JP5005133B2 - 排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、プラズマディスプレイパネル(PDP)等の中空パネルの内部を排気カートで連続排気処理をする場合における不良品パネルの検知方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、PDP等のパネル内を真空排気する方法として、バッチ処理方式と連続処理方式とがあるが、いずれの方式においても、真空排気処理は複数のパネルをほぼ垂直状態あるいは水平状態に保持して炉内に位置させるとともに、各パネルに取り付けたチップ管をそれぞれ排気ヘッドに接続し、また、各排気ヘッドは排気ヘッダを介して真空排気装置(真空ポンプ)に接続することで行われる。なお、PDPにおいては、パネル内を真空排気した後、放電ガスを封入する必要があることから、前記排気ヘッダに放電ガス供給管が接続されている。
【0003】
このため、チップ管と排気ヘッドとの接続不良、パネルの封着不良あるいはチップ管の破損等の排気不良の原因となる欠陥が一部のパネルにあれば、また、排気処理中に発生すると、各パネルの排気ヘッドが排気ヘッダを介して真空排気装置(真空ポンプ)に接続されているため、全てのパネルが排気不良になる。
【0004】
ところで、前記排気不良の検知は、前記排気ヘッダに真空計を取り付け、この真空計により排気ヘッダの真空度状態を監視することで行われる。たとえば、排気処理中にチップ管の破損が生じると、排気ヘッダの真空度は急激に低下する。この場合、バッチ処理方式では、オペレータが手動で各パネルの排気用開閉弁を操作して不良品パネルを特定し、特定したパネルの排気用開閉弁を閉状態にすることで対応している。このような対応は、連続処理方式では、複数のパネルを積載した排気カートを炉内移動させながら排気処理を行うことから、バッチ処理方式と同様の対応(人手による確認)は作業安全面から困難であり、排気処理完了後(連続炉から搬出した後)、前記真空計により排気ヘッダの真空度状態を確認することで対応していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、連続処理方式におけるこの対応は、排気カートに搭載している複数パネルのうち1枚が不良であっても排気カートに搭載した全てのパネルは排気不良の状態下で所定の排気処理を施すことになるため、生産効率が低下するという問題が生じる。
【0006】
本発明は、排気処理中に排気不良の原因となったパネルを検知し、残りのパネルの排気処理を継続することで生産性の低下を防止するようにした排気カート式排気処理における不良品パネルの検知方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、排気処理を行う排気ゾーンを備え、排気カートが炉内移動可能な連続炉において、少なくとも排気手段を搭載した前記排気カートに複数のパネルを保持し、各パネルのチップ管と排気カートの排気ヘッドとを接続するとともに、前記排気カートが前記排気ゾーンに至ると、前記排気ヘッドと排気手段をそれぞれ開閉弁を有する排気管で排気ヘッダを介して接続して当該排気カートを炉内移動させながら排気処理をするにあたり、前記排気ゾーン内で前記排気カートを移動させながら前記複数のパネルを排気処理している間に、前記排気ヘッダに取り付けた真空計が所定の真空度を示すか否かにより前記複数のパネルの排気不良を検知し、前記複数のパネルの排気不良を検知した場合、各パネルの前記開閉弁を全て閉としたのち、各パネルの開閉弁を順次開閉して各パネルの真空度を測定し、この測定真空度が許容範囲以外のものを不良品パネルとする排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法を提供する。
【0008】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の実施の形態を図1〜図5にしたがって説明する。
本発明に適用される排気カート式連続炉Tは、封着処理に引続き排気処理するもので、図1および図2に示すように、炉床に開口部7を全長にわたって有するとともに各々複数の室からなる封着処理ゾーンA、排気ゾーンBおよび冷却ゾーンCとからなる。
【0009】
そして、封着処理ゾーンAと排気ゾーンBは、図2に示すように、炉内に循環バッフル1が設けられるとともに、循環通路2にラジアントチューブバーナまたは電熱ヒータ等の熱源3が配置され、炉内雰囲気は循環ファン4により吸入口5から吸引され、前記熱源3により加熱され、吐出口6から吐出することにより炉内を循環し、下記するガラスパネル組立体P1を加熱する。
