點需要加以考慮。另外，即使利用機器人手臂將基板3經常移送到相同位置時，運搬車2之停止位置會有參差不齊，基板3之通氣孔36之中心和排氣管5之中心之各個位置不一定一致，此點需要留意。

在軌道23之側方之裝卸部9配置有基板裝載機器人13，在被設置於運搬車2上之多段之支持樑33之外側面之三個位置，如圖20所示，設有基準標識70。該基準標識70可以經由對支持樑33本身進行加工而形成，亦可以利用別的構件形成。另外，在運搬車2上之各個排氣管裝著部6，利用排氣管處置機器人12裝著有排氣管5。另外，利用被設在基板裝載機器人13之機器人手臂之圖中未顯示之攝影機，檢測該基準標識70，計測各段之支持樑33之實際之高度，利用以下之步驟進行將基板3裝載到運搬車2。

基板3之對運搬車2之裝載如圖21所示，首先，在步驟S1，根據利用攝影機檢測到之基準標識70之高度，進行算出各段之支持樑33之下面和其下方之支持器34之間之間隙尺寸。實質上，例如對於第1段和第2段，利用圖20所示之檢測到之各個基準標識1之高度，算出各個支持器34之上面離開基準位準L0之高度Z1a、Z1b、Z1c、Z2a、Z2b、Z2c，求得Z1a、Z1b、Z1c中之最大值，亦即Max(Z1a、Z1b、Z1c)，和Z2a、Z2b、Z2c中之最小值，亦即Min(Z2a、Z2b、Z2c)。然後，算出[Min(Z2a、Z2b、Z2c)－Max(Z1a、Z1b、Z1c)－D]之值，作為間隙尺寸。該值是可以獲得最小之間隙尺寸之值。

在步驟S2，在已算出間隙尺寸之情況時，判斷可否裝入被機器人手臂保持之基板3，在是之情況時前進到步驟S3，在否之情況時前進到步驟S7。在步驟S3，如圖22和圖23所示，利用機器人手臂將基板3移送到固定攝影機71之上方之指定位置，利用該固定攝影機71檢測裝入前之基板3之通氣孔36，在利用機器人手臂之一定之動作將該基板3移送到支持器34之上方之情況時，進行計測在機器人手臂之移動停止位置之通氣孔36之中心位置。

在步驟S4，判斷利用機器人手臂之攝影機之檢測所求得之排氣管5之中心位置，和在步驟S3計測到之通氣孔36之中心位置是否一致，在是之情況時前進到步驟S5，在否之情況時前進到步驟S9。在步驟S5，當排氣管5之中心位置和通氣孔36之中心位置一致時，利用機器人手臂將基板3移送到上下之支持樑33之間，位於排氣管5之上方之後，裝載在支持器34上，藉以完成基板3之裝入。

在該裝入後依照需要，在步驟S6，利用機器人手臂，以夾子35進行基板3和排氣管5之固定。另外一方面，在步驟S7，當不能將基板3裝入到上下之支持樑33時，亦即當支持樑33有異常變形時，就發出警報，然後在步驟S8中止將基板3裝載到運搬車2之裝載作業。然後，在步驟S9，因為通氣孔36之中心位置偏離預先決定之正常之位置，產生偏離該正常位置之誤差，所以進行該誤差之算出。

然後，在步驟S10，根據步驟S9之算出結果，修正機器人手臂之移動停止位置，然後前進到步驟S5，如上述之方式，進行將基板3裝入到支持器34上。依照上述之方式，將基板3裝載在排氣管5之上，藉以完成將基板3裝載在運搬車2。然後，上述之作業重複進行支持樑33之段數。

當利用基板裝載機器人13將基板3裝載在運搬車2時，計測基板裝入用空間S之高度，判斷基板3是否可以裝入到該基板裝入用空間S，在可以之情況時，根據基板3之通氣孔36之中心位置資訊和排氣管裝著部6之排氣管5之中心位置資訊，以使兩個中心位置一致之方式，依照需要修正保持有基板3之機器人手臂之移動停止位置，然後將基板3移送到支持器34上，因此利用基板裝載機器人13將基板3裝入到基板裝入用空間S而不會與其他部份衝突，可以移送到適當位置，利用自動控制化可以提高作業效率。

