JP3597167B2 - プラズマディスプレイパネルの排気装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造装置に係わり、特に、表ガラス基板と裏ガラス基板と貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルの真空排気による脱ガスおよび真空排気後に放電ガスを封入するプラズマディスプレイパネルの排気装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル(以下単にパネルと記す)は、電極が形成された表ガラス基板と裏ガラス基板とを互いに電極面を向けて貼り合わせ、内部に閉鎖空間をもたせた構造である。そして、この閉鎖空間に放電ガスを充填するために、パネル内に残留する気体分子や気化し易い不純物質を除去する必要がある。
【0003】
このため、パネルを加熱し内部の物質を蒸発させ真空排気することでパネル内の物質およびガスを除去し、クリ−ンな状態にしてから放電ガスを充填していた。このパネルを真空排気するのに、パネルの裏面基板の貫通穴と連結するように、給排気用のガラス菅(以下排気管と記す)を低融点ガラスで取付け、この排気管に真空ポンプに接続し、パネルを真空排気していた。
【0004】
しかしながら、常温でパネルを真空排気しても、パネル内部に付着する不純物が除去できない。そこで、通常、パネルを真空加熱炉に入れ内部の不純物を蒸発させながら真空排気していた。
【0005】
また、このパネルを真空排気するのにパネルと連結する排気管を必要としていた。しかしながらこの排気管は脆弱なため、パネルの運搬や排気管と真空ポンプの排気管との接続の際に、排気管同士のずれなどが生じ、無理に合わせようとすると、排気管が折れたり、接続作業には細心の注意を払う必要があった。
【0006】
この脆弱な排気管を無くして真空排気する方法が、例えば、特開2000−223022号公報に開示されている。この方法は、まず、表ガラス基板と裏ガラス基板との繋ぎ目の隙間に比較的に低い融点のシ−ル部材を並べ配置し、裏ガラス基板の通気孔の周囲にスリット付きリング状の密閉用の比較的融点が高い低融点ガラスを配置してパネルを組立てる。そして、組み立てられた複数のパネルをバッフル(治具)に積重ね、バッチ炉に搬入し、炉内に加熱ガスを導入しそのガスの自然対流によりパネルを加熱する。
【0007】
そして、炉内を加熱しながら真空排気しパネルを脱ガスを行い、ある程度パネルが真空排気され加熱されると、パネルの継ぎ目にあるシ−ル部材が軟化し、表ガラス基板の周囲と裏ガラス基板の周囲が接着される。しかる後、放電ガスを炉内に導入し、パネル内に通気孔を介して放電ガス充填する。炉内の圧力が所定の温度に達したら、その温度により密閉用の低融点ガラスが軟化し、通気孔を塞ぎパネル内に放電ガスが封入された状態になる。
【0008】
この方法は、取り扱い難い排気管を無くすと同時に炉内に残る放電ガスを回収することを目的にしていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述した方法では、脆弱な排気管を必要とすることなくパネルを真空排気できるものの、表ガラス基板と裏ガラス基板との狭い隙間および小さな通気孔からパネルを真空排気しなければならず、排気抵抗が高く真空排気時間に時間がかかり一バッチで製造されるパネルの数が制限され生産性が悪いという欠点がある。また、シ−ル材が点在させているので、表裏ガラス基板の周囲が完全に密閉されているか否かの懸念がある。
【0010】
また、ガスの対流によりパネルを加熱しているので時間がかかるという問題がある。さらに、放電ガスをパネルに充填するのに、炉内に放電ガスを導入することは、回収するにしても、それ自体無駄に放電ガスを使用することになる。また、回収された放電ガス中には、不純ガスが含み、そのままの回収ガスを使用することはできるか疑念が残る。
【0011】
従って、本発明の目的は、パネルの真空排気用および放電ガス充填用のパネルの管部材の折れを少なくし、パネルを加熱しながら真空排気し加熱排気時間を短縮し一バッチにおける処理枚数を向上させかつ確実に放電ガスの置換ができるプラズマディスプレイパネルの排気装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【0013】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手と、前記ダンパ付き給気ファンによる外気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止するために新たに外気を導入する補助給気弁とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【0014】