【0010】
なお、冷却ゾーンCは前記封着処理ゾーンA(排気ゾーンB)における熱源3に加えて外気導入開口あるいは冷却チューブ等の冷却源(図示せず)を有するもので、他の構成は前記封着処理ゾーンA(排気ゾーンB)と同一である。
【0011】
前記ガラスパネル組立体P1は、図4に示すように、表面ガラス基板W1とチップ管Pa付裏面ガラス基板W2とのいずれか一方の対向する外周縁部に、融着用ガラスペーストからなる封着剤Sを塗布して重ね合わせ、クリップ等の治具Kにより一体に固定したものである。
【0012】
図4に示す治具Kは、チップ管Pa部分に適用するもので、チップ管Pa側の一片aにチップ管Paの径より少し巾の広い長溝bを設け、この長溝b内にチップ管Paを位置させた状態で、貫通孔cを有する保持部材dを嵌合させることでチップ管Paを支持するようにしたものである。なお、チップ管Paの支持方法は前記保持部材dに限らず、他の構成としてもよい。
【0013】
また、チップ管Pa以外の部分を固定するクリップには前記長溝bは不必要である。
【0014】
排気カート10は、図2および図3に示すように、前記排気カート式連続炉Tの炉床下に敷設したレールR上をプッシャ(図示せず)により移動するもので、排気カート10の上面には前記カート式連続炉Tの開口部7を貫通して炉内に位置する支柱11aと下記するガラスパネル組立体P1をほぼ垂直状態で炉巾方向に保持する保持部材11bとからなる取付部材11が複数配設されている。また、この取付部材11の支柱11aには開口部7と若干の間隙をもって開口部7を遮蔽する断熱部材12を排気カート10の全長にわたって備えている。
【0015】
さらに、排気カート10には真空排気ポンプ14を有する真空排気系と放電ガスボンベ15を有する放電ガス供給系とが搭載されており、両者は電磁式開閉弁16a,16bを介して排気ヘッダ17に接続され、排気ヘッダ17には先端に排気ヘッド18を備えた複数の排気管19が電磁式開閉弁20を介して接続されているとともに、真空計21が取り付けられている。さらにまた、排気カート10には下記するガラスパネルP2のチップ管Paを溶断する封止ヒータ23を備えている。
【0016】
さらに、前記真空計21には制御器22が接続されており、下記するように、前記ガラスパネルP2が排気工程に入り、真空計21が所定の真空度を表示しなかった場合、前記制御器22がこれを検知して前記電磁式開閉弁20を一旦全開としたのち、順次開閉して各ガラスパネルP2の真空度を真空計21で読み取り、所定許容範囲外の不良品パネルを記憶するとともに警報を発する。これと同時に、当該不良品ガラスパネルの電磁式開閉弁20を閉とし、他のガラスパネルP1の電磁式開閉弁20を順次開閉してその真空度を検知する。なお、前記各ガラスパネルP2の真空度の検知工程は前記制御器22に内蔵されたプログラムにしたがってなされ、そのデータは当該排気カート10が炉外に搬出されたとき打出されるようになっている。
【0017】
前記レールRは図1に示すように、排気カート式連続炉Tの下方と、炉の側方(リターンライン部)にも設けられ、両端は装入,抽出トランスファーカーTf1,Tf2で接続され、前記排気カート10は循環使用されるとともに、前記冷却ゾーンCと抽出トランスファーカーTf2との間に、放電ガス封入・封止ゾーンZgが設けてある。
【0018】
つぎに、本発明にかかる排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法を説明する。
【0019】
まず、前記ガラスパネル組立体P1を積込み・積卸しゾーンZで排気カート10に積込む。
この場合、前記ガラスパネル組立体P1は図2および図3に示すように、チップ管Paを断熱部材12に設けた貫通孔13に挿通し、たとえば、図示しないクリップ等の適宜手段により取付部材11に固定して排気カート10上にほぼ垂直状態でカート巾方向に載置固定するとともに、前記チップ管Paは前記排気ヘッド18に接続される。また、封止ヒータ23がチップ管Pa部に取り付けられる。
【0020】
前述のように、複数のガラスパネル組立体P1を載積した排気カート10は適宜手段で装入トランスファーカーTf1に至り、ここで、排気カート式連続炉Tの装入側に移動し、プッシャ等により連結状態で順次排気カート式連続炉T内に装入されるとともに、排気カート式連続炉T内を間欠搬送される。したがって、前記開口部7は殆ど各排気カート10の断熱部材12で閉鎖された状態になる。