下面說明當面板製造作業之自動控制化時，可以因應基板裝載部4和其所裝載之基板3由於熱處理操作等造成位置偏移之機構。基板裝載部4具備有多個之支持器34，分別在多個位置支持至少為一組之一對之基板3，在該等之多個支持器34中，除了接近排氣管5之至少一個之接近位置支持器34a外，其他之遠離位置支持器34b支持一對之基板3成為比接近位置支持器34a更易於相對移動。遠離位置支持器34b亦可以構建成能夠搖動。或是，遠離位置支持器34b由滾輪機構構成，配置成使轉動軸心T與排氣管5之中心位置方向正交，在其上支持一對之基板3。

在熱處理時會伴隨著運搬車2之各個部份或基板3之熱膨脹/收縮。在此種情況，運搬車2之各個部份和基板3之熱膨脹率不一定相同，當由於各個之熱膨脹/收縮造成變化量之差異，或由於各部份之溫度引起排氣管5和基板3之接合部或排氣管5本身受到外力作用時，會造成排氣管5和基板3之通氣孔36之間之位置偏移或排氣管5之破損之問題，此點需要留意。

因此，在運搬車2，連接到用以保持排氣管5之排氣管裝著部6之個別配管46等之配管類，使用軟管，經由該軟管將排氣管裝著部6安裝在突出部38，用來達成排氣管裝著部6之移動不受拘束等之技巧。利用此種方式，可以極力地避免排氣管裝著部6之負載或外力施加在排氣管5，但是會成為自動化等之省力化之大障礙，和施加在排氣管5之外力不能完全排除，所以會有產生上述之位置偏移或破損之問題，此為電漿顯示面板等之面板製造上之良率降低之原因，最好考慮到此點。

另外，可以考慮使設有突出之支持器34之支持樑33之熱膨脹率和基板3之熱膨脹率相同，或是在支持器34上設置具有與基板3膨脹率相同之基礎板，再在其設置支持器34，但是因為基板3是玻璃製等，所以與其相同材料之支持樑33或基礎板容易產生破損或彎曲，另外最好改善由於運搬車2全體之重量之增加，和熱效率之降低所造成之問題。

如圖24和圖25所示，在運搬車2上，與支持樑33分開地，在被安裝柱37支持之突出部38之延長部74，設置位於排氣管5近旁之突出之接近位置支持器34a，另外一方面，在被支柱32支持之支持樑33，設置比接近位置支持器34a更遠離排氣管5之突出之遠離位置支持器34b。另外，接近位置支持器34a之上端面和基板之間之摩擦係數，大於遠離位置支持器34b之上端面與基板3之間之摩擦係數。例如，接近位置支持器34a由金屬纖維、金屬網，或陶瓷材料形成，使上端面成為粗面，遠離位置支持器34b由金屬或陶瓷材料形成，將上端面加工成為鏡面。在圖示之實例中，在各個突出部38具備有各二個之上述之接近位置支持器34a，位於離開排氣管5大致等距離之位置。

基板3被配置在設有玻璃料密封件21之排氣管5之上端和該等支持器34a、34b之上端面上，使排氣管5之中心和基板3之通氣孔36之中心大致一致，在這時，即使運搬車2之各個部份或基板3進行熱膨脹或收縮，由於各個之量不同發生相對尺寸變化時，在接近位置支持器34a之上端面之位置，基板3被支持成不會產生相對移動，在遠離位置支持器34b之上端面之位置，基板3產生橫方向之相對移動，亦即滑動，在排氣管5和基板3接合部或排氣管5本身不會受到外力之作用，可以避免排氣管5和基板3之通氣孔36之間之位置偏移或排氣管5之破損之問題。對於遠離位置支持器34b，亦可以在上端面設置可轉動之一般之球狀或滾輪狀之支持體，利用該球狀或滾輪狀之支持體支持基板3。

