JP2003123648A - チップ管の排気ヘッドへの装着方法 - Google Patents
チップ管の排気ヘッドへの装着方法Info
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Abstract
適正な位置に保持することを可能としたチップ管の排気
ヘッドへの装着方法を提供する。 【解決手段】 排気カート10上に支持された排気ヘッ
ド23のチップ管挿入孔内にロボットによりチップ管2
8を装着するに際し、排気カート10の停止位置情報と
チップ管挿入孔の中心位置情報とに基づき、ロボットハ
ンドの基準移動停止位置を予め修正するとともに、チッ
プ管28の長さ情報に基づき、前記基準移動停止位置か
らのロボットハンドの下降停止位置、またはチップ管ト
レイにおけるロボットハンドのチップ管把持位置を予め
修正し、その後、ロボットハンドを作動させて排気ヘッ
ド23のチップ管挿入孔内にチップ管28を挿入して保
持するようにしてある。
Description
レイパネル、断熱ガラスパネル等のパネルに封着される
チップ管の排気ヘッドへの装着方法に関するものであ
る。
ズマディスプレイパネル等のパネルP内を真空排気する
排気カート10が使用され、この排気カート10は排気
カート本体11と排気ヘッド支持部12とパネル収納マ
ガジン13とからなり、前記排気カート本体11は図示
しない真空ポンプ等を内蔵し、下部に車輪を有し、レー
ルR上を走行する。また、排気ヘッド支持部12は排気
カート本体11上に立設された排気ヘッド支柱21と、
この排気ヘッド支柱21から上下に適宜間隔で横方向に
張出した複数の排気ヘッド取付け部材22とを備え、後
述するように、この排気ヘッド取付け部材22の一部を
なすブラケットに排気ヘッド23がばねを介して支持さ
れている。さらに、パネル収納マガジン13は排気カー
ト本体11上に立設された4本のマガジン支柱24と、
マガジン支柱24により、或いはマガジン支柱24間に
介在させた横架材により、排気ヘッド取付け部材22と
同じ段数だけ支持されたパネルサポート梁25とを備
え、このパネルサポート梁25に突設されたパネルサポ
ート26上にパネルPが載置されている。
8は排気ヘッド23に装着され、かつ炉内にてパネルP
にフリットシール27を用いて封着される。この排気ヘ
ッド23は、図示するように、周囲を冷却水ジャケット
31により囲まれた環状かつ中空の弾性部材からなる真
空シール部32が設けられた排気ヘッド本体33を備
え、この排気ヘッド本体33がばね34を介してブラケ
ット35により支持されている。また、ブラケット35
と排気ヘッド本体33との間には、筒状体36とこの筒
状体36内に摺動可能に嵌入したロッド37とからなる
滑りガイド38が介設されており、排気ヘッド本体33
はブラケット35に対して傾斜することなく、相対的に
上下動可能となっている。なお、前述したように、ブラ
ケット35は排気ヘッド取付け部材22の一部をなす。
さらに、排気ヘッド23の下端中心部に真空排気管41
が設けられている。
装着に当り、図11に示すように、チップ管28だけの
状態でチップ管トレイTに立てて準備されるか、図12
に示すようにチップ管28の上端面にフリットシール2
7が配置された状態でチップ管トレイTに立てて準備さ
れる。
上端面中心部のチップ管挿入孔39から真空シール部3
2の中心部を貫いて挿入され、高圧空気が送り込まれる
ことにより膨張する真空シール部32により気密に保持
される。ところで、チップ管28はガラス製で破損し易
く、また図11に示すように、製作誤差のため、チップ
管28の長さは、ΔL1(基準長さ±1mm程度)のばら
つきが生じ一定でない。さらに、このチップ管28上に
フリットシール27が配置された状態において、図12
に示すようにチップ管28およびフリットシール27を
含めた寸法においても、ΔL2のばらつきが生じる。一
方、排気ヘッド23の上面とチップ管28の上面との間
の距離を一定の値に保つ必要がある。
ッド23への装着は、人手により、以下の手順により行
われている。まず、チップ管トレイTから取り出された
1本のチップ管28が、作業者の目視確認により排気ヘ
ッド23のチップ管挿入孔39内に挿入される。続い
て、排気ヘッド23の上面とチップ管28の上面との間
の距離が一定の値になるようにチップ管28の高さが調
整される。最後に、高さ調整されたチップ管28が真空