【0021】
前記排気カート10が排気カート式連続炉T内を移動する間に、ガラスパネル組立体P1は所定のヒートカーブにもとづいて加熱・冷却される。まず、ガラスパネル組立体P1は封着処理ゾーンAで封着剤Sが溶融して両ガラス基板W1,W2を封着してガラスパネルP2とするとともに、チップ管Paを封着する。そして、排気ゾーンBに至ると、前記電磁式開閉弁16aを開、前記各電磁式開閉弁20を開として各ガラスパネルP2内を真空排気ポンプ14に連通し、各ガラスパネルP2内は10−4〜10−7Torrまで排気されながら冷却ゾーンCを経て炉外に搬出され、放電ガス封入・封止ゾーンZgに至ると、真空排気ポンプ14を停止するとともに前記電磁式開閉弁16aを閉、16bを開にすることにより放電ガスボンベ15からたとえば、ネオン(Ne)、アルゴル(Ar)あるいはキセノン(Xe)等の放電ガスをガラスパネルP2内に規定圧力(400〜760Torr)まで封入する。
【0022】
そして、前記放電ガスの封入が完了すると、封止ヒータ23に通電してチップ管Paを封じ切り、所定のPDPとする。
【0023】
その後、排気カート10は抽出トランスファーカーTf2を通って積込み・積卸しゾーンZに移行し、ここで前記処理済PDPを積卸すとともに新規なガラスパネル組立体P1を積込み、前述の工程を繰り返す。
【0024】
しかしながら、前記方法においては、排気カート式連続炉T内で各ガラスパネル組立体P1が封着されてガラスパネルP2となるが、1台の排気カート10に搭載された複数のガラスパネルP2は1台の排気手段(真空ポンプ14)により同時に排気処理されるため、一部のガラスパネルP2に封着不良、排気ヘッド18とチップ管Paとの接続不良あるいはチップ管Paに破損等の排気不良の原因となる欠陥があれば、当該排気カート10に搭載されたの全ガラスパネルP2が排気不良となる。
【0025】
したがって、前記排気処理途中で、たとえば、排気ヘッダ17に取り付けた真空計21の真空度が急激に低下する(図5、a点参照)と、制御器22がこれを検知して前記各電磁式開閉弁20を一旦閉とするとともに警報を発して当該排気カート10に搭載しているガラスパネルP2中に不良品が存在することを知らせる。その後、前記電磁式開閉弁20をプログラムにしたがって順次開閉することで、不良品ガラスパネルを特定する。
【0026】
すなわち、確認対象のガラスパネルP2が良品であると、排気ヘッダ17に取り付けた真空計21は所定の真空度を示すが、不良品であれば前記真空計21は所定の真空度を示さないため、前記操作を繰り返して、不良品のガラスパネルP2を特定するとともにそのデータを記録する。なお、つぎのガラスパネルP2の真空度チェックに移行する際には、確認完了のガラスパネルP2の電磁式開閉弁20は一旦閉とする。
【0027】
前述のようにして、各ガラスパネルP2の真空度チェックが完了すると、不良品ガラスパネルの電磁式開閉弁20を閉状態とし、他の電磁式開閉弁20を開として排気処理を継続する。なお、排気ヘッダ17の真空計21が規定時間内に所定の真空度を示さない場合も同様な処理を行うものである。
【0028】
そして、当該排気カート10が冷却ゾーンCを経て炉外に搬出されると、前記データから不良品ガラスパネルP2を特定し、現物確認のうえ、製品として使用できるか否かの最終決定を行い、良品のガラスパネルに放電ガスを封入し、積込み・積降しゾーンZで他と区別して積降しを行うものである。
【0029】
前記実施の形態では、各ガラスパネル組立体P1は排気カート10上にほぼ垂直状態で保持する形式であるが、図6および図7に示すように、ガラスパネル組立体P1を水平状態で保持し、かつ、所定間隔をあけて段積みに、しかも若干ずらして保持するとともに、チップ管Paを複数個所、たとえば、対称位置に2ヶ所設けた構成とする一方、排気カート10に、前記第1実施形態に示す排気手段を2組設け、各排気手段の各排気ヘッド18の排気管19をパージガス供給管および放電ガス供給管に切換接続するガスヘッダ24に電磁式開閉弁25を介して接続するとともに、各排気ヘッダ17の真空計21,21を共通の制御器22に接続した構成としてある。
【0030】