本発明のプラズマディスプレイの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空継手は圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシール部材と該シール部材を保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングとを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【0015】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空ポンプの排気管の複数本と接続するマニホールド管を介して前記プラズマディスプレイパネルを真空排気し、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【0016】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、前記一対のディスプレイパネルのそれぞれの排気管が前記シャッタの同一の開口から導出され、また、複数の前記プラズマディスプレイパネルを載置するカートリッジ及びこのカートリッジを載せるステージと、このステージの高さを調節する機構と、移動用車輪とを具備する移載車を備えることを特徴としている。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
【0018】
図1(a)および(b)は本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図および一部を抽出して拡大して示す断面図である。このパネルの排気装置は、図1(a)に示すように、表面基板と裏面基板とからなるパネル31の複数枚を収納するチャンバ2と、このチャンバ2を包み込むとともにチャンバ2の外壁に沿って形成される送風経路4を有する炉体1と、送風経路4に外気を導入し風圧を調節するダンパ9付き給気ファン7と、導入される気体を加熱するヒ−タ10と、加熱された気体をチャンバ2内に導入しパネル31に接触させチャンバ2から排出させ気体を送風経路4を経て循環させる循環ファン6と、炉体1の開口を閉じるシャッタ5と、パネルから外方に伸びシャッタ5の開口33から導出される排気管19と真空ポンプ15の排気管24とを接続する真空継手13とを備えている。
【0019】
また、循環ファン6により加熱空気が送風経路4およびチャンバ2内の圧力が上昇し、所定の圧力に至ったらダンパ11付き排気ファン10aが動作し、炉体1内の圧力上昇を抑える。これは、導入する外気の量をできるだけ少なくし、外気の温度を早く立ち上げるためである。
【0020】
逆に、より外気の導入を少なくするために、外気導入用の吸気ファン7による外気の導入を停止し、循環ファン6のみによる外気の循環を行うと、炉体1内の圧力が低下することがる。この原因は炉体1の隙間から外気が漏れによりことが考えられる。このような場合、加熱された空気がパネル31に送られず、パネルの温度が低下し、パネル31の内部に蒸発した物質が露結し再度パネルの内壁に付着する恐れがある。そこで、本発明では、この圧力低下を補正する補助給気弁8が設け、この補助給気弁8を開き外気を導入し加熱された外気をパネル31に送り温度低下を防止する。
【0021】
さらに、真空継手13は、シャッタ5から突出するパネル31の排気管19を圧縮空気で膨らみ排気管19を気密に包むシ−ル22と、このシ−ル22を保持し真空ポンプ15の排気管と接続するハウジング20とを備える。一方、カ−トリッジ3に載置された複数のパネル31の排気管19のそれぞれは、上下にその位置がばらつくので、排気管と接続する真空継手13のアダプタ23に取り付けられる排気管24は、いずれの方向に任意に曲げることができるフレキシブルホ−スであることが望ましい。
【0022】
そして、炉体1外で複数の排気管19は真空継手13で気密に結合され、真空継手13からの可撓な排気管24はマニホ−ルド菅14に接続されている。このマニ−ホ−ルド菅の一端には開閉弁16を介して真空ポンプ15に連結している。すなわち、チャンバ2内のパネル31はこのマニホ−ルド菅14を通うして真空排気される。
【0023】
マニホ−ルド菅14の他端には、開閉弁17を介して放電ガスを充填されたボンベ18が接続され、パネル31の脱ガス終了後に、このマニホ−ルド菅14を通うしてパネル31に放電ガスを供給する。
【0024】
図2は図1のチャンバの開口側からカ−トリッジをチャンバ内に移載する状態を示す斜視図である。次に、パネル31をチャンバに搬入することを説明する。まず、炉体のシャッタが開いた状態で、5枚のパネル31を載せたカ−トリッジ3をステ−ジ26に載せた移載車28をチャンバ2に近づける。これには、手で移載車を押し車輪により動かす。次に上下調節機構27を作動させ、チャンバ2内のレ−ル12の面と移載車28のステ−ジ26面と一致させる。次に、カ−トリッジ3をチャンバ2内のレ−ル12を滑らせカ−トリッジ3をチャンバ内に押し込みパネル31を収納する。
【0025】
なお、このカ−トリッジ3へのパネル31の載置には、一方向に並べて配置された傾斜支持台25あるいは棒状の支え棒にそれぞれのパネル31を載せ、パネル31が斜めに立てた状態が望ましい。これは、ガラス加工業者が、長い経験から脆弱なガラス板を運搬するのに、斜めに荷台に積み込み、台車などで運べば、台車の振動や揺れに対しても安定しているという知見から得たものである。
【0026】
次に、図1(a)に示すように、シャッタ5で炉体1の開口を閉じ、シャッタ5から突出した排気管19に真空継手13を接続する。これには、図1(b)に示すように、ハウジング20内でゆるんだ一対のシ−ル22の間に排気管19をとうし、マニアルスイッチによりポ−ト21に圧縮空気を送り込み。このことによりシ−ル22が膨らみ排気管19を包み保持する。
【0027】