シール部32に高圧空気を送り込むことにより排気ヘッ
ド23に気密に保持される。
よるチップ管の排気ヘッドへの装着は、作業効率が悪
く、低生産性であるという問題がある。そこで、自動化
のためのロボットを採用し、前述したチップ管28を排
気ヘッド23へ装着する一連の動作をそのままロボット
ハンドにより行わせようとすると、チップ管トレイTか
ら1本のチップ管28が掴まれて、取出され、さらにチ
ップ管挿入孔39内に挿入されて、所定の高さに位置さ
せられ、その後、真空シール部32により気密に保持さ
れることになる。
ト本体の前方に排気カート10が停止した後、前述した
一連の動作が開始されるが、排気カート10は決められ
た基準停止位置にて常に停止するとは限らず、その停止
位置のばらつきは避けられない。また、排気ヘッド支柱
21およびブラケット35が炉内における封着・排気処
理過程で熱変形するため、排気ヘッド23のチップ管挿
入孔39の位置にもばらつきが生じる。さらに、チップ
管挿入孔39内にチップ管28が挿入された場合でも、
排気ヘッド23の高さにばらつきがあるため、チップ管
28を排気ヘッド23により正常に保持させることがで
きないという問題が生じる。本発明は、前述した問題を
なくすことを課題としてなされたもので、ロボットを採
用して、チップ管を排気ヘッドのチップ管挿入孔内の適
正な位置に保持することを可能としたチップ管の排気ヘ
ッドへの装着方法を提供しようとするものである。
に、第一発明は、排気カート上に支持された排気ヘッド
のチップ管挿入孔内にロボットによりチップ管を装着す
るに際し、前記排気カートの停止位置情報と前記チップ
管挿入孔の中心位置情報とに基づき、ロボットハンドの
基準移動停止位置を予め修正するとともに、チップ管の
長さ情報に基づき、前記基準移動停止位置からの前記ロ
ボットハンドの下降停止位置、またはチップ管トレイに
おけるロボットハンドのチップ管把持位置を予め修正
し、その後、前記ロボットハンドを作動させて前記排気
ヘッドの前記チップ管挿入孔内に前記チップ管を挿入し
て保持する構成とした。
て、前記基準移動停止位置の修正が、カメラを装着した
前記ロボットハンドが前記排気カートの前記基準移動停
止位置情報に基づき作動して排気ヘッドの位置を検知す
る工程と、これに引続き、前記ロボットハンドがこの排
気ヘッドの位置情報に基づき作動して前記チップ管挿入
孔の中心位置を検知する工程とを含む構成とした。
したがって説明する。図1〜7は、本発明に係るチップ
管の排気ヘッドへの装着方法が適用された設備を示し、
図8〜13に示す設備と互いに共通する部分について
は、同一番号を付して説明を省略する。本設備では、排
気カート本体11のコーナ部に基準標識1X、1Yおよ
び1Zが取付けられており、基準標識1XはレールRに
沿った水平なX軸方向における排気カート本体11の位
置を示す基準となり、基準標識1YはレールRに直交す
る水平なY軸方向における排気カート本体11の位置を
示す基準となり、基準標識1ZはX軸およびY軸に直交
するZ軸方向における排気カート本体11の位置、即ち
高さを示す基準となる。
も、その位置を示す基準となる基準標識1Hが設けられ
ている。なお、基準標識1X,1Yおよび1Zは、排気
カート本体11そのものに形成したものでもよく、排気
カート本体11とは別個の部材により形成したものでも
よい。同様に、基準標識1Hは排気ヘッド取付け部材2
2そのものに形成したものでもよく、排気ヘッド取付け
部材22とは別個の部材により形成したものでもよい。
置されたロボット本体により駆動され、三次元的に直線
線運動および回転運動可能なロボットハンドを有するロ
ボットが設けられている。このロボットハンドには、図
5に示すカメラ2が取付けられており、このカメラ2に
よりチップ管挿入孔39が検知される。そして、前記ロ
ボットハンドにより、チップ管挿入孔39の中心位置座
標を算出するための第一作動と、チップ管トレイTに収
納された特定のチップ管28を把持してチップ管挿入孔
39内に挿入する第二作動とが行われる。なお、この第
二作動においては、図6および7に示すように、前記ロ
ボットハンドのチャック部3により把持されるチップ管
28の上端部がカメラ2により検知され、チャック部3
からチップ管28の上面までの距離、或いはチップ管2
8にフリットシール27が配されている場合には、チャ