圖26表示另一支持形態，只有遠離位置支持器34b之構造不同。遠離位置支持器34b具備有：頭部75，其上面形成為球面或曲面狀；腳部76，延伸到該頭部75之下方；和突緣部77，其下面形成為球面或曲面狀，腳部76貫穿其下面之中心；腳部76嵌合在穿通支持樑33之穿通孔78內，在穿通孔78之上端開口之周緣部上裝載可滑動之突緣部77。另外，大致以穿通孔78之中心軸和突緣部77之交點作為中心軸，使腳部76成為可搖動。亦即，該遠離位置支持器34b可以易於設置成在基板3之橫方向相對移動，用來因應基板3和遠離位置支持器34b之間之位置偏移。另外，突緣部77之下面之曲率最好設定成為即使腳部76搖動，頭部75之最上部之高度亦保持為一定。

圖27~圖30表示由滾輪機構構成之更另一支持形態。在遠離位置支持器34b，在上面開口之箱體79裝載圓柱狀之滾輪72，滾輪72形成可以自由旋轉之方式。另外，滾輪72所處之箱體79內之支持面73傾斜成為中心部變低，在不受到任何外力之作用之情況時，滾輪72利用重力之作用停止在支持面73之中心，另外一方面，箱體79之各個側面形成比支持面73更突出到上方，成為滾輪72不會從該箱體79脫離。

另外，配置有遠離位置支持器34b，各個滾輪72之中心軸T成為朝向排氣管5之圖中一點鏈線所示之方向正交，當上述之熱膨脹或收縮時，在基板3因為相對於接近位置支持器34a之部份，其他之遠離位置支持器34b可以在橫方向圓滑地相對移動，所以排氣管5和基板3之接合部或排氣管5本身不會受到外力之作用，可以避免排氣管5和基板3之通氣孔36之間之位置偏移或排氣管5之破損之問題。

接近位置支持器34a之設置個數並不只限於二個。另外，排氣管5並不只限於向上突出之情況，亦可適用在向下突出之情況。

下面說明對從熱處理爐8抽出之基板3之排氣管進行密封/切斷作業時，圓滑導入自動控制化之構造。其中具備有包圍在排氣管5之周圍之加熱器，利用排氣管密封切斷機器人14之機器人控制盤19等之控制手段，以自動控制分成二個自由開閉地動作，要進行排氣管5之密封/切斷時成為閉路。

在基板3接合排氣管5，進行從一對之基板3間排氣之排氣處理等之後，進行排氣管5之密封/切斷處理。該排氣管5之密封/切斷處理之實施以前是使用瓦斯燃燒器，利用手工使排氣管5之特定部位熔融，進行密封和切斷，但是最好是使其自動控制化。

排氣管密封/切斷裝置80如圖31和圖32所示，具備有：隔熱構造之殼體82，由可分割成為二個之一對之殼體構件81構成；和排氣管外周部加熱用之加熱器(圖中未顯示)，被設在殼體構件81之各個之內部。另外，一方之殼體構件81被配置在安裝座83上，另外一方之殼體構件81被配置在安裝座84上。另外，在該二個安裝座83、84之間設有伸縮汽缸85，例如，汽缸體86結合在一方之安裝座84，活塞87結合在另外一方之安裝座83，利用此種方式，使另外一方之殼體構件81對一方之殼體構件81進行相對移動，可以使殼體82全體進行開閉。

各個殼體構件81形成剖面為半圓形之箱體狀，在其內部充填隔熱材料，另外在各個殼體構件81形成有半圓形之溝88，當使該等閉合時成為大致正圓。加熱器沿著該半圓形之溝88配置。另外，當殼體82成為閉合狀態時，殼體構件81間進行接觸，利用二個之溝88形成排氣管收納用之穿通孔89。在安裝座84設立有軸體90，在該軸體90之上端設有包夾基板3之夾子35。

在經由排氣管5對基板3內進行真空排氣處理之後，當完成對基板3內之放電氣體之封入處理時，如圖所示，在開狀態之排氣管密封/切斷裝置80，利用排氣管密封切斷機器人14使殼體構件81位於排氣管5之兩側，利用夾子35包夾基板3，用來將排氣管5安裝在基板3。夾子35之裝著利用機器人手臂之攝影機取得基板3之位置作為影像資訊，機器人手臂對該位置相對移動，用來進行裝著動作。然後，伸縮汽缸85進行收縮，使殼體構件81成為一體，亦即，殼體82成為閉合狀態，排氣管5位於穿通孔89內。這時，排氣管5之大致全周被二個加熱器包圍。然後，對加熱器通電，利用該加熱器對排氣管5之外周加熱指定時間。利用該加熱使排氣管5之全周被均一地加熱熔融，藉以完成密封。另外，當繼續對加熱器5通電時，該密封部就被切斷。