次に、ヒ−タ10で、給気ファン7により送り込まれた外気を熱し、循環ファンで熱せられた外気を矢印に示すように循環させる。加熱された空気は強制的にパネル31と接触させられるので、従来技術で説明した自然対流するガスによる加熱より遙かに伝熱効率がよくパネル31は極めて短時間で所望の温度に達する。
【0028】
一方、排気管19からマニホ−ルド菅14を介してパネル31は真空排気されると同時にパネル内部に付着した物質が高い温度の空気に晒され、加熱されて昇華し、真空引きにより排除される。
【0029】
次に、マニホ−ルド菅14に取り付けられた真空計(図示せず)が、所定の圧力(例えば、0.013Pa)以下であれば、パネル31内部の真空排気および不純物の除去を終了したものとして、開閉弁16を閉じ真空排気を停止する。次に、ヒ−タ10を切り、給気ファン7を動作させダンパ9を開き大量の外気を取り入れ、排気ファン10aを動作させダンパ11を一杯に開き、冷却された外気を炉体1内を循環させ、チャンバ2内のパネル31を冷却する。
【0030】
パネル31の温度が常温近くまで冷却したら、マニホ−ルド菅14の一端の開閉弁16が閉じていることを確認し、マニホ−ルド菅14の他端の開閉弁17を開きボンベ18から放電ガスをマニホ−ルド菅14に導入し、マニホ−ルド菅14を介してパネル31内に放電ガスを充填する。マニホ−ルド菅14に取り付けられた圧力計が所定の圧力(例えば、1.2気圧)を示したら、開閉弁17を締め、放電ガスの供給を停止する。
【0031】
このように、放電ガスの充填が完了したら、シャッタ5を開け、従来から行っていたように、パネル31の排気管19の根元付近の外周囲をバ−ナ−で加熱し、排気管の外壁を軟化させ排気管19の通気孔を塞ぎパネル31内に放電ガスを封止する。そして、通気孔が塞がれて不要になった排気管を切断して作業を終了する。
【0032】
この実施の形態では、チャンバに収納するカ−トリッジは、一台で説明したが二台でも三台でも良い。
【0033】
図3(a)および(b)は本発明の他の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図およびA−A矢視図である。このプラズマディスプレイパネルの排気装置は、図3に示すように、横方向の寸法が大きくならないように、パネル31とパネル31aとをパネル受け部材32aおよび32bを介して重ね合わせ斜めに立てられる一対のパネルにすることである。結果として、この一対のパネルのパネルの並ぶ方向の寸法は、図2で示す傾斜支持台25で斜めにパネル31のパネルの並ぶ方向の寸法とほぼ同じである。
【0034】
カ−トリッジ3aであるカセットに複数対を載せ炉体1内のチャンバ2に収納している。すなわち、図1で説明した一カ−トリッジ3の5枚に対し2倍の10パネルが搭載できるこになる。
【0035】
また、パネル31および21aは、送風経路4からの熱風の流に抵抗をできるだけ少なくするように隙間を、たとえば、5〜15mm程度もたせている。すなわち、着脱可能な支え棒29で斜めに支持され、パネル31の上部にはめ込まれたパネル受け部材32a,32bでパネル31aの上部を支えほぼ並行な空間をもたせている。なお、このパネル受け部材32a,32bは、パネルにキズが付かないように、耐熱材であるアルミナ繊維等を使用することが望ましい。
【0036】
しかも、矢印で示す熱風が流れ易くするために、水平に置かれるパネル31に対しパネル31aは、後方のパネル受け台30aを高くし、前方の受け台30bを低くし、パネル31aを後方に持ち上がるように斜めにしている。このことによりパネル31,31aは均等に加熱される。
【0037】
一方、このパネル31およびパネル31aの真空排気用の排気管19a,19bはシャッタ5にある同一の開口33から炉体1外に導出されている。なお、水平に置かれたパネル31の排気管19aと傾けられたパネル31aの排気管19bは、開口33付近で重ねられ、前述の実施の形態における開口33をそのまま使用できる。そして、炉体1外にある真空継手13,13aを介してマニホ−ルド管bを経て真空ポンプあるいは導入ガス用のボンベ に接続されている。この真空排気系統およびガス導入系統は前述の実施の形態と方式は同じで、2系統にすれば、排気時間およびガス導入時間は前述の実施の形態の場合と同じになる。
【0038】
この排気装置の動作は前述の実施の形態とおなじであるが、予め 加熱炉外で2つのパネル31,31aとパネル受け部材32b,32aとパネル受け台30a,30bとを組立て一対のパネルにし、これら一対のパネルの複数対をカセットであるカ−トリッジ3a上に載せ、パネルを満載したカ−トリッジ3aを図2に示す移載車28に載せ炉体1のチャンバ2に収納し、それ以後は前述の実施の形態で説明したように行えば良い。
【0039】
このように、一枚のパネルを斜めに立たせ他のパネルで支えるように重ねられて一対のパネルに組立てるので、一枚のパネルのときに比べても幅方向の寸法は、ほぼ同じである。従って、チャンバに収納できるパネル枚数は2倍となり、一バッチの処理枚数の増加が図れる。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、パネルから一方向に伸びるパネルの管部材を揃え一列に複数枚を斜めに立てて載置するカ−トリッジを備えることによって、運搬時に振動があっても安定して運ぶことができる。また、炉体内に搬入するにしても、カ−トリッジ単位で搬入するので、直接菅部材に接触することがなく、さらに菅部材と真空ポンプの排気管との接続に際しても、菅部材の位置および向きに対応して自由に曲げられる真空継手を備えることによって菅部材に不要な力を与えることなく接続が容易に行え、菅部材の折れによる損失を大幅に低減できるという効果がある。