ック部3からフリットシール27の上面迄の距離が計測
される。
チップ管の排気ヘッドへの挿入方法について説明する。
まず、ステップ1で、移動してきた排気カート10が前
記ロボットの前方で停止すると、カメラ2により検知さ
れた基準標識1X,1Yおよび1Zの位置に基づいて、
排気カート10の基準停止位置と実停止位置との間の誤
差量(Δx1,Δy1,Δz1)が算出される。
Δz1)に基づき、ロボットハンドの第一基準移動停止
位置である第一計測地点の修正が行われる。例えば、前
記誤差量のX軸方向成分が+ΔXであれば、ロボットハ
ンドのストロークのX軸方向成分をΔXだけ長くし、逆
に前記誤差量のX軸方向成分が−ΔXであれば、前記ス
トロークのX軸方向成分をΔXだけ短くする。Y軸方
向、Z軸方向についても同様の修正が行われる。従っ
て、排気カート10の実停止位置に誤差が生じても、ロ
ボットハンドの第一計測地点は排気ヘッド取付け部材2
2上の基準標識1Hをカメラ2により検知できる位置に
修正される。
た第一計測地点にて停止すると、カメラ2によって排気
ヘッド取付け部材22上の基準標識1Hが検知され、排
気ヘッド23の基準配置位置(チップ管挿入孔39の中
心位置)と実配置位置との間の誤差量(Δx2,Δy
2,Δz2)が算出される。さらに、この算出された誤
差量(Δx2,Δy2,Δz2)に基づき、前記同様に
してロボットハンドの第二基準移動停止位置である第二
計測地点の修正が行われる。従って、排気ヘッド23の
基準配置位置に誤差が生じても、ロボットハンドの第二
計測地点は、チップ管挿入孔39の中心位置をカメラ2
により検知できる位置に修正される。
修正された第二計測地点にて移動停止して、図5に示す
ようにチップ管挿入孔39の中心位置の上方にカメラ2
が移動し、このカメラ2によりチップ管挿入孔39の基
準中心位置と実中心位置との間の誤差量(Δx3,Δy
3,Δz3)が算出される。前記ステップ1〜3によ
り、チップ管28の装着作業時におけるロボットハンド
の排気ヘッド23上における適正な停止位置(X,Y,
Z)が決定される。
(X,Y,Z)からの下降停止位置(X,Y,Z1)
は、Z軸方向の排気ヘッド23の高さ情報と把持対象で
あるチップ管28の実長さ情報或いはチップ管28にフ
リットシール27を加えた実長さ情報とに基づき決定さ
れる。例えば、ロボットハンドのチャック部3によるチ
ップ管28の把持位置、即ちロボットハンドの停止位置
を一定とすれば、図5および6に示すように、チャック
部3からチップ管28の上面までの距離H1或いはチャ
ック部3からフリットシール27の上面までの距離H2
が計測され、チップ管28の基準長さと実長さとの間の
誤差量(ΔL)が算出される。なお、図5はチップ管2
8のみをチップ管挿入孔39内に挿入する場合を、図6
はフリットシール27が上端面に配置されたチップ管2
8をチップ管挿入孔39内に挿入する場合を示してい
る。そして、排気ヘッド23のZ軸方向の前記高さ情報
とチップ管28に関する前記誤差量(ΔL)とに基づ
き、チップ管28の実長さに対応したロボットハンドの
前記下降停止位置(X,Y,Z1)が決定される。例え
ば、チップ管28の実長さと基準長さとの間の誤差量
(=実長さ−基準長さ)が+ΔLであれば、ロボットハ
ンドの下降停止位置は誤差量が零である場合を基準にし
てΔLだけ低い位置となり、常にチップ管28或いはフ
リットシール27の上面と排気ヘッド23の高さとの位
置関係は一定となる。
部3によりチップ管28を把持した後にチップ管28或
いはフリットシール27の上面位置を計測したが、本発
明はこれに限定するものでなく、チャック部3によりチ
ップ管28を把持する前に予めチップ管28或いはフリ
ットシール27の上面位置を計測しておいてもよい。こ
の場合、チャック部3によりチップ管28を把持する前
に予めカメラ等によりチップ管28或いはフリットシー
ル27の上面位置を計測しておき、この計測された上面
位置情報に基づきチャック部3によるチップ管28の把
持位置を修正し、その後、排気ヘッド23の高さ情報に
基づいてロボットハンドの下降停止位置を補正するよう
にしてもよい。
によれば、排気カート上の排気ヘッドのチップ管挿入孔
内にロボットによりチップ管を装着するに際し、前記排
気カートの停止位置情報および前記チップ管挿入孔の中
心位置情報に基づき、ロボットハンドの移動停止位置を
予め修正し、前記チップ管の長さ情報に基づき、前記移