そして、各ガラスパネル組立体P1の各チップ管Pa1,Pa2を別個の排気手段の排気ヘッド18に接続し、ガラスパネルP2内の排気工程の初期に、両チップ管Pa1とPa2からガラスパネルP2内を排気、ついで一方のチップ管Pa1からパージガスを供給して他方のチップ管Pa2から排出し、再度ガラスパネルP2内を排気したのち他方のチップ管Pa2からパージガスを供給、チップ管Pa1から排出する工程を複数回繰り返すことからなる排気処理を行ってもよい。
【0031】
なお、ガラスパネル組立体P1を若干ずらして保持する形式は、ガラスパネル組立体P1をほぼ垂直状態で保持する形式にも適用でき、また、ガラスパネルP2内の排気処理の初期に1本のチップ管によりパージガスの供給と排気を複数回繰り返すことからなる排気処理を行うようにしてもよいものである。
【0032】
前記各実施の形態においては、ガラスパネル組立体P1を封着・排気処理を行うものについて述べたが、チップ管Paが予め封着されたガラスパネルP2であってもよく、この場合は封着工程を経ることなく連続排気処理するものである。
【0033】
また、前記説明では真空排気される対象物として、ガラスパネルを示したが、これに限らず、合成樹脂パネルあるいは金属パネルであってもよい。
【0034】
さらに、前記説明では、パネルP2内を排気したのちガスを封入する場合について述べたが、ガスを封入することなくチップ管Paを封止して断熱パネルとする場合であってもよい。
【0035】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、排気処理を行う排気ゾーンを備え、排気カートが炉内移動可能な連続炉において、少なくとも排気手段を搭載した前記排気カートに複数のパネルを保持し、各パネルのチップ管と排気カートの排気ヘッドとを接続するとともに、前記排気カートが前記排気ゾーンに至ると、前記排気ヘッドと排気手段をそれぞれ開閉弁を有する排気管で排気ヘッダを介して接続して当該排気カートを炉内移動させながら排気処理をするにあたり、前記排気ゾーン内で前記排気カートを移動させながら前記複数のパネルを排気処理している間に、前記排気ヘッダに取り付けた真空計が所定の真空度を示すか否かにより前記複数のパネルの排気不良を検知し、複数のパネルの排気不良を検知すると、排気手段を駆動したまま各パネルの開閉弁を一旦全て閉としたのち、開閉弁を順次開閉することにより各パネルの排気状態を検知するものである。
【0036】
したがって、不良品とされたパネル以外の開閉弁を開とすることにより、良品のパネルの排気処理が継続して行え生産性の効率低下を最小限とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかるガラスパネルのカート式処理設備の概略平面図。
【図2】 図1の封着処理(排気)ゾーンの拡大断面図。
【図3】 ガラスパネル組立体を取り付けた排気カートの断面図。
【図4】 ガラスパネル組立体の説明用部分斜視図。
【図5】 排気工程における不良品パネルの検知状態を示す排気曲線。
【図6】 排気カートの他の実施形態を示す断面図。
【図7】 図6のパネルの積層状態を示す平面図。
【符号の説明】
T〜排気カート式連続炉、A〜封着処理ゾーン、B〜排気ゾーン、C〜冷却ゾーン、Pa〜チップ管、P1〜パネル組立体、P2〜パネル、W1〜表面ガラス基板、W2〜裏面ガラス基板、7〜開口部、10〜排気カート、14〜真空排気ポンプ、15〜放電ガスボンベ、16a,16b,20〜(電磁式)開閉弁、17〜排気ヘッダ、18〜排気ヘッド、19〜排気管、21〜真空計、22〜制御器。
Claims (1)
- 排気処理を行う排気ゾーンを備え、排気カートが炉内移動可能な連続炉において、少なくとも排気手段を搭載した前記排気カートに複数のパネルを保持し、各パネルのチップ管と排気カートの排気ヘッドとを接続するとともに、前記排気カートが前記排気ゾーンに至ると、前記排気ヘッドと排気手段をそれぞれ開閉弁を有する排気管で排気ヘッダを介して接続して当該排気カートを炉内移動させながら排気処理をするにあたり、前記排気ゾーン内で前記排気カートを移動させながら前記複数のパネルを排気処理している間に、前記排気ヘッダに取り付けた真空計が所定の真空度を示すか否かにより前記複数のパネルの排気不良を検知し、前記複数のパネルの排気不良を検知した場合、各パネルの前記開閉弁を全て閉としたのち、各パネルの開閉弁を順次開閉して各パネルの真空度を測定し、この測定真空度が許容範囲以外のものを不良品パネルとすることを特徴とする排気カート式連続排気処理における不良品パネルの検知方法。
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