利用上述構造之裝置，可以使排氣管5之密封/切斷作業自動控制化，可以提高作業效率，和在該裝置80利用排氣管密封切斷機器人14順序地以夾子35包夾和變換基板3，可以不需要為每一個基板3設置晶片管密封/切斷裝置80，其裝置數可以減少。

代替加熱器者，亦可以利用燃燒器以自動控制進行排氣管5之密封切斷處理。具備有下降手段，利用排氣管密封切斷機器人14之機器人控制盤19等之控制手段，以自動控制進行動作，為著進行排氣管5之密封/切斷，使排氣管5熔融之燃燒器和使排氣管5延伸之排氣管接著部6進行下降。亦即，在用以將上述之夾子35裝著在基板3之排氣管密封切斷機器人14之機器人手臂具備有燃燒器，和使排氣管裝著部6下降之手段亦可以安裝成例如使排氣管裝著部6對突出部38可升降地被驅動。燃燒器之位置控制之進行方式類似於利用影像資訊將基板3插入到上述之基板裝入用空間S之自動控制，或是將排氣管5插入到裝著孔53之自動控制。

被切斷之殘留在排氣管裝著部6之殘留排氣管5，同樣地利用攝影機所取得之影像資訊，首先被排氣管密封切斷機器人14保持，其次經由空氣供給/排氣管58，使高壓空氣漏氣，解除利用排氣管裝著部6之環狀密封件54之保持，藉以撤去。殘留之排氣管5亦可以利用將新的排氣管5供給到運搬車2之排氣管處置機器人12加以撤去。依照此種方式時，可以極力地防止大氣從排氣管裝著部6經由排氣泵39流入到系統路徑。

另外，完成排氣管5之密封和切斷之面板從運搬車2下載之作業亦成為自動控制化。面板下載機器人15之機器人控制盤19等之控制手段具備有下載動作設定手段，要以自動控制將面板從運搬車2之基板裝載部4下載到面板搬出用輸送帶16時，取得運搬車2之實際停止位置資訊和面板之實際裝載位置資訊作為影像資訊，根據該等之實際停止位置資訊和實際裝載位置資訊，利用面板下載機器人15輸出面板之下載動作之控制資訊。該自動控制利用與基板3之裝載作業同樣之控制達成。

當從運搬車2下載面板時，首先使移動來之運搬車2停止在面板下載機器人15之前方，根據利用攝影機所檢測到之基準標識1X、1Y和1Z之位置，算出運搬車2之基準停止位置和實際停止位置之間之誤差量。根據該算出之誤差量，進行修正機器人手臂之第一基準移動停止位置之第一計測地點。因此，即使在運搬車2之實際停止位置產生有誤差，機器人手臂之第一計測地點亦可以被修正成為在利用攝影機可以檢測突出部38(可以指定面板位置)上之基準標識1H之位置。

在步驟2，當機器人手臂停止在修正後之第一計測地點時，利用攝影機檢測突出部38上之基準標識1H，算出面板之基準裝載位置和實際裝載位置之間之誤差量。然後，根據該算出之誤差量，進行修正機器人手臂之第二基準移動停止位置之第二計測地點。利用步驟1和2，對於面板之實際裝載位置，可以決定機器人手臂之適當之停止位置。

經由進行此種面板下載機器人15之控制，即使運搬車2之實際之停止位置有參差不齊，有製作誤差或各部份之熱變形，亦可以使機器人手臂移動到適當之位置，利用自動控制從運搬車2下載面板。