【0041】
また、狭い送風経路およびチャンバを満たす程度の外気を導入し加熱し循環させながらパネルに加熱した外気を浴びせ、それと同時にパネルを真空排気することによって、加熱排気時間を短縮することができ、スル−プットが向上するという効果がある。
【0042】
さらに、変形自由度のあるホ−スをもつ真空継手を用いて、菅部材に不要な力を与えず接続できるので、確実に放電ガスの置換ができ歩留まりの向上が図れるという効果がある。
【0043】
一方、炉体のチャンバに収納するパネルを、二枚のパネルを重ねて構成する一パネル対にし、このパネル対を複数対をチャンバに収納すれば、一バッチの処理枚数が増加し生産性が向上するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図および一部を抽出して拡大して示す断面図である。
【図2】図1のチャンバの開口側からカ−トリッジをチャンバ内に移載する状態を示す斜視図である。
【図3】本発明の他の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図およびA−A矢視図である。
【符号の説明】
1 炉体
2 チャンバ
3,3a カ−トリッジ
4 送風経路
5 シャッタ
6 循環ファン
7 給気ファン
8 補助給気弁
9,11 ダンパ
12 レ−ル
13,13a 真空継手
14 マニホ−ルド菅
15 真空ポンプ
16,17 開閉弁
18 ボンベ
19,19a 排気管
22 シ−ル
25 傾斜支持台
26 ステ−ジ
27 上下調節機構
28 移載車
29 支え棒
30a,30b パネル受け台
31,31a パネル
32a,32b パネル受け部材
33 開口
Claims (10)
- 表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手と、前記ダンパ付き給気ファンによる外気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止するために新たに外気を導入する補助給気弁とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空継手は圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシール部材と該シール部材を保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングとを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空ポンプの排気管の複数本と接続するマニホールド管を介して前記プラズマディスプレイパネルを真空排気し、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 前記一対のディスプレイパネルのそれぞれの排気管が前記シャッタの同一の開口から導出されることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3または請求項4記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 前記カートリッジを載せるステージと、このステージの高さを調節する機構と、移動用車輪とを具備する移載車を備えることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4または請求項5記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 複数の前記プラズマディスプレイパネルを載置するカートリッジを備えることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5または請求項6記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 前記ダンパ付き給気ファンによる外気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止するために新たに外気を導入する補助給気弁を備えることを特徴とする請求項3、請求項4、請求項5、請求項6または請求項7記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 前記真空継手は、圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシール部材と、該シール部材を保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングとを備えることを特徴とする請求項4、請求項5、請求項6または請求項7記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
- 前記真空ポンプの排気管の複数本と接続するマニホールド管を備え、このマニホールド管を介して前記プラズマディスプレイパネルを真空排気することを特徴とする請求項5、請求項6または請求項7記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
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