動停止位置におけるロボットハンドの下降停止位置、ま
たはロボットハンドによるチップ管の把持位置を予め修
正するようにしてある。このため、前記排気カートの実
際の停止位置のばらつき、製作誤差或いは排気ヘッド支
柱や排気ヘッド取付け部材等の熱変形による前記排気ヘ
ッドにおけるチップ管挿入孔の中心位置のばらつき、さ
らにチップ管の製作誤差によるチップ管長さのばらつき
が生じても、前記中心位置に合わせて、かつチップ管の
長さに合わせて適正な位置にチップ管を前記チップ管挿
入孔内に装着することができるという効果を奏する。
たロボットハンドが前記停止位置情報に基づき作動して
前記排気ヘッドを検知し、この排気ヘッドの位置情報に
基づき作動して作動して前記チップ管挿入孔の中心位置
を検知するようにしてある。このように、ばらつきの大
きい前記停止位置を検知して、検知範囲を絞ったうえ
で、ばらつきの小さい前記中心位置を検知しているた
め、前述した効果に加えて、カメラの視野が狭くても、
前記中心位置が確実に検知され、チップ管を前記チップ
管挿入孔内に装着がより円滑に行われるという効果を奏
する。
れる排気カートの正面図である。
取付け部を示す部分正面図である。
図である。
びそのチップ管挿入孔を検知するカメラを示す図であ
る。
装着されるチップ管及びこのチップ管を検知するカメラ
を示す図である。
装着されるフリットシールを伴ったチップ管及びこれら
を検知するカメラを示す図である。
に装着されたフリットシールを伴ったチップ管及びこれ
らの上に配置されるパネルを示す図である。
面図である。
伴ったチップ管を示す断面図である。
支持部 13 パネル収納マガジン 21 排気ヘッド
支柱 22 排気ヘッド取付け部材 23 排気ヘッド 24 マガジン支柱 25 パネルサポ
ート梁 26 パネルサポート 27 フリットシ
ール 28 チップ管 31 冷却水ジャ
ケット 32 真空シール部 33 排気ヘッド
本体 34 ばね 35 ブラケット 36 筒状体 37 ロッド 38 滑りガイド 39 チップ管挿
入孔 41 真空排気管 P パネル R レール T チップ管トレイ
Claims (2)
- 【請求項1】 排気カート上に支持された排気ヘッドの
チップ管挿入孔内にロボットによりチップ管を装着する
に際し、前記排気カートの停止位置情報と前記チップ管
挿入孔の中心位置情報とに基づき、ロボットハンドの基
準移動停止位置を予め修正するとともに、チップ管の長
さ情報に基づき、前記基準移動停止位置からの前記ロボ
ットハンドの下降停止位置、またはチップ管トレイにお
けるロボットハンドのチップ管把持位置を予め修正し、
その後、前記ロボットハンドを作動させて前記排気ヘッ
ドの前記チップ管挿入孔内に前記チップ管を挿入して保
持することを特徴とするチップ管の排気ヘッドへの装着
方法。 - 【請求項2】 前記基準移動停止位置の修正が、カメラ
を装着した前記ロボットハンドが前記排気カートの前記
基準移動停止位置情報に基づき作動して排気ヘッドの位
置を検知する工程と、これに引続き、前記ロボットハン
ドがこの排気ヘッドの位置情報に基づき作動して前記チ
ップ管挿入孔の中心位置を検知する工程とを含むことを
特徴とする請求項1に記載のチップ管の排気ヘッドへの
装着方法。
Priority Applications (1)
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JP2001322024A JP3641452B2 (ja) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | チップ管の排気ヘッドへの装着方法 |
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- 2001-10-19 JP JP2001322024A patent/JP3641452B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN107633989A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-26 | 中山大学 | 一种提高冷阴极封装器件高压工作稳定性的排气方法 |
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