1．．．循環路徑

2．．．運搬車

3．．．基板

4．．．基板裝載部

5．．．排氣管

6．．．排氣管裝著部

7．．．排氣裝置

8．．．熱處理爐

8a．．．裝入口

8b．．．抽出口

9．．．裝卸部

10．．．基板搬入用輸送帶

11．．．排氣管搬入用輸送帶

12．．．排氣管處置機器人

13．．．基板裝載機器人

14．．．排氣管密封切斷機器人

15．．．面板下載機器人

16．．．面板搬出用輸送帶

17．．．運搬車控制盤

18．．．爐控制盤

19．．．機器人控制盤

20．．．主控制盤

23．．．軌道

24．．．運搬車轉移器

25．．．運搬車轉移器

26．．．鎖定裝置

27．．．驅動棒

28．．．接合部

29．．．突起部

33．．．支持樑

34．．．支持器

34a．．．接近位置支持器

34b．．．遠離位置支持器

36．．．基板之通孔

39．．．排氣泵

40．．．排氣閥

42．．．放電氣體供給裝置

43．．．放電氣體供給源

44．．．供給閥

50．．．閥控制器

52．．．放電氣體注入區域

53．．．裝著孔

54．．．環狀密封件

55．．．彈簧

56．．．滑動導引器

65．．．槓桿

72．．．滾輪

73．．．支持面

S．．．基板裝入用空間

T．．．轉動軸心

圖1是概略平面圖，用來表示本發明之電漿顯示面板等之面板製造系統之一較佳實施形態之全體構造。

圖2(a)~(c)用來說明適用在圖1之面板製造系統之運搬車。

圖3之圖形用來表示適用在圖1之面板製造系統之熱處理爐之溫度曲線。

圖4是概略構造圖，用來表示被設定圖2之運搬車之排氣裝置等。

圖5(a)、(b)是說明圖，用來表示圖2之運搬車之行走機構之概略構造。

圖6是側剖面圖，用來表示適用在圖1之面板製造系統之排氣管裝著部等。

圖7是圖6中之D－D線箭視概略剖面圖。

圖8是側剖面圖，用來表示將排氣管裝著到圖6之排氣管裝著部之裝著操作之第1階段。

圖9是側剖面圖，用來表示將排氣管裝著到圖6之排氣管裝著部之裝著操作之第2階段。

圖10是側剖面圖，用來表示將基板裝載到圖6之排氣管裝著部之排氣管上之裝載操作之第1階段。

圖11是側剖面圖，用來表示將基板裝載到圖6之排氣管裝著部之排氣管上之裝載操作之第2階段。

圖12是概略側面圖，用來表示適用在圖1之面板製造系統之排氣管裝著部等之另一實例。

圖13是概略側面圖，用來表示將排氣管排列到托架之排列狀態。

圖14是概略側面圖，用來表示將排氣管排列到托架之排列狀態之另一實例。

圖15是側面圖，用來表示將圖6之排氣管裝著部等安裝到運搬車之狀態。

圖16是將圖15所示之排氣管裝著部等安裝到運搬車之狀態之平面圖。

圖17是側面圖，用來表示取得圖6之排氣管裝著部之影像資訊之狀態。

圖18是側面圖，用來表示取得適用在圖1之面板製造系統之排氣管之影像資訊之狀態。

圖19是側面圖，用來表示取得適用在圖1之面板製造系統之另一排氣管之影像資訊之狀態。

圖20是說明圖，用來說明基板和基板裝載部之變形狀態之關係。

圖21是流程圖，用來說明將基板裝載到基板裝載部之步驟。

圖22是側面圖，用來表示取得適用在圖1之面板製造系統之基板之通氣孔之影像資訊之狀態。

圖23是取得圖22所示之基板之通氣孔之影像資訊之狀態之平面圖。

圖24是側面圖，用來表示適用在圖1之面板製造系統之基板裝載部。

圖25是圖24所示之基板裝載部之平面圖。

圖26是擴大側面圖，用來表示適用在圖24之基板裝載部之遠離位置支持器。

圖27是側面圖，用來表示適用在圖1之面板製造系統之基板裝載部之另一實例。

圖28是圖27所示之基板裝載部之平面圖。

圖29是適用在圖27所示之基板裝載部之遠離位置支持器之擴大側面圖。

圖30是圖29所示之遠離位置支持器之擴大平面圖。

圖31是側面圖，用來表示適用在圖1之面板製造系統之排氣管密封切斷裝置。

圖32是平面圖，用來說明圖31所示之排氣管密封切斷裝置之動作。